JP3053894B2 - 水切り洗浄剤 - Google Patents
水切り洗浄剤Info
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- JP3053894B2 JP3053894B2 JP3095223A JP9522391A JP3053894B2 JP 3053894 B2 JP3053894 B2 JP 3053894B2 JP 3095223 A JP3095223 A JP 3095223A JP 9522391 A JP9522391 A JP 9522391A JP 3053894 B2 JP3053894 B2 JP 3053894B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物品の表面に付着した
水の水切り除去に用いる水切り洗浄剤に関する。
水の水切り除去に用いる水切り洗浄剤に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子工業、精密工業、光学工業等の分野
において、切削、研磨が行なわれた物品は、通常、水洗
に供される。水洗等により表面に水が付着した物品は、
そのまま乾燥すると表面にシミやサビが発生するため、
水洗後に水切り洗浄剤に浸漬され、上記付着した水の除
去が行なわれる。このような水切り洗浄剤としては、例
えば疎水性溶剤を主剤とし、これに親水性溶剤が添加さ
れたものがある。この水切り洗浄剤は、上記親水性溶剤
が、物品の付着水と相溶することにより、物品からの付
着水の脱離を生じさせる働きを利用したものである。ま
た、脱離した水の大部分は、上記洗浄剤の主剤が疎水性
溶剤であるため、該洗浄剤中に溶け込むことなく分離さ
れる。かかる水切り洗浄剤において、疎水性溶剤として
は、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオ
ロエタン、ジクロロメタン等が、また、親水性溶剤とし
ては、メタノール、エタノール、イソプロパノール等が
用いられている。しかし、ジクロロメタンの疎水性溶剤
に、親水性溶剤としてメタノールおよびエタノールを併
用したものは知られていない。
において、切削、研磨が行なわれた物品は、通常、水洗
に供される。水洗等により表面に水が付着した物品は、
そのまま乾燥すると表面にシミやサビが発生するため、
水洗後に水切り洗浄剤に浸漬され、上記付着した水の除
去が行なわれる。このような水切り洗浄剤としては、例
えば疎水性溶剤を主剤とし、これに親水性溶剤が添加さ
れたものがある。この水切り洗浄剤は、上記親水性溶剤
が、物品の付着水と相溶することにより、物品からの付
着水の脱離を生じさせる働きを利用したものである。ま
た、脱離した水の大部分は、上記洗浄剤の主剤が疎水性
溶剤であるため、該洗浄剤中に溶け込むことなく分離さ
れる。かかる水切り洗浄剤において、疎水性溶剤として
は、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオ
ロエタン、ジクロロメタン等が、また、親水性溶剤とし
ては、メタノール、エタノール、イソプロパノール等が
用いられている。しかし、ジクロロメタンの疎水性溶剤
に、親水性溶剤としてメタノールおよびエタノールを併
用したものは知られていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような水切り洗浄
剤において、親水性溶剤としてメタノールを用いたもの
は、メタノールの引火性の高さから、十分な水脱離効果
を得るだけメタノールを添加すると、液が可燃性となり
安全性に問題がある。また、エタノール等の他の親水性
溶剤を用いたものは、水脱離効果が小さく、水の脱離に
時間がかかったり、物品の表面に水が残留してシミを形
成する問題がある。
剤において、親水性溶剤としてメタノールを用いたもの
は、メタノールの引火性の高さから、十分な水脱離効果
を得るだけメタノールを添加すると、液が可燃性となり
安全性に問題がある。また、エタノール等の他の親水性
溶剤を用いたものは、水脱離効果が小さく、水の脱離に
時間がかかったり、物品の表面に水が残留してシミを形
成する問題がある。
【０００４】このような背景から、高い水脱離効果を有
し、不燃性の水切り洗浄剤の開発が大きな課題であっ
た。
し、不燃性の水切り洗浄剤の開発が大きな課題であっ
た。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねてきた。その結果、ジクロ
ロメタンに特定量のメタノールおよびエタノールを混合
することにより上記課題が解決されることを見い出し、
本発明を完成するに至った。
を解決すべく鋭意研究を重ねてきた。その結果、ジクロ
ロメタンに特定量のメタノールおよびエタノールを混合
することにより上記課題が解決されることを見い出し、
本発明を完成するに至った。
【０００６】すなわち、本発明は、ジクロロメタン、メ
タノールおよびエタノールよりなり、メタノールとエタ
ノールとの合計量が１３重量％以上２５重量％以下で、
かつメタノールの量が３重量％以上１２重量％未満であ
る水切り洗浄剤である。
タノールおよびエタノールよりなり、メタノールとエタ
ノールとの合計量が１３重量％以上２５重量％以下で、
かつメタノールの量が３重量％以上１２重量％未満であ
る水切り洗浄剤である。
【０００７】本発明の水切り洗浄剤の主剤はジクロロメ
タンである。かかるジクロロメタンは疎水性であり、そ
の結果、本発明の水切り洗浄剤によれば、物品から脱離
した水の大部分は、上記洗浄剤に混入することなく、少
量のメタノール、エタノール、ジクロロメタンを含有し
た水溶液として分離される。この水溶液は、水切り洗浄
剤の液面に浮上するため、本発明の水切り洗浄剤では、
物品から脱離した水を、容易に取り除くことができる。
尚、取り除いた水を蒸留装置等に導入し、含有されるメ
タノール、エタノール、ジクロロメタンを分離してそれ
ぞれ再度洗浄剤の原料として用いてもよい。
タンである。かかるジクロロメタンは疎水性であり、そ
の結果、本発明の水切り洗浄剤によれば、物品から脱離
した水の大部分は、上記洗浄剤に混入することなく、少
量のメタノール、エタノール、ジクロロメタンを含有し
た水溶液として分離される。この水溶液は、水切り洗浄
剤の液面に浮上するため、本発明の水切り洗浄剤では、
物品から脱離した水を、容易に取り除くことができる。
尚、取り除いた水を蒸留装置等に導入し、含有されるメ
タノール、エタノール、ジクロロメタンを分離してそれ
ぞれ再度洗浄剤の原料として用いてもよい。
【０００８】次に、本発明の水切り洗浄剤は、上記ジク
ロロメタンを主剤とし、さらに前記特定量のメタノール
とエタノールを含む。エタノールはメタノールに比べて
引火性が小さいため、この洗浄剤は不燃性である。しか
も、エタノールはメタノールに比べて水の溶解性が小さ
いにもかかわらず、この洗浄剤は、水脱離効果において
メタノールを単独で用いたものに比べてほとんど低下し
ていない。本発明において、このメタノールとエタノー
ルとの使用量は、まずその合計量が１３重量％以上２５
重量％以下、好ましくは１５重量％以上２０重量％以下
である。メタノールとエタノールとの合計量が１３重量
％より小さい場合には、得られる洗浄剤の水脱離効果が
小さいものとなり好ましくない。また、この合計量が２
５重量％より大きい場合には、洗浄前の水脱離効果は頭
打ちとなりそれ以上の向上がみられない外、物品から脱
離した水が洗浄剤中に溶け込む様になり好ましくない。
ロロメタンを主剤とし、さらに前記特定量のメタノール
とエタノールを含む。エタノールはメタノールに比べて
引火性が小さいため、この洗浄剤は不燃性である。しか
も、エタノールはメタノールに比べて水の溶解性が小さ
いにもかかわらず、この洗浄剤は、水脱離効果において
メタノールを単独で用いたものに比べてほとんど低下し
ていない。本発明において、このメタノールとエタノー
ルとの使用量は、まずその合計量が１３重量％以上２５
重量％以下、好ましくは１５重量％以上２０重量％以下
である。メタノールとエタノールとの合計量が１３重量
％より小さい場合には、得られる洗浄剤の水脱離効果が
小さいものとなり好ましくない。また、この合計量が２
５重量％より大きい場合には、洗浄前の水脱離効果は頭
打ちとなりそれ以上の向上がみられない外、物品から脱
離した水が洗浄剤中に溶け込む様になり好ましくない。
【０００９】さらに、本発明の水切り洗浄剤は、上記メ
タノールの使用量が３重量％以上１２重量％未満、好ま
しくは５重量％以上１１重量％以下である。この量が３
重量％より小さい場合、得られる洗浄剤は、水脱離効果
の小さいものとなり、洗浄後の物品の表面に水が残留
し、シミが生じるようになる。メタノールの量が１２重
量％以上の場合、得られる洗浄剤は可燃性となり、安全
性に劣るものとなる。
タノールの使用量が３重量％以上１２重量％未満、好ま
しくは５重量％以上１１重量％以下である。この量が３
重量％より小さい場合、得られる洗浄剤は、水脱離効果
の小さいものとなり、洗浄後の物品の表面に水が残留
し、シミが生じるようになる。メタノールの量が１２重
量％以上の場合、得られる洗浄剤は可燃性となり、安全
性に劣るものとなる。
【００１０】尚、本発明の水切り洗浄剤において、使用
する上記ジクロロメタン、メタノールおよびエタノール
の各溶剤は、それぞれ特に制限されるものではないが、
いずれも精製度の高いものを用いるほど、該溶剤中の不
純物の付着による洗浄物の汚染等が防止でき好適であ
る。
する上記ジクロロメタン、メタノールおよびエタノール
の各溶剤は、それぞれ特に制限されるものではないが、
いずれも精製度の高いものを用いるほど、該溶剤中の不
純物の付着による洗浄物の汚染等が防止でき好適であ
る。
【００１１】本発明の水切り洗浄剤に、水が付着した物
品を浸漬すると、水は、洗浄剤中のメタノールおよびエ
タノールと溶け合い水溶液となり、該物品から脱離す
る。そして、この物品を洗浄剤より取り出し、付着する
溶剤を乾燥させることにより、物品の水切りを良好に行
なうことができる。
品を浸漬すると、水は、洗浄剤中のメタノールおよびエ
タノールと溶け合い水溶液となり、該物品から脱離す
る。そして、この物品を洗浄剤より取り出し、付着する
溶剤を乾燥させることにより、物品の水切りを良好に行
なうことができる。
【００１２】
【発明の効果】前記した通り、ジクロロメタンにメタノ
ールを添加した水切り洗浄剤は、十分な脱離効果を発揮
させるために必要な量のメタノールを添加すると液が可
燃性となる。これに対して、本発明の水切り洗浄剤は、
メタノールの一部をエタノールに置換えているため不燃
性で、しかも、その水脱離効果については、上記メタノ
ールを単独で添加したものと比べてほとんど低下してい
ない。従って、本発明の水切り洗浄剤は、洗浄の際に、
迅速に物品から付着水が脱離し、また、洗浄後の物品に
水が残留してシミが生じたりすることがない外、取り扱
い上においても安全である。さらに、本発明の水切り洗
浄剤によれば、物品の連続洗浄等により洗浄剤中に水が
混入し、その水分量が増加しても、水脱離効果が長期間
維持され、洗浄剤としての寿命が長くなるという効果が
得られる。
ールを添加した水切り洗浄剤は、十分な脱離効果を発揮
させるために必要な量のメタノールを添加すると液が可
燃性となる。これに対して、本発明の水切り洗浄剤は、
メタノールの一部をエタノールに置換えているため不燃
性で、しかも、その水脱離効果については、上記メタノ
ールを単独で添加したものと比べてほとんど低下してい
ない。従って、本発明の水切り洗浄剤は、洗浄の際に、
迅速に物品から付着水が脱離し、また、洗浄後の物品に
水が残留してシミが生じたりすることがない外、取り扱
い上においても安全である。さらに、本発明の水切り洗
浄剤によれば、物品の連続洗浄等により洗浄剤中に水が
混入し、その水分量が増加しても、水脱離効果が長期間
維持され、洗浄剤としての寿命が長くなるという効果が
得られる。
【００１３】従って、このような効果を有する本発明の
水切り洗浄剤は、水が付着した物品、例えばシリコンウ
エハー、液晶用ガラス基板、セラミックス等の電子工業
部品、ベアリング等の精密工業部品、レンズ、石英ガラ
ス等の光学工業部品などを水切り洗浄する場合におい
て、有用な水切り洗浄剤として使用できる。
水切り洗浄剤は、水が付着した物品、例えばシリコンウ
エハー、液晶用ガラス基板、セラミックス等の電子工業
部品、ベアリング等の精密工業部品、レンズ、石英ガラ
ス等の光学工業部品などを水切り洗浄する場合におい
て、有用な水切り洗浄剤として使用できる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を具体的に説明するために実施
例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定
されるものではない。
例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定
されるものではない。
【００１５】実施例１ 電子工業用グレードのジクロロメタン（徳山曹達（株）
製）、エタノール（和光純薬（株）製）、メタノール
（関東化学（株）製）およびイソプロパノール（徳山曹
達（株）製）を用い、表１に示す組成の混合溶剤を調製
した。得られた混合溶剤について、クリーブランド開放
式引火点試験方法（ＪＩＳ Ｋ２２６５）に準じてその
引火性を調べた。
製）、エタノール（和光純薬（株）製）、メタノール
（関東化学（株）製）およびイソプロパノール（徳山曹
達（株）製）を用い、表１に示す組成の混合溶剤を調製
した。得られた混合溶剤について、クリーブランド開放
式引火点試験方法（ＪＩＳ Ｋ２２６５）に準じてその
引火性を調べた。
【００１６】得られた各混合溶剤の１ｌを容器に入れ、
これに超純水中に浸漬処理した４インチサイズのシリコ
ンウエハを沈め、水がウエハ表面から脱離するのに要す
る時間を測定した。
これに超純水中に浸漬処理した４インチサイズのシリコ
ンウエハを沈め、水がウエハ表面から脱離するのに要す
る時間を測定した。
【００１７】また、ウエハより脱離した水の洗浄剤との
分離状態を観察し、良好に水が分離し洗浄剤上面に水層
が形成されるものを○、脱離した水が短時間に洗浄剤中
に溶解するものを×で評価した。
分離状態を観察し、良好に水が分離し洗浄剤上面に水層
が形成されるものを○、脱離した水が短時間に洗浄剤中
に溶解するものを×で評価した。
【００１８】ウエハから水が脱離後、該ウエハを溶剤中
より取り出し、乾燥した。乾燥後、得られた各ウエハ表
面のシミの有無を、超高輝度照明装置（セナー（株）製
モデル３５０／１１）を用いてウエハ表面に光を照射
し、その光の散乱状態により観察した。この場合シミは
白い斑点として認められた。以上の結果を表１に示す。
より取り出し、乾燥した。乾燥後、得られた各ウエハ表
面のシミの有無を、超高輝度照明装置（セナー（株）製
モデル３５０／１１）を用いてウエハ表面に光を照射
し、その光の散乱状態により観察した。この場合シミは
白い斑点として認められた。以上の結果を表１に示す。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【表２】
【００２１】実施例２ ジクロロメタンに対し、メタノール１０重量％およびエ
タノール５重量％が混合された混合溶剤とメタノール１
０重量％およびエタノール１０重量％が混合された混合
溶剤を調製し、それぞれを用いて実施例１におけるシリ
コンウエハからの水脱離時間の測定を、連続して１０回
実施した。また、比較例として、ジクロロメタンに対し
メタノール１０重量％が混合された混合溶剤、およびエ
タノール２０重量％が混合された混合溶剤についても、
同様の操作を実施した。結果を表２に示す。
タノール５重量％が混合された混合溶剤とメタノール１
０重量％およびエタノール１０重量％が混合された混合
溶剤を調製し、それぞれを用いて実施例１におけるシリ
コンウエハからの水脱離時間の測定を、連続して１０回
実施した。また、比較例として、ジクロロメタンに対し
メタノール１０重量％が混合された混合溶剤、およびエ
タノール２０重量％が混合された混合溶剤についても、
同様の操作を実施した。結果を表２に示す。
【００２１】
【表３】
Claims (1)
- 【請求項１】 ジクロロメタン、メタノールおよびエタ
ノールよりなり、メタノールとエタノールとの合計量が
１３重量％以上２５重量％以下で、かつメタノールの量
が３重量％以上１２重量％未満である水切り洗浄剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3095223A JP3053894B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 水切り洗浄剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3095223A JP3053894B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 水切り洗浄剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326902A JPH04326902A (ja) | 1992-11-16 |
| JP3053894B2 true JP3053894B2 (ja) | 2000-06-19 |
Family
ID=14131751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3095223A Expired - Fee Related JP3053894B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 水切り洗浄剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3053894B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6277203B1 (en) | 1998-09-29 | 2001-08-21 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning low K dielectric and metal wafer surfaces |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP3095223A patent/JP3053894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04326902A (ja) | 1992-11-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090407 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110407 Year of fee payment: 11 |
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