JP3028997B2 - How to attach film to lead frame - Google Patents

How to attach film to lead frame

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は絶縁性または導電性の接
着性フィルムをリードフレームに貼付けるリードフレー
ムへのフィルム貼付け方法に関し、特に、フィルム貼付
け位置精度を大幅に向上させたリードフレームへのフィ
ルム貼付け方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of attaching an insulating or conductive adhesive film to a lead frame and attaching the film to a lead frame. It relates to a film sticking method.

【0002】[0002]

【従来の技術】高密度実装を可能にしたCOL(Chip o
n Lead)やLOC(Lead on Chip)構造のリードフレー
ムには、予め半導体チップ搭載用に高耐熱ポリイミド系
フィルムの片面又は両面に接着剤(熱可塑性及び熱硬化
性接着剤等)が塗布された接着剤付フィルムを貼り付
け、プレハブリードフレームとして実用化されているも
のがある。
2. Description of the Related Art A COL (Chip O
Adhesives (thermoplastic and thermosetting adhesives, etc.) are previously applied to one or both sides of a high heat-resistant polyimide film for mounting semiconductor chips on lead frames with n Lead) or LOC (Lead on Chip) structures. There is a film that has been put into practical use as a prefabricated lead frame by attaching a film with an adhesive.

【0003】このようなリードフレームにおいて、接着
剤付フィルムを貼付ける場合には、例えば、図4に示す
ようなフィルム貼付け装置が使用されている。このフィ
ルム貼付け装置は、ダイ2と共働してフィルム7を所定
の形状に打抜き剪断する昇降自在の打抜きパンチ1と、
下死点まで下降した打抜きパンチ1と共働してフィルム
7とリードフレーム6を打抜きパンチ1の圧下力で挟み
込むと共にリードフレーム6を所定の温度まで加熱する
ヒータブロック5と、打抜きパンチ1の昇降をガイドす
るストリッパ3と、打抜きパンチ1の下降時にリードフ
レーム6のパイロットホール10に差し込まれて、リー
ドフレーム6の搬送位置、すなわち、フィルム貼付け位
置を調節するパイロットピン11を備えている。
[0003] In such a lead frame, when attaching a film with an adhesive, for example, a film attaching device as shown in FIG. 4 is used. The film sticking apparatus includes a punching punch 1 that cooperates with a die 2 and punches and shears a film 7 into a predetermined shape.
A heater block 5 for cooperating with the punch 1 descending to the bottom dead center to pinch the film 7 and the lead frame 6 by the pressing force of the punch 1 and heat the lead frame 6 to a predetermined temperature, and moving the punch 1 up and down. And a pilot pin 11 which is inserted into the pilot hole 10 of the lead frame 6 when the punch 1 is lowered to adjust the transport position of the lead frame 6, that is, the film sticking position.

【0004】このフィルム貼付け装置は、まず、図5に
示すように、打抜きパンチ1を下降させてフィルム7を
所定の形状に打ち抜くと共に、パイロットピン11をリ
ードフレーム6のパイロットホール10に差し込んで、
リードフレーム6の位置決めを行い、続いて、図6に示
すように、打ち抜いたフィルム7をその下のリードフレ
ーム6と共にヒータブロック5に押し付けて挟み込むこ
とにより、リードフレーム6の所定の位置にフィルム7
を熱圧着により貼付けることができる。
In this film sticking apparatus, first, as shown in FIG. 5, a punch 1 is lowered to punch a film 7 into a predetermined shape, and a pilot pin 11 is inserted into a pilot hole 10 of a lead frame 6.
The lead frame 6 is positioned, and then, as shown in FIG. 6, the punched film 7 is pressed and sandwiched together with the lead frame 6 therebelow into the heater block 5 so that the film 7 is positioned at a predetermined position on the lead frame 6.
Can be attached by thermocompression bonding.

【0005】また、フィルム7の打抜き時、打抜きパン
チ1で打ち抜かれたフィルム7は、一般に、図7に示す
ように、打抜きパンチ1の先端面(或いは、ダイ2の開
口面積)より20〜30μmだけ大きく打ち抜かれるた
め、図8に示すように、打抜きパンチ1がダイ2から突
出すると、フィルム7は横方向へズレてしまい、リード
フレーム6の所定の位置へ貼付けることができなくな
る。このため、打抜パンチ1の先端に複数設けた吸着孔
(外径0.5mm程度)4で打ち抜いたフィルム7を吸
着固定して、フィルム7の横ズレを低減するようにして
いる。
When the film 7 is punched, the film 7 punched by the punch 1 generally has a width of 20 to 30 μm from the front end surface of the punch 1 (or the opening area of the die 2) as shown in FIG. As shown in FIG. 8, when the punch 1 projects from the die 2, the film 7 is displaced in the horizontal direction and cannot be stuck to a predetermined position of the lead frame 6. For this reason, the film 7 punched by the plurality of suction holes (outer diameter of about 0.5 mm) 4 provided at the tip of the punch 1 is suction-fixed to reduce the lateral displacement of the film 7.

【0006】しかし、上記のように吸着孔でフィルムを
吸着固定してリードフレームにフィルムを貼付けても、
フィルムのズレを低減するだけであり、ユーザーが要求
する±0.1mmのフィルム貼付け位置精度を満足する
ことは困難である。また、パンチの先端はフィルムの貼
付けを行うため、そこに穴があるとフィルム貼着時にこ
の穴の部分に圧力が加わらなくなる。このため、その部
分が未接着となるばかりでなく、接着層に圧力の不均一
部ができるため、フィルムの接着層に押しすぎ剥がれ、
つまり、接着時に穴の内側の接着層において急激に軟化
した接着剤が流動し、流動中に硬化してこの部分に真空
の空隙ができる。この押しすぎ剥がれはパッケージを樹
脂封止した後も残存する場合があり、この空隙に水分が
吸収するとパッケージクラックに至るため製造時に防止
しなければならない。
However, even if the film is adhered to the lead frame by adsorbing and fixing the film with the adsorbing hole as described above,
It only reduces the deviation of the film, and it is difficult to satisfy the ± 0.1 mm film sticking position accuracy required by the user. Also, since a film is stuck at the tip of the punch, if there is a hole there is no pressure applied to this hole when the film is stuck. Because of this, not only that part becomes unbonded, but also because there is a non-uniform part of the pressure in the adhesive layer, it is over-pressed and peeled off from the adhesive layer of the film,
That is, the rapidly softened adhesive flows in the adhesive layer inside the hole at the time of bonding, and hardens during the flow to form a vacuum space in this portion. This excessive push-off peeling may remain even after the package is sealed with a resin, and if moisture is absorbed into the voids, it will lead to package cracks and must be prevented during manufacturing.

【0007】そこで、この対策として貼付けたフィルム
のパンチ先端面の穴の部分を再度圧着する方法が考えら
れる。
Therefore, as a countermeasure against this, a method of re-pressing the hole portion on the tip end face of the punched film on the film is considered.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のリード
フレームへのフィルム貼付け方法によると、打抜きパン
チの先端面に設けられた吸着穴でフィルムを吸着固定し
ているため、前述したように、フィルムのパンチ先端面
の穴の部分を再度圧着する必要があり、工数が増加し、
作業性の低下やコストアップを招くという不都合があ
る。
However, according to the conventional method of affixing a film to a lead frame, the film is suction-fixed by a suction hole provided on the tip end surface of a punching punch. It is necessary to crimp the hole part of the punch tip surface again, which increases the man-hour,
There is a disadvantage that the workability is reduced and the cost is increased.

【0009】また、ヒータブロックとダイの隙間をでき
るだけ少なくすれば、フィルムのズレを極力低減できる
が、この場合、金型やリードフレームに必要以上の熱を
加えることになり、リードフレームのパターンが熱膨張
によって変形してしまい、それにフィルムを貼付ける
と、常温状態に戻ったときにフィルムがズレて貼付けら
れることになる。
Further, if the gap between the heater block and the die is reduced as much as possible, the displacement of the film can be reduced as much as possible. However, in this case, excessive heat is applied to the mold and the lead frame, and the pattern of the lead frame is reduced. If it is deformed due to thermal expansion and a film is attached to it, the film will be displaced and attached when returning to a normal temperature state.

【0010】従って、本発明の目的は煩雑な作業を行わ
ずにフィルムの貼付け位置精度を大幅に向上させること
ができるリードフレームへのフィルム貼付け方法を提供
することである。
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method of attaching a film to a lead frame, which can greatly improve the accuracy of the position at which the film is attached without performing complicated operations.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、煩雑な作業を行わずにフィルムの貼付け位置精度を
大幅に向上させるため、リードフレームに設けられたパ
イロットホールにパイロットピンを挿入することにより
リードフレームを位置決めした状態でリードフレームに
接着性フィルムを貼着するとき、リードフレームが前記
接着性フィルムの厚さの1/3〜1.3倍の微小な距離
を前記ダイとの間に有して位置した、リードフレームへ
のフィルム貼付け方法を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, the present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and in order to greatly improve the accuracy of the film sticking position without performing a complicated operation, a pad provided on a lead frame has been proposed.
By inserting a pilot pin into the pilot hole
When the adhesive film is adhered to the lead frame with the lead frame positioned , the lead frame has a minute distance between the die and 1/3 to 1.3 times the thickness of the adhesive film. was located, there is provided a film sticking method to the lead frame.

【0012】上記リードフレームは、ヒータを昇降させ
るシリンダー機構等のアクチュエータによって微小な距
離の位置に配置させられる。
The lead frame is arranged at a minute distance by an actuator such as a cylinder mechanism for raising and lowering a heater .

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明のリードフレームへのフィルム
貼付け方法について添付図面を参照しながら詳細に説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method for attaching a film to a lead frame according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0014】図1には、本発明に適用されるリードフレ
ームへのフィルム貼付け装置が示されている。この図に
おいて、図4と同一の部分には同一の引用数字を付した
ので重複する説明は省略する。
FIG. 1 shows an apparatus for attaching a film to a lead frame applied to the present invention. In this figure, the same parts as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and a duplicate description will be omitted.

【0015】このリードフレームへのフィルム貼付け装
置は、ヒータブロック5を昇降させるエアシリンダー等
のアクチュエータ9を有して構成されている。
The film sticking device for the lead frame has an actuator 9 such as an air cylinder for moving the heater block 5 up and down.

【0016】アクチュエータ9は、リードフレーム6へ
フィルム7を貼着するとき、すなわち、打抜きパンチ1
が下降する直前に、図2に示すように、ヒータブロック
5を上昇させ、その上に位置するリードフレーム6をダ
イ2の下方に僅かな距離Cをもって配置させるように構
成されている。ここで、距離Cはフィルム7の厚さの1
/3〜1倍(実際には打ち抜かれたフィルム7は下側に
撓みが出るので1.3倍程度まで可)の範囲が好まし
く、距離Cがこの範囲にあれは、パイロットピン11を
パイロットホール10に容易に挿入することができ(パ
イロットピン11の先端のテーパ形状に対してリードフ
レームが追従して動く)、且つ、リードフレーム6への
フィルム貼付け位置精度を高めることができる。
The actuator 9 is used to attach the film 7 to the lead frame 6, that is,
Immediately before lowering, as shown in FIG. 2, the heater block 5 is raised, and the lead frame 6 located thereon is arranged at a small distance C below the die 2. Here, the distance C is 1 of the thickness of the film 7.
/ 3 to 1 times (actually, the punched film 7 bends downward, so that it can be up to about 1.3 times). If the distance C is within this range, the pilot pin 11 is connected to the pilot hole. 10 can be easily inserted (the lead frame moves following the tapered shape of the tip of the pilot pin 11), and the accuracy of the film sticking position to the lead frame 6 can be improved.

【0017】ダイ2とリードフレーム6の間の距離Cを
フィルム7の厚さの1/3〜1.3倍の範囲にする理由
は、このダイ2とリードフレーム6との距離をできるだ
け小さくした方が貼付け位置精度を高められるが、距離
Cをフィルム厚の1/3倍以下に設定すると、距離Cが
小さすぎるため、パイロットピン11でリードフレーム
位置を規制するとき、リードフレーム6が動き難く微
調整が困難となり、無理にパイロットピンを挿入する
、パイロットホール10を損傷するばかりでなく、ず
れた位置にフィルムを貼付けることになり、また、距
離Cをフィルム厚の1.3倍以上に設定すると、ダイ2
から横方向にフィルム7が飛び出して所定の位置にフィ
ルム7を貼付けることができないからである。
The reason why the distance C between the die 2 and the lead frame 6 is in the range of 1/3 to 1.3 times the thickness of the film 7 is that the distance between the die 2 and the lead frame 6 is made as small as possible. Write but are enhanced attaching position accuracy, by setting the distance C of the film thickness to 1/3 times or less, the distance C is
Because it is too small , lead frame with pilot pin 11
When you regulate the location, movement difficulty Ku fine lead frame 6
Adjustment becomes difficult, forcibly insert the pilot pin
When not only damage the pilot holes 10, will be kicking sticking a film 7 to a position shifted, also setting the distance C over 1.3 times the film thickness, the die 2
This is because the film 7 jumps out from the horizontal direction and cannot be attached to a predetermined position.

【0018】以下、本発明のリードフレームへのフィル
ム貼付け方法を説明する。まず、打抜きパンチ1の下降
に先立ち、図2に示すように、アクチュエータ9でヒー
タブロック5を上昇させ、これによってリードフレーム
6を持ち上げて、リードフレーム6をダイ2の下方に距
離Cをもって配置させる。そして、打抜きパンチ1を下
降させると、打抜きパンチ1はダイ2と共働してフィル
ム7を所定の形状に打抜き剪断した後、図3に示すよう
に、打ち抜いたフィルム7とダイ2の下方に距離Cをも
って配置されたリードフレーム6をアクチュエータ9で
上昇させられたヒータブロック5に押し付けて挟み込む
ことにより、リードフレーム6の所定の位置に熱圧着に
よりフィルム7を貼着する。
Hereinafter, a method for attaching a film to a lead frame according to the present invention will be described. First, prior to lowering of the punch 1, as shown in FIG. 2, the heater block 5 is raised by the actuator 9, thereby lifting the lead frame 6 and disposing the lead frame 6 below the die 2 with a distance C. . When the punch 1 is lowered, the punch 1 cooperates with the die 2 to punch and shear the film 7 into a predetermined shape, and then, as shown in FIG. The film 7 is adhered to a predetermined position of the lead frame 6 by thermocompression by pressing the lead frame 6 arranged at a distance C to the heater block 5 raised by the actuator 9 and sandwiching the same.

【0019】このようにリードフレーム6をダイ2の下
方に距離Cをもって配置し、その位置レベルでフィルム
7の貼付けを行うと、リードフレーム6に対する打抜き
パンチ1の貼付け位置がダイ2をガイドとして位置決め
されるため、リードフレーム6へのフィルム7の貼付け
位置精度を高めることができる。具体的には、ズレの標
準偏差を0.015以下にすることができ、量産を行っ
た場合(±4σ)を考慮しても±0.075を確保で
き、従来の±0.1に比べて位置精度を大幅に向上させ
ることができる。
When the lead frame 6 is disposed at a distance C below the die 2 and the film 7 is attached at that position level, the position where the punch 1 is attached to the lead frame 6 is determined using the die 2 as a guide. Therefore, the accuracy of the position where the film 7 is attached to the lead frame 6 can be increased. Specifically, the standard deviation of the deviation can be reduced to 0.015 or less, and ± 0.075 can be secured even when mass production is performed (± 4σ). Thus, the positional accuracy can be greatly improved.

【0020】また、ヒータブロック5はダイと離れて待
機しており、必要なときのみリードフレーム6に接触し
て加熱するようになっているため、ダイ2を通しての熱
放散が少なくなり、打抜きパンチ1やダイ2への熱影響
を少なくすることができ、且つ、リードフレーム6のイ
ンナーパターンの熱膨張による貼付け位置のズレを防ぐ
ことができる。更に、熱源も貼付け時のみ使用するため
省エネに有効である。
Further, since the heater block 5 is in a standby state away from the die and is heated by contacting with the lead frame 6 only when necessary, heat dissipation through the die 2 is reduced, and the punch It is possible to reduce the influence of heat on the die 1 and the die 2 and to prevent the displacement of the bonding position due to the thermal expansion of the inner pattern of the lead frame 6. Furthermore, since the heat source is used only at the time of sticking, it is effective for energy saving.

【0021】更に、打抜きパンチ1の先端面に複数の吸
引孔を設ける必要がないため、装置に煩雑な加工を施す
必要がなくなると共に、穴の部分を再圧着しなくても良
くなる。従って、工数の増加を抑制して、作業性の向
上,及びコストダウンを図ることができる。
Further, since it is not necessary to provide a plurality of suction holes on the end surface of the punch 1, it is not necessary to perform complicated processing on the apparatus, and it is not necessary to re-press the holes. Therefore, an increase in man-hours can be suppressed, and workability can be improved and cost can be reduced.

【0022】尚、フィルム7に塗布された接着剤は熱可
塑性接着剤であり、健全な接着を行うためには所定の圧
力,温度,及び時間が必要となる。本発明はアクチュエ
ータ9でヒータブロック5を昇降させるようになってい
るため、アクチュエータ9の圧力,及び作動時間を制御
することによって接着状態を制御することができる。ま
た、これに限定せずにヒータブロック5の作動をカム,
リンク等の機構を用いて下死点を制御しても同様な効果
を得ることができる。
The adhesive applied to the film 7 is a thermoplastic adhesive, and requires a predetermined pressure, temperature and time for sound bonding. In the present invention, since the heater block 5 is moved up and down by the actuator 9, the bonding state can be controlled by controlling the pressure and the operation time of the actuator 9. Further, without being limited to this, the operation of the heater block 5 is controlled by a cam,
The same effect can be obtained by controlling the bottom dead center using a mechanism such as a link.

【0023】また、本発明はLOC/COL構造のリー
ドフレームへのフィルム貼付け限定するものではなく、
リード固定用テープの貼付けにも適用することができ
る。
The present invention is not limited to affixing a film to a lead frame having a LOC / COL structure.
The present invention can also be applied to attaching a lead fixing tape.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のリードフ
レームへのフィルム貼付け方法によると、リードフレー
ムに設けられたパイロットホールにパイロットピンを挿
入することによりリードフレームを位置決めした状態で
リードフレームに接着性フィルムを貼着するとき、リー
ドフレームを接着性フィルムのずれを防ぐ特定の微小な
距離をダイとの間に有して位置させるようにしたため、
煩雑な作業を行わずにフィルムの貼付け位置精度を大幅
に向上させることができる。
As described in the foregoing, according to the film joining method of the lead frame of the present invention, the lead frame
Insert the pilot pin into the pilot hole provided in the
When attaching the adhesive film to the lead frame with the lead frame positioned by inserting it, the lead frame has a specific minute distance between the die to prevent the adhesive film from shifting. To be located
It is possible to greatly improve the accuracy of the film sticking position without performing a complicated operation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に適用されるフィルム貼付け装置を示す
断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing a film sticking apparatus applied to the present invention.

【図2】本発明の一実施例を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing one embodiment of the present invention.

【図4】従来のフィルム貼付け方法に適用されるフィル
ム貼付け装置を示す断面図。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a film sticking apparatus applied to a conventional film sticking method.

【図5】従来のフィルム貼付け方法を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a conventional film sticking method.

【図6】従来のフィルム貼付け方法を示す断面図。FIG. 6 is a sectional view showing a conventional film sticking method.

【図7】従来のフィルム貼付け方法におけるフィルム打
抜き時の状態を示す断面図。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state at the time of punching a film in a conventional film sticking method.

【図8】従来のフィルム貼付け方法におけるフィルム打
抜き後の状態を示す断面図。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state after punching a film in a conventional film sticking method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 打抜きパンチ 2 ダイ 3 ストリッパ 4 吸引
孔 5 ヒータブロック 6 リー
ドフレーム 7 フィルム 9 アク
チュエータ 10 パイロットホール 11 パイ
ロットピン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Punching punch 2 Die 3 Stripper 4 Suction hole 5 Heater block 6 Lead frame 7 Film 9 Actuator 10 Pilot hole 11 Pilot pin

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 敏 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電 線株式会社 システムマテリアル研究所 内 (72)発明者 高坂 博之 茨城県日立市助川町3丁目1番1号 日 立電線株式会社電線工場内 (56)参考文献 特開 平4−196576(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/50 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Satoshi Sasaki 3550 Kida Yomachi, Tsuchiura-shi, Ibaraki Hitachi Systems, Ltd. System Materials Research Laboratories (72) Inventor Hiroyuki Takasaka 3-1-1 Sukekawacho, Hitachi-shi, Ibaraki No. 1 Inside the wire plant of Hitachi Cable Co., Ltd. (56) References JP-A-4-196576 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 23/50

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 打抜きパンチでダイ上に位置する絶縁性
または導電性の接着性フィルムを所定の形状に打ち抜い
て、前記ダイの下方に位置するヒータ上のリードフレー
ムの所定の位置に貼着するリードフレームへのフィルム
貼付け方法において、前記リードフレームに設けられたパイロットホールにパ
イロットピンを挿入することにより前記リードフレーム
を位置決めした状態で 前記リードフレームに前記接着性
フィルムを貼着するとき、前記リードフレームを前記接
着性フィルムの厚さの1/3〜1.3倍の微小な距離を
前記ダイとの間に有して位置させることを特徴とするリ
ードフレームへのフィルム貼付け方法。
1. An insulating or conductive adhesive film located on a die is punched into a predetermined shape by a punch, and is adhered to a predetermined position of a lead frame on a heater located below the die. In the method of affixing a film to a lead frame, the pilot hole provided in the lead frame is
Inserting the lead pin into the lead frame
When attaching the adhesive film to the lead frame in a state where is positioned , the lead frame is placed between the die and a minute distance of 1/3 to 1.3 times the thickness of the adhesive film. A method for affixing a film to a lead frame, characterized in that the film is held and positioned.
【請求項2】 前記リードフレームは、前記ヒータを昇
降させるシリンダー機構等のアクチュエータによって前
記微小な距離の位置に配置させられる請求項1のリード
フレームへのフィルム貼付け方法。
2. The method according to claim 1, wherein the lead frame is disposed at the small distance by an actuator such as a cylinder mechanism for raising and lowering the heater.
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