JP3028604B2 - ブラスト加工装置 - Google Patents
ブラスト加工装置Info
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- JP3028604B2 JP3028604B2 JP2339843A JP33984390A JP3028604B2 JP 3028604 B2 JP3028604 B2 JP 3028604B2 JP 2339843 A JP2339843 A JP 2339843A JP 33984390 A JP33984390 A JP 33984390A JP 3028604 B2 JP3028604 B2 JP 3028604B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、高速流体噴射により被加工物の表面を研
削加工等するブラスト加工装置に関する。
削加工等するブラスト加工装置に関する。
［発明の概要］ この発明は、ブラスト室内でノズルより噴射する空気
と微粒子の混合物により被加工物を加工するブラスト加
工装置において、 上記ブラスト室の内壁面の周りにクリーンエアを吹き
出すエア通路を設けたことにより、 上記ブラスト室の内壁面に塵埃が付着するのを防止す
ることができるようにしたものである。
と微粒子の混合物により被加工物を加工するブラスト加
工装置において、 上記ブラスト室の内壁面の周りにクリーンエアを吹き
出すエア通路を設けたことにより、 上記ブラスト室の内壁面に塵埃が付着するのを防止す
ることができるようにしたものである。
［従来の技術］ 例えば、ブラスト加工装置としてサンドブラスト装置
が、特開昭64−34670号公報に開示されている。これ
は、ブラスト室内でノズルより圧縮空気と微粒子状の砥
粒の混合物を、被加工物としての例えば半導体ウエハの
表面に噴射することにより、高速研削加工等するもので
ある。
が、特開昭64−34670号公報に開示されている。これ
は、ブラスト室内でノズルより圧縮空気と微粒子状の砥
粒の混合物を、被加工物としての例えば半導体ウエハの
表面に噴射することにより、高速研削加工等するもので
ある。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来のブラスト加工装置では、ブ
ラスト室の内壁面に粉状の塵埃が付着し易いので、上記
ブラスト室の一部に形成された例えばガラス製ののぞき
窓からブラスト室内を覗くことができず、また、被加工
物の表面にも塵埃が付着して加工精度に悪影響を与え易
かった。
ラスト室の内壁面に粉状の塵埃が付着し易いので、上記
ブラスト室の一部に形成された例えばガラス製ののぞき
窓からブラスト室内を覗くことができず、また、被加工
物の表面にも塵埃が付着して加工精度に悪影響を与え易
かった。
そこで、この発明は、被加工物の表面及びブラスト室
の内壁面に塵埃が付着するのを防止することができるブ
ラスト加工装置を提供するものである。
の内壁面に塵埃が付着するのを防止することができるブ
ラスト加工装置を提供するものである。
［課題を解決するための手段］ ブラスト室内でノズルより噴射する空気と微粒子の混
合物により被加工物を加工するブラスト加工装置におい
て、 上記ブラスト室の内壁面の周りに塵埃付着防止用のク
リーンエアを吹き出すエア通路を設けてある。
合物により被加工物を加工するブラスト加工装置におい
て、 上記ブラスト室の内壁面の周りに塵埃付着防止用のク
リーンエアを吹き出すエア通路を設けてある。
［作用］ ブラスト室の内壁面の周りにクリーンエアを吹き出す
エア通路を設けたので、該ブラスト室の内壁面に付着し
ようとする塵埃が上記エアにより吹き飛ばされ、該内壁
面に塵埃が付着することがない。
エア通路を設けたので、該ブラスト室の内壁面に付着し
ようとする塵埃が上記エアにより吹き飛ばされ、該内壁
面に塵埃が付着することがない。
［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図面と共に詳述する。
第１図において、１はブラスト加工装置である。この
ブラスト加工装置１のブラスト室２を、円錐筒状の上チ
ャンバー10と、逆円錐筒状の下チャンバー20とで構成し
てある。この上チャンバー10の下側の鍔部10bと、上記
下チャンバー20の上側の鍔部20aとの間にはボルト３と
ワッシャ４によりゴム製のパッキン５を介在してシール
してある。
ブラスト加工装置１のブラスト室２を、円錐筒状の上チ
ャンバー10と、逆円錐筒状の下チャンバー20とで構成し
てある。この上チャンバー10の下側の鍔部10bと、上記
下チャンバー20の上側の鍔部20aとの間にはボルト３と
ワッシャ４によりゴム製のパッキン５を介在してシール
してある。
上記上チャンバー10の中央には圧縮空気と微粒子状の
砥粒の混合物Ｋを被加工物30の表面30aに噴射する円筒
管状の噴射ノズル11を図示しない駆動装置により上下動
自在に配設してある。この噴射ノズル11の下端の噴射口
11aは上記被加工物30の表面30aに対向している。また、
上記上チャンバー10の上側の鍔部10aにはパッキン６等
を介して円筒状のエアーフィルタ管12を締結固定してあ
る。このエアーフィルタ管12は外管12Aと内管12Bとで構
成され、外管12Aの下側の鍔部12bが上記上チャンバー10
の上側の鍔部10aに締結固定されている。また、上記内
管12Bの下部12cは円錐管状に上チャンバー10内まで延び
ており、前記外，内管12A,12Bは上，下に配列された複
数の放射状の仕切板13,14により仕切られている。これ
らの仕切板13,14は後述するクリーンエアＡの流れを整
える役目等をするものである。
砥粒の混合物Ｋを被加工物30の表面30aに噴射する円筒
管状の噴射ノズル11を図示しない駆動装置により上下動
自在に配設してある。この噴射ノズル11の下端の噴射口
11aは上記被加工物30の表面30aに対向している。また、
上記上チャンバー10の上側の鍔部10aにはパッキン６等
を介して円筒状のエアーフィルタ管12を締結固定してあ
る。このエアーフィルタ管12は外管12Aと内管12Bとで構
成され、外管12Aの下側の鍔部12bが上記上チャンバー10
の上側の鍔部10aに締結固定されている。また、上記内
管12Bの下部12cは円錐管状に上チャンバー10内まで延び
ており、前記外，内管12A,12Bは上，下に配列された複
数の放射状の仕切板13,14により仕切られている。これ
らの仕切板13,14は後述するクリーンエアＡの流れを整
える役目等をするものである。
また、上記エアーフィルタ管12の外管12Aの上側の鍔
部12aにはパッキン７等を介して円筒状のエア供給管15
を固定してある。このエア供給管15は外管15Aと内管15B
とで構成され、外管15Aの下側の鍔部15bが上記エアーフ
ィルタ管12の外管12Aの上側の鍔部12aに締結固定されて
いる。而して、前記噴射ノズル11の外周面とエアーフィ
ルタ管12の内管12B及びエア供給管15の内管15Bとで上記
噴射ノズル11の回りにクリーンエアＡを吹き出す第１の
エア通路16が形成されている。また、上記ブラスト室２
の上部を形成する上チャンバー10の内壁面10cの上部と
エアーフィルタ12の外管12A及びエア供給管15の外管15A
とで上記上チャンバー10の内壁面10cの回りにクリーン
エアＡを吹き出す第２のエア通路17を設けてある。尚、
上チャンバー10の中途部にはのぞき窓としてのガラス板
18をその取付枠18aに固定されたマグネット19の磁力を
介して固定してある。
部12aにはパッキン７等を介して円筒状のエア供給管15
を固定してある。このエア供給管15は外管15Aと内管15B
とで構成され、外管15Aの下側の鍔部15bが上記エアーフ
ィルタ管12の外管12Aの上側の鍔部12aに締結固定されて
いる。而して、前記噴射ノズル11の外周面とエアーフィ
ルタ管12の内管12B及びエア供給管15の内管15Bとで上記
噴射ノズル11の回りにクリーンエアＡを吹き出す第１の
エア通路16が形成されている。また、上記ブラスト室２
の上部を形成する上チャンバー10の内壁面10cの上部と
エアーフィルタ12の外管12A及びエア供給管15の外管15A
とで上記上チャンバー10の内壁面10cの回りにクリーン
エアＡを吹き出す第２のエア通路17を設けてある。尚、
上チャンバー10の中途部にはのぞき窓としてのガラス板
18をその取付枠18aに固定されたマグネット19の磁力を
介して固定してある。
また、上記下チャンバー20の下側の鍔部20bには前記
混合物Ｋ及び塵埃等を吸込み回収する円筒状の回収管21
をパッキン８等を介して締結固定してある。これら下チ
ャンバー20と回収管21内には下チャンバー20の上部まで
延びる可動台22を図示しない駆動装置を介して上下動自
在に配設してある。この可動台22の上面にはＹ方向に往
復移動自在なＹテーブル23を配設してあると共に、この
Ｙテーブル23上にはＸ方向に往復移動自在なＸテーブル
24を配設してある。そして、このＸテーブル24上には前
記被加工物30を載置してある。
混合物Ｋ及び塵埃等を吸込み回収する円筒状の回収管21
をパッキン８等を介して締結固定してある。これら下チ
ャンバー20と回収管21内には下チャンバー20の上部まで
延びる可動台22を図示しない駆動装置を介して上下動自
在に配設してある。この可動台22の上面にはＹ方向に往
復移動自在なＹテーブル23を配設してあると共に、この
Ｙテーブル23上にはＸ方向に往復移動自在なＸテーブル
24を配設してある。そして、このＸテーブル24上には前
記被加工物30を載置してある。
以上の実施例によれば、噴射ノズル11の回りにクリー
ンエアＡを吹き出す第１のエア通路16を設けたので、被
加工物30の表面30aに付着しようとする加工後の混合物
等から成る塵埃が上記クリーンエアＡにより吹き飛ばさ
れ、上記表面30aに上記塵埃が付着することがない。こ
れにより、被加工物30の加工精度を向上させることがで
きる。
ンエアＡを吹き出す第１のエア通路16を設けたので、被
加工物30の表面30aに付着しようとする加工後の混合物
等から成る塵埃が上記クリーンエアＡにより吹き飛ばさ
れ、上記表面30aに上記塵埃が付着することがない。こ
れにより、被加工物30の加工精度を向上させることがで
きる。
また、ブラスト室２の上部を構成する上チャンバー10
の内壁面10cの回りにクリーンエアＡを吹き出す第２の
エア通路17を設けたので、上記上チャンバー10の内壁面
10c,のぞき窓としてのガラス板18に付着しようとする上
記塵埃が上記クリーンエアＡにより吹き飛ばされ、上記
内壁面10c,ガラス板18に上記塵埃が付着することがな
く、ガラス板18よりブラスト室２内の被加工物30の加工
状況を監視することができる。
の内壁面10cの回りにクリーンエアＡを吹き出す第２の
エア通路17を設けたので、上記上チャンバー10の内壁面
10c,のぞき窓としてのガラス板18に付着しようとする上
記塵埃が上記クリーンエアＡにより吹き飛ばされ、上記
内壁面10c,ガラス板18に上記塵埃が付着することがな
く、ガラス板18よりブラスト室２内の被加工物30の加工
状況を監視することができる。
尚、前記実施例によれば、各エア通路をエアフィルタ
ー管とエア供給管を２重管にして形成したが、１重管等
によりそれぞれエア通路を形成してもよい。
ー管とエア供給管を２重管にして形成したが、１重管等
によりそれぞれエア通路を形成してもよい。
［発明の効果］ 以上のように、請求項１の発明によれば、ブラスト室
の内壁面の回りに塵埃付着防止用のクリーンエアを吹き
出すエア通路を設けたので、上記ブラスト室の内壁面に
塵埃が付着するのを確実に防ぐことができ、ブラスト室
内の被加工物の加工状況をのぞき窓等から監視すること
ができる。また、請求項２の発明によれば、第１のエア
通路により、被加工物の表面に塵埃が付着するのを防い
で被加工物の加工精度を向上させるとともに、第２のエ
ア通路により、上記ブラスト室の内壁面に塵埃が付着す
るのを確実に防ぐことができる。
の内壁面の回りに塵埃付着防止用のクリーンエアを吹き
出すエア通路を設けたので、上記ブラスト室の内壁面に
塵埃が付着するのを確実に防ぐことができ、ブラスト室
内の被加工物の加工状況をのぞき窓等から監視すること
ができる。また、請求項２の発明によれば、第１のエア
通路により、被加工物の表面に塵埃が付着するのを防い
で被加工物の加工精度を向上させるとともに、第２のエ
ア通路により、上記ブラスト室の内壁面に塵埃が付着す
るのを確実に防ぐことができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すブラスト加工装置の
要部断面図である。 １……ブラスト加工装置、２……ブラスト室、10c……
内壁面、11……ノズル、16,17……エア通路、30……被
加工物、Ｋ……混合物、Ａ……エア。
要部断面図である。 １……ブラスト加工装置、２……ブラスト室、10c……
内壁面、11……ノズル、16,17……エア通路、30……被
加工物、Ｋ……混合物、Ａ……エア。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−205480（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−34670（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−183156（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−113451（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭56−21547（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭62−21409（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭43−21035（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24C 9/00 B24C 5/04
Claims (2)
- 【請求項１】ブラスト室内でノズルより噴射する空気と
微粒子の混合物により被加工物を加工するブラスト加工
装置において、 上記ブラスト室の内壁面の周りに塵埃付着防止用のクリ
ーンエアを吹き出すエア通路を設けたことを特徴とする
ブラスト加工装置。 - 【請求項２】ブラスト室内でノズルより噴射する空気と
微粒子の混合物により被加工物を加工するブラスト加工
装置において、 上記ノズルの周りに内管と外管を設け、 上記ノズルと内管の間に第１のエア通路を形成し、 上記内管と外管の間に第２のエア通路を形成し、 上記第１のエア通路からエアを上記被加工物に吹き付
け、 上記第２のエア通路からエアを上記ブラスト室の内壁面
に吹き付ける ことを特徴とするブラスト加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2339843A JP3028604B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | ブラスト加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2339843A JP3028604B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | ブラスト加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04210377A JPH04210377A (ja) | 1992-07-31 |
| JP3028604B2 true JP3028604B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=18331345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2339843A Expired - Fee Related JP3028604B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | ブラスト加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3028604B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008044613A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-04-17 | Corning Japan K.K. | Apparatus and method for edge processing of a sheet of brittle material |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2339843A patent/JP3028604B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04210377A (ja) | 1992-07-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |