JP3065536B2 - 円筒研磨装置の防水カバー - Google Patents

円筒研磨装置の防水カバー

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JP3065536B2
JP3065536B2 JP8207643A JP20764396A JP3065536B2 JP 3065536 B2 JP3065536 B2 JP 3065536B2 JP 8207643 A JP8207643 A JP 8207643A JP 20764396 A JP20764396 A JP 20764396A JP 3065536 B2 JP3065536 B2 JP 3065536B2
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郁夫 前山
満 中田
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はシリコンインゴットのよ
うな円筒状ワークを研削する円筒研磨装置の防水カバー
に関する。
【0002】
【従来の技術】円筒状ワークを回転可能に支持するベッ
ドと、前記ワークの回転軸線に直交する方向及び前記回
転軸線に平行して往復動可能に支持された砥石及び砥石
を支持する砥石移動軸装置と、を有する円筒研磨装置
は、例えば特開平2─131849号、USP 4,811,524 号公報
等に開示されている。シリコンインゴットのような円筒
状ワークを研削する円筒研磨装置では多量の研削水を使
用するため、この飛散を防止する保護カバー装置が実開
平4─102773号公報に提案されている。この保護カバー
装置は砥石支持部材に砥石カバーを固定し、砥石とワー
クを覆う蛇腹を砥石カバーに伴われて往復動可能に且つ
開閉可能に構成したものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら実開平4
─102773号の保護カバー装置は蛇腹の開閉を、砥石カバ
ーに固定したモータの正逆転により行い、砥石カバーの
往復動時は停止したモータを電気制御しながら蛇腹を伸
縮させていたので、モータと複雑な電気制御装置を必要
とし、蛇腹の開閉を早くするときはモータと複雑な電気
制御装置の出力を上げる必要があるばかりかショック防
止が必要で、コスト高になるので、安価に蛇腹の開閉を
早くすることが出来ず、かつ蛇腹を砥石カバーに押しつ
ける力を容易に制御できないのでシール性能などの課題
があった。本発明の請求項1の課題は、実開平4─1027
73号の保護カバー装置のかかる課題を解決し、安価に蛇
腹の開閉を早くするでき、かつ蛇腹を砥石カバーに押し
つける力を容易に制御できシール性能を高めた円筒研磨
装置の防水カバーを提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】このため本発明の請求項
1の発明は、円筒状ワークを回転可能に支持するベッド
と、前記ワークの回転軸線に直交する方向に往復動可能
にかつ前記回転軸線に平行して往復動可能に支持された
砥石、及び砥石を支持する砥石移動軸装置と、を有する
円筒研磨装置において、前記砥石と砥石が研削する部分
の前記ワーク付近断面全体をおおい下方を開放した移動
防水カバーを前記砥石移動軸装置に固定支持し、前記移
動防水カバー側面の一方に固定され他方と開閉可能に支
持されかつ前記移動防水カバー両側面から前記ワークの
両端チャック部を越えて配置された端部防水カバーまで
延在する一対の蛇腹防水カバーを設け、前記開閉可能に
支持された蛇腹防水カバーの前記移動防水カバー側面と
当接する側板は支持体に支持されたエアーシリンダーの
ピストンに連結されており、前記開閉可能に支持された
蛇腹防水カバーの開閉は前記移動防水カバーが停止した
とき前記ピストンを移動させて行い、前記移動防水カバ
ーが前記砥石移動軸装置と共に移動するときは、前記側
板を閉じる方向に前記ピストンが作動され、前記側板を
閉じる圧力は前記減圧弁で調圧されるようにしたことを
特徴とする円筒研磨装置の防水カバーを提供する。かか
る構成によって安価で蛇腹の開閉を早くするでき、かつ
蛇腹を砥石カバーに押しつける力を容易に制御できるよ
うな円筒研磨装置の防水カバーを提供するものとなっ
た。
【0005】
【好ましい実施態様】以下添付した図1乃至図4に基づ
きこの発明を詳細に説明する。図1は本発明の請求項1
の発明の好ましい一実施態様である円筒研磨装置の防水
カバーの概略構成を示す要部正面斜視図で円筒状ワーク
は取り外された状態で示されており、図2は図1のII−
II線に沿った概略断面図、図3は側板とエアーシリンダ
ーのピストンとの取り付け状態を示す図1の防水カバー
が最左端に位置したときの部分概略拡大正面図、図4は
図1のエアーシリンダーのピストンを駆動する空圧回路
図である。本発明の円筒研磨装置は、シリコンインゴッ
トのような円筒状ワーク8をベッド1上に支持された図
示しないチャック部で回転可能に支持され、ワーク8の
回転軸線80に直交する方向に往復動可能にかつ回転軸線
80に平行して往復動可能に支持された砥石25、及び砥石
25を支持する砥石移動軸装置2を有する。砥石移動軸装
置2は好ましい本実施態様ではベッド1に支持されてい
るが、代わりに基礎面11に直接支持されてもよい。ベッ
ド1に支持されたレール20に摺接する案内部29は砥石台
駆動ユニット21で回転軸線80に平行して往復動され、砥
石25を支持回転させる砥石軸24を支持する砥石台23を砥
石台切り込みユニット22がワーク8の回転軸線80に直交
する方向に往復動させる。26は砥石軸24を回転させるモ
ータである。
【0006】本発明の円筒研磨装置の防水カバーは、砥
石25と砥石25が研削する部分のワーク8付近断面全体を
おおい下方を開放した移動防水カバー3を砥石移動軸装
置2に固定支持し、移動防水カバー3側面の一方3aに固
定され他方3bと開閉可能に支持され移動防水カバー両側
面 3a,3bからワーク8の両端の図示しないチャック部を
越えた端部防水カバー 4a,4bまで延在する一対の蛇腹防
水カバー 5a,5bを設け、開閉可能に支持された蛇腹防水
カバー5bの移動防水カバー側面3bと当接する側板41は、
図3に示すように、支持体 69bに取り付け具 68bを介し
て支持されたエアーシリンダー6のピストン62に連結さ
れている。蛇腹防水カバー5bの側板41には2個所に穴44
が設けられ穴44内にそれぞれガイドバー43が通され、2
本のガイドバー43は両端を端部防水カバー 4a,4bに支持
されている。支持体 69bは図示しない検査装置用ポスト
に支持されているが、図示しないベッド1又は基礎面11
に立てた支柱に支持されてもよい。図4に示すようにエ
アーシリンダー6のピストン62は、エアーシリンダー本
体62内の点線で示す空圧室 6a,6b内に入れられ、空圧室
6a,6bのいずれかに電磁切換弁73を切換えて圧縮空気を
送ることにより作動される。63a,63b はエアーシリンダ
ー6内の空圧室 6a,6bの両端部にピストン62が到達した
ときこれを検知するセンサーである。支持体 69bは端部
防水カバー 4a,4bに支持されてもよい。7はシュート
で、移動防水カバー3、蛇腹防水カバー5a,5b及び端部
防水カバー4aの下端を覆う。31はシールである。
【0007】図3で一点鎖線で示すピストン62はエアー
シリンダー6の下面伝達部64に作動的に連結されてその
運動が取り出され、連結材63を介して側板41に連結固定
されている。開閉可能に支持された蛇腹防水カバー5bの
開閉は砥石移動軸装置2及び移動防水カバー3が停止し
たとき行われ、空圧源70の圧縮空気は減圧弁72で調圧さ
れた適正な圧力にされ、調圧された圧縮空気は電磁切換
弁73を切換えて空圧源70の圧縮空気を空圧室 6a,6bのい
ずれかに送ることによりピストン62を移動させ側板41が
蛇腹防水カバー5bを開閉するようにされる。移動防水カ
バー3が砥石移動軸装置2と共に移動するときは、蛇腹
防水カバー5bの側板41を閉じる方向に電磁切換弁73を切
換えて空圧源70の圧縮空気を空圧室6bへ送ることにより
ピストン62が作動され、側板41を閉じる圧力は減圧弁72
で調圧して、適正な圧力にされる。
【0008】作動においては、移動防水カバー3を固定
した砥石移動軸装置2は図1でみて右端の原位置まで移
動される。この位置は蛇腹防水カバー5bと側板41は図3
と反対の位置になる。このとき電磁切換弁73を切換えて
圧縮空気を空圧室6aに送ることによりピストン62と側板
41を左に移動させて蛇腹防水カバー5bを移動防水カバー
3から離隔し開く。そしてワーク8が図示しないチャッ
クに把持され、砥石25と砥石移動軸装置2が左端の位置
まで移動され、その後で電磁切換弁73を切換えて圧縮空
気を空圧室6bに送りピストン62と側板41を右に移動して
蛇腹防水カバー5bを移動防水カバー3に当接密着させて
閉じる。このときの側板41が移動防水カバー3を押す圧
力は減圧弁72を調圧して適正な圧力にされている。そし
て砥石25が回転され、切り込みユニット22が砥石25をワ
ーク8に向けて切り込ませ、次にワーク8が回転し、ワ
ーク8の一端から他端まで砥石25と砥石移動軸装置2が
1パス又は複数パス移動されワーク8の外周研削が終了
する。その後で砥石移動軸装置2は原位置に戻り蛇腹防
水カバー5bが開かれてワーク8の着脱がなされる。
【0009】移動防水カバー3が砥石移動軸装置2と共
に移動するときは、蛇腹防水カバー5bの側板41を閉じる
方向に電磁切換弁73を切換えて空圧源70の圧縮空気を空
圧室6bへ送ることによりピストン62が作動される。砥石
移動軸装置2と移動防水カバー3が図1でみて右端の原
位置から左方向に移動されるとき、ピストン62の移動に
よるエアーシリンダー6内の空圧室6bのエアーは減圧弁
72を介して適正な圧力調圧されるようにされており、こ
のときの側板41が移動防水カバー3を押す圧力は減圧弁
72を調圧して、適正な圧力にされる。移動防水カバー3
が図1でみて左端の位置から右方向に移動されるとき
は、ピストン62は側板41を閉じる方向に作動されてお
り、蛇腹防水カバー5bと側板41は減圧弁72で調圧された
適正な圧力で移動防水カバー3に当接密着する。
【0010】
【発明の効果】請求項1の本発明は、かかる構成によ
り、エアーシリンダーは電気モータに比べて開閉を早く
しても開閉時のショックが少ないので安価に蛇腹の開閉
を早くすることができ、かつ蛇腹を砥石カバーに押しつ
ける力を減圧弁72で調圧して自由に調整することにより
容易に制御できるのでシールの不具合もなく寿命の長い
円筒研磨装置の防水カバーを提供するものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の請求項1の発明の好ましい一実施態様
である円筒研磨装置の防水カバーの概略構成を示す要部
正面斜視図で円筒状ワークは取り外された状態で示す。
【図2】図2は図1のII−II線に沿った概略断面図であ
る。
【図3】図1の側板41とエアーシリンダー6のピストン
62との取り付け状態を示す図1の移動防水カバー3が最
左端に位置したときの部分概略拡大正面図である。
【図4】図1のエアーシリンダーのピストンを駆動する
空圧回路図である。
【符号の説明】
1..ベッド 2..砥石移動軸装置
3..移動防水カバー 4a,4b ..端部防水カバー 5a,5b ..蛇腹防
水カバー 6..エアーシリンダー 6a,6b ..空圧室 8..ワーク 25..砥石 41..側板 62..ピストン 69b ..支持体 72..減圧弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24B 55/04 B23Q 11/08

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円筒状ワークを回転可能に支持するベッ
    ドと、前記ワークの回転軸線に直交する方向に往復動可
    能にかつ前記回転軸線に平行して往復動可能に支持され
    た砥石、及び砥石を支持する砥石移動軸装置と、を有す
    る円筒研磨装置において、前記砥石と砥石が研削する部
    分の前記ワーク付近断面全体をおおい下方を開放した移
    動防水カバーを前記砥石移動軸装置に固定支持し、前記
    移動防水カバー側面の一方に固定され他方と開閉可能に
    支持されかつ前記移動防水カバー両側面から前記ワーク
    の両端チャック部を越えて配置された端部防水カバーま
    で延在する一対の蛇腹防水カバーを設け、前記開閉可能
    に支持された蛇腹防水カバーの前記移動防水カバー側面
    と当接する側板は支持体に支持されたエアーシリンダー
    のピストンに連結されており、前記開閉可能に支持され
    た蛇腹防水カバーの開閉は前記移動防水カバーが停止し
    たとき前記ピストンを移動させて行い、前記移動防水カ
    バーが前記砥石移動軸装置と共に移動するときは、前記
    側板を閉じる方向に前記ピストンが作動され、前記側板
    を閉じる圧力は前記減圧弁で調圧されるようにしたこと
    を特徴とする円筒研磨装置の防水カバー。
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