JP3020919B2 - 光ファィバ母材の延伸装置および延伸方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファィバ母材の
延伸装置に関し、特に光ファィバ母材を延伸するのに最
適なチャック機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】合成石英を素材とした、光ファイバ母材
（プリフォーム）の製造では、ＶＡＤ法等で合成された
スートを脱水、焼結することで、光ファイバ母材の母イ
ンゴットができる。この母インゴットの直径は通常１１
０〜２００ｍｍであるが、実際に光ファイバに線引きす
るときの光ファイバ母材の直径３０〜８０ｍｍまで延
伸、縮径される。

【０００３】この場合、母インゴットの外径が１００ｍ
ｍ以下の小径のものについては、一次延伸にガラス旋盤
を用いることが可能であるが、これより大きな母インゴ
ットでは、ガラス旋盤で用いられる火炎バーナーでは熱
量が不足するために、一般に電気炉をヒーターに用いた
延伸装置により延伸が行われる。

【０００４】図５に従来から用いられているローラー機
構を具備した光ファイバ母材の延伸装置を示す。母イン
ゴット５を光ファイバ母材４に延伸するために使われる
延伸装置１１は、母インゴット５を約２０００℃に加熱
された電気炉２の上部から送り込み、縮径された光ファ
イバ母材４を電気炉２の下方から、ローラー機構１２で
連続的に引き取り延伸する構造のものである。

【０００５】このように引き取り延伸する方法としてロ
ーラーを用いる場合には、ローラーの材質として通常は
ガラス繊維等の耐熱材料が使われる。しかし、電気炉か
ら出てきた直後の延伸された光ファイバ母材の温度は、
８００℃以上になることがあり、高温によってローラー
の消耗が早いという問題がある。ローラーが消耗する
と、引き取りの速度が設定からずれてしまい、延伸する
光ファイバ母材の均一性が保てなくなる。またローラー
が偏摩耗すると、光ファイバ母材の曲がりの原因にな
る。

【０００６】一方、光ファイバ母材を延伸する方法とし
てローラーではなく、チャック機構を用いて延伸を行う
方法もある。図１にチャック機構を具備した光ファイバ
母材の延伸装置を示す。この延伸装置１では、延伸され
た光ファイバ母材４を把持することが可能なチャック機
構３が配設され、ヒーターである電気炉２から光ファイ
バ母材４を把持し延伸する構造となっている。

【０００７】このようにチャック機構を用いて光ファイ
バ母材を引き取り延伸する場合には、ローラーの摩耗の
問題はなく、光ファイバ母材の曲がりの発生も小さくで
きる。しかし、チャック機構に十分な把持力がないと、
チャック機構の光ファイバ母材と接触する部材において
滑りが生じる。この滑りが生じると、引き取り速度が制
御できなくなり、母材の外径を一定に保てなくなり、ま
た光ファィバ母材の表面に傷がついてしまう。一方、こ
の滑りを防ぐため、必要以上に大きな力で光ファイバ母
材を把持すると、光ファイバ母材の表面にクラックが発
生することがある。このようなチャック機構の不具合
は、光ファイバ母材の生産性に悪影響を与え、問題であ
った。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題に
鑑みなされたもので、チャック機構で光ファイバ母材を
把持して延伸する装置において、チャック機構で光ファ
イバ母材を把持したときに滑りが生じたり、光ファイバ
母材の表面に傷を付けることなく、光ファイバ母材を延
伸することができる光ファイバ母材の延伸装置を提供す
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１に記載した発明は、少なくとも光
ファイバ母材の母インゴットを加熱軟化するヒーター
と、該ヒーターから引き出された光ファイバ母材を把持
して延伸するチャック機構とを有する光ファイバ母材の
延伸装置において、前記チャック機構の母材と接触する
部材がセラミック材から成ることを特徴とする光ファイ
バ母材の延伸装置である。

【００１０】このように、光ファイバ母材を把持して延
伸するチャック機構を有する光ファイバ母材の延伸装置
において、チャック機構の母材と接触する部材がセラミ
ック材から成るものであれば、比較的弱い力で母材を把
持しても、接触する部材が滑ることがなく、把持された
母材に傷が付くこともない。またヒーターから引き出さ
れた直後の高温の光ファイバ母材を把持しても、接触す
る部材が耐熱性に優れるため、母材に接触する部材が変
形、消耗することが殆どない。なお、ここでチャック機
構の母材と接触する部材がセラミック材から成るとは、
母材と接触する部材のすべてがセラミック材である場合
のみならず、少なくとも母材と接触する部位がセラミッ
ク材であればよい。

【００１１】この場合、請求項２に示すように、前記セ
ラミック材が、焼結体のセラミック材またはファイバ状
のセラミック材であることが好ましい。このようにセラ
ミック材が焼結体またはファイバ状のセラミック材であ
れば、チャック機構の母材と接触する部材が滑ったり、
母材に傷が付くことを防止する効果はより大きいものと
なる。

【００１２】またこの場合、請求項３に示すように、前
記セラミック材が、炭素、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化
珪素から選択される１種または２種以上から成るものと
することができる。このようにセラミック材が炭素、窒
化ホウ素、窒化珪素、炭化珪素から選択される１種また
は２種以上から成るものであれば、チャック機構の母材
と接触する部材が滑ったり、母材に傷が付くことを防止
する効果はより大きいものとなり、また耐熱性において
も優れたものとなる。また、上記のものから成るセラミ
ック材であれば、容易に作製することができるという利
点もある。なお、セラミック材は、上記原料の１種類の
みから成るものであっても良いし、あるいは２種以上か
ら成るものであってもかまわず、同様の効果を奏するも
のである。

【００１３】そしてこの場合、請求項４に記載したよう
に、前記母材と接触する部材は、接触応力が５０ｋｇ／
ｍｍ² 以下になるように、形状および把持力が規定され
ていることが好ましい。このように、母材と接触する部
材は、接触応力が５０ｋｇ／ｍｍ² 以下になるように、
形状および把持力が規定されていれば、強い把持力で母
材を把持する場合でも、母材に傷やクラックが生じるこ
とがない。

【００１４】またこの場合、請求項５に記載したよう
に、前記母材と接触する部材は、母材に対してＶ字状の
面を有しているようにすることができる。このように、
母材と接触する部材が母材に対してＶ字状の面を有して
いるようにすれば、母材と母材と接触する部材との接触
面積を増やすことができ、強い把持力で母材を把持する
場合であっても、接触応力を低くすることができ、容易
に５０ｋｇ／ｍｍ² 以下にすることができる。

【００１５】さらにこの場合、請求項６に記載したよう
に、前記母材と接触する部材は、その陵部に０．５ｍｍ
以上の面取りが施されていることが好ましい。これは、
母材と接触する部材の陵部が光ファィバ母材に接触する
と、陵部での接触応力が大きくなり、局所的に母材にク
ラックが発生しやすくなるからである。そのため母材と
接触する部分の陵部は０．５ｍｍ以上の面取り加工が施
されていることが好ましい。なお、ここで０．５ｍｍ以
上の面取りとは、面取りの幅が０．５ｍｍ以上という意
味であり、面取りの幅とは、図４に示すように母材と接
触する部材である接触部材２０に施された面取り２１
が、図４中の面取りの幅２２のように、母材との接触面
に対して有する幅を指す。尚、面取り形状は、図４の例
に示したように直線的に陵を削り落としたものとしても
よいし、丸みをおびさせたＲ形状としてもよい。

【００１６】そして、請求項７に記載したように、請求
項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の光ファイバ
母材の延伸装置を用いて光ファイバ母材を延伸すれば、
光ファイバ母材に傷やクラックを生じることなく、効率
よく光ファイバ母材を延伸することができる。

【００１７】以下、本発明をさらに詳述するが、本発明
はこれに限定されるものではない。本発明の発明者ら
は、チャック機構を用いて光ファイバ母材を引き取り延
伸する装置において、チャック機構で光ファイバ母材を
把持したときにチャック機構の部分で滑ったり、これに
よって光ファイバ母材の表面に傷を付けることなく、光
ファイバ母材を延伸することができる光ファイバ母材の
延伸装置について、特にチャック機構およびチャック機
構の母材に接触する部材について鋭意研究を行った。

【００１８】チャック機構の滑りやすさは、母材に接触
する部材の材質によって左右される。そこで、本発明者
らは、母材に接触する部材の材質について研究を行っ
た。まず本発明者らは、光ファイバ母材に傷が付くこと
を防止するため、部材に木材を用いた場合について実験
・検討をしてみた。しかし、母材に接触する部材に木材
を用いてみたところ、母材に傷がつくことはなかった
が、非常に強い力で把持しないと、母材とチャック機構
が滑りやすいことが判った。また、延伸する母材が高温
のため、接触する部材が焦げて消耗しやすく、木材は母
材と接触する部材としては不適当であることが判った。

【００１９】また母材に接触する部材に金属を用いた場
合は、比較的弱い把持力でも母材とチャック機構が滑る
ことはなかったが、母材を把持した時に、接触する部材
の金属が母材に付着する問題があった。母材に金属が付
着すると、後に光ファイバに線引きする際に、コンタミ
の原因となるため、延伸を行った後に表面を削りとる作
業が必要になる。そのため、金属材料は母材と接触する
部材としては不適当であることが判った。

【００２０】さらに母材に接触する部材にガラス材を用
いた場合は、非常に弱い把持力でも母材とチャック機構
が滑らないため好適ではあるが、接触する部材が容易に
破損してしまうことが欠点であった。母材と接触する部
材が破損すると、破断面により、光ファイバ母材に傷が
付き、場合によっては、引き取り、延伸の途中で母材が
破損してしまうことがあった。そのため、ガラス材は母
材と接触する部材としては不適当であることが判った。

【００２１】以上のように、上記のような材料は、母材
に接触する部材には不適当であることが判った。そこ
で、本発明者らは、母材に接触する部材にセラミック材
を用いることを発想した。セラミック材を接触する部材
に用いた場合について実験・検討を行ったところ、セラ
ミック材には多くの利点が見られた。

【００２２】すなわち、セラミック材は、比較的弱い把
持力であっても母材とチャック機構が滑ることがなく、
母材に傷を付けることなく把持でき、耐熱性に優れてい
るため延伸する光ファイバ母材の高熱により接触する部
材が消耗することが殆どないことが判った。また、接触
する部材の材料が母材に付着しコンタミの原因となるこ
とがなく、強度的にも優れたものであることも判った。
そこで、本発明者らは、光ファイバ母材の延伸装置にお
いて、チャック機構の母材と接触する部材の材料に、セ
ラミック材を用いることとした。

【００２３】そして、この場合のセラミック材は焼結体
であるか、またはファイバ状のものが好ましいことが判
った。セラミック材がこのような状態のものであれば、
弱い把持力で母材を把持しても、母材とチャック機構と
が滑ることがなく、母材に傷が付くことを防止する効果
はさらに高いものとなるためである。特に、焼結体状の
セラミック材は、強度および耐熱性に優れており、ファ
イバ状のセラミック材は、チャック機構の滑ることと母
材に傷が付くことを防止する効果に優れているといった
利点を有する。

【００２４】この場合のセラミック材は、炭素、窒化ホ
ウ素、窒化珪素、炭化珪素から選択される１種または２
種以上から成るものとすることができる。セラミック材
がこのようなものから成れば、母材とチャック機構との
滑りを防止する効果はさらに大きく、耐熱性も高いもの
となる。また、上記のものから成るセラミック材は、比
較的製造が容易であることも長所である。

【００２５】一方、チャック機構の滑りやすさは、チャ
ック機構が母材を把持する力によっても左右される。チ
ャック機構が母材を把持する力は、強すぎると母材を破
損させたりクラックを発生する原因となるためできるだ
け弱い方が好ましいが、弱すぎると母材と母材と接触す
る部材とが滑って、母材の表面に傷をつけてしまう。ま
た母材と母材と接触する部材とが滑ると、引き取り速度
が制御できなくなるため、母材の外径を一定に保てなく
なる問題も生じる。

【００２６】本発明の発明者らが、チャック機構の把持
力や母材に接触する部材の形状について実験・検討を行
ったところ、母材に接触する部材に上記のようなセラミ
ック材を用いた場合でも、把持力が大きすぎると母材に
傷が付くことがあるため、接触応力は５０ｋｇ／ｍｍ²
以下とすることが望ましいことが判った。接触応力がこ
の程度であれば、母材に傷が付くことはない。

【００２７】このような接触応力にするためには、接触
する部材と母材との接触面積を大きくするか、把持力を
小さくすることが必要である。そこで具体的に接触面積
を大きくするために、母材と接触する部材の数を増やし
たり、あるいは図３に示すように接触する部材の先端を
母材に対してＶ字状の面にすることを試み、有効である
ことが判った。さらに、接触する部材の陵部が母材に接
触すると、陵部での接触応力が大きくなり、局所的にク
ラックが発生しやすくなるため、図４に示すように接触
する部材の陵部は０．５ｍｍ以上の面取り加工が施され
ていることが望ましいことが判った。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について添付
した図面に基づき説明するが本発明はこれに限定される
ものではない。ここで図１は本発明のチャック機構を具
備した光ファイバ母材の延伸装置の一例を示した概略構
成図であり、図２は本発明の光ファイバ母材の延伸装置
のチャック機構を母材の中心軸方向から見た略図であ
り、図３、図４はそれぞれ本発明の光ファイバ母材の延
伸装置における母材と接触する部材の構成例図である。

【００２９】図１に示すように、本発明の光ファイバ母
材の延伸装置１は、従来のチャック機構を用いた延伸装
置を基本にした構造にしており、母インゴット５を加熱
軟化するヒーターである電気炉２と、該電気炉２から延
伸した光ファイバ母材４を把持して延伸するチャック機
構３を具備している。母インゴット５の上方には、該母
インゴット５を吊り下げることができる吊り下げ機構６
が配設されており、また延伸装置１の下部には直線状の
ガイドレール７が配設されている。このガイドレール７
にチャック機構３は取り付けられており、チャック機構
３が把持した母材４は、ガイドレール７に沿って真直ぐ
な方向に引き取られて延伸され、延伸された母材４の曲
がりを防止できるようになっている。

【００３０】また図２に示すように、本延伸装置１のチ
ャック機構３は、例えば３本以上の母材に接触する部材
である接触部材２０を母材４に押し当てる構造となって
いる。本発明の延伸装置１に用いられるチャック機構３
では、この接触部材２０がセラミック材から成る。この
セラミック材は焼結体あるいはファイバ状のものであ
り、炭素、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化珪素から選択さ
れる１種または２種以上から成るものが用いられる。

【００３１】上記のような母材と接触する部材を用いて
も、チャック機構３の把持力が大きすぎると、母材に傷
を付ける原因となることがあるため、本発明の延伸装置
１では、接触部材２０の接触応力が５０ｋｇ／ｍｍ² 以
下とされるように、接触部材２０の形状および把持力が
規定されるようになっている。接触部材２０は、例えば
図４に示すように陵部での応力集中を避けるため、面取
りの幅２２が０．５ｍｍ以上の面取り２１が施されてお
り、場合によっては図３に示すように母材４に対してＶ
字状の面とされることもある。この場合、接触部材をＶ
字状の面とするときも、陵部に面取りを施すようにした
方がより好ましい。

【００３２】そして、光ファイバ母材の延伸工程におい
ては、母インゴット５を２０００℃に昇温した電気炉２
内に、例えば１０〜３０ｍｍ／分の速度で送り込み、電
気炉２の出口から、溶融、縮径されて出てきた母材４を
チャック機構３で把持し、例えば１００〜３００ｍｍ／
分の速度で引き抜くことにより、目標の外径に延伸され
た母材４を得ることができる。

【００３３】この延伸工程においては、母インゴット５
を送り込む速度、電気炉２の温度、および引き抜く速度
を変更することにより、延伸された母材４の外径が精密
に制御される。本発明の延伸装置１では、チャック機構
３と母材４とが滑ることがないため、母材４の外径は常
に精密に制御される。また、母材４の表面に傷やクラッ
クが生じることもない。

【００３４】

【実施例】次に本発明の実施例と比較例について説明す
る。 （実施例１）ＶＡＤ法によるスート作製、脱水焼結工程
を経て、外径１５０ｍｍ、直胴部の長さが１２００ｍｍ
の母インゴットが作製された。この母インゴットを、図
１に示す本発明の光ファイバ母材の延伸装置１の吊り下
げ機構６により吊り下げ、２０ｍｍ／分の速度で電気炉
２内に送り込み、加熱、軟化した状態で、電気炉２の下
部からチャック機構３により１２５ｍｍ／分の速度で引
き取り、延伸、縮径する事で外径５０ｍｍの光ファイバ
母材を得た。

【００３５】この時、チャック機構３の母材に接触する
部材である接触部材２０に、高密度焼結体状の炭素（カ
ーボングラファイト）、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化珪
素を用いて延伸を行った。延伸時には、３００ｋｇｆの
力で母材４を引っ張る必要があるが、この引っ張り力を
かけたときにチャック機構３が滑り出す限界の把持力
は、以下の表１に示すようになった。

【００３６】

【表１】

【００３７】表１から、セラミックの焼結体を母材に接
触する部材に用いると、比較的弱い力で把持しても、チ
ャック機構と母材とが滑ることがなく、母材への傷つき
も発生しないことが判る。

【００３８】（実施例２）実施例１と同様に製造され
た、外径１５０ｍｍ、直胴部の長さが１２００ｍｍのイ
ンゴットを、外径５０ｍｍの光ファイバ母材に延伸し
た。接触部材２０の材料としては、実施例１と同様のセ
ラミックの焼結体を用いた。ただし、接触部材２０の形
状は、図３に示すように母材４に対してＶ字状の面を有
しているものとし、３本の接触部材２０がそれぞれ２点
（計６点）で接触するようにした。このような接触部材
２０を用いて、３００ｋｇｆで母材４を引っ張った時
に、チャック機構３が滑り出す限界の把持力を測定し
た。この測定結果は、以下の表２に示すようになった。

【００３９】

【表２】

【００４０】表２から、母材に接触する部材を、母材に
対してＶ字状の面を有しているものとし、母材に接触す
る部分を多くすることで、さらに弱い把持力でも、チャ
ック機構と母材の滑りを防止でき、母材への傷つきも防
ぐことができることが判る。

【００４１】（実施例３）実施例１と同様に製造され
た、外径１５０ｍｍ、直胴部の長さが１２００ｍｍのイ
ンゴットを、外径５０ｍｍの光ファイバ母材に延伸し
た。接触部材２０の材料としては、ファイバ状の炭素
（カーボン）、窒化珪素、炭化珪素を取り付け、実施例
１と同様な方法で延伸試験を行った。その結果を、以下
の表３に示す。

【００４２】

【表３】

【００４３】表３に示すように、ファイバ状のセラミッ
クを接触部材に用いると、いずれの場合にも、比較的弱
い把持力でもチャック機構と母材との滑りが防止でき、
母材への傷つきも防ぐことができることが判る。

【００４４】（実施例４）実施例１と同様に製造され
た、外径１５０ｍｍ、直胴部の長さが１２００ｍｍのイ
ンゴットを、外径５０ｍｍの光ファイバ母材に延伸し
た。この時の接触部材２０としては、窒化珪素の焼結体
を用い、把持力を変えることで、母材にかかる接触応力
を変更して、母材の傷つき状態を見た。結果を以下の表
４に示す。

【００４５】

【表４】

【００４６】表４に示すように、母材にかかる接触応力
が、５０ｋｇ／ｍｍ² 以下の時には、母材への傷つきは
発生しないが、５０ｋｇ／ｍｍ² より大きくなると、チ
ャック機構の把持により母材の表面に傷がついてしまう
ことが判る。

【００４７】（実施例５）実施例１と同様に製造され
た、外径１５０ｍｍ、直胴部の長さが１２００ｍｍのイ
ンゴットを、外径５０ｍｍの光ファイバ母材に延伸し
た。この時の接触部材２０としては、窒化珪素の焼結体
を用い、把持力２３５ｋｇｆで母材４を把持し、３００
ｋｇｆの力で引き取ることにより母材を延伸した。この
時、接触部材２０の面取りの幅２２を、０．１、０．
３、０．５、１．０ｍｍに変化させて延伸試験を行っ
た。この結果は、面取りの幅２２が、０．１、０．３ｍ
ｍの場合には、母材４の接触部材２０の陵部が接触する
位置に、約０．５ｍｍほどの小さなクラックが入ること
があった。しかし面取りの幅２２を、０．５、１．０ｍ
ｍと大きくすると、クラックの発生は抑えることができ
た。

【００４８】（比較例）実施例と同様に製造された、外
径１５０ｍｍ、直胴部の長さが１２００ｍｍの母インゴ
ットを、外径５０ｍｍの光ファイバ母材に延伸した。こ
の時の接触部材２０としては、木材、ステンレス鋼、ア
ルミニウム、ガラスを用いて、実施例１と同様に延伸の
試験を行った。その結果を以下の表５に示す。

【００４９】

【表５】

【００５０】表５より、いずれの材料を用いた場合も、
実施例のセラミック材から成る接触部材より劣っている
ことが判る。すなわち、木材の場合は非常に強い把持力
で把持しないと滑りやすかった。さらに一回の使用で焦
げてしまい耐熱性にも問題があった。ステンレス鋼やア
ルミニウムの金属材料は把持部に金属が付着してしま
い、コンタミの原因となることが予想された。またガラ
スは破損してしまい、母材がひどく傷付いてしまった。

【００５１】尚、本発明は、上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の
特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一
な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかな
るものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

【００５２】例えば、上記実施形態では、母材と接触す
る部材が爪形状のものを中心に説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、接触する母材の形状が爪
状のものでなくとも、母材をチャックして延伸できるも
のであり、母材と接触する部材の接触する部分がセラミ
ック材から成るものであれば、本発明の範囲に含まれ
る。

【００５３】また、上記実施形態では、光ファイバ母材
を鉛直方向に延伸して縮径する構造の装置を中心に説明
したが、母材を真直ぐに延伸できるものであればこれに
限定されるものではなく、例えば水平方向に延伸する装
置であってもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ファイ
バ母材の延伸装置は、光ファイバ母材を延伸する時に、
チャック機構と母材とが滑らず、安定して光ファィバ母
材を引き取り延伸して、所望の径に縮径することが可能
であり、かつ母材に傷を付けることがない延伸装置とな
る。そのため、この装置を用いて光ファイバ母材を延伸
すれば、光ファイバ母材の生産性および歩留りを向上さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】チャック機構を具備した光ファイバ母材の延伸
装置の概略構成図である。

【図２】チャック機構を母材の中心軸方向から見た略図
である。

【図３】母材に対してＶ字状の面を有する接触部材を示
した構成例図である。

【図４】陵部に面取りが施された接触部材を示した構成
例図である。

【図５】ローラー機構を具備した光ファイバ母材の延伸
装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１、１１…延伸装置、 ２…電気炉、 ３…チャック機
構、４…延伸された母材、 ５…母インゴット、 ６…
吊り下げ機構、７…ガイドレール、１２…ローラー機
構、２０…接触部材、 ２１…面取り、 ２２…面取り
の幅。

フロントページの続き (72)発明者 島田 忠克 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 平６−24784（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−85766（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−43255（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−157048（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−114536（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−310443（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C03B 27/012 C03B 23/047

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも光ファイバ母材の母インゴッ
   トを加熱軟化するヒーターと、該ヒーターから引き出さ
   れた光ファイバ母材を把持して延伸するチャック機構と
   を有する光ファイバ母材の延伸装置において、前記チャ
   ック機構の母材と接触する部材がセラミック材から成る
   ことを特徴とする光ファイバ母材の延伸装置。
2. 【請求項２】 前記セラミック材が、焼結体のセラミッ
   ク材またはファイバ状のセラミック材であることを特徴
   とする請求項１に記載の光ファイバ母材の延伸装置。
3. 【請求項３】 前記セラミック材が、炭素、窒化ホウ
   素、窒化珪素、炭化珪素から選択される１種または２種
   以上から成ることを特徴とする請求項１または請求項２
   に記載の光ファイバ母材の延伸装置。
4. 【請求項４】 前記母材と接触する部材は、接触応力が
   ５０ｋｇ／ｍｍ² 以下になるように、形状および把持力
   が規定されていることを特徴とする請求項１ないし請求
   項３のいずれか１項に記載の光ファイバ母材の延伸装
   置。
5. 【請求項５】 前記母材と接触する部材は、母材に対し
   てＶ字状の面を有していることを特徴とする請求項１な
   いし請求項４に記載の光ファイバ母材の延伸装置。
6. 【請求項６】 前記母材と接触する部材は、その陵部に
   ０．５ｍｍ以上の面取りが施されていることを特徴とす
   る請求項１ないし請求項５に記載の光ファイバ母材の延
   伸装置。
7. 【請求項７】 請求項１ないし請求項６のいずれか１項
   に記載の光ファイバ母材の延伸装置を用いて光ファイバ
   母材を延伸することを特徴とする光ファイバ母材の延伸
   方法。