JP3011555B2 - 信号位相差の補正方法及び装置 - Google Patents
信号位相差の補正方法及び装置Info
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- JP3011555B2 JP3011555B2 JP4296927A JP29692792A JP3011555B2 JP 3011555 B2 JP3011555 B2 JP 3011555B2 JP 4296927 A JP4296927 A JP 4296927A JP 29692792 A JP29692792 A JP 29692792A JP 3011555 B2 JP3011555 B2 JP 3011555B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の信号発生装置か
ら出力される信号の位相差を補正する方法及び装置に関
するものである。
ら出力される信号の位相差を補正する方法及び装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、位置に対応する信号を発生する装
置として、磁気式リニアエンコーダ等がある。図７は磁
気式リニアエンコーダの原理を説明するための図であ
る。図７において、７０１は着磁が施されている部分
と、着磁が施されていない部分とが一定の間隔で繰り返
し記憶されているメモリ、７０２は磁気により抵抗値が
変化する、すなわち磁気抵抗効果を持つピックアップ
（以後、ＭＲヘッドと呼ぶ）で、ＭＲヘッド７０２はメ
モリとの距離が一定になるようにメモリと同軸の筒７０
３に固定されている。この筒７０３は、矢印７０４の方
向に移動が可能で、筒７０３と共にＭＲヘッド７０２が
メモリ７０１の上を移動する事で、ＭＲヘッド７０２に
かかる磁界が変化し、それによりＭＲヘッド７０２の抵
抗値の変化がメモリ７０１の着磁の間隔で繰り返され
る。この抵抗変化を出力端子７０５から取り出して位置
に対応した信号とする。たとえば、この出力信号を電圧
の変化（電圧パルス等）に変換することにより、タイミ
ング信号等として使用できる。なお、筒７０３の可動範
囲は、メモリ７０１の両端に付けられているメモリエッ
ジ７０６により制限されている。
置として、磁気式リニアエンコーダ等がある。図７は磁
気式リニアエンコーダの原理を説明するための図であ
る。図７において、７０１は着磁が施されている部分
と、着磁が施されていない部分とが一定の間隔で繰り返
し記憶されているメモリ、７０２は磁気により抵抗値が
変化する、すなわち磁気抵抗効果を持つピックアップ
（以後、ＭＲヘッドと呼ぶ）で、ＭＲヘッド７０２はメ
モリとの距離が一定になるようにメモリと同軸の筒７０
３に固定されている。この筒７０３は、矢印７０４の方
向に移動が可能で、筒７０３と共にＭＲヘッド７０２が
メモリ７０１の上を移動する事で、ＭＲヘッド７０２に
かかる磁界が変化し、それによりＭＲヘッド７０２の抵
抗値の変化がメモリ７０１の着磁の間隔で繰り返され
る。この抵抗変化を出力端子７０５から取り出して位置
に対応した信号とする。たとえば、この出力信号を電圧
の変化（電圧パルス等）に変換することにより、タイミ
ング信号等として使用できる。なお、筒７０３の可動範
囲は、メモリ７０１の両端に付けられているメモリエッ
ジ７０６により制限されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁気式
リニアエンコーダに代表される現在の位置信号発生装置
は、その製造に使用する炉の大きさからメモリの長さが
制限されてしまい、それ以上の長さのものが製造できな
いためメモリ長以上の範囲で使用できないという欠点が
あった。さらに、リニアエンコーダを２本以上つなぐ場
合も高精度でつながなければならないため、複数の磁気
式リニアエンコーダの全長にわたって連続的なタイミン
グ信号を得ることが難しいという欠点があった。
リニアエンコーダに代表される現在の位置信号発生装置
は、その製造に使用する炉の大きさからメモリの長さが
制限されてしまい、それ以上の長さのものが製造できな
いためメモリ長以上の範囲で使用できないという欠点が
あった。さらに、リニアエンコーダを２本以上つなぐ場
合も高精度でつながなければならないため、複数の磁気
式リニアエンコーダの全長にわたって連続的なタイミン
グ信号を得ることが難しいという欠点があった。
【０００４】本発明は上記従来例に鑑みて成されたもの
で、複数の位置信号発生装置を用いて位相差のない連続
的な信号を得ることができる信号位相差の補正方法及び
装置を提供することを目的とする。
で、複数の位置信号発生装置を用いて位相差のない連続
的な信号を得ることができる信号位相差の補正方法及び
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】及び
【作用】上記目的を達成するために、本発明の信号位相
差の補正方法は次のような構成からなる。
差の補正方法は次のような構成からなる。
【０００６】所定区間内に記録された位置情報を読み取
って信号を出力する機器を複数つなぎ、各機器の信号の
位相差を補正する方法であって、前記機器それぞれが出
力する信号の位相差を検出する検出工程と、前記検出手
段により検出された信号の位相差に基づいて、前記信号
の位相差を補正する補正工程と、前記複数の機器による
出力信号の内、いずれかの信号を選択的に出力する工程
とを備える。
って信号を出力する機器を複数つなぎ、各機器の信号の
位相差を補正する方法であって、前記機器それぞれが出
力する信号の位相差を検出する検出工程と、前記検出手
段により検出された信号の位相差に基づいて、前記信号
の位相差を補正する補正工程と、前記複数の機器による
出力信号の内、いずれかの信号を選択的に出力する工程
とを備える。
【０００７】また、上記目的を達成するために、本発明
の信号位相差の補正装置は次のような構成からなる。
の信号位相差の補正装置は次のような構成からなる。
【０００８】所定区間内に記録された位置情報を読み取
って信号を出力する機器を複数つなぎ、各機器の信号の
位相差を補正する装置であって、前記機器それぞれが出
力する信号の位相差を検出する検出手段と、前記検出手
段により検出された信号の位相差に基づいて、前記信号
の位相差を補正する補正手段と、前記複数の機器による
出力信号の内、いずれかの信号を選択的に出力する手段
とを備える。
って信号を出力する機器を複数つなぎ、各機器の信号の
位相差を補正する装置であって、前記機器それぞれが出
力する信号の位相差を検出する検出手段と、前記検出手
段により検出された信号の位相差に基づいて、前記信号
の位相差を補正する補正手段と、前記複数の機器による
出力信号の内、いずれかの信号を選択的に出力する手段
とを備える。
【０００９】
（実施例１）本発明の実施例として、ヘッドの主走査の
タイミング信号を、磁気式リニアエンコーダで発生する
プリンタ装置を説明する。図１は本実施例の装置の特徴
を最も良く表す図である。図１において、２は紙１上に
記録をするプリンタヘッドであり、不図示のモータによ
り図の左右方向に移動が可能で、紙１を図の下から上に
移動させることで紙１の一面に記録が可能となってい
る。３及び４は前述した磁気式リニアエンコーダのメモ
リで、メモリ３にはＭＲヘッド５が、メモリ４にはＭＲ
ヘッド６が取り付けてあり、各ＭＲヘッドとプリンタヘ
ッド２とは図のような位置に取り付けられている。
タイミング信号を、磁気式リニアエンコーダで発生する
プリンタ装置を説明する。図１は本実施例の装置の特徴
を最も良く表す図である。図１において、２は紙１上に
記録をするプリンタヘッドであり、不図示のモータによ
り図の左右方向に移動が可能で、紙１を図の下から上に
移動させることで紙１の一面に記録が可能となってい
る。３及び４は前述した磁気式リニアエンコーダのメモ
リで、メモリ３にはＭＲヘッド５が、メモリ４にはＭＲ
ヘッド６が取り付けてあり、各ＭＲヘッドとプリンタヘ
ッド２とは図のような位置に取り付けられている。
【００１０】プリンタヘッド２が記録する範囲は、ＭＲ
ヘッド５のみがプリンタヘッド２に追随してメモリ３の
上を移動する領域１と、ＭＲヘッド５及び６がメモリ３
及び４の上を追随して移動する領域２と、ＭＲヘッド６
のみがメモリ４の上を移動する領域３と、３つの領域に
分けられる。
ヘッド５のみがプリンタヘッド２に追随してメモリ３の
上を移動する領域１と、ＭＲヘッド５及び６がメモリ３
及び４の上を追随して移動する領域２と、ＭＲヘッド６
のみがメモリ４の上を移動する領域３と、３つの領域に
分けられる。
【００１１】ＭＲヘッド５及び６の出力は、変換回路７
により抵抗値の変化から電圧の変化に変換され、波形形
成回路８によりＴＴＬレベルの電圧パルスに変換された
後、位相検知回路９に入力される。
により抵抗値の変化から電圧の変化に変換され、波形形
成回路８によりＴＴＬレベルの電圧パルスに変換された
後、位相検知回路９に入力される。
【００１２】位相検知回路９は、プリンタヘッド２が領
域２を移動中に、波形形成回路７から入力された、２つ
のリニアエンコーダの出力信号に対応する２つのパルス
波Ａ，Ｂの位相差と、どちらのパルス波が進んでいるか
を検知し、その値をデータとして出力する回路である。
補正回路１０は、位相検知回路９により検知された位相
差を取り込み、位相補正して同相のパルス波Ｃ，Ｄとし
て出力する回路である。
域２を移動中に、波形形成回路７から入力された、２つ
のリニアエンコーダの出力信号に対応する２つのパルス
波Ａ，Ｂの位相差と、どちらのパルス波が進んでいるか
を検知し、その値をデータとして出力する回路である。
補正回路１０は、位相検知回路９により検知された位相
差を取り込み、位相補正して同相のパルス波Ｃ，Ｄとし
て出力する回路である。
【００１３】選択回路１１は、プリンタヘッド２の位置
によって、入力Ｅ，Ｆの一方を出力Ｇに出力する回路で
ある。すなわち、領域２の或る位置に基準点を設けてお
いて、プリンタヘッド２の位置が基準点よりも領域１側
では入力ＥをＧに出力し、プリンタヘッド２の位置が基
準点よりも領域３側では、入力ＦをＧに出力する。
によって、入力Ｅ，Ｆの一方を出力Ｇに出力する回路で
ある。すなわち、領域２の或る位置に基準点を設けてお
いて、プリンタヘッド２の位置が基準点よりも領域１側
では入力ＥをＧに出力し、プリンタヘッド２の位置が基
準点よりも領域３側では、入力ＦをＧに出力する。
【００１４】これにより、出力Ｇには、領域１から領域
３にわたって位相差のないパルス波が得られる。
３にわたって位相差のないパルス波が得られる。
【００１５】図２は、位相検知回路９と補正回路１０の
詳細なブロック図である。位相判定回路２０１は、ＭＲ
ヘッド５からのパルス波ＡとＭＲヘッド６からのパルス
波Ｂのどちらの位相が進んでいるかを判定する回路であ
る。位相カウンタ２０２は、入力パルス波Ａ，Ｂのう
ち、位相が進んでいる信号の波形の立ち上がりから位相
が遅れている信号の波形の立ち上がりまでに、クロック
２０４によりカウントされた値を出力する回路である。
ここで、クロック２０４の周波数が、信号Ａ，Ｂの周波
数より十分高いとすると、カウント値ａはパルス波Ａ，
Ｂの位相差に関係する値となる。
詳細なブロック図である。位相判定回路２０１は、ＭＲ
ヘッド５からのパルス波ＡとＭＲヘッド６からのパルス
波Ｂのどちらの位相が進んでいるかを判定する回路であ
る。位相カウンタ２０２は、入力パルス波Ａ，Ｂのう
ち、位相が進んでいる信号の波形の立ち上がりから位相
が遅れている信号の波形の立ち上がりまでに、クロック
２０４によりカウントされた値を出力する回路である。
ここで、クロック２０４の周波数が、信号Ａ，Ｂの周波
数より十分高いとすると、カウント値ａはパルス波Ａ，
Ｂの位相差に関係する値となる。
【００１６】この様子を図３に示す。今、パルス波Ａ，
Ｂが図３（ａ）の左側のような状態で入力されたとする
と、パルス波Ａが位相が進んでいるので、パルス波Ａの
パルスの立ち上がりでクロック２０４のカウントを開始
し、パルス波Ｂのパルスの立ち上がりでカウントを終え
る。また、図３（ｂ）の左側のような状態で入力された
とすると、パルス波Ａの位相が遅れているので、パルス
波Ｂのパルスの立ち上がりでクロック２０４のカウント
を開始し、パルス波Ａの立ち上がりでカウントを終え
る。
Ｂが図３（ａ）の左側のような状態で入力されたとする
と、パルス波Ａが位相が進んでいるので、パルス波Ａの
パルスの立ち上がりでクロック２０４のカウントを開始
し、パルス波Ｂのパルスの立ち上がりでカウントを終え
る。また、図３（ｂ）の左側のような状態で入力された
とすると、パルス波Ａの位相が遅れているので、パルス
波Ｂのパルスの立ち上がりでクロック２０４のカウント
を開始し、パルス波Ａの立ち上がりでカウントを終え
る。
【００１７】ディレイ回路２０３は、位相判定回路２０
１の結果と、位相カウンタ２０２の出力ａを得て、位相
の進んでいる波形をクロック２０４でａ回カウントして
から出力し、位相の遅れている波形はそのまま出力する
回路である。この様子を図３の右側に示す。
１の結果と、位相カウンタ２０２の出力ａを得て、位相
の進んでいる波形をクロック２０４でａ回カウントして
から出力し、位相の遅れている波形はそのまま出力する
回路である。この様子を図３の右側に示す。
【００１８】図３（ａ）ではパルス波Ａの位相が進んで
いるので、パルス波Ａは、ディレイ回路２０３によりク
ロック２０４のａクロック分遅延されたのち出力され、
パルス波Ｂはそのまま出力される。そこで、ディレイ回
路２０３の出力Ｃ・Ｄは、図３（ａ）の右側のようにパ
ルス波Ｃとパルス波Ｄとで位相差のない波形となる。ま
た、図３（ｂ）では、パルス波Ａの位相が遅れているの
で、パルス波Ａはそのまま出力され、パルス波Ｂは、デ
ィレイ回路２０３によりクロック２０４のａクロック分
遅延されたのち出力される。そのため図３（ｂ）の右側
のように、ディレイ回路２０３の出力Ｃ・Ｄは、パルス
波Ｃとパルス波Ｄとで位相差のない波形として出力され
る。これにより、位相が進んだ波形は、クロック２０４
のａクロック分カウントした時間だけ位相が遅れ、位相
の遅れた方の信号波形と同相となって出力される。
いるので、パルス波Ａは、ディレイ回路２０３によりク
ロック２０４のａクロック分遅延されたのち出力され、
パルス波Ｂはそのまま出力される。そこで、ディレイ回
路２０３の出力Ｃ・Ｄは、図３（ａ）の右側のようにパ
ルス波Ｃとパルス波Ｄとで位相差のない波形となる。ま
た、図３（ｂ）では、パルス波Ａの位相が遅れているの
で、パルス波Ａはそのまま出力され、パルス波Ｂは、デ
ィレイ回路２０３によりクロック２０４のａクロック分
遅延されたのち出力される。そのため図３（ｂ）の右側
のように、ディレイ回路２０３の出力Ｃ・Ｄは、パルス
波Ｃとパルス波Ｄとで位相差のない波形として出力され
る。これにより、位相が進んだ波形は、クロック２０４
のａクロック分カウントした時間だけ位相が遅れ、位相
の遅れた方の信号波形と同相となって出力される。
【００１９】以上説明したような構成により、記録ヘッ
ド２が移動する領域である領域１〜３全体にわたって、
２つのリニアエンコーダにより発生されるタイミング信
号を同位相の信号として連続的に発生させることができ
る。
ド２が移動する領域である領域１〜３全体にわたって、
２つのリニアエンコーダにより発生されるタイミング信
号を同位相の信号として連続的に発生させることができ
る。
【００２０】なお、この方法では、実際にタイミング信
号を取り始める前に、ヘッド２を一度領域２で移動させ
る事で両リニアエンコーダの位相差を予め知ることがで
き、その後の位相補正をそこで得た位相差に基づいて行
うことができる。
号を取り始める前に、ヘッド２を一度領域２で移動させ
る事で両リニアエンコーダの位相差を予め知ることがで
き、その後の位相補正をそこで得た位相差に基づいて行
うことができる。
【００２１】
（実施例２）図４は、本実施例の装置の一部回路の構成
であり、図１の位相検知回路９と補正回路１０とを図４
の回路で置き換えた装置が本実施例の装置である。本実
施例の装置では、抵抗とコンデンサとによる電気的フィ
ルタを用いてパルス波の位相を変化させ、２つのパルス
波の位相差を補正する。
であり、図１の位相検知回路９と補正回路１０とを図４
の回路で置き換えた装置が本実施例の装置である。本実
施例の装置では、抵抗とコンデンサとによる電気的フィ
ルタを用いてパルス波の位相を変化させ、２つのパルス
波の位相差を補正する。
【００２２】一般に、図５に示す、抵抗５０１とコンデ
ンサ５０２とで構成される電気回路では、図のＨに入力
される電圧波形が一定周波数であるならば、Ｉから出力
される電圧波形は、抵抗５０１の抵抗値Ｒとコンデンサ
５０２の静電容量Ｃの積ＣＲの値が増加すると、入力Ｈ
に対する位相遅れが大きくなる事が知られている。
ンサ５０２とで構成される電気回路では、図のＨに入力
される電圧波形が一定周波数であるならば、Ｉから出力
される電圧波形は、抵抗５０１の抵抗値Ｒとコンデンサ
５０２の静電容量Ｃの積ＣＲの値が増加すると、入力Ｈ
に対する位相遅れが大きくなる事が知られている。
【００２３】図４において、４０１，４０２，４０３，
４０４，４０５，４０６，４０７は可変抵抗、４０７，
４０８，４０９，４１０，４１１，４１２はコンデン
サ、４１３，４１４，４１５，４１６，４１７，４１８
は可変抵抗とコンデンサとによるフィルタによって変形
したパルス波を整形するためのコンパレータ、４１９は
可変抵抗の値を変えて位相を変化させる位相調整回路で
ある。位相検知回路９の入力パルス波に位相差が生じる
と、その位相差は位相調整回路４１９に入力される。位
相調整回路４１９はフィードバックとして可変抵抗４０
１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６の値を変
化させて、位相検知回路に入力される両パルス波を同位
相としている。
４０４，４０５，４０６，４０７は可変抵抗、４０７，
４０８，４０９，４１０，４１１，４１２はコンデン
サ、４１３，４１４，４１５，４１６，４１７，４１８
は可変抵抗とコンデンサとによるフィルタによって変形
したパルス波を整形するためのコンパレータ、４１９は
可変抵抗の値を変えて位相を変化させる位相調整回路で
ある。位相検知回路９の入力パルス波に位相差が生じる
と、その位相差は位相調整回路４１９に入力される。位
相調整回路４１９はフィードバックとして可変抵抗４０
１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６の値を変
化させて、位相検知回路に入力される両パルス波を同位
相としている。
【００２４】なお、このフィルタは図５のフィルタに限
定されるものではない事はいうまでもない。
定されるものではない事はいうまでもない。
【００２５】また、この方法は自動と手動のどちらでも
実現が可能である。
実現が可能である。
【００２６】（実施例３）本実施例は、実施例１の位相
検知回路９と補正回路１０とを実施例１と異なる構成と
した実施例である。
検知回路９と補正回路１０とを実施例１と異なる構成と
した実施例である。
【００２７】図６において、メモリ駆動回路６０２は、
メモリ４を矢印６０１の方向に移動させる回路であり、
位相検知回路に入力されたパルス波に位相差があると、
フィードバックとしてメモリ４を移動させ、メモリ３，
メモリ４のパルス波発生位置を合わせる事で位相差を補
正する。このためには、たとえば、位相検知回路９で得
られた位相差を、実施例１と同様、パルス波に比べて十
分高い周波数のクロックをカウントして検出し、そのク
ロックによってモータを駆動する等で行うことができ
る。なお、この方法は手動で行う。
メモリ４を矢印６０１の方向に移動させる回路であり、
位相検知回路に入力されたパルス波に位相差があると、
フィードバックとしてメモリ４を移動させ、メモリ３，
メモリ４のパルス波発生位置を合わせる事で位相差を補
正する。このためには、たとえば、位相検知回路９で得
られた位相差を、実施例１と同様、パルス波に比べて十
分高い周波数のクロックをカウントして検出し、そのク
ロックによってモータを駆動する等で行うことができ
る。なお、この方法は手動で行う。
【００２８】尚、本発明は、複数の機器から構成される
システムに適用しても、１つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明はシステム或は装置にプログ
ラムを供給することによって達成される場合にも適用で
きることは言うまでもない。
システムに適用しても、１つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明はシステム或は装置にプログ
ラムを供給することによって達成される場合にも適用で
きることは言うまでもない。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる信
号位相差の補正方法及び装置は、複数の位置信号発生装
置を用いて位相差のない連続的な信号を得ることができ
るという効果がある。
号位相差の補正方法及び装置は、複数の位置信号発生装
置を用いて位相差のない連続的な信号を得ることができ
るという効果がある。
【図１】実施例のプリンタ装置の一部の構成図である。
【図２】位相検知回路９と補正回路１０の詳細なブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】位相検知カウンタ２０２とディレイ回路２０３
の動作例のタイミング図である。
の動作例のタイミング図である。
【図４】実施例２の補正回路図である。
【図５】抵抗とコンデンサによる位相遅延回路図であ
る。
る。
【図６】実施例３の位相補正回路のブロック図である。
【図７】リニアエンコーダの原理図である。
Claims (8)
- 【請求項１】 所定区間内に記録された位置情報を読み
取って信号を出力する機器を複数つなぎ、各機器の信号
の位相差を補正する方法であって、 前記機器それぞれが出力する信号の位相差を検出する検
出工程と、 前記検出手段により検出された信号の位相差に基づい
て、前記信号の位相差を補正する補正工程と、 前記複数の機器による出力信号の内、いずれかの信号を
選択的に出力する工程と、を備えることを特徴とする信
号位相差の補正方法。 - 【請求項２】 前記検出工程は、複数の信号のうち最も
位相の遅れた信号を基準信号として他の信号の位相進み
時間を計り、前記補正工程は、前記位相進み時間に基づ
いて、前記基準信号以外の信号の位相を遅らせることを
特徴とする請求項１記載の信号位相差の補正方法。 - 【請求項３】 所定区間内に記録された位置情報を読み
取って信号を出力する機器を複数つなぎ、各機器の信号
の位相差を補正する装置であって、 前記機器それぞれが出力する信号の位相差を検出する検
出手段と、 前記検出手段により検出された信号の位相差に基づい
て、前記信号の位相差を補正する補正手段と、 前記複数の機器による出力信号の内、いずれかの信号を
選択的に出力する手段と、を備えることを特徴とする信
号位相差の補正装置。 - 【請求項４】 前記検出手段は、複数の信号のうち最も
位相の遅れた信号を基準信号として他の信号の位相進み
時間を計り、前記補正手段は、前記位相進み時間に基づ
いて、前記基準信号以外の信号の位相を遅らせることを
特徴とする請求項３記載の信号位相差の補正装置。 - 【請求項５】 前記補正手段は、前記信号を入力とす
る、可変抵抗とコンデンサとを有するフィルタを備え、
前記位相差に基づいて前記可変抵抗の抵抗値を変えて、
遅れる位相の量を変化させることを特徴とする請求項３
記載の信号位相差の補正装置。 - 【請求項６】 前記補正手段は、前記各機器に記録され
た位置情報の記録媒体を移動させるアクチュエータを有
し、前記位相差に基づいて前記位置情報の記録媒体を移
動することを特徴とする請求項３記載の信号位相差の補
正装置。 - 【請求項７】 前記機器は磁気式リニアエンコーダであ
ることを特徴とする請求項１乃至請求項２に記載の信号
位相差の補正方法。 - 【請求項８】 前記機器は磁気式リニアエンコーダであ
ることを特徴とする請求項３乃至請求項６いずれかに記
載の信号位相差の補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296927A JP3011555B2 (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 信号位相差の補正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296927A JP3011555B2 (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 信号位相差の補正方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06147923A JPH06147923A (ja) | 1994-05-27 |
| JP3011555B2 true JP3011555B2 (ja) | 2000-02-21 |
Family
ID=17839979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4296927A Expired - Fee Related JP3011555B2 (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 信号位相差の補正方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3011555B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI512411B (zh) * | 2012-08-03 | 2015-12-11 | Canon Kk | 測量設備，微影設備，和物品製造方法 |
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