JP3077899B2

JP3077899B2 - プローブによる通電測定方法及び装置

Info

Publication number: JP3077899B2
Application number: JP09184965A
Authority: JP
Inventors: 浩一佐々木
Original assignee: 茨城日本電気株式会社
Priority date: 1997-07-10
Filing date: 1997-07-10
Publication date: 2000-08-21
Anticipated expiration: 2017-07-10
Also published as: JPH1130648A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気製品の電気的
な検査を行う際に、特に、プローブ接触子を用いた接地
測定を行う際に、前記プローブ接触子に対する被測定物
の位置ズレを検出できるようにしたプローブによる通電
測定方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の電気的な検査において、
プローブ接触子に対する被測定物の位置ずれは、被測定
物に配列された被測定パッドに対する前記プローブ接触
子の接触状態を目視で確認するか、あるいは、検査実行
時の電子信号レベル（オン・オフ）により判断するしか
なかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、目視に
よる確認は、プローブ接触子を配列した支持基盤などが
視界を遮るために、死角ができて、実際上、不可能であ
る。また、電子信号レベルによる判断は、それが被測定
パッドの接地不良によるのか、前記プローブ接触子の接
触不良によるのかを判別できないという問題がある。

【０００４】本発明は、上記事情に基づいてなされたも
ので、被測定物が、その通電測定される被測定パッドと
絶縁層とが互いに光反射率が相違する表面を具備してい
る場合には、その光反射率の相違を利用して、プローブ
接触子に対する被測定物の位置ズレ（所謂、プローブ・
コンタクト・ミスによる疑似接触不良）を確認し、ある
いは、事前に、被測定物に対する前記プローブ接触子の
接触不良を検出して、通電検査時の疑似接触不良判定を
未然に防止できるようにしたプローブの通電測定方法及
び装置を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このため、本発明では、
通電測定される被測定パッドと絶縁層とが互いに光反射
率が相違する表面を具備している被測定物に対してプロ
ーブ接触子を接触させて通電測定する方法において、前
記通電測定を行う際に、被測定物に対する前記プローブ
接触子の接触状況を検出するため、プローブ接触子に内
蔵された光ファイバーケーブルの端部を介して、被測定
物からの反射光を光センサーで測定し、その結果を前記
通電測定の結果と照合して、前記プローブ接触子の疑似
接触不良を判定することを特徴とする。

【０００６】また、本発明では、通電測定される被測定
パッドと絶縁層とが互いに光反射率が相違する表面を具
備している被測定物にプローブ接触子を接触させて通電
測定する装置において、前記プローブ接触子が被測定物
に接触する際に、通電状態を測定するテスト回路と、前
記プローブ接触子に内蔵された光ファイバーケーブルの
端部を介して、被測定物に光を照射する光源と、前記光
ファイバーケーブルを通して被測定物からの反射光の光
量を検出する検出手段と、該検出手段の検出結果を前記
テスト回路での通電状態の測定結果と比較して前記プロ
ーブ接触子の疑似接触不良を判定する判定手段とを具備
している。

【０００７】従って、通電測定（例えば、接地測定）の
過程で、プローブ接触子が被測定パッドに正しく接地し
ていない時、即ち、被測定物の位置ズレがある場合に、
疑似接触不良と判断することができ、また、通電測定に
先立って、予め確認された完全な通電状態の被測定パッ
ドを用いて、光センサーによる被測定パッドの反射光測
定を行い、これによって、プローブ・コンタクト・ミス
による疑似接触不良を事前に検出して、通電測定の信頼
性を向上させることもできる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して具体的に説明する。ここで使用する測定装
置は、通電測定される被測定パッド１Ａと絶縁層１Ｂと
が互いに光反射率が相違する表面を具備している被測定
物１を対象として、この被測定物１にプローブ２の、例
えば、導電性の円筒状プローブ接触子２Ａを接触させ
て、通電測定するものであって、プローブ接触子２Ａが
被測定物１に接触する際に、通電状態を測定するテスト
回路３と、プローブ２を通して被測定物１に光を照射す
る光源４と、プローブ２を通して被測定物１からの反射
光の光量を検出する検出手段（光センサー）５と、検出
手段５の検出結果をテスト回路３での通電状態の測定結
果と比較してプローブ接触子２Ａの疑似接触不良を判定
する判定手段６とを具備している。

【０００９】更に詳述すると、プローブ２は、多数が、
図２に示すように、被測定物１の被測定パッド１Ａの縦
横の配列に合致するように、支持基盤７に配列されてい
て、それぞれ、図３に示すように、支持基盤７に導電性
のバレル２Ｂを支持・固定している（所謂、プローブユ
ニットを構成している）。また、このバレル２Ｂ内に
は、プローブ接触子２Ａが摺動自在に嵌挿させてあり、
導電性の圧縮コイルバネ２Ｃで下向きに弾持されてお
り、このコイルバネ２Ｃおよびバレル２Ｂを介して、支
持基盤７上の環状リード端子７Ａに電気的に導通されて
いる。

【００１０】そして、各プローブ接触子２Ａは、支持基
盤７上のプリント配線７Ｂおよびコネクタ７Ｃを介し
て、テスト回路３に電気的に接続され、その電位の相違
で、被測定パッド１Ａの通電状態（接地状態）を計測す
ることができる。また、テスト回路３の計測結果は、判
定手段６側に伝達される。

【００１１】一方、プローブ接触子２Ａの中央を通し
て、光ファイバーケーブル８の一端が、被測定物１に向
けて臨ませてあり、光ファイバーケーブル８の基端側に
は光源４が配置されている。また、光ファイバーケーブ
ル８と光源との間には、偏光手段（図示せず）が設けら
れており、偏光手段を介して、被測定物１からの反射光
を検出手段５に受けるように構成されている。

【００１２】この検出手段５は、光量を電気量に変換す
る光／電気変換手段（図示せず）を介して、反射光のレ
ベルの相違を、電気信号として判定手段６に与えてお
り、判定手段６では、例えば、電気信号レベルが低い場
合には、被測定パッド１Ａにプローブ接触子２Ａが合致
していない、被測定物１の測定位置がずれているとの判
定を下すことができる。

【００１３】このような構成において、本発明の通電測
定方法では、通電測定を行う際に、被測定物１に対する
プローブ接触子２Ａの接触状況を検出するため、プロー
ブ２を通して被測定物１からの反射光を検出手段５で測
定し、その結果をテスト回路３の通電測定の結果と照合
して、プローブ接触子２Ａの疑似接触不良を判定するこ
とができる。即ち、上述のように、検出手段５による光
検出の結果で、全てのプローブ２について、電気信号レ
ベルが高ければ、被測定パッド１Ａの測定位置が正しい
と判定できる（テスト回路３での計測において、疑似接
触不良の発生はないと判定される）。

【００１４】また、その状態で、各プローブ接触子２Ａ
を経由するテスト回路３側での電位に変化があれば（接
地されたか、否か）、被測定パッド１Ａの回路上の断線
か、あるいは、その対応するプローブ接触子２Ａの昇降
動作に係わる接触不良であることになる。従って、予め
導通についての完全性が確認された、所謂、断線のない
被測定パッド１Ａが配列されたテスト用の被測定物１に
ついて、支持基盤７を被測定物１側に動作した上で、本
発明の通電測定装置によって、プローブ接触子２Ａの接
触状態をチェックすれば、昇降動作に関して接触不良を
起こす不良プローブを、被測定物１の被測定パッド１Ａ
についての通電測定作業に先立って、検出することがで
きるから、以後の通電測定における信頼性が向上でき
る。

【００１５】なお、この実施の形態において、光ファイ
バーケーブル８、光源４および検出手段５によって、所
謂、「反射式フォトセンサー」が構成されているが、そ
の光ファイバーケーブル８の一端は、できるだけ、被測
定物１に近づけることが望ましく、また、高密度実装に
も対応できるように、光ファイバーケーブル８に採用す
る光ファイバーには、できるだけ細い物が採用されるの
が望ましい。また、被測定物１の光反射時のコントラス
トが明確になるように、例えば、被測定パッド１Ａに
は、反射率の高い金属が望ましく、絶縁層１Ｂには、反
射率の低い絶縁体が望ましい。

【００１６】次に、本発明の実施の形態の動作順序につ
いて、更に詳細に説明する。通電測定に先立って、前述
のように、プローブ接触子２Ａの昇降に関する接触不良
のチェックを行う。次いで、通電測定に際しては、プロ
ーブユニット（支持基盤７）を降下させ、各プローブ接
触子２Ａを被測定物１に接地すると、検査が開始され、
同時に、上述のように、疑似接触不良の判断が判定手段
６で行われる。即ち、光源４から発光された光ビーム
は、光ファイバーケーブル８からプローブ２を介して被
測定物１の上面に照射される。

【００１７】照射された光ビームは、被測定物１の被測
定パッド１Ａ上面に当たり、反射されるが、この場合、
反射効率がよいので、劣化のない反射光が、光ファイバ
ーケーブル８を介して検出手段５に戻される。また、絶
縁層１Ｂに光ビームが照射されると、乱反射で、減衰さ
れた反射光が、光ファイバーケーブル８を介して検出手
段５に戻される。その結果、被測定物の位置ズレを検出
できる。

【００１８】そして、判定手段６で、テスト回路３での
通電状態の計測結果と照合すると、断線状態と判定され
た被測定パッドについて、それが、所謂、位置ズレに基
づいた疑似接触不良であるか、断線状態を示す接触不良
かの判定ができる。

【００１９】その判定結果について、例えば、テスト回
路３に情報を戻し、例えば、当該被測定パッド１Ａにつ
いて、それが正しく接地されていない場合は、オペレー
ターに当該被測定パッドに対応するプローブ２につい
て、そのロケーションを知らせ、検査を停止する。そし
て、被測定物１の、どの被測定パッド１Ａが不良かを確
認できる。

【００２０】

【発明の効果】本発明は、以上詳述したように、通電
測定される被測定パッドと絶縁層とが互いに光反射率が
相違する表面を具備している被測定物に対してプローブ
接触子を接触させて通電測定する方法において、前記通
電測定を行う際に、被測定物に対する前記プローブ接触
子の接触状況を検出するため、プローブ接触子に内蔵さ
れた光ファイバーケーブルの端部を介して、被測定物か
らの反射光を光センサーで測定し、その結果を前記通電
測定の結果と照合して、前記プローブ接触子の疑似接触
不良を判定することを特徴とする。

【００２１】従って、各プローブ毎に、被測定パッドの
通電状態（接地状態）の確認ができ、被測定物のセット
ミスによる疑似接触不良が容易に判断できるようにな
る。また、各プローブ接触子の接触不良を予めチェック
できるので、通電測定に際しての信頼性が向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示すブロック構成図であ
る。

【図２】本発明の通電測定装置の構成を示す斜視図であ
る。

【図３】同じく、プローブ接触子の断面図である。

【符号の説明】

１被測定物１Ａ被測定パッド１Ｂ絶縁層２プローブ２Ａプローブ接触子２Ｂバレル２Ｃコイルバネ３テスト回路４光源５検出手段（光センサー）６判定手段７支持基盤７Ａ環状リード端子７Ｂプリント配線７Ｃコネクタ８光ファイバーケーブル

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/28 G01R 1/06 H01L 21/66

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】通電測定される被測定パッドと絶縁層と
が互いに光反射率が相違する表面を具備している被測定
物に対してプローブ接触子を接触させて通電測定する方
法において、前記通電測定を行う際に、被測定物に対す
る前記プローブ接触子の接触状況を検出するため、プロ
ーブ接触子に内蔵されたファイバーケーブルの端部を介
して、被測定物からの反射光を光センサーで測定し、そ
の結果を前記通電測定の結果と照合して、前記プローブ
接触子の疑似接触不良を判定することを特徴とするプロ
ーブによる通電測定方法。
【請求項２】通電測定される被測定パッドと絶縁層と
が互いに光反射率が相違する表面を具備している被測定
物にプローブ接触子を接触させて通電測定する装置にお
いて、前記プローブ接触子が被測定物に接触する際に、
通電状態を測定するテスト回路と、前記プローブ接触子
に内蔵されたファイバーケーブルの端部を介して、被測
定物に光を照射する光源と、前記ファイバーケーブルを
通して被測定物からの反射光の光量を検出する検出手段
と、該検出手段の検出結果を前記テスト回路での通電状
態の測定結果と比較して前記プローブ接触子の疑似接触
不良を判定する判定手段とを具備していることを特徴と
するプローブによる通電測定装置。
【請求項３】前記プローブ接触子は、被測定物の被測
定パッドの配列に合わせて、支持基盤に配列されてお
り、各プローブ接触子毎に、その通電状態をテスト回路
で測定することを特徴とする請求項２に記載のプローブ
による通電測定装置。