JP3007649U - クリーニングブラシ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体製造に用いられる部材，器具，装置等
のクリ−ニングに使用されるブラシを提供する。 【構成】 アラミド繊維からなる耐熱ブラシ素材２を巻
き込んだアラミド繊維製コード１を、金属製のチャンネ
ル３に挟み込んだクリーニングブラシ。 【効果】 耐熱仕様であり、且つ高温領域まで耐摩耗性
を保持できるため、高温物体のブラッシングに対応でき
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体産業等で用いられる金型及び製品そのものなどをクリーニン グするために用いられるクリーニングブラシに関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体産業等において、製品の収率，品質を向上させるために、通常、その製 造工程に用いられる部材，器具，装置等の表面の除塵が行われている。

【０００３】 従来、例えば半導体基板等を所定の条件で密封するために用いられる金型、及 び半製品，製品等に付着している微細なゴミや塵等のクリーニングを行うために 、図４に示すような基本構成を有するブラシが用いられていた。図４中、１１は 金属線、１２はブラシ素材、１３は金属製のチャンネルであり、このブラシはナ イロン６，ナイロン６６等の合成繊維からなるブラシ素材１２を、金属線１１に 巻き込んだ状態で、これらを金属チャンネル１３に挟み込んだものである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、特に半導体産業等においては、近年の急激な技術進歩に伴う高 度集積化（高密度化）、製造工程の複雑化などにより、上記クリーニングブラシ に対し、従来のクリーニング用ブラシでは十分に満足することができない新たな 要求が発生している。以下に、その要求を列記する。

【０００５】 １）半導体基板等を密封するために用いられる金型及び半製品，製品を、高温 状態下（例えば金型の場合には〜２５０℃）でクリーニングを行う必要性が生じ ることが多いことから、耐熱仕様で且つ高温領域まで耐摩耗性を保持できること 。

【０００６】 ２）金型等の表面をより高い程度に除塵する必要性から、従来のブラシ素材に 用いられているナイロン等の比較的柔らかい合成繊維に比べ、より腰の強いブラ シであること。

【０００７】 ３）ブラシ自身がゴミや塵を発生せず、汚れが付着しにくく、洗浄も容易なこ と。

【０００８】 ４）耐薬品性に優れ、特に半導体製造工程に多く用いられる有機溶剤に対して 強いこと。

【０００９】 本考案は、ブラシ素材としてナイロン等の合成繊維を用いていた従来のクリー ニングブラシに代わり、上記要求を十分満足し得る新たなクリーニングブラシを 提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、耐熱繊維、例えばアラミド繊維またはポリアリレート等が有する耐 熱安定性・化学的安定性・物理的安定性などの長所を生かし、これをブラシ素材 として用いることにより、上述の要求を満足し得るクリーニングブラシを構成し ようとするものである。また、本考案者らの研究によれば、上記耐熱繊維、特に アラミド繊維は金属接触に弱いため、図４に示した従来のブラシ構成におけるブ ラシ素材１２を単にナイロン等からアラミド繊維に替えただけでは、金属線１１ と金属チャンネル１３との間における接触摩擦により比較的容易に繊維切断が発 生してしまうことが判明した。本考案者らは、以上の知見に基づき本考案を完成 させたものである。

【００１１】 即ち、本考案は、耐熱繊維、好ましくはアラミド繊維またはポリアリレートか らなる多数本のブラシ素材を巻き込んだ繊維製コードを、金属製のチャンネル材 に挟み込んだことを特徴とするクリーニングブラシである。

【００１２】 繊維製コードとしては、高強度且つ耐熱性の繊維を用いるのが好ましく、特に 好ましくは、ブラシ素材と同様のアラミド繊維またはポリアリレートからなるも のが用いられる。

【００１３】 また、金属製のチャンネル材は、その両側縁が外側に折り曲げられていること が好ましい。

【００１４】 更に、本考案のクリーニングブラシは、前記構造を有する棒状のものを折曲加 工する等して、例えばロール状，ドラム状，カップ状，板状等の形状とすること もできる。

【００１５】

【実施例】

以下、本考案を実施例により詳細に説明する。

【００１６】 図１は本考案の第一の実施例のクリーニングブラシの基本構造を示したもので あり、図１（ａ）は側面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。 図１中、１は繊維製コード、２はアラミド繊維やポリアリレート等からなる耐熱 ブラシ素材、３は金属製のチャンネルであり、耐熱ブラシ素材２を繊維製コード １に巻き込み、これらを金属チャンネル３に挟み込んだ基本構造を有している。

【００１７】 このように、アラミド繊維等からなる耐熱ブラシ素材２を巻き込むコード１を 上記のような繊維製のものとすることにより、耐熱ブラシ素材２は金属間に直接 接触して挟み込まれることがなく、金属間の接触摩擦により繊維切断することが ない。

【００１８】 また、繊維製コード１にも、耐熱ブラシ素材２と同じアラミド繊維（特にパラ 系，メタ系のものが好ましい）やポリアリレート等を用いることにより、クリー ニングブラシ全体として耐久性且つ耐熱性に優れたものとなる。

【００１９】 図２は本考案の第二の実施例のクリーニングブラシの基本構造を示す断面図で あり、第一の実施例と異なる点は、金属チャンネル３の両側縁を、耐熱ブラシ素 材２を挟み込む側とは反対側（外側）に予め折り曲げていることである。これに より、クリーニングブラシの製造時及び使用時に、耐熱ブラシ素材２の根元部分 が金属チャンネル２側縁のコーナー部分に突き当たることがないため、耐熱ブラ シ素材２の繊維切断のより一層の防止がなされる。

【００２０】 図３は本考案の第三の実施例のクリーニングブラシを示したものであり、図３ （ａ）は側面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。このクリー ニングブラシは、図１に示した基本構造のものを中空螺旋状に巻き、その中空部 に金属製の芯材４を通して一体化してロール状に形成したものである。

【００２１】 本考案のクリーニングブラシは図１に示した基本構造のままで、棒状のブラシ として用いることもできるが、図３に示したようにロール状に形成するなど、ク リーニングの対象物、即ち、半導体製品等の製造に用いられる部材，器具，装置 等の、大きさや形状に合わせて形成することができるものであり、上記ロール状 以外にも、例えばドラム状，カップ状，板状等の形状にも加工されるものである 。

【００２２】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案のクリーニングブラシは以下の効果を奏する。

【００２３】 １）耐熱仕様であり、特にアラミド繊維を用いたものにあっては高温領域まで 耐摩耗性を保持できるため、２５０℃程度までの高温物体のブラッシングが可能 である。

【００２４】 ２）従来のブラシ素材に用いられていたナイロン等に比べ、同一径，同一長さ であれば、より腰の強いブラシとすることができ、製品等に傷を付けない程度に より強くブラッシングすることができるため、クリーニング対象物表面をより高 いレベルまで除塵することができる。

【００２５】 ３）耐薬品性にも優れ、特に半導体製造工程に多く用いられる有機溶剤に対し て強いものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第一の実施例を示す側面図及び断面図
である。

【図２】本考案の第二の実施例を示す断面図である。

【図３】本考案の第三の実施例を示す側面図及び断面図
である。

【図４】従来のブラシの断面図である。

【符号の説明】

１ 繊維製コード ２ 耐熱ブラシ素材 ３ 金属製チャンネル ４ 金属製心材 １１ 金属線 １２ ブラシ素材 １３ 金属製チャンネル

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 耐熱繊維からなる多数本のブラシ素材を
   巻き込んだ繊維製コードを、金属製のチャンネル材に挟
   み込んだことを特徴とするクリーニングブラシ。
2. 【請求項２】 前記耐熱繊維が、アラミド繊維またはポ
   リアリレートであることを特徴とする請求項１に記載の
   クリーニングブラシ。
3. 【請求項３】 前記繊維製コードが、アラミド繊維また
   はポリアリレートからなることを特徴とする請求項１に
   記載のクリーニングブラシ。
4. 【請求項４】 前記チャンネル材の両側縁が、外側に折
   り曲げられていることを特徴とする請求項１に記載のク
   リーニングブラシ。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の棒状のクリーニングブ
   ラシを、ロール状，ドラム状，カップ状，板状のいずれ
   かの形状に折曲加工したことを特徴とするクリーニング
   ブラシ。