JP3042228B2 - フォトレジスト現像装置 - Google Patents
フォトレジスト現像装置Info
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- JP3042228B2 JP3042228B2 JP33918192A JP33918192A JP3042228B2 JP 3042228 B2 JP3042228 B2 JP 3042228B2 JP 33918192 A JP33918192 A JP 33918192A JP 33918192 A JP33918192 A JP 33918192A JP 3042228 B2 JP3042228 B2 JP 3042228B2
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- Japan
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- phase
- modulation signal
- signal
- laser light
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- Expired - Lifetime
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光ディスクの
現像工程に使用して好適なフォトレジスト現像装置に関
するものである。
現像工程に使用して好適なフォトレジスト現像装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ディスクの原版を作成する過程
で、ガラス板に塗布されたフォトレジスト膜をカッティ
ングマシンにより露光した後に、この露光した部分を現
像液により除去するときの現像の状態をモニターするも
のとして、図５に示すような光ディスクの現像モニター
装置があった。
で、ガラス板に塗布されたフォトレジスト膜をカッティ
ングマシンにより露光した後に、この露光した部分を現
像液により除去するときの現像の状態をモニターするも
のとして、図５に示すような光ディスクの現像モニター
装置があった。
【０００３】この装置では、まず、レーザー光源２０よ
りレーザー光を現像中の光ディスク２１に照射し、フォ
トレジスト膜の感光した部分は、不図示の現像液により
溶解除去され、渦巻状に点在する穴部からなるいわゆる
ピットを形成する。
りレーザー光を現像中の光ディスク２１に照射し、フォ
トレジスト膜の感光した部分は、不図示の現像液により
溶解除去され、渦巻状に点在する穴部からなるいわゆる
ピットを形成する。
【０００４】図６に示すように、このピットにより、回
折光が発生するが、標準光と回折光とを各々受光素子２
２、２３で受光してその出力電流を電流電圧変換器２
４、２５により電圧に変換し、アナログ除算器２６によ
りこの２つの信号の比を求め、この除算器２６の出力を
Ａ／Ｄ変換器２７によりディジタル信号に変換してい
た。
折光が発生するが、標準光と回折光とを各々受光素子２
２、２３で受光してその出力電流を電流電圧変換器２
４、２５により電圧に変換し、アナログ除算器２６によ
りこの２つの信号の比を求め、この除算器２６の出力を
Ａ／Ｄ変換器２７によりディジタル信号に変換してい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の装置で
は、アナログ除算器２６の出力まではアナログのＤＣ電
圧であるためノイズに弱く、アナログ除算器２６及びＡ
／Ｄ変換器２７にはＤＣオフセットによる誤差を避ける
ために厳密なＤＣ調整が必要になる。また、透過率等の
ばらつきによるレベルの変化を吸収して充分な精度を得
るため、及び現像条件を任意に設定するために高精度で
高価なアナログ除算器２６及びＡ／Ｄ変換器２７が必要
になるという不都合があった。
は、アナログ除算器２６の出力まではアナログのＤＣ電
圧であるためノイズに弱く、アナログ除算器２６及びＡ
／Ｄ変換器２７にはＤＣオフセットによる誤差を避ける
ために厳密なＤＣ調整が必要になる。また、透過率等の
ばらつきによるレベルの変化を吸収して充分な精度を得
るため、及び現像条件を任意に設定するために高精度で
高価なアナログ除算器２６及びＡ／Ｄ変換器２７が必要
になるという不都合があった。
【０００６】本発明は、これらの課題を解決するために
なされたもので、高精度で、ノイズに強く、ＤＣオフセ
ットによる影響を受けず、安価な素子を用いても構成で
きるフォトレジスト現像装置を提供することを目的とす
る。
なされたもので、高精度で、ノイズに強く、ＤＣオフセ
ットによる影響を受けず、安価な素子を用いても構成で
きるフォトレジスト現像装置を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のフォトレジスト
現像装置は例えば図１に示す如く、レーザー光をフォト
レジスト膜に照射するレーザー光源４と、レーザー光源
４に所定周波数で強度変調をかける強度変調手段１、
２、３と、フォトレジスト膜に照射されたレーザー光の
うち透過光と回折光とより位相変調信号Ｖを作成する位
相変調信号作成手段６、７、８、９、１０、１１と、強
度変調手段１、２、３による強度変調信号Ｖm と位相変
調信号Ｖとを用いて、位相変調信号Ｖの位相変化量を計
測する位相変化量計測手段１３、１４、１５、１６、１
７、１８とからなるものである。
現像装置は例えば図１に示す如く、レーザー光をフォト
レジスト膜に照射するレーザー光源４と、レーザー光源
４に所定周波数で強度変調をかける強度変調手段１、
２、３と、フォトレジスト膜に照射されたレーザー光の
うち透過光と回折光とより位相変調信号Ｖを作成する位
相変調信号作成手段６、７、８、９、１０、１１と、強
度変調手段１、２、３による強度変調信号Ｖm と位相変
調信号Ｖとを用いて、位相変調信号Ｖの位相変化量を計
測する位相変化量計測手段１３、１４、１５、１６、１
７、１８とからなるものである。
【０００８】また、本発明のフォトレジスト現像装置は
例えば図１に示す如く、レーザー光をフォトレジスト膜
に照射するレーザー光源４と、レーザー光源４に所定周
波数で強度変調をかける強度変調手段１、２、３と、フ
ォトレジスト膜に照射されたレーザー光のうち透過光と
回折光とより位相変調信号Ｖを作成する位相変調信号作
成手段６、７、８、９、１０、１１と、強度変調手段
１、２、３による強度変調信号Ｖm と位相変調信号Ｖと
を用いて、位相変調信号Ｖの位相変化量を計測する位相
変化量計測手段１３、１４、１５、１６、１７、１８
と、位相変化量計測手段１３、１４、１５、１６、１
７、１８の出力が所定数になったときに現像を停止する
停止手段とからなるものである。
例えば図１に示す如く、レーザー光をフォトレジスト膜
に照射するレーザー光源４と、レーザー光源４に所定周
波数で強度変調をかける強度変調手段１、２、３と、フ
ォトレジスト膜に照射されたレーザー光のうち透過光と
回折光とより位相変調信号Ｖを作成する位相変調信号作
成手段６、７、８、９、１０、１１と、強度変調手段
１、２、３による強度変調信号Ｖm と位相変調信号Ｖと
を用いて、位相変調信号Ｖの位相変化量を計測する位相
変化量計測手段１３、１４、１５、１６、１７、１８
と、位相変化量計測手段１３、１４、１５、１６、１
７、１８の出力が所定数になったときに現像を停止する
停止手段とからなるものである。
【０００９】
【作用】上述せる本発明によれば、レーザー光源４に所
定周波数で強度変調をかけるので、ＡＣ信号として扱え
るため、ＤＣオフセットの影響を受けることがなくな
る。また、透過光と回折光とより位相変調信号Ｖを作成
するので、ノイズに強くなる。さらに、位相変調信号Ｖ
の位相変化量を計測するので、微小変化量を精度良くデ
ィジタル量として検出する。
定周波数で強度変調をかけるので、ＡＣ信号として扱え
るため、ＤＣオフセットの影響を受けることがなくな
る。また、透過光と回折光とより位相変調信号Ｖを作成
するので、ノイズに強くなる。さらに、位相変調信号Ｖ
の位相変化量を計測するので、微小変化量を精度良くデ
ィジタル量として検出する。
【００１０】また、本発明によれば、位相変化量計測手
段１３、１４、１５、１６、１７、１８の出力が所定数
になったときに現像を停止するので、任意の条件で現像
される。
段１３、１４、１５、１６、１７、１８の出力が所定数
になったときに現像を停止するので、任意の条件で現像
される。
【００１１】
【実施例】以下に、図１乃至図４を参照して本発明のフ
ォトレジスト現像装置の一実施例について詳細に説明す
る。図１において、分周器１はクロック信号入力端子Ｃ
ＬＫより入力される例えば２０ＭＨZのクロック信号を
５０ＫＨZに分周するものであり、低域通過フィルタ２
はこの分周器１の出力信号を減衰特性により強度変調信
号Ｖm とするものである。
ォトレジスト現像装置の一実施例について詳細に説明す
る。図１において、分周器１はクロック信号入力端子Ｃ
ＬＫより入力される例えば２０ＭＨZのクロック信号を
５０ＫＨZに分周するものであり、低域通過フィルタ２
はこの分周器１の出力信号を減衰特性により強度変調信
号Ｖm とするものである。
【００１２】ドライバー３は、強度変調信号Ｖm を増幅
して所定出力信号を作成し、レーザー光源４より強度変
調されたレーザー光を現像中の光ディスクの回転盤面上
のフォトレジスト膜に照射する。
して所定出力信号を作成し、レーザー光源４より強度変
調されたレーザー光を現像中の光ディスクの回転盤面上
のフォトレジスト膜に照射する。
【００１３】この現像中の光ディスクのフォトレジスト
膜を透過したレーザー光のうち透過光である標準光及び
フォトレジスト膜上に形成されたピットにより回折した
回折光を受光して、各々受光素子６及び７により電流に
変換し、各々電流電圧変換回路８及び９により電圧に変
換する。
膜を透過したレーザー光のうち透過光である標準光及び
フォトレジスト膜上に形成されたピットにより回折した
回折光を受光して、各々受光素子６及び７により電流に
変換し、各々電流電圧変換回路８及び９により電圧に変
換する。
【００１４】この標準光及び回折光による２つの電圧信
号のうち、標準光によるの一方の電圧信号Ｖ0 を移相器
１０により９０度位相をずらして、この移相した電圧信
号と回折光による他方の電圧信号Ｖ1 の２信号を加算増
幅器１１で加算することにより位相変調信号Ｖを作成す
る。
号のうち、標準光によるの一方の電圧信号Ｖ0 を移相器
１０により９０度位相をずらして、この移相した電圧信
号と回折光による他方の電圧信号Ｖ1 の２信号を加算増
幅器１１で加算することにより位相変調信号Ｖを作成す
る。
【００１５】この位相変調信号Ｖは増幅器１２で増幅し
た後に、移相器１３で移相する。これはピットがまだ生
成されず、回折光が発生していないときの位相変調信号
Ｖと強度変調信号Ｖm との位相を合わせるようにするた
めである。シュミットトリガ回路１４、１５はそれぞれ
強度変調信号Ｖm と位相変調信号Ｖを移相した信号にリ
ミッター作用をして方形波信号Ｓm 、ＳO を作成するも
のである。
た後に、移相器１３で移相する。これはピットがまだ生
成されず、回折光が発生していないときの位相変調信号
Ｖと強度変調信号Ｖm との位相を合わせるようにするた
めである。シュミットトリガ回路１４、１５はそれぞれ
強度変調信号Ｖm と位相変調信号Ｖを移相した信号にリ
ミッター作用をして方形波信号Ｓm 、ＳO を作成するも
のである。
【００１６】アンド回路１７は、クロック信号ＳCKと、
強度変調信号を方形波にした信号Ｓ m と、位相変調信号
を移相して方形波にした信号ＳO を反転器１６で反転し
た信号との３つの信号をアンド演算する。アンド回路１
７の出力信号ＳCK・Ｓm ・Ｓ O はカウンタ１８に入力さ
れ、強度変調信号を方形波にした信号Ｓm の立ち下がり
でクリアーされる。
強度変調信号を方形波にした信号Ｓ m と、位相変調信号
を移相して方形波にした信号ＳO を反転器１６で反転し
た信号との３つの信号をアンド演算する。アンド回路１
７の出力信号ＳCK・Ｓm ・Ｓ O はカウンタ１８に入力さ
れ、強度変調信号を方形波にした信号Ｓm の立ち下がり
でクリアーされる。
【００１７】これにより、強度変調信号を方形波にした
信号Ｓm と位相変調信号を移相して方形波にした信号Ｓ
O との位相のシフト量をカウンタ１８でクロックとして
カウントして、ラッチ１９よりデータＤ0 ・・・Ｄn を
得る。
信号Ｓm と位相変調信号を移相して方形波にした信号Ｓ
O との位相のシフト量をカウンタ１８でクロックとして
カウントして、ラッチ１９よりデータＤ0 ・・・Ｄn を
得る。
【００１８】本例の装置は以上のように構成されてい
て、図２に示すように、クロック入力端子ＣＬＫより入
力された２０ＭＨZのクロック信号を分周器１で５０Ｋ
ＨZに分周し、低域通過フィルタ２を通過させた強度変
調信号Ｖm により強度変調してレーザー光源出力信号を
得る。現像中の光ディスクのフォトレジスト膜を透過し
た標準光及び回折光による電圧信号をＶ0 、Ｖ1 とする
と、
て、図２に示すように、クロック入力端子ＣＬＫより入
力された２０ＭＨZのクロック信号を分周器１で５０Ｋ
ＨZに分周し、低域通過フィルタ２を通過させた強度変
調信号Ｖm により強度変調してレーザー光源出力信号を
得る。現像中の光ディスクのフォトレジスト膜を透過し
た標準光及び回折光による電圧信号をＶ0 、Ｖ1 とする
と、
【００１９】
【数１】
【００２０】この電圧信号Ｖ0 の位相を移相器１０によ
り９０度ずらすと、
り９０度ずらすと、
【００２１】
【数２】
【００２２】これを加算すると、
【００２３】
【数３】
【００２４】このような位相変調信号からの信号Ｓ
O を、レーザー光源を強度変調している低域通過フィル
タ２からの信号Ｓm との位相のシフト量をクロック信号
ＳCKで数えることにより、光ディスクのフォトレジスト
膜の現像の進み具合を高精度にモニターすることが出来
る。
O を、レーザー光源を強度変調している低域通過フィル
タ２からの信号Ｓm との位相のシフト量をクロック信号
ＳCKで数えることにより、光ディスクのフォトレジスト
膜の現像の進み具合を高精度にモニターすることが出来
る。
【００２５】図４に示すように、光ディスクの現像が進
むにつれて、位相シフト量αが大きくなる。これをクロ
ック信号ＳCKによりディジタル量に変換することが出来
る。信号Ｓm の１周期あたりのクロック数をｎ0 、シフ
ト量によるクロック数をΔｎとすれば、
むにつれて、位相シフト量αが大きくなる。これをクロ
ック信号ＳCKによりディジタル量に変換することが出来
る。信号Ｓm の１周期あたりのクロック数をｎ0 、シフ
ト量によるクロック数をΔｎとすれば、
【００２６】
【数４】
【００２７】したがって、Δｎはαに比例する。現像条
件が、ａ0 とａ1 の比で求められているならば、ａ0 ／
ａ1 とαは容易に換算出来るので、αにより現像状況を
モニターし、任意の現像条件で現像を停止することがで
きる。
件が、ａ0 とａ1 の比で求められているならば、ａ0 ／
ａ1 とαは容易に換算出来るので、αにより現像状況を
モニターし、任意の現像条件で現像を停止することがで
きる。
【００２８】上述した本例によれば、光電変換素子によ
り受光したレーザー光を、位相変調信号に変換するの
で、ノイズによるレベルの変化の影響を受け難くなり、
ノイズに強くすることができる。
り受光したレーザー光を、位相変調信号に変換するの
で、ノイズによるレベルの変化の影響を受け難くなり、
ノイズに強くすることができる。
【００２９】さらに、本例によれば、レーザー光源４の
出力信号が、５０ＫＨZのＡＣ信号としての強度変調信
号Ｖm により変調されているので、ＤＣ的なノイズやオ
フセットはカップリングコンデンサを適宜設けることに
より容易に除去できる。
出力信号が、５０ＫＨZのＡＣ信号としての強度変調信
号Ｖm により変調されているので、ＤＣ的なノイズやオ
フセットはカップリングコンデンサを適宜設けることに
より容易に除去できる。
【００３０】また、本例によれば、回路構成を安価なも
のとすることができるので、検出回路全体のコストを下
げることができる。
のとすることができるので、検出回路全体のコストを下
げることができる。
【００３１】さらにまた、本例によれば、位相変調信号
の位相変化量をクロックパルスにより計数するので、微
小変化量を精度良くディジタル量として検出することが
できる。本例では、以上述べたことにより、高精度で、
ノイズに強く、ＤＣオフセットによる影響を受けず、安
価な素子を用いても構成できるフォトレジスト現像装置
を得ることができる。
の位相変化量をクロックパルスにより計数するので、微
小変化量を精度良くディジタル量として検出することが
できる。本例では、以上述べたことにより、高精度で、
ノイズに強く、ＤＣオフセットによる影響を受けず、安
価な素子を用いても構成できるフォトレジスト現像装置
を得ることができる。
【００３２】本例では、位相変調信号の位相変化量をク
ロックパルスにより計数する例を示したが、これ以外に
も、積分回路、ホールド回路および電圧測定回路により
電圧を計測するようにしても良い。尚、上述の実施例は
本発明の一例であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
その他様々な構成が取り得ることは勿論である。
ロックパルスにより計数する例を示したが、これ以外に
も、積分回路、ホールド回路および電圧測定回路により
電圧を計測するようにしても良い。尚、上述の実施例は
本発明の一例であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
その他様々な構成が取り得ることは勿論である。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、レーザー光源に所定周
波数で強度変調をかけるので、レーザー光源の出力信号
をＡＣ信号として扱えるため、ＤＣオフセットの影響を
なくすことができる。また、透過光と回折光とより位相
変調信号を作成するので、ノイズに強くすることができ
る。さらに、位相変調信号の位相変化量を計測するの
で、微小変化量を精度良くディジタル量として検出する
ことができる。また、回路構成を安価なものとすること
ができるので、検出回路全体のコストを下げることがで
きる。従って、高精度で、ノイズに強く、ＤＣオフセッ
トによる影響を受けず、安価な素子を用いても構成でき
るフォトレジスト現像装置を得ることができる。
波数で強度変調をかけるので、レーザー光源の出力信号
をＡＣ信号として扱えるため、ＤＣオフセットの影響を
なくすことができる。また、透過光と回折光とより位相
変調信号を作成するので、ノイズに強くすることができ
る。さらに、位相変調信号の位相変化量を計測するの
で、微小変化量を精度良くディジタル量として検出する
ことができる。また、回路構成を安価なものとすること
ができるので、検出回路全体のコストを下げることがで
きる。従って、高精度で、ノイズに強く、ＤＣオフセッ
トによる影響を受けず、安価な素子を用いても構成でき
るフォトレジスト現像装置を得ることができる。
【図１】本発明のフォトレジスト現像装置のブロック図
である。
である。
【図２】本発明のフォトレジスト現像装置の信号を説明
する図である。
する図である。
【図３】本発明のフォトレジスト現像装置の信号を説明
する図である。
する図である。
【図４】本発明のフォトレジスト現像装置の現像の進み
具合と移相シフト量との関係を説明する図である。
具合と移相シフト量との関係を説明する図である。
【図５】従来のフォトレジスト現像装置のブロック図で
ある。
ある。
【図６】フォトレジスト膜を透過する標準光とピットに
より回折する回折光とを説明する図である。
より回折する回折光とを説明する図である。
１ 分周器 ２ 低域通過フィルタ ３ ドライバ ４ レーザー光源 ６、７ 受光素子 ８、９ 電流電圧変換回路 １０ 移相器 １１ 加算増幅器 １３ 移相器 １４、１５ シュミットトリガ回路 １６ 反転器 １７ アンド回路 １８ カウンタ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−73357（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−286147（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−74325（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−246157（ＪＰ，Ａ) 特公 平４−21857（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/00 - 7/42
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザー光をフォトレジスト膜に照射す
るレーザー光源と、前記レーザー光源に所定周波数で強
度変調をかける強度変調手段と、前記フォトレジスト膜
に照射された前記レーザー光のうち透過光と回折光とよ
り位相変調信号を作成する位相変調信号作成手段と、前
記強度変調手段による強度変調信号と前記位相変調信号
とを用いて、前記位相変調信号の位相変化量を計測する
位相変化量計測手段とからなるフォトレジスト現像装
置。 - 【請求項２】 レーザー光をフォトレジスト膜に照射す
るレーザー光源と、前記レーザー光源に所定周波数で強
度変調をかける強度変調手段と、前記フォトレジスト膜
に照射された前記レーザー光のうち透過光と回折光とよ
り位相変調信号を作成する位相変調信号作成手段と、前
記強度変調手段による強度変調信号と前記位相変調信号
とを用いて、前記位相変調信号の位相変化量を計測する
位相変化量計測手段と、前記位相変化量計測手段の出力
が所定数になったときに現像を停止する停止手段とから
なるフォトレジスト現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33918192A JP3042228B2 (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | フォトレジスト現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33918192A JP3042228B2 (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | フォトレジスト現像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06186752A JPH06186752A (ja) | 1994-07-08 |
| JP3042228B2 true JP3042228B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=18325008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33918192A Expired - Lifetime JP3042228B2 (ja) | 1992-12-18 | 1992-12-18 | フォトレジスト現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3042228B2 (ja) |
-
1992
- 1992-12-18 JP JP33918192A patent/JP3042228B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06186752A (ja) | 1994-07-08 |
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