JP3029482B2 - 静電容量型センサの製造方法 - Google Patents
静電容量型センサの製造方法Info
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- JP3029482B2 JP3029482B2 JP3150870A JP15087091A JP3029482B2 JP 3029482 B2 JP3029482 B2 JP 3029482B2 JP 3150870 A JP3150870 A JP 3150870A JP 15087091 A JP15087091 A JP 15087091A JP 3029482 B2 JP3029482 B2 JP 3029482B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルコール混合比センサ
（ＦＦセンサ）、液レベルセンサ、オイル汚れセンサ等
に利用される静電容量型センサに関する。
（ＦＦセンサ）、液レベルセンサ、オイル汚れセンサ等
に利用される静電容量型センサに関する。
【０００２】
【従来の技術・課題】近年、ガソリンにメタノールを混
合してなるアルコール燃料によって走行できるアルコー
ル燃料自動車（ＦＦＶ）が脚光を浴びている。この場
合、ガソリンとアルコールの理論空燃比が異なるため、
燃料中のガソリンとアルコールの混合率を測定し、最適
なエンジン制御により完全燃焼させる必要がある。その
ための混合比検出センサとして、ガソリンとメタノール
の比誘電率の違いを利用した静電容量型センサが用いら
れる。
合してなるアルコール燃料によって走行できるアルコー
ル燃料自動車（ＦＦＶ）が脚光を浴びている。この場
合、ガソリンとアルコールの理論空燃比が異なるため、
燃料中のガソリンとアルコールの混合率を測定し、最適
なエンジン制御により完全燃焼させる必要がある。その
ための混合比検出センサとして、ガソリンとメタノール
の比誘電率の違いを利用した静電容量型センサが用いら
れる。
【０００３】従来、この静電容量型センサとしては、二
枚の金属板を所定の間隔をもって配置したものが周知で
あるが、金属板間の短絡対策が難しい。また、図６に示
すように、二枚の絶縁基板（１）、（１）を所定の間隔
をもって配置し、その基板同士の対向面に夫々電極
（２）、（２）を備えたものがある。この場合、被測定
液のアルコール−ガソリン混合比を電極間の静電容量変
化をもって検知するためには、その被測定液が二枚の基
板（１）、（１）の間隔に入り込んで電極（２）、
（２）に接触しなければならないことから、通常その間
隔は１ｍｍ以上とされる。
枚の金属板を所定の間隔をもって配置したものが周知で
あるが、金属板間の短絡対策が難しい。また、図６に示
すように、二枚の絶縁基板（１）、（１）を所定の間隔
をもって配置し、その基板同士の対向面に夫々電極
（２）、（２）を備えたものがある。この場合、被測定
液のアルコール−ガソリン混合比を電極間の静電容量変
化をもって検知するためには、その被測定液が二枚の基
板（１）、（１）の間隔に入り込んで電極（２）、
（２）に接触しなければならないことから、通常その間
隔は１ｍｍ以上とされる。
【０００４】しかし、正確にアルコール濃度（ガソリン
とアルコールとの混合率）を測定するためには得られる
静電容量の絶縁値が大きい方がよいのであるが、上記の
ように基板間の間隔を大きくすると静電容量値が小さく
なり、測定精度が低くならざるを得ないし、静電容量値
を高めるために電極（２）、（２）面積を大きくする
と、大型化してしまう。また、間隔を狭めると電極曲り
等による製品バラツキが大きくなり、使用時において被
測定液中の不純物等により目詰りし易い。更に、基板
（１）、（１）のソリや温度変化による変形によって基
板の間隔にバラツキを生じるので、同じ濃度の被測定液
を流しても静電容量値が変化し、被測定液の濃度に対応
した静電容量値とならない。燃料管にシール性良く組付
けることも容易ではなかった。従って、被測定液の正確
な濃度を測定できず、簡易な組付構造とならないため量
産性にも乏しいものとなっていた。
とアルコールとの混合率）を測定するためには得られる
静電容量の絶縁値が大きい方がよいのであるが、上記の
ように基板間の間隔を大きくすると静電容量値が小さく
なり、測定精度が低くならざるを得ないし、静電容量値
を高めるために電極（２）、（２）面積を大きくする
と、大型化してしまう。また、間隔を狭めると電極曲り
等による製品バラツキが大きくなり、使用時において被
測定液中の不純物等により目詰りし易い。更に、基板
（１）、（１）のソリや温度変化による変形によって基
板の間隔にバラツキを生じるので、同じ濃度の被測定液
を流しても静電容量値が変化し、被測定液の濃度に対応
した静電容量値とならない。燃料管にシール性良く組付
けることも容易ではなかった。従って、被測定液の正確
な濃度を測定できず、簡易な組付構造とならないため量
産性にも乏しいものとなっていた。
【０００５】
【解決手段・作用】上述した課題を解決するために、本
発明の静電容量型センサの製造方法は、一対の電極に測
定流体を接触させ、該一対の電極間に発生する静電容量
に基づいて、該測定流体の誘電特性を測定する静電容量
型センサの製造方法であって、未焼成ないし仮焼後のセ
ラミック絶縁基板材料上に、焼成後において互いに離間
した一対の電極となるよう電極材料を形成し、さらに、
該未焼成ないし仮焼後のセラミック絶縁基板材料上に焼
成後において厚みが１５〜１５０μｍのセラミック絶縁
層となるようセラミック絶縁層材料を積層した後、この
積層体を同時焼成することを特徴とする。
発明の静電容量型センサの製造方法は、一対の電極に測
定流体を接触させ、該一対の電極間に発生する静電容量
に基づいて、該測定流体の誘電特性を測定する静電容量
型センサの製造方法であって、未焼成ないし仮焼後のセ
ラミック絶縁基板材料上に、焼成後において互いに離間
した一対の電極となるよう電極材料を形成し、さらに、
該未焼成ないし仮焼後のセラミック絶縁基板材料上に焼
成後において厚みが１５〜１５０μｍのセラミック絶縁
層となるようセラミック絶縁層材料を積層した後、この
積層体を同時焼成することを特徴とする。
【０００６】かかる発明により製造される静電容量型セ
ンサによれば、例えば、図１に示すように一のセラミッ
ク絶縁基板（１）表面に両電極（２）、（２）が存在す
るので、被測定液は狭い間隔には入り込む必要がない。
又、一対の電極（２）、（２）は通常のスクリーン印刷
法などにより、その離間距離が一定のものを一の基板表
面に簡易に形成でき、しかも仮に絶縁基板（１）にソ
リ、変形等が生じても一対の電極（２）、（２）間距離
には殆ど影響を及ぼさない。そして、液濃度の測定時に
は、浸漬などによって被測定液を両電極（２）、（２）
に接触させることにより一対の電極（２）、（２）間の
静電容量変化によって、液濃度ないしは混合比を検出で
きる。
ンサによれば、例えば、図１に示すように一のセラミッ
ク絶縁基板（１）表面に両電極（２）、（２）が存在す
るので、被測定液は狭い間隔には入り込む必要がない。
又、一対の電極（２）、（２）は通常のスクリーン印刷
法などにより、その離間距離が一定のものを一の基板表
面に簡易に形成でき、しかも仮に絶縁基板（１）にソ
リ、変形等が生じても一対の電極（２）、（２）間距離
には殆ど影響を及ぼさない。そして、液濃度の測定時に
は、浸漬などによって被測定液を両電極（２）、（２）
に接触させることにより一対の電極（２）、（２）間の
静電容量変化によって、液濃度ないしは混合比を検出で
きる。
【０００７】
【好適な態様】一のセラミック絶縁基板（１）としては
取付状況に応じて平板状、円柱状、角状など種々の形状
のものを使用できる。セラミック絶縁基板材料としては
例えばＡｌ2Ｏ3系、ステアタイト系などが好ましい。
取付状況に応じて平板状、円柱状、角状など種々の形状
のものを使用できる。セラミック絶縁基板材料としては
例えばＡｌ2Ｏ3系、ステアタイト系などが好ましい。
【０００８】一対の電極（２）、（２）の形成はスクリ
ーン印刷法によることが好ましい。各電極の幅や一対の
電極の離間距離などを所望の寸法形状に形成でき、その
再現性も良く、量産性に優れる。検出部Ａ（図５参照）
における一対の電極パターンの離間距離は例えば０．１
５〜０．４ｍｍ程度にするとよい。この電極間距離は検
出部（Ａ）における電極パターン全域において一定とす
ることが高い検出精度を維持する上で好ましい。又、検
出部における各電極長はできるかぎり長くすると良く、
その為にくし状電極とか旋回状電極にするとよい。電極
を絶縁基板と強固に固着させるためには、生状態ないし
は仮焼後の基板材料に電極材料として有機系バインダを
含有する金属インキを印刷した後基板材料の焼成と電極
の焼付けとを同時に行うことが好ましい。基板材料に電
極材料として有機インク（メタルオーガニックペース
ト）を印刷、焼付けてもよい。スパッタリング、蒸着な
ど物理的固着方法にすることにより小型化することもで
きる。この場合、電極の離間距離を０．５μｍ程度にす
ることが可能である。
ーン印刷法によることが好ましい。各電極の幅や一対の
電極の離間距離などを所望の寸法形状に形成でき、その
再現性も良く、量産性に優れる。検出部Ａ（図５参照）
における一対の電極パターンの離間距離は例えば０．１
５〜０．４ｍｍ程度にするとよい。この電極間距離は検
出部（Ａ）における電極パターン全域において一定とす
ることが高い検出精度を維持する上で好ましい。又、検
出部における各電極長はできるかぎり長くすると良く、
その為にくし状電極とか旋回状電極にするとよい。電極
を絶縁基板と強固に固着させるためには、生状態ないし
は仮焼後の基板材料に電極材料として有機系バインダを
含有する金属インキを印刷した後基板材料の焼成と電極
の焼付けとを同時に行うことが好ましい。基板材料に電
極材料として有機インク（メタルオーガニックペース
ト）を印刷、焼付けてもよい。スパッタリング、蒸着な
ど物理的固着方法にすることにより小型化することもで
きる。この場合、電極の離間距離を０．５μｍ程度にす
ることが可能である。
【０００９】特に、被測定液が導電性液である場合、電
極を被覆してセラミック絶縁層（３）を備えることが有
効である。何故なら、導電性液が電極に接触すると、電
極同士が導通してしまい、静電容量が計れなくなるから
である。被測定液としてアルコールとガソリンとの混合
燃料には水分（Ｈ2Ｏ）など導電性物質が不純物として
混入することがあり、そのような場合にも、またオイル
レベルセンサに用いた場合にも使用液中に含まれる金属
粉による影響を防止できる。セラミック絶縁層材料とし
ては耐久性、耐食性等の見地から選択すれば良く、例え
ばＡｌ2Ｏ3質等を広く使用できる。セラミック絶縁層材
料は、焼成前のセラミック基板材料（及び電極材料）に
積層し同時焼成することが好ましい。絶縁層の厚みは１
５０μｍ以下、より好ましくは１２０μｍ以下にすると
よく、セラミック絶縁層の場合には１５μｍ以上にする
とよい。セラミック基板材料とセラミック絶縁層材料の
同時焼成の場合、１５μｍ未満では絶縁層に存在するピ
ンホール（通常２〜４μｍ程度）によりショートしてし
まい、絶縁層としての機能を果せないおそれがある。１
５０μｍより厚くすると、被測定液の濃度に対応した静
電容量が小さくなり、センサとして測定精度が低下す
る。
極を被覆してセラミック絶縁層（３）を備えることが有
効である。何故なら、導電性液が電極に接触すると、電
極同士が導通してしまい、静電容量が計れなくなるから
である。被測定液としてアルコールとガソリンとの混合
燃料には水分（Ｈ2Ｏ）など導電性物質が不純物として
混入することがあり、そのような場合にも、またオイル
レベルセンサに用いた場合にも使用液中に含まれる金属
粉による影響を防止できる。セラミック絶縁層材料とし
ては耐久性、耐食性等の見地から選択すれば良く、例え
ばＡｌ2Ｏ3質等を広く使用できる。セラミック絶縁層材
料は、焼成前のセラミック基板材料（及び電極材料）に
積層し同時焼成することが好ましい。絶縁層の厚みは１
５０μｍ以下、より好ましくは１２０μｍ以下にすると
よく、セラミック絶縁層の場合には１５μｍ以上にする
とよい。セラミック基板材料とセラミック絶縁層材料の
同時焼成の場合、１５μｍ未満では絶縁層に存在するピ
ンホール（通常２〜４μｍ程度）によりショートしてし
まい、絶縁層としての機能を果せないおそれがある。１
５０μｍより厚くすると、被測定液の濃度に対応した静
電容量が小さくなり、センサとして測定精度が低下す
る。
【００１０】その他、電極（２）、（２）材料がタング
ステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）など酸化され易い材
料である場合、耐酸化層で被覆することが好ましい。例
えばニッケル（Ｎｉ）をメッキ等して形成する。
ステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）など酸化され易い材
料である場合、耐酸化層で被覆することが好ましい。例
えばニッケル（Ｎｉ）をメッキ等して形成する。
【００１１】
【実施例】Ａｌ２Ｏ３ ９０％、ＳｉＯ２ ６％、Ｍｇ
Ｏ、ＣａＯ等４％を調合し、４０時間湿式混合した。乾
燥後ほぐし（２０メッシュパス）、溶剤を加え、１０時
間粉砕した後、有機バインダーを加え更に５時間混合し
た。ドクターブレード法により厚みが夫々５０μｍ、１
２０μｍ、２００μｍ及び７００μｍの各シートに成形
した。自然乾燥後、２００℃で２時間さらに乾燥させ
た。その後、６０×９０ｍｍの寸法に切断してＡｌ２Ｏ
３質シートを得た。
Ｏ、ＣａＯ等４％を調合し、４０時間湿式混合した。乾
燥後ほぐし（２０メッシュパス）、溶剤を加え、１０時
間粉砕した後、有機バインダーを加え更に５時間混合し
た。ドクターブレード法により厚みが夫々５０μｍ、１
２０μｍ、２００μｍ及び７００μｍの各シートに成形
した。自然乾燥後、２００℃で２時間さらに乾燥させ
た。その後、６０×９０ｍｍの寸法に切断してＡｌ２Ｏ
３質シートを得た。
【００１２】次に、厚み７００μｍのＡｌ2Ｏ3質シート
を基体シート（未焼成セラミック基板材料）として用
い、このシート表面に、図１、図５に示すようなパター
ン（図１はラセン状、図５はクシ状パターン）が多数形
成されるように、電極材料としてタングステン（Ｗ）又
は白金（Ｐｔ）をスクリーン印刷した。この場合、電極
パターンの幅０．３５ｍｍ、一対の電極パターン間の離
間距離０．２ｍｍ、厚み２０μｍとした。そして、この
電極パターンが多数形成されたシートを各電極パターン
毎のシートになるように切断した（４０×１２ｍｍ）。
さらに、一部の試料（Ｎｏ．２〜４；Ｎｏ．９）につい
ては、前記Ａｌ2Ｏ3質シートのうち厚み５０μｍ、１２
０μｍ及び２００μｍのもの（未焼成セラミック絶縁層
材料）を、電極パターンを被覆して積層した。そして、
この積層体を同様に所定の寸法（４０×１２ｍｍ）に切
断して各電極パターン毎の積層体を得た（図３，４）。
３００℃で２４時間加熱して樹脂抜きを行なった後、１
６００℃で１時間大気中にて焼成した。又、他の一部の
試料（Ｎｏ．５〜７：Ｎｏ．１０、これらは参考例）に
ついては、ポリイミドフィルムを積層するか又はテフロ
ンを塗布した後、その後乾燥して絶縁層を形成し、その
積層体を所定寸法に切断した。この場合、ポリイミドフ
ィルムとしては厚み４０μｍのものを用い、このフィル
ム１〜３枚をポリイミドワニスを用いて積層させた。
尚、各電極パターン毎の積層体は焼成後において３５×
１０ｍｍの寸法に収縮した。又、各シート（５０，１２
０，２００及び７００μｍ）は、焼成後において夫々４
０，９５，１６０及び５６０μｍの厚みとなった。
を基体シート（未焼成セラミック基板材料）として用
い、このシート表面に、図１、図５に示すようなパター
ン（図１はラセン状、図５はクシ状パターン）が多数形
成されるように、電極材料としてタングステン（Ｗ）又
は白金（Ｐｔ）をスクリーン印刷した。この場合、電極
パターンの幅０．３５ｍｍ、一対の電極パターン間の離
間距離０．２ｍｍ、厚み２０μｍとした。そして、この
電極パターンが多数形成されたシートを各電極パターン
毎のシートになるように切断した（４０×１２ｍｍ）。
さらに、一部の試料（Ｎｏ．２〜４；Ｎｏ．９）につい
ては、前記Ａｌ2Ｏ3質シートのうち厚み５０μｍ、１２
０μｍ及び２００μｍのもの（未焼成セラミック絶縁層
材料）を、電極パターンを被覆して積層した。そして、
この積層体を同様に所定の寸法（４０×１２ｍｍ）に切
断して各電極パターン毎の積層体を得た（図３，４）。
３００℃で２４時間加熱して樹脂抜きを行なった後、１
６００℃で１時間大気中にて焼成した。又、他の一部の
試料（Ｎｏ．５〜７：Ｎｏ．１０、これらは参考例）に
ついては、ポリイミドフィルムを積層するか又はテフロ
ンを塗布した後、その後乾燥して絶縁層を形成し、その
積層体を所定寸法に切断した。この場合、ポリイミドフ
ィルムとしては厚み４０μｍのものを用い、このフィル
ム１〜３枚をポリイミドワニスを用いて積層させた。
尚、各電極パターン毎の積層体は焼成後において３５×
１０ｍｍの寸法に収縮した。又、各シート（５０，１２
０，２００及び７００μｍ）は、焼成後において夫々４
０，９５，１６０及び５６０μｍの厚みとなった。
【００１３】得られた静電容量型センサ本体を図１〜５
に示す。従来のセンサ本体とは異なり、基板（１）が一
つのみであり、この一の基板（１）表面に両電極
（２）、（２）が備えられている。尚、図３，４におい
て（３）は絶縁層であり、電極パターンのうち特に検知
部（Ａ）即ち電極同士が近接している部分を被覆してい
る。
に示す。従来のセンサ本体とは異なり、基板（１）が一
つのみであり、この一の基板（１）表面に両電極
（２）、（２）が備えられている。尚、図３，４におい
て（３）は絶縁層であり、電極パターンのうち特に検知
部（Ａ）即ち電極同士が近接している部分を被覆してい
る。
【００１４】こうして得られた静電容量型センサ本体の
特性を次のようにして調べた。即ち、センサ本体の電極
端子から絶縁被覆されたシールドリードを引き出し、市
販のＬ．Ｃ．Ｒ．メータ（Ｌ：インダクタンス、Ｃ：容
量、Ｒ：抵抗）に接続する。そして、５ＭＨｚの周波数
により、先ず、ａ：空気中（液に接触しない状態）に
て、電極間の静電容量を調べた。次に、センサ本体のう
ち検出部全体をｂ：ガソリン１００％液、ｃ：アルコー
ル１００％液に浸漬して、電極間の静電容量を測定し
た。その結果を表１に示す。
特性を次のようにして調べた。即ち、センサ本体の電極
端子から絶縁被覆されたシールドリードを引き出し、市
販のＬ．Ｃ．Ｒ．メータ（Ｌ：インダクタンス、Ｃ：容
量、Ｒ：抵抗）に接続する。そして、５ＭＨｚの周波数
により、先ず、ａ：空気中（液に接触しない状態）に
て、電極間の静電容量を調べた。次に、センサ本体のう
ち検出部全体をｂ：ガソリン１００％液、ｃ：アルコー
ル１００％液に浸漬して、電極間の静電容量を測定し
た。その結果を表１に示す。
【００１５】又、評価は次のように行なった。尚、各式
において、ａは空気中において得られた電極間の静電容
量、ｂはガソリン１００％液において得られた電極間の
静電容量、ｃはアルコール１００％液において得られた
電極間の静電容量とする。
において、ａは空気中において得られた電極間の静電容
量、ｂはガソリン１００％液において得られた電極間の
静電容量、ｃはアルコール１００％液において得られた
電極間の静電容量とする。
【００１６】○：ａ≦（ｃ−ｂ） △：ａ／４≦（ｃ−ｂ）＜ａ ×：（ｃ−ｂ）＜ａ／４ ここで、（ｃ−ｂ）が高い値になる程優れているのは、
メタノール液に接触した時の静電容量とガソリン液に接
触したときの静電容量との差が大きい方がそれらの混合
液の混合比を明確に判定できるからである。又、ａやａ
／４との関係も考慮したのは、被測定液そのものについ
ての静電容量を問題にすべきだからである。
メタノール液に接触した時の静電容量とガソリン液に接
触したときの静電容量との差が大きい方がそれらの混合
液の混合比を明確に判定できるからである。又、ａやａ
／４との関係も考慮したのは、被測定液そのものについ
ての静電容量を問題にすべきだからである。
【００１７】
【表１】 表１によれば、いずれの試料も静電容量型のＦＦセンサ
として優れた静電容量特性を示している。但し、絶縁層
の厚みが２００μｍになると（ｃ−ｂ）差が僅か２ｐＦ
（ピコファラツド）となり、浮遊容量レベルとなるた
め、有効でない。従って、絶縁層の厚みは１５０μｍ程
度以下にすることが好ましいことがわかる。
として優れた静電容量特性を示している。但し、絶縁層
の厚みが２００μｍになると（ｃ−ｂ）差が僅か２ｐＦ
（ピコファラツド）となり、浮遊容量レベルとなるた
め、有効でない。従って、絶縁層の厚みは１５０μｍ程
度以下にすることが好ましいことがわかる。
【００１８】この静電容量型センサ本体をＦＦセンサと
して使用する場合の取付状態の一例を図７に示す。同図
において、センサ本体（１０）はホルダ（１１）に耐蝕
性鋼シールパッキン（１２）及びシールガラス（１３）
を介して所定位置に保持されている。本体（１０）検出
部側は穴あきプロテクタ（１４）で覆われる一方、電極
（２）端子はリード（１５）にロー付又はハンダ付され
ている。そして、ホルダ（１１）が燃料管（１６）に取
り付けられ、又リード（１５）が制御装置（１７）に接
続されている。
して使用する場合の取付状態の一例を図７に示す。同図
において、センサ本体（１０）はホルダ（１１）に耐蝕
性鋼シールパッキン（１２）及びシールガラス（１３）
を介して所定位置に保持されている。本体（１０）検出
部側は穴あきプロテクタ（１４）で覆われる一方、電極
（２）端子はリード（１５）にロー付又はハンダ付され
ている。そして、ホルダ（１１）が燃料管（１６）に取
り付けられ、又リード（１５）が制御装置（１７）に接
続されている。
【００１９】尚、ＦＦセンサとして使用する場合を例に
とって説明したが、本発明品はその他各種の静電容量型
センサとして広く適用できることは自明であろう。
とって説明したが、本発明品はその他各種の静電容量型
センサとして広く適用できることは自明であろう。
【００２０】
【発明の効果】静電容量特性に優れ、被測定液の濃度や
混合比を正確に検知できる静電容量型センサを量産性良
く提供できる。従来センサにおける種々の問題、即ち使
用時における目詰りや一対の電極間距離のバラツキ等を
解消し、しかも静電容量型センサを小型化できる。
混合比を正確に検知できる静電容量型センサを量産性良
く提供できる。従来センサにおける種々の問題、即ち使
用時における目詰りや一対の電極間距離のバラツキ等を
解消し、しかも静電容量型センサを小型化できる。
【図１】本発明の静電容量型センサ本体の一実施例を示
す平面図（左図）、及び側面図（右図）
す平面図（左図）、及び側面図（右図）
【図２】図１のII-II断面図
【図３】本発明センサ本体の他の実施例を示す平面図
【図４】図３のIV-IV断面図
【図５】本発明のセンサ本体の他の実施例を示す平面図
【図６】従来の静電容量型センサ本体の例を示す側面図
【図７】本発明の静電容量型センサについてＦＦセンサ
としての使用状態の一例を示す断面図
としての使用状態の一例を示す断面図
１ 絶縁基板 ２ 電極 ３ 絶縁層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−237044（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−89375（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/00 - 27/24 G01R 27/00 - 27/32
Claims (4)
- 【請求項１】一対の電極に測定流体を接触させ、該一対
の電極間に発生する静電容量に基づいて、該測定流体の
誘電特性を測定する静電容量型センサの製造方法であっ
て、 未焼成ないし仮焼後のセラミック絶縁基板材料上に、焼
成後において互いに離間した一対の電極となるよう電極
材料を形成し、さらに、該未焼成ないし仮焼後のセラミ
ック絶縁基板材料上に焼成後において厚みが１５〜１５
０μｍのセラミック絶縁層となるようセラミック絶縁層
材料を積層した後、この積層体を同時焼成することを特
徴とする静電容量型センサの製造方法。 - 【請求項２】焼成後において前記一対の電極の離間距離
が０．１５〜０．４ｍｍとなるよう、前記電極材料を前
記未焼成ないし仮焼後のセラミック絶縁基板上に形成す
ることを特徴とする請求項１記載の静電容量型センサの
製造方法。 - 【請求項３】焼成後において前記一対の電極が互いに対
向しながら周回する渦巻き状電極となるよう、前記電極
材料を前記未焼成ないし仮焼後のセラミック絶縁基板上
に形成することを特徴とする請求項１又は２記載の静電
容量型センサの製造方法。 - 【請求項４】焼成後において前記一対の電極がそれぞれ
のくし状部が互いに組み合わされたくし状電極となるよ
う、前記電極材料を前記未焼成ないし仮焼後のセラミッ
ク絶縁基板上に形成することを特徴とする請求項１又は
２記載の静電容量型センサの製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP3150870A JP3029482B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 静電容量型センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3150870A JP3029482B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 静電容量型センサの製造方法 |
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ID=15506181
Family Applications (1)
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