JP3029860B2 - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JP3029860B2 JP3029860B2 JP2312763A JP31276390A JP3029860B2 JP 3029860 B2 JP3029860 B2 JP 3029860B2 JP 2312763 A JP2312763 A JP 2312763A JP 31276390 A JP31276390 A JP 31276390A JP 3029860 B2 JP3029860 B2 JP 3029860B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- discharge
- pressure
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はガスレーザ装置に係り、更に詳細には発振
器を囲む気密容器に関するものである。
器を囲む気密容器に関するものである。
（従来の技術） 従来のガスレーザ装置においては、発振器の放電容器
は、内部を大気よりも低くする必要があるため、Ｏリン
グ等の真空シールにより、複数の部品を接合して組立て
られていた。しかし、真空シールは漏洩が全く無いわけ
ではなく、放電容器内に大気及び大気中の不純物（水分
等）が混入することになり、ガスレーザ装置の動作を不
安定なものにしていた。そのため、定期的または連続的
なレーザガスの交換が必要であった。
は、内部を大気よりも低くする必要があるため、Ｏリン
グ等の真空シールにより、複数の部品を接合して組立て
られていた。しかし、真空シールは漏洩が全く無いわけ
ではなく、放電容器内に大気及び大気中の不純物（水分
等）が混入することになり、ガスレーザ装置の動作を不
安定なものにしていた。そのため、定期的または連続的
なレーザガスの交換が必要であった。
（発明が解決しようとする課題） 前記のようにレーザガスを定期的または連続的に交換
することは、煩雑であり、またコストの面からも好まし
いことではない。これは、発振器の放電容器の外側に大
気があり、かつ放電容器内が外側より低圧であることに
より、前記のような不都合が生じるのであるから、放電
容器の外側に内部へ混入すべき大気がない状態にすれ
ば、レーザ装置の動作が不安定になることはない。この
発明はこのような観点から創案されたもので、放電容器
の内部へ大気が漏洩することを防止し、安定な発振を行
なうことのできるガスレーザ装置を提供することを目的
とするものである。
することは、煩雑であり、またコストの面からも好まし
いことではない。これは、発振器の放電容器の外側に大
気があり、かつ放電容器内が外側より低圧であることに
より、前記のような不都合が生じるのであるから、放電
容器の外側に内部へ混入すべき大気がない状態にすれ
ば、レーザ装置の動作が不安定になることはない。この
発明はこのような観点から創案されたもので、放電容器
の内部へ大気が漏洩することを防止し、安定な発振を行
なうことのできるガスレーザ装置を提供することを目的
とするものである。
（課題を解決するための手段） 前述のごとき問題に鑑みて、本発明は、放電電極を内
装した放電容器を備えると共に、当該放電容器を内装し
た気密容器を設けて二重構造となし、上記放電容器内に
充填したレーザガスと同一のレーザガスを前記気密容器
に充填した構成であり、上記気密容器内の圧力を、大気
圧より高い圧力に設けてあるものである。
装した放電容器を備えると共に、当該放電容器を内装し
た気密容器を設けて二重構造となし、上記放電容器内に
充填したレーザガスと同一のレーザガスを前記気密容器
に充填した構成であり、上記気密容器内の圧力を、大気
圧より高い圧力に設けてあるものである。
（実施例） 次に、この発明の実施例について図面に基づいて説明
する。第１図はこの発明の１つの実施例の説明図であ
る。図示のようにガスレーザ発振器１は、放電容器3,放
電電極5,7、出力ミラー９、反射ミラー11、共振器支持
枠13等から構成されている。レーザガスは放電電極5,7
間で放電励起され、共振器を構成する各ミラー9,11で増
幅され、レーザ光Ｌは出力ミラー９から矢印のように左
方向へ放出される。
する。第１図はこの発明の１つの実施例の説明図であ
る。図示のようにガスレーザ発振器１は、放電容器3,放
電電極5,7、出力ミラー９、反射ミラー11、共振器支持
枠13等から構成されている。レーザガスは放電電極5,7
間で放電励起され、共振器を構成する各ミラー9,11で増
幅され、レーザ光Ｌは出力ミラー９から矢印のように左
方向へ放出される。
ガスレーザ発振器１の外側には、これを囲んで気密容
器15が設けてあり、その左側端面にはレーザ光Ｌをとり
だす窓17が取付けてある。また、放電容器３及び気密容
器15には、それらの内部の圧力を減圧するための配管1
9,21が設けてあり、それぞれストップバルブSV1,SV2を
経て真空ポンプ23へ接続されている。
器15が設けてあり、その左側端面にはレーザ光Ｌをとり
だす窓17が取付けてある。また、放電容器３及び気密容
器15には、それらの内部の圧力を減圧するための配管1
9,21が設けてあり、それぞれストップバルブSV1,SV2を
経て真空ポンプ23へ接続されている。
レーザ装置を運転する場合は、まず、ストップバルブ
SV1,SV2を共に開き、放電容器３、気密容器15を真空排
気する。真空排気が完了するとストップバルブSV1を閉
じ、放電容器３にレーザガスを充填し、運転を開始す
る。レーザ装置が運転中は、ストップバルブSV1は圧力
調整のため開−閉が行なわれるが、ストップバルブSV2
は開いたままであり、気密容器15の内部を排気し続け
る。したがって、放電容器３の外部は内部より低圧のた
め、外部よりの漏洩はなく、また、気密容器15の内部は
外部から大気が漏洩しても、真空ポンプ23により速やか
に排出される。
SV1,SV2を共に開き、放電容器３、気密容器15を真空排
気する。真空排気が完了するとストップバルブSV1を閉
じ、放電容器３にレーザガスを充填し、運転を開始す
る。レーザ装置が運転中は、ストップバルブSV1は圧力
調整のため開−閉が行なわれるが、ストップバルブSV2
は開いたままであり、気密容器15の内部を排気し続け
る。したがって、放電容器３の外部は内部より低圧のた
め、外部よりの漏洩はなく、また、気密容器15の内部は
外部から大気が漏洩しても、真空ポンプ23により速やか
に排出される。
第２図は、気密容器15に、所定のガスとして放電容器
３内のガスと同一のレーザガスを充填した場合の実施例
の説明図である。第１図の構成に配管25,ストップバル
ブSV3及びガスボンベ27が追加されている。レーザ装置
を運転する場合は、第１図の場合と同様にストッブバル
ブSV1,SV2を共に開き、放電容器3,気密容器15を真空排
気する。この場合、ストップバルブSV3は閉じている。
真空排気が完了すると、ストップバルブSV1,SV2をとも
に閉じ、放電容器３内にレーザガスを充填すると共に、
ストップバルブSV3を開き、気密容器15内に、ガスボン
ベ27からレーザガスを、放電容器３内の圧力より高い圧
力になるように充填する。
３内のガスと同一のレーザガスを充填した場合の実施例
の説明図である。第１図の構成に配管25,ストップバル
ブSV3及びガスボンベ27が追加されている。レーザ装置
を運転する場合は、第１図の場合と同様にストッブバル
ブSV1,SV2を共に開き、放電容器3,気密容器15を真空排
気する。この場合、ストップバルブSV3は閉じている。
真空排気が完了すると、ストップバルブSV1,SV2をとも
に閉じ、放電容器３内にレーザガスを充填すると共に、
ストップバルブSV3を開き、気密容器15内に、ガスボン
ベ27からレーザガスを、放電容器３内の圧力より高い圧
力になるように充填する。
レーザ装置の運転中は、ストップバルブSV1は圧力調
整のため、開−閉を繰返し、ストップバルブSV2は閉じ
ており、ストップバルブSV3は状況により開閉いづれか
になる。この場合には放電容器３内の圧力は気密容器15
内の圧力より低いので、気密容器15内のレーザガスが漏
洩するが、これは同一ガスであるので、問題にならな
い。
整のため、開−閉を繰返し、ストップバルブSV2は閉じ
ており、ストップバルブSV3は状況により開閉いづれか
になる。この場合には放電容器３内の圧力は気密容器15
内の圧力より低いので、気密容器15内のレーザガスが漏
洩するが、これは同一ガスであるので、問題にならな
い。
気密容器15内の圧力は大気圧より高い場合と低い場合
があるが、高い場合は大気は気密容器15内へ漏洩しない
ので問題はない。低い場合には、作用のところで述べた
ように大気が気密容器内に漏洩し、気密容器内へ混入し
た大気の一部が更に放電容器内へ混入するが、漏洩する
大気は、気密容器内のレーザガスによって希釈されるた
め、その量は極めて少ない。
があるが、高い場合は大気は気密容器15内へ漏洩しない
ので問題はない。低い場合には、作用のところで述べた
ように大気が気密容器内に漏洩し、気密容器内へ混入し
た大気の一部が更に放電容器内へ混入するが、漏洩する
大気は、気密容器内のレーザガスによって希釈されるた
め、その量は極めて少ない。
この例では、気密容器に充填するガスは、レーザガス
にしてあるが、放電に悪影響を与えなければ、他のガス
でもよい。また、発振器全体を気密容器で囲わないで、
漏洩の多い部分を気密容器で囲うようにしてもよい。
にしてあるが、放電に悪影響を与えなければ、他のガス
でもよい。また、発振器全体を気密容器で囲わないで、
漏洩の多い部分を気密容器で囲うようにしてもよい。
［発明の効果］ 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、要
するに本発明は、放電電極（5,7）を内装した放電容器
（３）を備えると共に、当該放電容器（３）を内装した
気密容器（15）を設けて二重構造となし、上記放電容器
（３）内に充填したレーザガスと同一のレーザガスを前
記気密容器（15）に充填した構成であり、上記気密容器
（15）内の圧力を、大気圧より高い圧力に設けてあるも
のである。
するに本発明は、放電電極（5,7）を内装した放電容器
（３）を備えると共に、当該放電容器（３）を内装した
気密容器（15）を設けて二重構造となし、上記放電容器
（３）内に充填したレーザガスと同一のレーザガスを前
記気密容器（15）に充填した構成であり、上記気密容器
（15）内の圧力を、大気圧より高い圧力に設けてあるも
のである。
したがって、本発明によれば、気密容器15内のレーザ
ガスが放電容器３内へ漏洩する場合であっても同一のレ
ーザガスであるから、レーザ発振には何等の問題もない
ものである。
ガスが放電容器３内へ漏洩する場合であっても同一のレ
ーザガスであるから、レーザ発振には何等の問題もない
ものである。
また、気密容器15内へ外気が漏洩するようなことがな
く、かつ放電容器３内に大気が入り込むようなこともな
いものである。
く、かつ放電容器３内に大気が入り込むようなこともな
いものである。
第１図はこの発明の１つの実施例，第２図は他の実施例
の説明図である。 １……ガスレーザ発振器、３……放電容器、15……気密
容器
の説明図である。 １……ガスレーザ発振器、３……放電容器、15……気密
容器
Claims (1)
- 【請求項１】放電電極（5,7）を内装した放電容器
（３）を備えると共に、当該放電容器（３）を内装した
気密容器（15）を設けて二重構造となし、上記放電容器
（３）中に充填したレーザガスと同一のレーザガスを前
記気密容器（15）に充填した構成であり、上記気密容器
（15）内の圧力を、大気圧より高い圧力に設けてあるこ
とを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312763A JP3029860B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312763A JP3029860B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04184986A JPH04184986A (ja) | 1992-07-01 |
| JP3029860B2 true JP3029860B2 (ja) | 2000-04-10 |
Family
ID=18033131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2312763A Expired - Fee Related JP3029860B2 (ja) | 1990-11-20 | 1990-11-20 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3029860B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060222034A1 (en) | 2005-03-31 | 2006-10-05 | Cymer, Inc. | 6 Khz and above gas discharge laser system |
| JP2011233723A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ装置 |
-
1990
- 1990-11-20 JP JP2312763A patent/JP3029860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04184986A (ja) | 1992-07-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6219368B1 (en) | Beam delivery system for molecular fluorine (F2) laser | |
| JP3029860B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH07260646A (ja) | 試料容器 | |
| JPH11304633A (ja) | エアーリーク検出装置 | |
| US4321558A (en) | Recirculating gas laser | |
| JPH0393286A (ja) | 輻射エネルギー源の為の利得媒質 | |
| JP2867389B2 (ja) | イオンビーム装置およびその使用方法 | |
| JPS5812700B2 (ja) | 電子線装置 | |
| JP2000182958A (ja) | 真空装置 | |
| JP2868542B2 (ja) | 真空配管 | |
| US3740110A (en) | Fabrication method for gas lasers having integral mirrors | |
| JPH0755087A (ja) | 真空断熱容器の開口部閉塞方法 | |
| JPH0632703Y2 (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH0480979A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS5845780B2 (ja) | 電子銃 | |
| JPS6342459Y2 (ja) | ||
| JP2000223757A (ja) | ガスレーザ | |
| JPS6041276A (ja) | レ−ザ媒質ガス交換装置 | |
| JPH0480977A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH0758816B2 (ja) | ガスレーザ装置におけるレーザ媒質ガス交換方法 | |
| JPS6182656A (ja) | 金属蒸気放電灯 | |
| JPS5878479A (ja) | ガスレ−ザ管の光軸調整機構 | |
| JP2003500792A (ja) | 還元ガスを使用した電界放出デバイスおよびその製造方法 | |
| JP2647922B2 (ja) | 電子顕微鏡の排気系 | |
| JPH04365389A (ja) | ガスレーザ発振装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |