JP3050127B2 - 膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定装置Info
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- JP3050127B2 JP3050127B2 JP8166827A JP16682796A JP3050127B2 JP 3050127 B2 JP3050127 B2 JP 3050127B2 JP 8166827 A JP8166827 A JP 8166827A JP 16682796 A JP16682796 A JP 16682796A JP 3050127 B2 JP3050127 B2 JP 3050127B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜の厚さを測定
するための膜厚測定装置に関する。
するための膜厚測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばシリコンウエハ上に形成された薄
膜のような薄膜試料の厚さを測定するための装置の一つ
に、薄膜試料に可視光、紫外光、あるいは近赤外光等の
測定光を照射したときに観察される薄膜試料からの反射
光の干渉を利用した膜厚測定装置がある。
膜のような薄膜試料の厚さを測定するための装置の一つ
に、薄膜試料に可視光、紫外光、あるいは近赤外光等の
測定光を照射したときに観察される薄膜試料からの反射
光の干渉を利用した膜厚測定装置がある。
【０００３】上記膜厚測定装置による膜厚測定の原理に
ついて図３を参照しながら説明する。薄膜状の試料３０
に波長λの測定光Ｌを入射角θで照射すると、測定光Ｌ
の一部は試料３０の上面３１で反射されて反射光Ｌ１と
なる一方、測定光Ｌの別の一部は試料３０内部に屈折角
θ’で入射して試料３０の底面３２により反射され、試
料３０の上面３１から外部へ出て反射光Ｌ２となる。試
料３０を構成する物質の上記測定光に対する屈折率を
ｎ、試料３０の厚さをｄとするとき、反射光Ｌ１の光路
長と反射光Ｌ２の光路長との間には、空気中での光路長
に換算して、 ２ｄ・（ｎ2−ｓｉｎ2θ）1/2 なる光路差が生じる。この光路差が存在するため、上記
反射光Ｌ１及びＬ２の間には測定光Ｌの波長λに応じた
干渉が生じ、その結果反射光の検出強度（例えば反射
率）は波長λの値に応じて変化する。この波長λと反射
光の検出強度との関係を本明細書では「反射光の干渉ス
ペクトル」と呼ぶことにする。図４に反射光の干渉スペ
クトルを表わすグラフの一例を示す。この図において、
反射光の検出強度に対応する縦軸は反射率を示す。ま
た、Ｐｉ（ｉ＝１，２，…）はグラフのピーク（Peak）
を表わし、Ｖｉ（ｉ＝１，２，…）は谷（Valley）を表
わす。いま、２つのピークを選んでそれぞれに対応する
波長をλ1及びλ2とするとき、一般に式 Δｍ＝２ｄ・（１／λ2−１／λ1）・（ｎ2−ｓｉｎ2θ）1/2 …（１） （ただし、λ2＜λ1とする）が成立する。ここで、Δｍ
は、波長λ1のピークを基点として短波長側へピークを
順次数えていったときに波長λ2のピークが何番目に現
われるかを示す数（以下、「ピーク数」とする）であ
り、例えば上記２つのピークとして図４のＰ１及びＰ３
を指定したときにはΔｍ＝２となる。こうしてピーク数
Δｍを定めれば、式（１）を変形して得られる式 ｄ＝ｋ・Δｍ／（１／λ2−１／λ1） …（２） ただし、ｋ＝１／｛２・（ｎ2−ｓｉｎ2θ）1/2｝ により膜厚ｄを求めることができる。なお、２つのピー
クの代わりに２つの谷を用いても同様に膜厚ｄを求める
ことができる。また、ピークと谷を一つずつ指定して膜
厚ｄを求めることもできる。例えば図４のピークＰ１及
び谷Ｖ３を指定した場合はΔｍ＝１．５とし、またＰ１
及びＶ４を指定した場合はΔｍ＝２．５とすれば、式
（２）により膜厚ｄを求めることができる。
ついて図３を参照しながら説明する。薄膜状の試料３０
に波長λの測定光Ｌを入射角θで照射すると、測定光Ｌ
の一部は試料３０の上面３１で反射されて反射光Ｌ１と
なる一方、測定光Ｌの別の一部は試料３０内部に屈折角
θ’で入射して試料３０の底面３２により反射され、試
料３０の上面３１から外部へ出て反射光Ｌ２となる。試
料３０を構成する物質の上記測定光に対する屈折率を
ｎ、試料３０の厚さをｄとするとき、反射光Ｌ１の光路
長と反射光Ｌ２の光路長との間には、空気中での光路長
に換算して、 ２ｄ・（ｎ2−ｓｉｎ2θ）1/2 なる光路差が生じる。この光路差が存在するため、上記
反射光Ｌ１及びＬ２の間には測定光Ｌの波長λに応じた
干渉が生じ、その結果反射光の検出強度（例えば反射
率）は波長λの値に応じて変化する。この波長λと反射
光の検出強度との関係を本明細書では「反射光の干渉ス
ペクトル」と呼ぶことにする。図４に反射光の干渉スペ
クトルを表わすグラフの一例を示す。この図において、
反射光の検出強度に対応する縦軸は反射率を示す。ま
た、Ｐｉ（ｉ＝１，２，…）はグラフのピーク（Peak）
を表わし、Ｖｉ（ｉ＝１，２，…）は谷（Valley）を表
わす。いま、２つのピークを選んでそれぞれに対応する
波長をλ1及びλ2とするとき、一般に式 Δｍ＝２ｄ・（１／λ2−１／λ1）・（ｎ2−ｓｉｎ2θ）1/2 …（１） （ただし、λ2＜λ1とする）が成立する。ここで、Δｍ
は、波長λ1のピークを基点として短波長側へピークを
順次数えていったときに波長λ2のピークが何番目に現
われるかを示す数（以下、「ピーク数」とする）であ
り、例えば上記２つのピークとして図４のＰ１及びＰ３
を指定したときにはΔｍ＝２となる。こうしてピーク数
Δｍを定めれば、式（１）を変形して得られる式 ｄ＝ｋ・Δｍ／（１／λ2−１／λ1） …（２） ただし、ｋ＝１／｛２・（ｎ2−ｓｉｎ2θ）1/2｝ により膜厚ｄを求めることができる。なお、２つのピー
クの代わりに２つの谷を用いても同様に膜厚ｄを求める
ことができる。また、ピークと谷を一つずつ指定して膜
厚ｄを求めることもできる。例えば図４のピークＰ１及
び谷Ｖ３を指定した場合はΔｍ＝１．５とし、またＰ１
及びＶ４を指定した場合はΔｍ＝２．５とすれば、式
（２）により膜厚ｄを求めることができる。
【０００４】上記原理に基づいて更に高い精度で膜厚ｄ
を求める方法について図５を参照しながら説明する。ま
ず、膜厚ｄを求めるための基礎データとする波長範囲
（計算範囲）を設定する。例えば図４では、最大波長λ
ｓから最小波長λｅまでの区間を計算範囲としている。
次に、計算範囲に含まれるピーク又は谷のうち最も長波
長側に位置するもの（図４では谷Ｖ１）をピーク数算定
の基準として、計算範囲中の各々のピーク又は谷のピー
ク数Δｍ及び波長λの関係を、横軸にピーク数Δｍをと
り縦軸に波長の逆数１／λをとった座標上の点で示す
と、全ての点は理論上は図５のような直線上に位置す
る。ただし、実際上はプロットされた点は完全に一直線
上には乗らないため、最小自乗法により直線近似を行な
う。こうして得られた直線の傾きの逆数を求めてその値
を式（２）の右辺の Δｍ／（１／λ2−１／λ1） の代わりに用いることにより、より高い精度で膜厚ｄを
求めることができる。なお、以上の議論は、上記計算範
囲内のいずれの波長においても試料３０の屈折率ｎが一
定であることを前提としている。
を求める方法について図５を参照しながら説明する。ま
ず、膜厚ｄを求めるための基礎データとする波長範囲
（計算範囲）を設定する。例えば図４では、最大波長λ
ｓから最小波長λｅまでの区間を計算範囲としている。
次に、計算範囲に含まれるピーク又は谷のうち最も長波
長側に位置するもの（図４では谷Ｖ１）をピーク数算定
の基準として、計算範囲中の各々のピーク又は谷のピー
ク数Δｍ及び波長λの関係を、横軸にピーク数Δｍをと
り縦軸に波長の逆数１／λをとった座標上の点で示す
と、全ての点は理論上は図５のような直線上に位置す
る。ただし、実際上はプロットされた点は完全に一直線
上には乗らないため、最小自乗法により直線近似を行な
う。こうして得られた直線の傾きの逆数を求めてその値
を式（２）の右辺の Δｍ／（１／λ2−１／λ1） の代わりに用いることにより、より高い精度で膜厚ｄを
求めることができる。なお、以上の議論は、上記計算範
囲内のいずれの波長においても試料３０の屈折率ｎが一
定であることを前提としている。
【０００５】上記方法により膜厚を測定する手順につい
て図６のフローチャートを参照しながら説明する。まず
計算範囲を設定して膜厚測定を開始したら、試料に照射
する測定光の波長を変化させながら反射率を測定する
（ステップＳ１２）。反射率の測定が終了したら、予め
設定された計算範囲に含まれるデータを用いて上記方法
により膜厚を求める（ステップＳ１４）。ここで、より
高い精度で膜厚を求めるためには、計算範囲内に反射率
のグラフのできるだけ理論的な波形に近い波形（以下、
「整った波形」とする）を有する部分が主として含まれ
るように、該計算範囲を設定することが望ましい。従っ
て、予め設定しておいた計算範囲に含まれるグラフが整
った波形を有しておらず、そのため再計算が必要である
と判定された場合（ステップＳ１６）は、計算範囲を再
設定し（ステップＳ１８）、その計算範囲内にグラフの
整った波形を有する部分が主として含まれるようにして
から膜厚を再計算する。
て図６のフローチャートを参照しながら説明する。まず
計算範囲を設定して膜厚測定を開始したら、試料に照射
する測定光の波長を変化させながら反射率を測定する
（ステップＳ１２）。反射率の測定が終了したら、予め
設定された計算範囲に含まれるデータを用いて上記方法
により膜厚を求める（ステップＳ１４）。ここで、より
高い精度で膜厚を求めるためには、計算範囲内に反射率
のグラフのできるだけ理論的な波形に近い波形（以下、
「整った波形」とする）を有する部分が主として含まれ
るように、該計算範囲を設定することが望ましい。従っ
て、予め設定しておいた計算範囲に含まれるグラフが整
った波形を有しておらず、そのため再計算が必要である
と判定された場合（ステップＳ１６）は、計算範囲を再
設定し（ステップＳ１８）、その計算範囲内にグラフの
整った波形を有する部分が主として含まれるようにして
から膜厚を再計算する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように膜厚を求
める計算作業は今日ではコンピュータにより行なうのが
一般的である。従って、再計算を行なうために計算範囲
を再設定する作業は、実際上は、コンピュータに計算範
囲の最大波長と最小波長を入力する作業ということにな
るが、このために従来は使用者がキーボードを用いて最
大波長及び最小波長の値を直接入力していた。この方法
は、特に再計算を繰り返して行なうような場合には非常
に効率が悪く、面倒なものとなる。
める計算作業は今日ではコンピュータにより行なうのが
一般的である。従って、再計算を行なうために計算範囲
を再設定する作業は、実際上は、コンピュータに計算範
囲の最大波長と最小波長を入力する作業ということにな
るが、このために従来は使用者がキーボードを用いて最
大波長及び最小波長の値を直接入力していた。この方法
は、特に再計算を繰り返して行なうような場合には非常
に効率が悪く、面倒なものとなる。
【０００７】また、ある波形が整っているかどうかは、
画面上に表示された該波形を使用者が実際に目視して判
定する。ところが、計算範囲を設定するために波長値を
キーボードで入力する従来の方法では、画面上に表示さ
れたグラフの波形の整った部分に計算範囲を正確に対応
させるために、波長値を何度も入力し直す必要が生じる
場合があり、分析の効率が損なわれていた。
画面上に表示された該波形を使用者が実際に目視して判
定する。ところが、計算範囲を設定するために波長値を
キーボードで入力する従来の方法では、画面上に表示さ
れたグラフの波形の整った部分に計算範囲を正確に対応
させるために、波長値を何度も入力し直す必要が生じる
場合があり、分析の効率が損なわれていた。
【０００８】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、膜厚を
再計算するために計算範囲を再設定することが従来より
も容易に行なえるような膜厚測定装置を提供することに
ある。
成されたものであり、その目的とするところは、膜厚を
再計算するために計算範囲を再設定することが従来より
も容易に行なえるような膜厚測定装置を提供することに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係る膜厚測定装置は、薄膜試料に照
射する測定光の波長を変化させながら該薄膜試料からの
反射光の強度を測定して該反射光の干渉スペクトルを生
成し、この干渉スペクトルに基づいて膜厚を算出する膜
厚測定装置であって、 a)画像表示手段と、 b)反射光の干渉スペクトルを表わすグラフの画像データ
を生成して該画像データを上記画像表示手段へ出力する
グラフ生成手段と、 c)上記反射光の干渉スペクトルのデータのうち膜厚を計
算するための基礎とされるデータの波長範囲を設定又は
変更するための計算範囲設定手段と、 d)上記計算範囲設定手段により設定又は変更された波長
範囲を示す画像の画像データを生成して上記グラフの画
像データに重畳する計算範囲表示手段と、を備えること
を特徴としている。
に成された本発明に係る膜厚測定装置は、薄膜試料に照
射する測定光の波長を変化させながら該薄膜試料からの
反射光の強度を測定して該反射光の干渉スペクトルを生
成し、この干渉スペクトルに基づいて膜厚を算出する膜
厚測定装置であって、 a)画像表示手段と、 b)反射光の干渉スペクトルを表わすグラフの画像データ
を生成して該画像データを上記画像表示手段へ出力する
グラフ生成手段と、 c)上記反射光の干渉スペクトルのデータのうち膜厚を計
算するための基礎とされるデータの波長範囲を設定又は
変更するための計算範囲設定手段と、 d)上記計算範囲設定手段により設定又は変更された波長
範囲を示す画像の画像データを生成して上記グラフの画
像データに重畳する計算範囲表示手段と、を備えること
を特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に係る膜厚測定装置におい
ては、まず薄膜試料に可視光、紫外光、あるいは近赤外
光等の測定光を照射し、その測定光の波長を所定範囲で
変化させながら、上記薄膜試料からの反射光の強度を測
定する。この行程が終了すると、グラフ生成手段が、上
記測定により得られた反射光の干渉スペクトルを表わす
グラフの画像データを生成し、その画像データを画像表
示手段へ出力する。これにより、反射光の干渉スペクト
ルを表わすグラフが画像表示手段の画面上に表示され
る。一方、計算範囲表示手段は、反射光の干渉スペクト
ルのデータのうち膜厚を計算するための基礎となるデー
タの波長範囲（計算範囲）を示す画像（以下、「計算範
囲像」とする）の画像データを生成して、上記グラフの
画像データにこれを重畳する。この結果、画像表示手段
上では上記グラフに上記計算範囲像が重畳して表示され
る。これらの画像を目視により確認し、計算範囲像内の
グラフが整った波形を有していないと判定した使用者
が、計算範囲設定手段により新たな計算範囲を設定する
と、これに応じて計算範囲表示手段は新たな計算範囲に
対応する計算範囲像の画像データを生成して上記グラフ
の画像データに重畳する。
ては、まず薄膜試料に可視光、紫外光、あるいは近赤外
光等の測定光を照射し、その測定光の波長を所定範囲で
変化させながら、上記薄膜試料からの反射光の強度を測
定する。この行程が終了すると、グラフ生成手段が、上
記測定により得られた反射光の干渉スペクトルを表わす
グラフの画像データを生成し、その画像データを画像表
示手段へ出力する。これにより、反射光の干渉スペクト
ルを表わすグラフが画像表示手段の画面上に表示され
る。一方、計算範囲表示手段は、反射光の干渉スペクト
ルのデータのうち膜厚を計算するための基礎となるデー
タの波長範囲（計算範囲）を示す画像（以下、「計算範
囲像」とする）の画像データを生成して、上記グラフの
画像データにこれを重畳する。この結果、画像表示手段
上では上記グラフに上記計算範囲像が重畳して表示され
る。これらの画像を目視により確認し、計算範囲像内の
グラフが整った波形を有していないと判定した使用者
が、計算範囲設定手段により新たな計算範囲を設定する
と、これに応じて計算範囲表示手段は新たな計算範囲に
対応する計算範囲像の画像データを生成して上記グラフ
の画像データに重畳する。
【００１１】上記画像表示手段としてはＣＲＴや液晶デ
ィスプレイ等を利用することができ、上記計算範囲設定
手段としてはコンピュータの入力手段として通常に利用
されるマウス等を利用することができる。また上記グラ
フ生成手段及び計算範囲表示手段はコンピュータのＣＰ
Ｕ上で動作するプログラムにより構成することができ
る。このようにすると、本発明を従来より使用されてい
る膜厚測定装置にも容易に応用することが可能となるた
め好ましい。
ィスプレイ等を利用することができ、上記計算範囲設定
手段としてはコンピュータの入力手段として通常に利用
されるマウス等を利用することができる。また上記グラ
フ生成手段及び計算範囲表示手段はコンピュータのＣＰ
Ｕ上で動作するプログラムにより構成することができ
る。このようにすると、本発明を従来より使用されてい
る膜厚測定装置にも容易に応用することが可能となるた
め好ましい。
【００１２】
【発明の効果】本発明に係る膜厚測定装置によれば、膜
厚を計算する際に必要となるデータの波長範囲を示す計
算範囲像が画面上で反射光の干渉スペクトルを表わすグ
ラフに重畳して表示されるため、使用者は目視により容
易に計算範囲内のグラフの波形を観察し、該波形を判定
することができる。また、計算範囲設定手段を操作して
再計算のための新たな計算範囲を設定するに際しては、
画像表示手段に表示された計算範囲像を目視により確認
しながら計算範囲を設定することができるため、グラフ
の整った波形を有する部分を適切に含むような計算範囲
を容易に設定することができる。
厚を計算する際に必要となるデータの波長範囲を示す計
算範囲像が画面上で反射光の干渉スペクトルを表わすグ
ラフに重畳して表示されるため、使用者は目視により容
易に計算範囲内のグラフの波形を観察し、該波形を判定
することができる。また、計算範囲設定手段を操作して
再計算のための新たな計算範囲を設定するに際しては、
画像表示手段に表示された計算範囲像を目視により確認
しながら計算範囲を設定することができるため、グラフ
の整った波形を有する部分を適切に含むような計算範囲
を容易に設定することができる。
【００１３】
【実施例】本発明に係る膜厚測定装置の一実施例を図１
及び図２を参照しながら説明する。
及び図２を参照しながら説明する。
【００１４】まず、図１を参照しながら本実施例の膜厚
測定装置の構成について説明する。本実施例の膜厚測定
装置は、分光光度計１０、パーソナル・コンピュータ等
からなるデータ処理装置１５、ＣＲＴ等からなる表示装
置１４、マウス１６、及びキーボード１７からなる。表
示装置１４、マウス１６、及びキーボード１７はデータ
処理装置１５に接続されている。上記分光光度計１０
は、薄膜試料に測定光を照射し、薄膜試料からの反射光
の強度（反射率）を測定するための測定部１１と、測定
部１１の動作を制御するとともに測定部１１からの検出
信号を受けてこれをデジタルデータに変換する測定制御
部１２からなる。測定制御部１２はデータ処理装置１５
に接続されている。
測定装置の構成について説明する。本実施例の膜厚測定
装置は、分光光度計１０、パーソナル・コンピュータ等
からなるデータ処理装置１５、ＣＲＴ等からなる表示装
置１４、マウス１６、及びキーボード１７からなる。表
示装置１４、マウス１６、及びキーボード１７はデータ
処理装置１５に接続されている。上記分光光度計１０
は、薄膜試料に測定光を照射し、薄膜試料からの反射光
の強度（反射率）を測定するための測定部１１と、測定
部１１の動作を制御するとともに測定部１１からの検出
信号を受けてこれをデジタルデータに変換する測定制御
部１２からなる。測定制御部１２はデータ処理装置１５
に接続されている。
【００１５】上記膜厚測定装置の動作について述べる。
まず、試料の測定時において、測定部１１からの検出信
号は測定制御部１２により反射率を示すデータに変換さ
れてデータ処理装置１５へ入力される。データ処理装置
１５は入力されたデータを順次メモリに格納する。次
に、膜厚測定時においては、データ処理装置１５はメモ
リに格納されたデータを読み出して、そのデータ（反射
光の干渉スペクトル）を表わすグラフを表示するための
画像データを生成し、その画像データを表示装置１４に
出力する。これにより、表示装置の画面上には波長と反
射率との関係を表わすグラフが表示される。
まず、試料の測定時において、測定部１１からの検出信
号は測定制御部１２により反射率を示すデータに変換さ
れてデータ処理装置１５へ入力される。データ処理装置
１５は入力されたデータを順次メモリに格納する。次
に、膜厚測定時においては、データ処理装置１５はメモ
リに格納されたデータを読み出して、そのデータ（反射
光の干渉スペクトル）を表わすグラフを表示するための
画像データを生成し、その画像データを表示装置１４に
出力する。これにより、表示装置の画面上には波長と反
射率との関係を表わすグラフが表示される。
【００１６】図２は表示装置１４の画面を示す図であ
る。この図において、符号２０は反射光の干渉スペクト
ルを表わすグラフを、また符号２２はマウスカーソルを
示す。範囲設定バー２４ｓ及び２４ｅは、膜厚を計算す
るための基礎となるデータの波長範囲（計算範囲）を示
すものであり、図２では範囲設定バー２４ｓの位置が計
算範囲の最大波長に、また範囲設定バー２４ｅの位置が
計算範囲の最小波長に、それぞれ対応している。範囲設
定バー２４ｓ及び２４ｅにより示された波長の値は画面
左下の「計算範囲」の欄２８に表示されている。なお、
このような画面を構成するに際しては、例えばＭＳ−Ｗ
ｉｎｄｏｗｓ（米国マイクロソフト社の登録商標）等の
コンピュータ・ソフトウェアが好適に利用できる。
る。この図において、符号２０は反射光の干渉スペクト
ルを表わすグラフを、また符号２２はマウスカーソルを
示す。範囲設定バー２４ｓ及び２４ｅは、膜厚を計算す
るための基礎となるデータの波長範囲（計算範囲）を示
すものであり、図２では範囲設定バー２４ｓの位置が計
算範囲の最大波長に、また範囲設定バー２４ｅの位置が
計算範囲の最小波長に、それぞれ対応している。範囲設
定バー２４ｓ及び２４ｅにより示された波長の値は画面
左下の「計算範囲」の欄２８に表示されている。なお、
このような画面を構成するに際しては、例えばＭＳ−Ｗ
ｉｎｄｏｗｓ（米国マイクロソフト社の登録商標）等の
コンピュータ・ソフトウェアが好適に利用できる。
【００１７】反射率の測定が終了した後、最初にグラフ
２０が表示された時点では、範囲設定バー２４ｓ及び２
４ｅは、予め設定された計算範囲（デフォルト計算範
囲）を示すような位置に表示されている。そしてデータ
処理装置１５は、まずこのデフォルト計算範囲に含まれ
るデータを用いて膜厚を計算し、その値を表示装置１４
の画面上の所定位置（図２では符号２６の位置）に表示
する。もし上記計算範囲に含まれるグラフ２０が整った
波形を有していない場合、使用者はマウス１６を操作し
てマウスカーソル２２により範囲設定バー２４ｓ又は２
４ｅを把持し（図２の符号２２ｓ又は２２ｅ）、範囲設
定バー２４ｓ又は２４ｅの位置を変更して、計算範囲内
にグラフ２０の整った波形を有する部分が含まれるよう
にする。こうして計算範囲を再設定した後に、マウスカ
ーソル２２を「再計算」の欄３０内へ移動させてマウス
１６のボタンをクリックし、データ処理装置１５に再計
算を指示すると、データ処理装置１５は画面上の範囲設
定バー２４ｓ及び２４ｅが示す計算範囲に含まれるデー
タをメモリから読み出し、これを用いて膜厚を再計算
し、計算結果を表示装置１４に表示する。
２０が表示された時点では、範囲設定バー２４ｓ及び２
４ｅは、予め設定された計算範囲（デフォルト計算範
囲）を示すような位置に表示されている。そしてデータ
処理装置１５は、まずこのデフォルト計算範囲に含まれ
るデータを用いて膜厚を計算し、その値を表示装置１４
の画面上の所定位置（図２では符号２６の位置）に表示
する。もし上記計算範囲に含まれるグラフ２０が整った
波形を有していない場合、使用者はマウス１６を操作し
てマウスカーソル２２により範囲設定バー２４ｓ又は２
４ｅを把持し（図２の符号２２ｓ又は２２ｅ）、範囲設
定バー２４ｓ又は２４ｅの位置を変更して、計算範囲内
にグラフ２０の整った波形を有する部分が含まれるよう
にする。こうして計算範囲を再設定した後に、マウスカ
ーソル２２を「再計算」の欄３０内へ移動させてマウス
１６のボタンをクリックし、データ処理装置１５に再計
算を指示すると、データ処理装置１５は画面上の範囲設
定バー２４ｓ及び２４ｅが示す計算範囲に含まれるデー
タをメモリから読み出し、これを用いて膜厚を再計算
し、計算結果を表示装置１４に表示する。
【００１８】なお、上記においては入力装置としてマウ
ス１６を使用したが、キーボード１７からの数値入力に
よっても範囲設定バー２４ｓ及び２４ｅの位置を変更で
きるような構成とすることももちろん可能である。
ス１６を使用したが、キーボード１７からの数値入力に
よっても範囲設定バー２４ｓ及び２４ｅの位置を変更で
きるような構成とすることももちろん可能である。
【図１】 本発明に係る膜厚測定装置の一実施例の構成
図。
図。
【図２】 表示装置の画面を示す図。
【図３】 膜厚測定の原理を説明するための図。
【図４】 反射光の干渉スペクトルを表わすグラフの一
例を示す図。
例を示す図。
【図５】 ピーク数と波長の逆数との関係を示す図。
【図６】 膜厚測定の手順を示すフローチャート。
１０…分光光度計 １１…測定部 １２…測定制御部 １４…表示装置 １５…データ処理装置 １６…マウス １７…キーボード ２０…グラフ ２２…マウスカーソル ２４ｓ、２４ｅ…範囲設定バー
Claims (1)
- 【請求項１】 薄膜試料に照射する測定光の波長を変化
させながら該薄膜試料からの反射光の強度を測定して該
反射光の干渉スペクトルを生成し、この干渉スペクトル
に基づいて膜厚を算出する膜厚測定装置であって、 a)画像表示手段と、 b)反射光の干渉スペクトルを表わすグラフの画像データ
を生成して該画像データを上記画像表示手段へ出力する
グラフ生成手段と、 c)上記反射光の干渉スペクトルのデータのうち膜厚を計
算するための基礎とされるデータの波長範囲を設定又は
変更するための計算範囲設定手段と、 d)上記計算範囲設定手段により設定又は変更された波長
範囲を示す画像の画像データを生成して上記グラフの画
像データに重畳する計算範囲表示手段と、を備えること
を特徴とする膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8166827A JP3050127B2 (ja) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | 膜厚測定装置 |
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| JPH09325015A JPH09325015A (ja) | 1997-12-16 |
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Cited By (1)
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1996
- 1996-06-05 JP JP8166827A patent/JP3050127B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN101024550B (zh) * | 2006-02-23 | 2011-04-13 | 东海橡胶工业株式会社 | 玻璃模制模具 |
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