JP3048961U

JP3048961U - 高耐圧防塵シール

Info

Publication number: JP3048961U
Application number: JP1997010158U
Authority: JP
Inventors: 好夫山口; 秀雄橋野
Original assignee: Ferrotec Corp
Current assignee: Ferrotec Material Technologies Corp
Priority date: 1997-11-17
Filing date: 1997-11-17
Publication date: 1998-05-29
Anticipated expiration: 2003-11-17

Abstract

(57)【要約】【課題】ハウジングに取り付ける際の位置決めを
正確にでき、しかも容易に着脱できる装置を提供する。【解決手段】回転シャフト(1) を周壁(7) を有する第
１磁極片(4) で取り囲み、両者を一定間隔を置いて配置
し、該第１磁極片(4) にボタン型永久磁石(2) を介在さ
せて第２磁極片(3) を配置し、回転シャフト(1) と第１
磁極片(3) 、ボタン型永久磁石(2) および第２磁極片
(4) との間に磁性流体(5) をシールしてなるもの。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、減圧も含む真空プロセスで使用されるロボットや回転導入装置の高耐圧防塵シールに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の磁性流体シールでは、図５に示すものが知られている。すなわち、シャフト１の周囲をポールピース３、４および環状マグネット２をもって取り囲んで、これをハウジング６に取り付け、ポールピースおよび環状マグネットの内端とシャフトとの間で磁性流体５をシールする構成が採られている。しかし、かかる構成では、位置決め精度がポールピース３、４と環状マグネット２の３部品と接着剤との組み合わせできまるため、バラツキが大きい。又、これをハウジング６に取り付けるときには永久磁石が外側にむき出しとなるため、取り付けに難が生じる。又、磁性流体の保持される場所は注入側に限定される。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

部品に多少のバラツキがあってもハウジングに取り付ける際の位置決めは正確にでき、永久磁石を取り付けの際にむき出しとすることなく実施でき、さらには磁性流体の注入方向を選ばないシール構造を提供する。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は回転シャフトを周壁を有する環状の第１磁極片で取り囲み、該第１磁極片の周壁内で回転シャフトと一定間隔を置いてボタン型永久磁石を介在させて第２磁極片を配置し、回転シャフトと第１磁極片、ボタン型永久磁石および第２磁極片との間に磁性流体をシールしてなることを特徴とする高耐圧防塵シールである。

【０００５】そして又、上記において、第２磁極片の厚さ（ｔ₂）と第１磁極片の厚さ（ｔ₁ ）とはｔ₁＜ｔ₂の関係にあり、かつ、第１磁極片と回転シャフトとの間隔（ｇ₁ ）、第２磁極片と回転シャフトとの間隔（ｇ₂）および第２磁極片と第１磁極片の周壁との間隔（ｇ₃）はｇ₁＜ｇ₂＜＜ｇ₃の関係にあり、かつｇ₃はｇ₁の７倍以上である高耐圧防塵シールである。

【０００６】ｔ₁とｔ₂との関係、ｇ₁、ｇ₂、ｇ₃の関係を上記のように限定することによって、ｇ₃を通る漏洩磁束量が、永久磁石（２）→第２磁極片（３）→ｇ₂→回転シャフト（１）→ｇ₁→第１磁極片（４）を通る主磁束に実用上影響を与えることがなく、さらに、ｇ₁を通る磁束密度が最大となる。

【０００７】本考案はこのような構成により、第１磁極片がボタン型永久磁石を包むように周壁を有しているため、第１磁極片のみで主磁気回路を形成し、第２磁極片は磁束の帰還のみを受け持たせることによって、厚み精度のバラツキが大きいボタン型磁石を使用可能とした。すなわち、残留磁気密度の高い希土類磁石はボタン型であれば標準サイズが安価に使用できるが、多数のボタン磁石を並べると厚さのバラツキ（±０．２ｍｍ）のため選別が必要となるが、本考案では磁石の寸法バラツキがシール性能に影響しないので、強力な磁石を使用することができ、高耐圧シールが容易に実現できる。又、注入方向を選ばないので活性ガスシールが容易となる。

【０００８】

【考案の実施の形態】

本考案の実施例を図面に基づいて説明する。なお、従来例と同一名称部分は同一符号をもって表示する。

【０００９】図１は、実施の一例の断面図で、１は回転シャフトで、その周囲のハウジング６にシール装置が取り付けられている。シール装置は、回転シャフト１を環状の第１磁極片４で取り囲み、該第１磁極片の外周には垂直方向の周壁７が形成されている。第１磁極片４の上面には図２に示すように円周上にボタン型永久磁石２が配置してある。そして、ボタン型永久磁石２の上面には環状の第２磁極片３を配置してある。第２磁極片３の厚さ（ｔ₂）と第１磁極片４の厚さ（ｔ₁）とはｔ ₁ ＜ｔ₂の関係にある。このことによって、ｔ₂とシャフトによって占められる断面積は、ｔ₁とシャフトによって、得られる断面積よりも大きくなる。又、第１磁極片４の内周縁と回転シャフト１との間隔（ｇ₁）と第２磁極片３の内周と回転シャフトとの間隔（ｇ₂）および第１磁極片４の周壁７内端と第２磁極片３と外周との間隔（ｇ₃）とはｇ₁＜ｇ₂＜＜ｇ₃の関係であり、かつｇ₃はｇ₁の７倍以上である。５は回転シャフト１とシール装置との間に配した磁性流体である。

【００１０】図３は変形例で、第１磁極片４の周壁７に突起８を設け、ハウジング６の上記突起８に対応する位置に凹部９を設け、両者を嵌合することによって、シール装置をハウジングに固定する。

【００１１】図４は他の変形例で、第１磁極片４の底面に接するハウジング６の一部に凹所１０を設け、該凹所にＯリング１１を嵌入し、又、第１磁極片４の周壁７の上端には、ハウジング６から抑え片１２を突出させて周壁７上端を抑え、ボルト１３をもって該抑え片１２をハウジング６に固定したものである。

【００１２】

【考案の効果】

本考案によれば、シールの位置決め精度が向上し、しかも強力な希土類マグネットでありながら、標準のボタン型永久磁石を使用することが可能で安価で種々のサイズのシールの作製に容易に対応できる。又、装置のメンテナンス時にはシールを繰り返し着脱できるし、取り付けの方法や方向が自由に設定でき、脱ガス対策が容易にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の断面図である。

【図２】ボタン型永久磁石の配置の説明図である。

【図３】本考案のシール装置の固定の例を示す断面図で
ある。

【図４】本考案のシール装置の固定の他の例を示す断面
図である。

【図５】従来例のシール装置の断面図である。

【符号の説明】

１回転シャフト２ボタン型永久磁石３第２磁極片４第１磁極片５磁性流体６ハウジング７周壁８突起９凹部１０凹所１１Ｏリング

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】回転シャフトを周壁を有する環状の第１
磁極片で取り囲み、該第１磁極片の周壁内で回転シャフ
トと一定間隔を置いて複数のボタン型永久磁石を介在さ
せて第２磁極片を配置し、回転シャフトと第１磁極片、
ボタン型永久磁石および第２磁極片との間に磁性流体を
シールしてなることを特徴とする高耐圧防塵シール。
【請求項２】第２磁極片の厚さ（ｔ₂）と第１磁極片
の厚さ（ｔ₁）とはｔ₁＜ｔ₂の関係にあり、かつ、第１
磁極片と回転シャフトとの間隔（ｇ₁）、第２磁極片と
回転シャフトとの間隔（ｇ₂）および第２磁極片と第１
磁極片の周壁との間隔（ｇ₃）はｇ₁＜ｇ₂＜＜ｇ₃の関係
にあり、かつｇ₃はｇ₁の７倍以上である請求項１記載の
高耐圧防塵シール。