JP3034152B2 - 真空加熱乾燥装置の制御方式 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空加熱乾燥装置の制御
方式に係り、特に、宇宙船，潜水艦，航空機などの有限
の閉鎖空間や、家庭や飲食店などで、生ゴミを乾燥処理
する真空加熱乾燥装置の制御方式、あるいは、上記した
場所などで、有機物（食料を含む）や無機物を乾燥処理
するための真空加熱乾燥装置の制御方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のマイクロ波を使用した真空加熱乾
燥装置としては、特開昭６１−２１１２０１号公報、特
開昭６１−２１１２０２号公報、特開昭６２−１９４１
８１号公報、特開平４−８０５８５号公報に記載の装置
が知られている。

【０００３】上記特開昭６１−２１１２０１号公報およ
び特開昭６１−２１１２０２号公報では、マイクロ波遮
蔽容器（以下、単に容器と称する場合もある）の蓋に付
けられたマイクロスイッチにより装置が起動し、容器に
取り付けられた真空計が所定圧力以下となった段階でマ
グネトロンを起動し、この後は、真空配管内の温度検知
器からの検知情報により、マグネトロンをＯＮ−ＯＦＦ
させる構成となっていた。

【０００４】また、上記特開昭６２−１９４１８１号公
報では、真空配管内の温度検知器からの検知情報により
マグネトロンをＯＮ−ＯＦＦさせるとき、ＯＮからＯＦ
Ｆまでの時間が一定値を超えた場合には、装置を停止さ
せるように構成されていた。

【０００５】また、上記特開平０４−０８０５８５号公
報では、真空排気をマイクロ波遮蔽容器内に設置した内
容器だけとする構成となっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した各
先願による従来技術においては、容器からのリークに対
する配慮がなされておらず、容器に穴等が開いて、大量
のリークを生じた場合でも装置の異常が検知出来ないと
いう重大な問題点があった。

【０００７】また、上記した従来技術では、空炊に対す
る配慮がなされておらず、容器に被乾燥物が入っていな
い状態や、当初から容器内に乾燥し切った被乾燥物が入
れられた状態でも、装置は所定真空度到達後に加熱を開
始して、排気温度が所定値に到達するまで加熱動作を停
止させないため、装置が過熱し、危険であるという問題
点があった。

【０００８】さらにまた、上記した従来技術では、マグ
ネトロンによる加熱効率に対する配慮がなされておら
ず、マグネトロンの停止する温度と、再起動する温度と
の温度差が大きい場合には、マグネトロンによる加熱の
比率が小さいという問題点があった。

【０００９】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
その目的とするところは、容器に大量のリークを生じた
場合にこれを検知して、自動的に運転を停止させ、故障
の拡大を防止することにある。

【００１０】また、本発明の他の目的とするところは、
排気温度を検知しながら、容器内に被乾燥物が入ってい
ない状態や、容器内に当初から乾燥し切った被乾燥物が
入れられた状態、すなわち空炊状態を識別し、空炊と識
別した場合には、装置を速やかに停止させて安全を確保
すると共に、水分を含んだ被乾燥物が入っている場合に
は、正常終了まで装置を動作させることにある。

【００１１】また、本発明のさらに他の目的とするとこ
ろは、マグネトロンによる加熱の比率を大きくし、処理
速度を向上させることにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的のうち、容器に
大量のリークを生じた場合に装置の異常を検知し、故障
の拡大を防止することを達成するために、マイクロ波遮
蔽容器外の真空排気配管に圧力センサを付加し、また、
真空加熱乾燥装置全体の制御を司る制御装置にタイマを
付加し、制御装置が、排気圧力の時間的変化情報の如何
によって、リークが発生しているか否かを判定し、判定
結果に応じて各部を駆動制御、もしくは停止させる構成
とした。

【００１３】また、上記目的のうち、空炊状態と正常状
態とを識別し、装置を安全に駆動もしくは停止させるこ
とを達成するために、マイクロ波遮蔽容器外の真空排気
配管に温度センサを付加し、また、上記制御装置にタイ
マを付加し、制御装置が、排気温度の時間的変化情報の
如何によって、マイクロ波遮蔽容器内に水分を含んだ被
乾燥物が入っているか否かを判定し、判定結果に応じて
各部を駆動制御、もしくは停止させる構成とした。

【００１４】さらにまた、上記した空炊状態と正常状態
とをより識別しやすくするために、加熱回数計数器を制
御装置に付加した。

【００１５】さらに、上記目的のうち、マグネトロンに
よる加熱の比率を大きくし、処理速度を向上させること
を達成するために、マグネトロンの停止する温度と、再
起動する温度との温度差を、適正化するように構成し
た。

【００１６】

【作用】マイクロ波遮蔽容器外の真空排気配管に圧力セ
ンサを付加し、真空加熱乾燥装置全体の制御を司る制御
装置にタイマを付加したことにより、制御装置は、始動
真空排気動作時（始動時）およびマグネトロンによる加
熱を伴う真空排気動作中（動作が立ち上がった後の運転
動作中）に、タイマと圧力センサからの情報により容器
内の被乾燥物にかかる圧力の変化をモニタしながら、真
空ポンプを動作させることが出来る。そして、制御装置
は、始動真空排気動作時、または、マグネトロンによる
加熱を伴う真空排気動作中に、所定時間経過後も所定圧
力に達しない（所定圧力まで低下しない）場合には異常
と判断する。このとき、始動真空排気動作時である場合
には、制御装置は、即座に装置全体の運転動作を停止さ
せる。また、マグネトロンによる加熱を伴う真空排気動
作中である場合には、制御装置は、マグネトロンによる
加熱を停止させ、真空排気を所定期間だけ継続させて所
定圧力以下に低下しない際には排気温度を低下させた
後、装置全体の運転動作を停止させる。さらに制御装置
は、それぞれの場合に警告を表示させる。これにより、
蓋が閉じている場合でも、マイクロ波遮蔽容器に大量の
リークを生じると、これを異常として検知することが可
能となる。したがって、故障が拡大する前に装置を自動
停止させることが可能となり、故障の伝幡を防止するこ
とが出来る。

【００１７】また、マイクロ波遮蔽容器外の真空排気配
管に温度センサを付加し、さらに、前記の制御装置にタ
イマを付加したことにより、所定圧力到達後に、制御装
置は、タイマと温度センサからの情報により排気温度の
変化をモニタしながら、マグネトロンを駆動制御するこ
とが出来る。そして、制御装置は、初回加熱時に所定時
間経過後も排気温度が上昇しない場合には異常と判断
し、マグネトロンを停止させ、次に排気温度が十分低く
なったことを確認した後、真空排気を停止させて装置全
体の運転動作を停止させる。これにより、マイクロ波遮
蔽容器内に水分を含んだ被乾燥物が入っていないこと
（空炊であること）を認知でき、装置を安全に停止させ
ると共に、警告を表示させることが可能となる。

【００１８】一方また、所定温度到達後には、制御装置
は、タイマと温度センサからの情報により排気温度の変
化をモニタしながら、マグネトロンの動作を制御する。
この際には、制御装置は、排気温度が容器内の到達真空
度での水の沸点温度に到達した時点で、マグネトロンに
よる加熱とタイマによる時間計測を停止させ、排気温度
が上記の沸点温度から所定温度差だけ低下した後に、マ
グネトロンによる加熱とタイマによる時間計測を再起動
させる。さらに、初回加熱でない場合において、マグネ
トロン再起動後に所定時間経過後も、排気温度が容器内
の到達真空度での水の沸点温度に達しない場合には乾燥
終了と判断し、マグネトロンを停止させると共に、真空
排気しながら正常終了を表示し、排気温度が十分低いこ
とを確認した後に、装置全体の運転動作を停止させる。
これにより、装置を安全に運転終了させることが可能と
なる。

【００１９】また、加熱回数計数器を制御装置に付加し
たことにより、初回加熱か否かを判断でき、上記した制
御動作を容易に実行できる。

【００２０】さらに、マグネトロンの停止する温度と、
再起動する温度との温度差を適正化することにより、マ
グネトロンによる加熱の比率を大きくし、処理速度を向
上させることが出来る。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の詳細を図１〜図７に示した各
実施例によって説明する。図１は本発明の第１実施例に
係る真空加熱乾燥装置の制御系の構成図である。同図に
おいて、１はコンセント、２はオペレータによって操作
される主電源スイッチ、３は制御回路用直流電源、４は
オペレータによって操作される処理開始スイッチ、５は
オペレータによって操作される処理停止スイッチ、６は
適宜ディスプレイ装置（例えば、ＣＲＴディスプレイ，
ＬＣＤディスプレイ）よりなる表示部、７は図示せぬ容
器（マイクロ波遮蔽容器）外の排気管（真空ポンプ１７
への管路）に設置した圧力センサ、８は同じく容器外の
排気管（真空ポンプ１７への管路）に設置した温度セン
サ、９はマグネトロン用サーモスタット、１０は容器用
サーモスタット、１１，１１は容器の蓋の開閉状態を検
出する蓋開閉検知センサとしての蓋部リミットスイッ
チ、１２は主電源リレー、１３はマグネトロン駆動リレ
ー、１４は真空ポンプ駆動リレー、１５はマグネトロン
用高圧電源、１６は容器内に収納された被乾燥物を加熱
するためのマグネトロン（マイクロ波加熱器）、１７は
容器内を真空排気するための真空ポンプ、１８はマグネ
トロン１６を冷却するためのマグネトロン冷却用ブロア
である。また、１００はシステム全体（真空加熱乾燥装
置全体）の統括制御を司る制御回路で、本実施例では、
排気時間測定タイマ２１、加熱時間測定タイマ２２、加
熱回数計数器２３を具備したものとなっている。

【００２２】図１に示すように、制御回路用直流電源３
および主電源リレー１２は、主電源スイッチ２（不要な
場合にはこれは省略可能）を介してコンセント１に接続
されており、制御回路用電源３は、制御回路１００に接
続されている。制御回路１００には、処理開始スイッチ
４、処理停止スイッチ５、圧力センサ７、温度センサ８
が接続され、制御回路１００は各構成要素４，５，７，
８から操作入力情報や計測情報を受けとってこれを認知
するようになっている。また、制御回路１００には表示
部６が接続され、表示部６は制御回路１００からの信号
に応じてメッセージを表示するようになっている。

【００２３】制御回路１００と主電源リレー１２とは、
蓋部リミットスイッチ１１を介した信号線路といま１本
の信号線路とによって接続されており、制御回路１００
は、蓋部リミットスイッチ１１によって蓋の開閉状態を
認知し、また、必要に応じて主電源リレー１２をＯＮ−
ＯＦＦ制御する。主電源リレー１２は、マグネトロン駆
動リレー１３および真空ポンプ駆動リレー１４にそれぞ
れ接続され、マグネトロン駆動リレー１３はマグネトロ
ン用高圧電源１５を介してマグネトロン１６に接続さ
れ、また、真空ポンプ駆動リレー１４は、真空ポンプ１
７およびマグネトロン冷却用ブロア１８にそれぞれ接続
されている。また、制御回路１００とマグネトロン駆動
リレー１３とは、マグネトロン用サーモスタット９およ
び容器用サーモスタット１０を介した信号線路といま１
本の信号線路とによって接続されており、制御回路１０
０は、マグネトロン用サーモスタット９もしくは容器用
サーモスタット１０の導通状態を認知し、また、必要に
応じてマグネトロン駆動リレー１３をＯＮ−ＯＦＦ制御
する。また、制御回路１００と真空ポンプ駆動リレー１
４も接続されており、制御回路１００は必要に応じて真
空ポンプ駆動リレー１４をＯＮ−ＯＦＦ制御するように
なっている。本実施例では、真空ポンプ駆動リレー１４
がＯＮされると、真空ポンプ１７およびマグネトロン冷
却用ブロア１８が共に駆動されるようになっているが、
真空ポンプ１７とマグネトロン冷却用ブロア１８とは互
いに独立して駆動制御するように構成してもよい。

【００２４】また、制御回路１００の排気時間測定タイ
マ２１と加熱時間測定タイマ２２とは、制御回路１００
の適宜タイマ制御部からの制御信号に基づきその計時動
作やリセット動作を制御され、排気時間測定タイマ２１
は、所定の期間における真空ポンプ１７による排気時間
を測定し、加熱時間測定タイマ２２は、マグネトロンが
起動されるごとに該マグネトロンの加熱時間を測定す
る。制御回路１００の加熱回数計数器２３は、装置の起
動時にリセットされ、マグネトロン駆動リレー１３への
制御信号の送信回数を計数して、マグネトロンによる加
熱回数をカウントする。

【００２５】上記した構成において、コンセント１およ
び主電源スイッチ２の投入により、電力が制御回路用電
源３および主電源リレー１２に供給される。これによっ
て、制御回路１００が起動して装置（システム）は待機
状態となり、制御回路１００は表示部６に待機状態であ
る旨を表示させる。この状態で処理開始スイッチ４を操
作することにより、制御回路１００に対して真空加熱乾
燥を行うための制御開始が指令される。これにより、制
御回路１００は、図２に示したフローにしたがつた制御
処理を実行する。以下、図２を用いて本実施例の動作を
説明する。

【００２６】制御開始が指示されると、制御回路１００
は、まず、蓋部リミットスイッチ１１から主電源リレー
１２に接続された信号線の導通状態を確認し（ステップ
ＳＴ１）、これによって蓋が閉じているか否かを判定し
（ステップＳＴ２）、蓋が開いている場合には、この旨
を表示部６に表示させて（ステップＳＴ９）、以後の動
作を停止させる。また、ステップＳＴ２で蓋が閉じてい
ることが確認されると、制御回路１００は、主電源リレ
ー１２にリレー接点接続の指令を送出して、主電源リレ
ー１２をまず導通状態に移行させる。そして次に、真空
ポンプ駆動リレー１４にリレー接点接続の指令を送出し
て、真空ポンプ駆動リレー１４を導通させ、これによっ
て真空ポンプ１７およびマグネトロン冷却用ブロア１８
を起動させ、真空排気動作を開始させる（ステップＳＴ
３）。また、この排気開始と同時に、制御回路１００の
排気時間測定タイマ２１が起動され、排気開始からの時
間ｔを測定し始め（ステップＳＴ４）、制御回路１００
の加熱回数計数器２３がリセットされる（ステップＳＴ
５）。

【００２７】上記した状態で（ステップＳＴ５の次
に）、制御回路１００は、圧力センサ７によって測定し
た被処理物からの排気圧力Ｐ、および排気時間測定タイ
マ２１による排気開始からの時間ｔを監視し、排気圧力
Ｐが、あらかじめ設定した時間ｔ０以内に、あらかじめ
設定した圧力Ｐ０以下に到達したか否かを判定し（ステ
ップＳＴ７，ＳＴ８）、否（ＮＯ）判定された場合には
容器リーク大と判断し、真空ポンプ駆動リレー１４にリ
レー接点開放の指令を送出して排気動作を停止させ（ス
テップＳＴ８）、表示部６にリークである旨のメッセー
ジを表示させた後（ステップＳＴ９）、装置全体の運転
動作を停止させる。すなわち、排気を開始してから、排
気圧力Ｐが、あらかじめ設定した時間ｔ０以内に、あら
かじめ設定した圧力Ｐ０以下に到達しないということ
は、蓋が閉じている状態で容器内を真空排気しているに
もかかわらず、所期の減圧動作が達成されていないこと
を意味し、容器からのリーク大と判断できるからであ
る。したがって、蓋が閉じている場合でも容器に大量の
リークが生じるとこれを検知でき、この旨をメッセージ
で認知させることができ、また、故障が拡大する前に装
置を自動停止させることができる。

【００２８】一方、ステップＳＴ７，ＳＴ８において、
圧力センサ７により測定した圧力Ｐが、あらかじめ設定
した時間ｔ０以内に、あらかじめ設定した圧力Ｐ０以下
に到達したことが確認された場合には、制御回路１００
は、マグネトロン駆動リレー１３にリレー接点接続の指
令を送出して、マグネトロン用高圧電源１５を介してマ
グネトロン１６に加熱動作を開始させる（ステップＳＴ
１０）。これにより、被処理物は加熱される。この加熱
動作の開始によって、制御回路１００の加熱時間測定タ
イマ２２が起動され、加熱開始からの時間ｔ’を測定し
始め（ステップＳＴ１１）、また、制御回路１００の加
熱回数計数器２３がマグネトロン１６による加熱回数Ｎ
をカウントする（ステップＳＴ１２）。この状態で、制
御回路１００は常時、圧力センサ７による排気圧力Ｐ、
温度センサ８による排気温度Ｔ、加熱時間測定タイマ２
２による加熱開始からの時間ｔ’をモニタリングしなが
ら、所定の判定処理を実行する（ステップＳＴ１３，Ｓ
Ｔ１４，ＳＴ１５）。

【００２９】すなわち、ステップＳＴ１３において、加
熱開始によって圧力Ｐが、圧力Ｐ０以上に上昇したと判
定された場合（ステップＳＴ１３でＮＯの場合）には、
制御回路１００は、マグネトロン１６による加熱を中断
させると共に（ステップＳＴ１６）、排気時間測定タイ
マ２１の内容をリセットした後（ステップＳＴ１７）、
ステップＳＴ３に戻って排気開始の状態から動作を再起
動させる。これは、被乾燥物から水蒸気以外の揮発成分
が大量に発生した場合等には、容器内を再度減圧してか
ら、加熱をいま一度当初から行う必要があるからであ
る。また、加熱動作中に何らかの要因でリークが発生し
た場合には、加熱停止後、前記ステップＳＴ６，ＳＴ７
での判定処理でリークを検出させて、ステップＳＴ８以
降の処理で警告を表示させると共に、装置を安全に自動
停止させるためである（これは、後記するステップＳＴ
２２でも同様である）。

【００３０】また、加熱開始によって圧力Ｐが、Ｐ０以
下に保たれている場合（ステップＳＴ１３でＹＥＳの場
合）でも、ステップＳＴ１４，ＳＴ１５において、排気
温度Ｔが、加熱開始からあらかじめ設定した時間ｔ１
（図３参照）以内に、あらかじめ設定した温度Ｔ１（図
３参照）に到達しないと判定された場合（ステップＳＴ
１５でＹＥＳの場合）には、加熱を停止させ（ステップ
ＳＴ２８）、排気温度が十分低いことを確認した後（ス
テップＳＴ２９）、真空ポンプ１７による排気を停止さ
せる（ステップＳＴ３０）。そしてこの後、制御回路１
００は、ステップＳＴ３１において、加熱回数Ｎが１
（初回加熱）であるか否かを問って、加熱回数Ｎが１
（初回加熱）である場合には、容器内に被乾燥物が入っ
ていない空炊と判断し、表示部６に被乾燥物が入ってい
ない空炊である旨をメッセージ表示させた後に（ステッ
プＳＴ９）、装置全体の運転動作を停止させる。何とな
れば、加熱回数Ｎが１（初回加熱）である際に、排気温
度Ｔが、加熱開始からあらかじめ設定した時間ｔ１以内
に、あらかじめ設定した温度Ｔ１に到達しないというこ
とは、被乾燥物から発生する蒸気によって排気温度が上
昇していないということを示し、空炊と判断されるから
である。よって、空炊状態を運転開始の早期に検知でき
て、この旨をメッセージで認知させることができ、且
つ、装置を安全に自動停止させることができる。

【００３１】一方また、ステップＳＴ１４，ＳＴ１５に
おいて、排気温度Ｔが、加熱開始からあらかじめ設定し
た時間ｔ１以内に、あらかじめ設定した温度Ｔ１に到達
したと判定された場合（ステップＳＴ１４でＹＥＳの場
合）には、ステップＳＴ１８へ進んで加熱回数Ｎが１
（初回加熱）であるか否かを問って、Ｎ＝１の場合には
加熱設定時間ｔａをｔ２（図３参照）に設定し（ステッ
プＳＴ１９）、Ｎが２以上の場合には加熱設定時間ｔａ
をｔ３（図３参照）に設定する（ステップＳＴ２０）。
そして次に、制御回路１００は、設定された時間ｔ２ま
たはｔ３以内に、且つ、排気圧力Ｐが前記したあらかじ
め設定された圧力Ｐ０を下回った状態において、排気温
度Ｔが、容器内の到達真空度での水の沸点温度Ｔ０に到
達したか否かを判定する（ステップＳＴ２１，ＳＴ２
２，ＳＴ２３）。この判定処理によって、排気圧力Ｐが
あらかじめ設定された圧力Ｐ０以上となると（ステップ
ＳＴ２２でＮＯとされると）、制御回路１００は、マグ
ネトロン１６による加熱を中断させると共に（ステップ
ＳＴ１６）、排気時間測定タイマ２１の内容をリセット
した後（ステップＳＴ１７）、ステップＳＴ３に戻って
排気開始の状態から動作を再起動させる。

【００３２】またステップＳＴ２１，ＳＴ２２，ＳＴ２
３の判定処理によって、設定された時間（加熱設定時
間）ｔ２またはｔ３以内に、排気温度Ｔが、容器内の到
達真空度での水の沸点温度Ｔ０に到達しないと判定され
た場合（ステップＳＴ２３でＹＥＳの場合）には、制御
回路１００は、加熱を停止させ（ステップＳＴ２８）、
排気温度が十分低いことを確認した後（ステップＳＴ２
９）、真空ポンプ１７による排気を停止させる（ステッ
プＳＴ３０）。そしてこの後、制御回路１００は、ステ
ップＳＴ３１において、加熱回数Ｎが１（初回加熱）で
あるか否かを問って、加熱回数Ｎが１である場合（換言
するなら、設定された加熱設定時間がｔ２である場合）
には、次に述べる要因，，の何れかによる空炊と
判断し、表示部６に、要因，，の何れかによる空
炊である旨をメッセージ表示させた後に（ステップＳＴ
９）、装置全体の運転動作を停止させる。何となれば、
加熱回数Ｎが１（初回加熱）である際に、排気温度Ｔ
が、設定された時間ｔ２以内に、容器内の到達真空度で
の水の沸点温度Ｔ０に到達しないということは、被乾
燥物が容器内には無いが、小量の水が容器内に存在し
た、もしくは、被乾燥物から殆ど蒸気が発生せず、容
器内に殆ど乾燥し切った被乾燥物が当初から入れられた
状態であった、もしくは、ノイズ等による温度計誤動
作によりステップＳＴ１４，１５での判断を誤った、と
ケース判断できるからである。よって、リークや、被乾
燥物のない空炊以外にも、容器に殆ど乾燥し切った被乾
燥物が当初から入れられたなどの空炊をも、運転開始の
早期に検知できて、この旨をメッセージで認知させるこ
とができ、且つ、装置を安全に自動停止させることがで
きる。

【００３３】一方また、ステップＳＴ２１，ＳＴ２２，
ＳＴ２３の判定処理によって、設定された加熱時間ｔ２
またはｔ３以内に、排気温度Ｔが、容器内の到達真空度
での水の沸点温度Ｔ０に到達したと判定された場合（ス
テップＳＴ２１でＹＥＳの場合）には、制御回路１００
は、所定期間の加熱動作が正常に行われたと判断し、マ
グネトロン駆動リレー１３にリレー接点開放の指令を送
出して加熱を停止させる（ステップＳＴ２４）。そして
この後、制御回路１００は、排気温度Ｔが温度Ｔ２まで
低下したことが確認されると（ステップＳＴ２５）、加
熱時間測定タイマ２２の内容をリセットした後（ステッ
プＳＴ２６）、再度加熱を開始させるとと共に、加熱回
数計数器２３の内容（回数値）を１だけ加算させ（ステ
ップＳＴ２７）、ステップＳＴ１８の処理に戻る。そし
て、この様な動作により、マグネトロン１６をＯＮ−Ｏ
ＦＦ制御することによって加熱−冷却を繰返す。このと
きの排気温度Ｔの時間的変化を図３に示す。図３におい
て、時間の経過と共に排気温度が増加しているときはマ
グネトロン１６がＯＮ状態であり、時間の経過と共に排
気温度が減少しているときはマグネトロン１６がＯＦＦ
状態である。

【００３４】ここで、被乾燥物の乾燥が進むと、マグネ
トロン１６がＯＮ状態の時間が徐々に長くなり始め、乾
燥終了時点では、急速にマグネトロン１６のＯＮ時間が
長くなる。このため、一度排気温度Ｔが温度Ｔ０に到達
した後は、加熱終了ごとに加熱時間測定タイマ２２をリ
セットし、さらに、加熱回数計数器２３の加熱回数Ｎを
１づつ加算し、また、前記したように加熱設定時間をｔ
３に設定し、マグネトロン１６のＯＮ開始時点からの時
間ｔ’をその都度計測する。そして、加熱回数Ｎが２以
上で、換言するなら設定された時間が前記したようにｔ
３である場合において、前記したステップＳＴ２１，Ｓ
Ｔ２２，ＳＴ２３の判定処理によって、計測時間ｔ’が
加熱設定時間ｔ３を超えた場合（前記ステップＳＴ２３
でＹＥＳである場合）には、制御回路１００は、加熱を
停止させ（ステップＳＴ２８）、排気温度が十分低いこ
とを確認した後（ステップＳＴ２９）、真空ポンプ１７
による排気を停止させる（ステップＳＴ３０）。そして
この後、制御回路１００は、前記したようにステップＳ
Ｔ３１において、加熱回数Ｎが１（初回加熱）であるか
否かを問って、この場合は加熱回数Ｎは２以上であるの
で、被乾燥物の乾燥終了と判断し、表示部６に乾燥が終
了した旨をメッセージ表示させた後に（ステップＳＴ３
２）、装置全体の運転動作を停止させ、一連の処理を終
了させる。斯様な処理によって、装置に乾燥処理を実行
させ、且つ、安全に運転終了させることができる。

【００３５】なお、上述した処理中において、圧力Ｐ
が、圧力Ｐ０以上に上昇した場合には、どのような場合
でも加熱を中断し、排気開始の状態から動作を再起動す
る。さらに、マグネトロン用サーモスタット９または容
器用サーモスタット１０によって、マグネトロン１６ま
たはマイクロ波遮蔽容器が過熱状態になったことが検出
された場合には、即座にマグネトロン１６をＯＦＦし、
加熱を中断させる。また、蓋部リミットスイッチ１１に
よって、蓋が開いたことが検知された場合には、その時
点で装置全体の動作を停止させる。なお、２つの蓋部リ
ミットスイッチ１１は、処理開始スイッチ４および処理
停止スイッチ５の機能をもつものとして使用する（蓋の
閉塞を検知する蓋部リミットスイッチ１１を処理開始ス
イッチ４として、蓋の開放を検知する蓋部リミットスイ
ッチ１１を処理停止スイッチ５として使用する）ことも
可能である。さらに、蓋部リミットスイッチ１１の１つ
を主電源リレー１２の替わりに使用し、蓋部リミットス
イッチ１１の他の１つを制御回路１００に直接接続する
ことも可能である。

【００３６】なおまた、前記した制御回路１００は、マ
イクロプロセッサを用いたもの、比較演算器とロジック
回路を用いたもの、温度接点付き温度計とリレー回路を
用いたもの、あるいはそれらの混合回路で構成すること
が出来る。また、温度センサ８としては、熱電対，測温
抵抗体，サーミスタ，サーモスタット等の、温度信号ま
たは温度接点信号が発生できるものならば、前記制御回
路１００との組合せによりどのようなものでも使用可能
である。また、圧力センサ７についても、半導体による
圧力センサ，歪ゲージによる圧力センサ，バネ式の圧力
センサ，圧力スイッチ等、圧力信号または圧力接点信号
のいずれかを発生するものであればどのようなものでも
使用可能である。

【００３７】以上詳述したように本実施例によれば、容
器に大きなリークが発生していること、あるいは、容器
内に被乾燥物が入っていない空炊状態であること、ある
いは、容器内に殆ど乾燥し切った被乾燥物が当初から入
れられた空炊状態であることなどを判別し、これらの異
常の発生を識別すると、装置を速やかに停止させて安全
を確保すると共に、状況に応じたメッセージを表示させ
ることができ、また、異常のない場合は、正常終了まで
装置を動作させるため、安全性の極めて高い真空加熱乾
燥装置を実現できる。

【００３８】ここで、前記した図３は、実際の装置で予
測される排気温度の変化を模擬したものである。排気温
度は、排気中の水蒸気が蒸発したときの被乾燥物に含ま
れる水の温度にほぼ等しい。加熱中は、温度が上昇する
に従って、その温度での水の蒸気圧が上昇する。これに
より、水の蒸発が活発化するため、蒸発潜熱が蒸気と共
に大量に流出し、残された水の温度上昇はゆるやかにな
る。また、加熱終了後は、熱源がないため、当初活発に
行われていた水の蒸発が、温度の降下（従って水の蒸気
圧の降下）に伴い蒸発量が減少することにより、水の温
度降下は緩やかになる。このため、図３に示すように、
加熱−冷却を繰返す際の各加熱状態および各冷却状態に
おける温度変化は、それぞれの状態の開始時点で最も変
化率が大きく、時間の経過と共に変化率が減少する。そ
こで、図３で実線で示した温度変化ではなく、破線で示
した温度変化となるように、温度制御幅を小さくするこ
とにより、マグネトロン１６による加熱中の比率が大き
くなる。すなわち、加熱停止後、排気温度ＴがＴ２’ま
で下がると、加熱を再開させることにより、マグネトロ
ン１６による加熱中の比率を大きくできる。

【００３９】上記した制御処理は、前記図２のステップ
ＳＴ２５における判定を、Ｔ≦Ｔ２’とすることによっ
て、容易に行い得ることは同業者には自明である。斯様
に温度制御幅を小さくすれば、マグネトロン１６による
加熱の比率を大きくすることができるため、乾燥処理速
度を向上させることが可能となる。

【００４０】これまで説明してきた上述の第１実施例に
おいては、マグネトロン１６をＯＮ−ＯＦＦする回数を
計測し、加熱回数が初回かどうかを判断することによ
り、計測加熱時間ｔ’の比較対象たる加熱設定時間をｔ
２もしくはｔ３に変更し、空炊と処理終了とを区別する
手法をとっていた。しかし、加熱回数を計測せずに、計
測加熱時間ｔ’を、ｔ１，ｔ２，ｔ３の３つのパラメー
タと比較することによっても、空炊と処理終了とを区別
することも可能である。次に、加熱時間ｔ’を、ｔ１，
ｔ２，ｔ３の３つのパラメータと比較することによっ
て、空炊と処理終了とを区別するようにした実施例を、
図４および図５を用いて説明する。

【００４１】図４は本発明の第２実施例に係る真空加熱
乾燥装置の制御系の構成図である。本実施例が図１の第
１実施例と相違するのは、図１における構成から、制御
回路１００の加熱回数計数器２３を削除した点にある。
また、図５は本実施例の制御回路１００で実行される制
御処理フローを示しており、図５においては、前記図２
の処理フローにおける加熱回数の判断処理にかかわる処
理が削除され、加熱時間ｔ’を、ｔ１，ｔ２，ｔ３の３
つのパラメータと比較する処理操作が加わったものとな
っている。

【００４２】図５に示すように、制御開始が指示される
と、制御回路１００は、まず、蓋部リミットスイッチ１
１によって蓋の開閉状態を確認し（ステップＳＴ５
１）、これによって蓋が閉じているか否かを判定し（ス
テップＳＴ５２）、蓋が開いている場合には、この旨を
表示部６に表示させて（ステップＳＴ５８）、以後の動
作を停止させる。また、ステップＳＴ５２で蓋が閉じて
いることが確認されると、制御回路１００は、主電源リ
レー１２にリレー接点接続の指令を送出して、主電源リ
レー１２をまず導通状態に移行させる。そして次に、真
空ポンプ駆動リレー１４にリレー接点接続の指令を送出
して、真空ポンプ駆動リレー１４を導通させ、これによ
って真空ポンプ１７およびマグネトロン冷却用ブロア１
８を起動させ、真空排気動作を開始させる（ステップＳ
Ｔ５３）。また、この排気開始と同時に、制御回路１０
０の排気時間測定タイマ２１が起動され、排気開始から
の時間ｔを測定し始める（ステップＳＴ５４）。

【００４３】上記した状態で（ステップＳＴ５４の次
に）、制御回路１００は、排気圧力Ｐ、および排気開始
からの時間ｔを監視し、排気圧力Ｐが、あらかじめ設定
した時間ｔ０以内に、あらかじめ設定した圧力Ｐ０以下
に到達したか否かを判定し（ステップＳＴ５５，ＳＴ５
６）、否（ＮＯ）判定された場合には容器リーク大と判
断し、真空ポンプ１７による排気動作を停止させ（ステ
ップＳＴ５７）、表示部６にリークである旨のメッセー
ジを表示させた後（ステップＳＴ５８）、装置全体の運
転動作を停止させる。

【００４４】一方、ステップＳＴ５５，ＳＴ５６におい
て、圧力Ｐが、あらかじめ設定した時間ｔ０以内に、あ
らかじめ設定した圧力Ｐ０以下に到達したことが確認さ
れた場合には、制御回路１００は、マグネトロン１６に
加熱動作を開始させる（ステップＳＴ５９）。この加熱
動作の開始によって、制御回路１００の加熱時間測定タ
イマ２２が起動され、加熱開始からの時間ｔ’を測定し
始める（ステップＳＴ６０）。この状態で、制御回路１
００は常時、圧力センサ７による排気圧力Ｐ，温度セン
サ８による排気温度Ｔ，加熱時間測定タイマ２２による
加熱開始からの時間ｔ’をモニタリングしながら、所定
の判定処理を実行する（ステップＳＴ６１，ＳＴ６２，
ＳＴ６３）。

【００４５】すなわち、ステップＳＴ６２において、加
熱開始によって圧力Ｐが、圧力Ｐ０以上に上昇したと判
定された場合（ステップＳＴ６１でＮＯの場合）には、
制御回路１００は、マグネトロン１６による加熱を中断
させると共に（ステップＳＴ６４）、排気時間測定タイ
マ２１の内容をリセットした後（ステップＳＴ６５）、
ステップＳＴ３に戻って排気開始の状態から動作を再起
動させる。

【００４６】また、加熱開始によって圧力Ｐが、Ｐ０以
下に保たれている場合（ステップＳＴ６１でＹＥＳの場
合）でも、ステップＳＴ６２，ＳＴ６３において、排気
温度Ｔが、加熱開始からあらかじめ設定した時間ｔ１
（図３参照）以内に、あらかじめ設定した温度Ｔ１（図
３参照）に到達しないと判定された場合（ステップＳＴ
６３でＹＥＳの場合）には、制御回路１００は容器内に
被乾燥物が入っていない空炊と判断する。そして、これ
によって制御回路１００は、加熱を停止させ（ステップ
ＳＴ７５）、排気温度が十分低いことを確認した後（ス
テップＳＴ７６）、真空ポンプ１７による排気を停止さ
せ（ステップＳＴ７７）、表示部６に空炊である旨のメ
ッセージを表示させた後（ステップＳＴ５８）、装置全
体の運転動作を停止させる。

【００４７】一方また、ステップＳＴ６２，ＳＴ６３に
おいて、排気温度Ｔが、加熱開始からあらかじめ設定し
た時間ｔ１以内に、あらかじめ設定した温度Ｔ１に到達
したと判定された場合（ステップＳＴ６２でＹＥＳの場
合）には、制御回路１００は、あらかじめ設定された時
間ｔ２以内に、且つ、排気圧力Ｐが前記したあらかじめ
設定された圧力Ｐ０を下回った状態において、排気温度
Ｔが、容器内の到達真空度での水の沸点温度Ｔ０に到達
したか否かを判定する（ステップＳＴ６６，ＳＴ６７，
ＳＴ６８）。この判定処理によって、排気圧力Ｐがあら
かじめ設定された圧力Ｐ０以上となると（ステップＳＴ
６７でＮＯとされると）、制御回路１００は、マグネト
ロン１６による加熱を中断させると共に（ステップＳＴ
６４）、排気時間測定タイマ２１の内容をリセットした
後（ステップＳＴ６５）、ステップＳＴ５３に戻って排
気開始の状態から動作を再起動させる。

【００４８】またステップＳＴ６６，ＳＴ６７，ＳＴ６
８の判定処理によって、あらかじめ設定された加熱時間
ｔ２以内に、排気温度Ｔが、容器内の到達真空度での水
の沸点温度Ｔ０に到達しないと判定された場合（ステッ
プＳＴ６８でＹＥＳの場合）には、制御回路１００は、
前記した要因，，の何れかによる空炊と判断す
る。そして、これによって制御回路１００は、加熱を停
止させ（ステップＳＴ７５）、排気温度が十分低いこと
を確認した後（ステップＳＴ７６）、真空ポンプ１７に
よる排気を停止させ（ステップＳＴ７７）、表示部６に
空炊である旨をメッセージ表示させた後に（ステップＳ
Ｔ５８）、装置全体の運転動作を停止させる。

【００４９】一方また、ステップＳＴ６６，ＳＴ６７，
ＳＴ６８の判定処理によって、設定された加熱時間ｔ２
以内に、排気温度Ｔが、容器内の到達真空度での水の沸
点温度Ｔ０に到達したと判定された場合（ステップＳＴ
６６でＹＥＳの場合）には、制御回路１００は、所定期
間の加熱動作が正常に行われたと判断し、マグネトロン
１６による加熱を停止させる（ステップＳＴ６９）。そ
してこの後、制御回路１００は、排気温度Ｔが温度Ｔ２
（またはＴ２’）まで低下したことが確認されると（ス
テップＳＴ７０）、加熱時間測定タイマ２２の内容をリ
セットした後（ステップＳＴ７１）、加熱を再開させる
（ステップＳＴ７２）。そして、次に排気温度Ｔが、容
器内の到達真空度での水の沸点温度Ｔ０に到達したか否
かを判定し（ステップＳＴ７３）、ステップＳＴ７３で
ＹＥＳの場合は、ステップＳＴ６９へ戻って加熱を停止
させ、このループによってマグネトロン１６をＯＮ−Ｏ
ＦＦ制御することにより加熱−冷却を繰返す。

【００５０】また、ステップＳＴ７３でＮＯの場合は、
排気圧力Ｐがあらかじめ設定された圧力Ｐ０を超えてい
ないことを確認した後（ステップＳＴ７４）、ステップ
ＳＴ７８において、加熱再開からの計測時間ｔ’があら
かじめ設定された加熱設定時間ｔ３（またはｔ３’）を
超えたか否かを判定する。そして、ステップＳＴ７８で
ＮＯの場合は、ステップＳＴ７３へ戻る。一方、ステッ
プＳＴ７８でＹＥＳの場合は、制御回路１００は、被乾
燥物の乾燥終了と判断し、加熱を停止させ（ステップＳ
Ｔ７９）、排気温度が十分低いことを確認した後（ステ
ップＳＴ８０）、真空ポンプ１７による排気を停止させ
（ステップＳＴ８１）、表示部６に乾燥が終了した旨を
メッセージ表示させた後に（ステップＳＴ８２）、装置
全体の運転動作を停止させ、一連の処理を終了させる。

【００５１】上述したように本実施例では、真空排気開
始後の初回の加熱においては、計測時間ｔ’と排気温度
ＴがＴ１に達するまでの時間ｔ１とを比較すること、お
よび、計測時間ｔ’と温度ＴがＴ０に達するまでの時間
ｔ２とを比較することにより、空炊（被乾燥物や水分が
全く入っていない状態の空炊と、前記した要因，，
の何れかによる空炊）をそれぞれ検知するようになっ
ている。また、排気温度Ｔが、一度Ｔ０に到達した後
は、排気温度ＴがＴ２まで冷却したときに加熱時間タイ
マ２２をリセットし、加熱再開後には、計測時間ｔ’と
温度ＴがＴ０に達するまでの時間ｔ３とを比較すること
により処理終了を検知するようになっている。これによ
り本実施例においても、第１実施例と同等に、空炊と乾
燥終了の判断を行うことが出来る。

【００５２】以上のように本実施例によれば、加熱回数
計数器２３を削除することにより部品点数が削減され、
信頼性向上の効果がある。

【００５３】次に、本発明の第３実施例を図６によって
説明する。図６は本発明の第３実施例に係る真空加熱乾
燥装置の制御系の構成図である。図６に示すように本実
施例では、図４に示した前記第２実施例の構成から、主
電源スイッチ２を省略した（付加することも容易に実現
できる）。さらに、図４における主電源リレー１２、お
よび主電源リレー１２に接続された信号線を削除した。
そしてこれに伴い、制御回路１００から主電源リレー１
２に接続された信号線に付加していた蓋部リミットスイ
ッチ１１を、制御回路１００からのマグネトロン駆動リ
レー１３に対する信号線、および、制御回路１００から
の真空ポンプ駆動リレー１４に対する信号線に、それぞ
れ、少なくとも１つずつ接続する構成とした。また、図
４における圧力センサ７を省略し、制御回路１００から
のマグネトロン駆動リレー１３に対する２本の信号線
に、圧力スイッチ７１（Ｐ＜Ｐ０で導通状態となるスイ
ッチ）、および、電流センサ７２をそれぞれ接続した。

【００５４】本実施例においては、圧力スイッチ７１は
制御回路１００を経由しないため、真空排気開始後の動
作では、圧力Ｐ０到達までの時間が計測出来ない。この
ため、常時、制御回路１００から、マグネトロン駆動リ
レー１３にリレー接点接続の指令を発生させ続けてお
き、排気時間測定タイマ２１による時間ｔの測定を、圧
力Ｐ０到達までの時間の代わりに、電流センサ７２の通
電開始までの時間で測定する。これは、図５におけるＰ
＜Ｐ０をＩ≠０と置き換えることにより達成できる。一
方、圧力スイッチ７１は制御回路１００を経由しないた
め、圧力がＰ０前後で、直接、マグネトロン駆動リレー
１３に対するリレー接点接続の指令を制御することが出
来る。これ以外の各部の動作は、図４，図５に示した前
記第２実施例の動作と同じである。

【００５５】なお本実施例においても、図１に示した前
記第１実施例と同様に、蓋部リミットスイッチ１１，１
１を、処理開始スイッチ４および処理停止スイッチ５の
替わりに使用することもできる。また、図６に示した本
実施例の構成において、主電源スイッチ２、主電源リレ
ー１２、および主電源リレー１２に接続された信号線
を、図４の第２実施例と同様の配置に設置することも容
易に実現できる。さらに、制御回路１００および温度セ
ンサ８に対する条件は、図１に示した第１実施例と同様
である。なおまた、本実施例においても、図１の第１実
施例のように、加熱回数回数器２３を制御回路１００に
付加することも可能である。この場合には、図２におけ
るＰ＜Ｐ０をＩ≠０と置き換えることにより達成でき
る。

【００５６】図６に示した本第３実施例によれば、圧力
スイッチ７１は制御回路１００を経由せず、直接マグネ
トロン駆動リレー１３を遮断するため、圧力上昇時の温
度制御に対する安全性が向上するという効果がある。

【００５７】次に、本発明の第４実施例を図７によって
説明する。図７は本発明の第４実施例に係る真空加熱乾
燥装置の制御系の構成図である。図７に示すように本実
施例は、図４に示した前記第２実施例の構成から、主電
源リレー１２および主電源リレー１２に接続された信号
線、マグネトロン用サーモスタット９、容器用サーモス
タット１０を削除し、図４におけるマグネトロン用サー
モスタット９および容器用サーモスタット１０の替わり
に、制御回路１００に接続されたマグネトロン用温度セ
ンサ９１および容器用温度センサ１０１を設けた。ま
た、図４における蓋部リミットスイッチ１１を、制御回
路１００に接続し、全ての状態を制御回路１００によっ
て統括管理する構成とした。この様な構成とした場合に
は、マグネトロン用温度センサ９１および容器用温度セ
ンサ１０１を、温度センサ８と同種の物とすることが出
来る。

【００５８】図７に示した本実施例の動作は、各部のあ
らゆる駆動制御を、全て制御回路１００が直接行うこと
以外は図１に示す第１実施例と同様である。

【００５９】本実施例においても、図１に示す第１実施
例と同様に、蓋部リミットスイッチ１１を、処理開始ス
イッチ４および処理停止スイッチ５の替わりに使用する
ことも可能である。また、図７の本実施例の中で主電源
スイッチ２を削除することも、主電源リレー１２および
主電源リレー１２に接続された信号線を、図４の第２実
施例と同様に付加・設置することも容易に実現できる。
さらに、制御回路１００および圧力センサ７，温度セン
サ８に対する条件は、図１に示す第１実施例と同様であ
る。なおまた、図１の第１実施例のように、加熱回数回
数器２３を制御回路１００に付加することも可能であ
る。

【００６０】本実施例においては、全ての状態データが
制御回路１００に集約されるため、各状態データを複合
して判断するための判断回路が、共通化または簡易化さ
れるという効果がある。

【００６１】なお、上述してきた各実施例において、使
用電源は、マグネトロンおよび真空ポンプを駆動できる
ものであればどのような電源であっても使用可能であ
る。また、使用電源に応じて、主電源リレー１２、マグ
ネトロン駆動リレー１３、真空ポンプ駆動リレー１４
は、機械的リレー，半導体リレー等の他に、使用電源に
適合した、外部信号により開閉するスイッチとしての役
割を果たすものであればどのようなものでも使用可能で
ある。また、排気時間測定タイマ２１と加熱時間測定タ
イマ２２とを、１つのタイマで共用することも可能であ
る。さらに、蓋部リミットスイッチ１１の替わりに、蓋
の開閉時に回転する部分に取り付けた回転検知センサ等
を使用することも可能である。また、制御フローについ
ても、図２または図５に示す制御フローだけでなく、各
実施例における一連の処理操作と同等の制御を行うこと
が出来るものであれば、どのような制御フローでも代用
可能である。

【００６２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、容器内圧
力および排気温度の時間的変化をモニタリングすること
により、容器のリークや、空炊（容器内に被乾燥物が入
っていないことや、容器内に当初から乾燥し切った被乾
燥物がいれられていること）という異常を的確に検知可
能となり、異常と判定した場合には装置を速やかに自動
停止させることによって安全性を確保し、また、容器内
に水分を含んだ被乾燥物が入っている場合には、正常終
了まで装置を動作させるため、信頼性の高い真空加熱乾
燥装置が実現でき、その価値は多大である。

【００６３】また、制御温度幅を小さくすることによ
り、マグネトロンによる加熱の比率を大きくできるた
め、処理速度の向上を図れるという利点もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る真空加熱乾燥装置の
制御系の構成を示す構成図である。

【図２】図１の制御回路で実行される制御処理フローを
示すフローチャート図である。

【図３】本発明の各実施例での真空加熱乾燥動作による
排気温度変化の１例を示す説明図である。

【図４】本発明の第２実施例に係る真空加熱乾燥装置の
制御系の構成を示す構成図である。

【図５】図４の制御回路で実行される制御処理フローを
示すフローチャート図である。

【図６】本発明の第３実施例に係る真空加熱乾燥装置の
制御系の構成を示す構成図である。

【図７】本発明の第４実施例に係る真空加熱乾燥装置の
制御系の構成を示す構成図である。

【符号の説明】

１ コンセント ２ 主電源スイッチ ３ 制御回路用電源 ４ 処理開始スイッチ ５ 処理停止スイッチ ６ 表示部 ７ 排気管に設置した圧力センサ ８ 排気管に設置した温度センサ ９ マグネトロン用サーモスタット １０ 容器用サーモスタット １１ 蓋部リミットスイッチ １２ 主電源リレー １３ マグネトロン駆動リレー １４ 真空ポンプ駆動リレー １５ マグネトロン用高圧電源 １６ マグネトロン １７ 真空ポンプ １８ マグネトロン冷却用ブロア ２１ 排気時間測定タイマ ２２ 加熱時間測定タイマ ２３ 加熱回数計数器 ７１ 圧力スイッチ ７２ 電流センサ ９１ マグネトロン用温度センサ １００ 制御回路 １０１ 容器用温度センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F26B 25/00 F26B 3/347 F26B 5/04

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被乾燥物を収納するマイクロ波遮蔽容器
   と、該マイクロ波遮蔽容器内を真空排気する真空ポンプ
   と、前記マイクロ波遮蔽容器内の被乾燥物を加熱するマ
   グネトロンとを、具備し前記マイクロ波遮蔽容器外の排
   気配管に、温度センサと圧力センサを付加し、さらに、
   前記真空加熱乾燥装置全体の統括制御を司る制御装置
   に、タイマを付加し、前記制御装置は、前記温度センサ
   及び圧力センサ及びタイマからの情報に基づき異常と判
   定される場合には、運転動作を停止させるようにした真
   空加熱乾燥装置の制御方式であって、 前記制御装置は、前記マグネトロンを駆動する以前の始
   動真空排気動作時および前記マグネトロンによる加熱動
   作を伴う真空排気動作中に、前記タイマと前記圧力セン
   サとにより前記マイクロ波遮蔽容器内の被乾燥物にかか
   る圧力の変化をモニタしながら、前記真空ポンプを駆動
   制御し、所定時間経過後も所定圧力に達しない場合には
   異常と判断し、前記始動真空排気動作時には、即座に装
   置全体の運転動作を停止させると共に警告を表示させ、
   また、前記マグネトロンによる加熱動作を伴う真空排気
   動作中である場合には、前記マグネトロンによる加熱を
   停止させ、次に真空排気を所定期間だけ継続させて排気
   温度を低下させた後、真空排気を停止させて装置全体の
   運転動作を停止させると共に、警告を表示させることを
   特徴とする真空加熱乾燥装置の制御方式。
2. 【請求項２】 請求項１記載において、 前記制御装置は、所定圧力到達後に、前記タイマと前記
   温度センサとにより前記マイクロ波遮蔽容器内の被乾燥
   物から発生する水蒸気の排気温度の変化をモニタしなが
   ら前記マグネトロンを駆動制御し、初回加熱の際におい
   て、所定時間経過後も排気温度が所定温度まで上昇しな
   い場合には異常と判断して前記マグネトロンを停止さ
   せ、次に排気温度が十分低いことを確認した後に、真空
   排気を停止させて装置全体の運転動作を停止させると共
   に、警告を表示させることを特徴とする真空加熱乾燥装
   置の制御方式。
3. 【請求項３】 請求項２記載において、 前記制御装置は、前記所定圧力及び前記所定温度到達後
   に、前記タイマと前記 温度センサとにより排気温度の変
   化をモニタしながら前記マグネトロンを駆動制御し、排
   気温度が前記マイクロ波遮蔽容器内の到達真空度での水
   の沸点温度に到達した時点で、前記マグネトロンによる
   加熱と前記タイマによる時間計測を停止させ、排気温度
   が前記の沸点温度から所定温度差だけ低下した後に、前
   記マグネトロンによる加熱と前記タイマによる時間計測
   を再起動させることを特徴とする真空加熱乾燥装置の制
   御方式。
4. 【請求項４】 請求項３記載において、 前記制御装置は、初回加熱でない場合において、前記マ
   グネトロンの再起動後に所定時間経過後も、排気温度が
   前記マイクロ波遮蔽容器内の到達真空度での水の沸点温
   度に達しない場合には乾燥終了と判断し、前記マグネト
   ロンを停止させ、次に排気温度が十分低いことを確認し
   た後に、真空排気を停止させて装置全体の運転動作を停
   止させると共に、乾燥終了を表示させることを特徴とす
   る真空加熱乾燥装置の制御方式。