JP3007239B2 - 光磁気記録媒体用ガーネット二層膜及び光磁気記録ディスク - Google Patents
光磁気記録媒体用ガーネット二層膜及び光磁気記録ディスクInfo
- Publication number
- JP3007239B2 JP3007239B2 JP9671893A JP9671893A JP3007239B2 JP 3007239 B2 JP3007239 B2 JP 3007239B2 JP 9671893 A JP9671893 A JP 9671893A JP 9671893 A JP9671893 A JP 9671893A JP 3007239 B2 JP3007239 B2 JP 3007239B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- garnet
- magneto
- optical recording
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/3209—Exchange coupling of garnet multilayers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体用ガー
ネット二層膜及び光磁気記録ディスクに関する。
ネット二層膜及び光磁気記録ディスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】基本組成がＲ３Ｆｅ５Ｏ12（ここで、Ｒ
はイットリウムを含む希土類元素）で表される希土類鉄
ガーネットは、希土類サイトにＢｉを置換することによ
り、現行媒体である非晶質希土類遷移金属合金膜よりも
極めて大きな磁気光学効果を短波長において示す。ま
た、酸化物であるため高耐食性を示す。この様なＢｉ置
換ガーネットは、短波長レーザーを用いた高密度光磁気
記録用の媒体として有望視されている。
はイットリウムを含む希土類元素）で表される希土類鉄
ガーネットは、希土類サイトにＢｉを置換することによ
り、現行媒体である非晶質希土類遷移金属合金膜よりも
極めて大きな磁気光学効果を短波長において示す。ま
た、酸化物であるため高耐食性を示す。この様なＢｉ置
換ガーネットは、短波長レーザーを用いた高密度光磁気
記録用の媒体として有望視されている。
【０００３】一般にレーザーで加熱することによってビ
ット書き込みを行う場合、加熱するレーザーのパワーと
媒体のキューリー温度の相関が重要であり、現行媒体の
キューリー温度は、２００℃程度に設計されている。ガ
ーネット結晶の場合も、キューリー温度を２００℃程度
に設計して書き込みの実験が行われている。ガーネット
結晶において、キューリー温度を調節するには、鉄のサ
イトにＧａやＡｌ等の３価の金属を置換する。
ット書き込みを行う場合、加熱するレーザーのパワーと
媒体のキューリー温度の相関が重要であり、現行媒体の
キューリー温度は、２００℃程度に設計されている。ガ
ーネット結晶の場合も、キューリー温度を２００℃程度
に設計して書き込みの実験が行われている。ガーネット
結晶において、キューリー温度を調節するには、鉄のサ
イトにＧａやＡｌ等の３価の金属を置換する。
【０００４】単結晶基板上に形成したガーネット膜は高
性能を示すが、光磁気記録媒体として利用する場合には
大面積かつ安価なガラス基板を用いることが必須であ
る。しかし、ガラス基板上に形成したガーネットは必然
的に多結晶膜であり、粒界に由来する光学的不均一のた
め媒体ノイズが大きいという欠点があった。そのため結
晶粒径を微細化し、媒体ノイズを減少させる試みが報告
されている。その場合、以下に述べる様にガーネット多
結晶を二層に積層した構造が有効である。
性能を示すが、光磁気記録媒体として利用する場合には
大面積かつ安価なガラス基板を用いることが必須であ
る。しかし、ガラス基板上に形成したガーネットは必然
的に多結晶膜であり、粒界に由来する光学的不均一のた
め媒体ノイズが大きいという欠点があった。そのため結
晶粒径を微細化し、媒体ノイズを減少させる試みが報告
されている。その場合、以下に述べる様にガーネット多
結晶を二層に積層した構造が有効である。
【０００５】中川等は、Ｒｂを添加した多結晶ガーネッ
ト膜を第１層として、その上にスパッタ法にて微結晶ガ
ーネット膜を形成することにより、単層のガーネット膜
よりも記録再生時に媒体ノイズを小さく、かつ信号雑音
比を増大させることが出来たと報告している（Ａ．Ｉｔ
ｏｈ ａｎｄ Ｋ．Ｎａｋａｇａｗａ：Ｊｐｎ．Ｊ．Ａ
ｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．３１ ｐａｒｔ２（１９９２） Ｌ
７９０）。また、庄野等は、面内磁化膜であるＹ３Ｆｅ
５Ｏ１２多結晶を第１層として、その上にガーネット微
結晶を生成して、単層のガーネット膜よりも特性が向上
したことを報告している（Ｋ．Ｓｈｏｎｏ，Ｋ．Ｔａｍ
ａｎｏｉ，Ｓ．Ｋｕｒｏｄａ ａｎｄＳ．Ｏｇａｗａ：
Ｄｉｇｅｓｔｓ ｏｆ Ｔｈｅ ６ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎ
ａｔｉｏｎａｌ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｆ Ｆｅｒ
ｒｉｔｅｓ（１９９２） ４２８）。さらに、本発明者
等は、二層のガーネット多結晶の格子定数差を±０．３
％以上にして、ガラス基板直上の第１層のガーネット多
結晶膜上に成長させた第２層のガーネット多結晶の粒径
が１μｍ以下にまで、すなわちレーザースポットに比べ
て十分微細化することによって、媒体ノイズの小さい光
磁気記録媒体を提案した（特願平０２−３０７６００
号、特願平０３−２９９２８４号）。
ト膜を第１層として、その上にスパッタ法にて微結晶ガ
ーネット膜を形成することにより、単層のガーネット膜
よりも記録再生時に媒体ノイズを小さく、かつ信号雑音
比を増大させることが出来たと報告している（Ａ．Ｉｔ
ｏｈ ａｎｄ Ｋ．Ｎａｋａｇａｗａ：Ｊｐｎ．Ｊ．Ａ
ｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．３１ ｐａｒｔ２（１９９２） Ｌ
７９０）。また、庄野等は、面内磁化膜であるＹ３Ｆｅ
５Ｏ１２多結晶を第１層として、その上にガーネット微
結晶を生成して、単層のガーネット膜よりも特性が向上
したことを報告している（Ｋ．Ｓｈｏｎｏ，Ｋ．Ｔａｍ
ａｎｏｉ，Ｓ．Ｋｕｒｏｄａ ａｎｄＳ．Ｏｇａｗａ：
Ｄｉｇｅｓｔｓ ｏｆ Ｔｈｅ ６ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎ
ａｔｉｏｎａｌ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｆ Ｆｅｒ
ｒｉｔｅｓ（１９９２） ４２８）。さらに、本発明者
等は、二層のガーネット多結晶の格子定数差を±０．３
％以上にして、ガラス基板直上の第１層のガーネット多
結晶膜上に成長させた第２層のガーネット多結晶の粒径
が１μｍ以下にまで、すなわちレーザースポットに比べ
て十分微細化することによって、媒体ノイズの小さい光
磁気記録媒体を提案した（特願平０２−３０７６００
号、特願平０３−２９９２８４号）。
【０００６】現行媒体である希土類遷移金属非晶質合金
においては、新しい記録方式（中木義幸、深見達也、徳
永隆志、堤和彦：日本応用磁気学会誌１５（１９９１）
２２９）や記録密度の向上（M.Kaneko, K.Aratani and
M.Ohta: Japanese Journalof Applied Physics 31(199
2)568)を可能にするために、異なる磁性層を多層に積層
し、それらの間の磁気的な結合を積極的に利用するとい
う報告がある。上記ガーネット二層膜では、いずれの場
合も第１層、第２層共に磁性ガーネットから成り、第１
層の磁気的性質が二層膜の記録再生特性に及ぼす影響に
ついては、未検討の課題であった。
においては、新しい記録方式（中木義幸、深見達也、徳
永隆志、堤和彦：日本応用磁気学会誌１５（１９９１）
２２９）や記録密度の向上（M.Kaneko, K.Aratani and
M.Ohta: Japanese Journalof Applied Physics 31(199
2)568)を可能にするために、異なる磁性層を多層に積層
し、それらの間の磁気的な結合を積極的に利用するとい
う報告がある。上記ガーネット二層膜では、いずれの場
合も第１層、第２層共に磁性ガーネットから成り、第１
層の磁気的性質が二層膜の記録再生特性に及ぼす影響に
ついては、未検討の課題であった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ＢｉｘＲ
3-x+u ＭｙＦｅ5-y+v Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦
ｙ≦５、−３≦ｕ≦３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウ
ムを含む１種類以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な
３価の金属を表す）の組成で代表される多結晶ガーネッ
トの二層膜において、ビット形状の乱れ及び媒体ノイズ
を改善することを目的としている。
3-x+u ＭｙＦｅ5-y+v Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦
ｙ≦５、−３≦ｕ≦３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウ
ムを含む１種類以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な
３価の金属を表す）の組成で代表される多結晶ガーネッ
トの二層膜において、ビット形状の乱れ及び媒体ノイズ
を改善することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】ガーネット膜を光磁気媒
体として利用する場合、それを形成する基板に求められ
る要因は、透明であること、安価であることの他に、結
晶化させるために５００〜７００℃程度にまで加熱する
必要があるため耐熱性が高いことが上げられる。これら
をすべて満たす基板は、今のところガラス基板しかな
い。しかしながら、ガラス基板上に形成したガーネット
膜は、単層では光学的不均一の大きな多結晶であり、ビ
ット形状の乱れ、媒体ノイズが大きいという欠点があっ
た。ガーネット多結晶を二層に積層した構造は、前記課
題解決のために有効であるが、本発明により記録再生特
性はさらに向上する。
体として利用する場合、それを形成する基板に求められ
る要因は、透明であること、安価であることの他に、結
晶化させるために５００〜７００℃程度にまで加熱する
必要があるため耐熱性が高いことが上げられる。これら
をすべて満たす基板は、今のところガラス基板しかな
い。しかしながら、ガラス基板上に形成したガーネット
膜は、単層では光学的不均一の大きな多結晶であり、ビ
ット形状の乱れ、媒体ノイズが大きいという欠点があっ
た。ガーネット多結晶を二層に積層した構造は、前記課
題解決のために有効であるが、本発明により記録再生特
性はさらに向上する。
【０００９】希土類鉄ガーネットは、基本組成がＲ３Ｆ
ｅ５Ｏ12（ここで、Ｒはイットリウムを含む希土類元
素）で表され、本発明においては、ＲをＢｉに、Ｆｅを
Ｇａなどの金属と置換してＢｉｘＲ3-x ＭｙＦｅ5-y Ｏ
12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、Ｒはイットリウ
ムを含む１種類以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な
３価の金属を表す）の組成で光磁気記録媒体として主に
利用する。しかし、スパッタ法を用いて作製する薄膜の
場合、前記の組成からズレたＢｉｘＲ3-x+u ＭｙＦｅ
5-y+v Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−３≦
ｕ≦３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１種類
以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属を表
す）で表される組成においても、ガーネット多結晶相が
得られることが知られている。ただし、ｕ＝０、かつｖ
＝０の時に最もガーネットが単相で得られ易く、通常最
も記録再生特性が高いが、−０．３≦ｕ≦０．３、かつ
−０．５≦ｖ≦０．５であれば、ガーネット以外の化合
物相やアモルファス相（両者を含めて異相と呼ぶ）は確
認されず、ｕ≠０、もしくはｖ≠０の組成で記録再生特
性が最高になる場合もある。−１．０≦ｕ≦１．０、か
つ−１．７≦ｖ≦１．７で、−０．３≦ｕ≦０．３、か
つ−０．５≦ｖ≦０．５に含まれない場合は、異相の生
成が確認され、したがって記録再生特性が悪化する場合
もあるが、記録再生特性が高い場合もある。さらに、−
３．０≦ｕ≦３．０、かつ−５．０≦ｖ≦５．０で、−
１．０≦ｕ≦１．０、かつ−１．７≦ｖ≦１．７に含ま
れない場合は、−１．０≦ｕ≦１．０、かつ−１．７≦
ｖ≦１．７で、−０．３≦ｕ≦０．３、かつ−０．５≦
ｖ≦０．５に含まれい場合よりも、異相の生成が確認さ
れたり、記録再生特性が悪化したりする場合が多い。
ｅ５Ｏ12（ここで、Ｒはイットリウムを含む希土類元
素）で表され、本発明においては、ＲをＢｉに、Ｆｅを
Ｇａなどの金属と置換してＢｉｘＲ3-x ＭｙＦｅ5-y Ｏ
12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、Ｒはイットリウ
ムを含む１種類以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な
３価の金属を表す）の組成で光磁気記録媒体として主に
利用する。しかし、スパッタ法を用いて作製する薄膜の
場合、前記の組成からズレたＢｉｘＲ3-x+u ＭｙＦｅ
5-y+v Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−３≦
ｕ≦３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１種類
以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属を表
す）で表される組成においても、ガーネット多結晶相が
得られることが知られている。ただし、ｕ＝０、かつｖ
＝０の時に最もガーネットが単相で得られ易く、通常最
も記録再生特性が高いが、−０．３≦ｕ≦０．３、かつ
−０．５≦ｖ≦０．５であれば、ガーネット以外の化合
物相やアモルファス相（両者を含めて異相と呼ぶ）は確
認されず、ｕ≠０、もしくはｖ≠０の組成で記録再生特
性が最高になる場合もある。−１．０≦ｕ≦１．０、か
つ−１．７≦ｖ≦１．７で、−０．３≦ｕ≦０．３、か
つ−０．５≦ｖ≦０．５に含まれない場合は、異相の生
成が確認され、したがって記録再生特性が悪化する場合
もあるが、記録再生特性が高い場合もある。さらに、−
３．０≦ｕ≦３．０、かつ−５．０≦ｖ≦５．０で、−
１．０≦ｕ≦１．０、かつ−１．７≦ｖ≦１．７に含ま
れない場合は、−１．０≦ｕ≦１．０、かつ−１．７≦
ｖ≦１．７で、−０．３≦ｕ≦０．３、かつ−０．５≦
ｖ≦０．５に含まれい場合よりも、異相の生成が確認さ
れたり、記録再生特性が悪化したりする場合が多い。
【００１０】前記の組成で代表される多結晶ガーネット
の二層膜において、基板直上に形成する第１層のキュー
リー温度を後述する方法によって室温以下に調節する。
さらに、第２層はキューリー温度が室温以上である多結
晶ガーネットを形成して、磁気記録層としての役割を第
２層のみに付与する。以上の構造の膜によって前記課題
を解決する。
の二層膜において、基板直上に形成する第１層のキュー
リー温度を後述する方法によって室温以下に調節する。
さらに、第２層はキューリー温度が室温以上である多結
晶ガーネットを形成して、磁気記録層としての役割を第
２層のみに付与する。以上の構造の膜によって前記課題
を解決する。
【００１１】本発明者等は、二層のガーネット多結晶の
格子定数差を±０．３％以上にして、ガラス基板直上の
第１層のガーネット多結晶膜上に成長させた第２層のガ
ーネット多結晶の粒径が１μｍ以下にまで、すなわちレ
ーザースポットに比べて十分微細化することによって、
媒体ノイズの小さい光磁気記録媒体を提案した（特願平
０２−３０７６００号、特願平０３−２９９２８４
号）。そのとき、ＢｉｘＲ3-x+u ＭｙＦｅ5-y+v Ｏ
12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−３≦ｕ≦３、
−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１種類以上の希
土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属を表す）の組
成で代表される多結晶ガーネットのｘ、ｙ、ｕ、ｖおよ
びＲ、Ｍの互いに異なる二層を形成することで格子定数
差を０．３％以上とすることができる。特に、Ｂｉ組成
量ｘを制御することによって、大きな格子定数差を付与
できる。この場合でも第１層のキューリー温度を室温以
下に調節すれば、前記課題はさらに改善される。
格子定数差を±０．３％以上にして、ガラス基板直上の
第１層のガーネット多結晶膜上に成長させた第２層のガ
ーネット多結晶の粒径が１μｍ以下にまで、すなわちレ
ーザースポットに比べて十分微細化することによって、
媒体ノイズの小さい光磁気記録媒体を提案した（特願平
０２−３０７６００号、特願平０３−２９９２８４
号）。そのとき、ＢｉｘＲ3-x+u ＭｙＦｅ5-y+v Ｏ
12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−３≦ｕ≦３、
−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１種類以上の希
土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属を表す）の組
成で代表される多結晶ガーネットのｘ、ｙ、ｕ、ｖおよ
びＲ、Ｍの互いに異なる二層を形成することで格子定数
差を０．３％以上とすることができる。特に、Ｂｉ組成
量ｘを制御することによって、大きな格子定数差を付与
できる。この場合でも第１層のキューリー温度を室温以
下に調節すれば、前記課題はさらに改善される。
【００１２】また、二層膜の第２層に酸素を除いた原子
量比で５ａｔ％以下のＣｕを添加することによって、第
２層の保磁力を大幅に増大させることができる。本方法
も前記課題解決のために有効であるが、この場合におい
ても第１層のキューリー温度を室温以下に調節すれば、
前記課題がさらに改善される。
量比で５ａｔ％以下のＣｕを添加することによって、第
２層の保磁力を大幅に増大させることができる。本方法
も前記課題解決のために有効であるが、この場合におい
ても第１層のキューリー温度を室温以下に調節すれば、
前記課題がさらに改善される。
【００１３】次いで、ガーネット多結晶を非磁性化する
原理について詳述する。ＢｉｘＲ3-x+u ＭｙＦｅ5-y+v
Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−３≦ｕ≦
３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１種類以上
の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属を表す）
の組成で代表されるガーネット酸化物の磁性において
は、Ｆｅ原子間における交換相互作用が支配的であり、
キューリー温度はその交換結合のエネルギーによって決
まっている。３価の金属ＭをＧａやＡｌなどの非磁性金
属としてＦｅと置換した場合には、交換エネルギーを持
つＦｅ−Ｆｅ対の割合は減少して、キューリー温度が低
下することになる。通常、レーザーで光磁気記録を行う
ために、キューリー温度は約２００℃に調整する。その
とき例えば、ＢｉｘＤｙ3-x ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12なら
ば、ｙは約１．０程度にしておく。ところが、ＧａやＡ
ｌの置換量を増やしてゆくと、例えばＹ３ＧａｙＦｅ
5-y Ｏ12ではｙ≧２のとき、キューリー温度が２０℃以
下になることが報告されている（LANDORT-BORNSTEIN, G
roup III, Vol.12, Prat a, Springer-VerlagBerlin (1
978) 64p)。
原理について詳述する。ＢｉｘＲ3-x+u ＭｙＦｅ5-y+v
Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−３≦ｕ≦
３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１種類以上
の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属を表す）
の組成で代表されるガーネット酸化物の磁性において
は、Ｆｅ原子間における交換相互作用が支配的であり、
キューリー温度はその交換結合のエネルギーによって決
まっている。３価の金属ＭをＧａやＡｌなどの非磁性金
属としてＦｅと置換した場合には、交換エネルギーを持
つＦｅ−Ｆｅ対の割合は減少して、キューリー温度が低
下することになる。通常、レーザーで光磁気記録を行う
ために、キューリー温度は約２００℃に調整する。その
とき例えば、ＢｉｘＤｙ3-x ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12なら
ば、ｙは約１．０程度にしておく。ところが、ＧａやＡ
ｌの置換量を増やしてゆくと、例えばＹ３ＧａｙＦｅ
5-y Ｏ12ではｙ≧２のとき、キューリー温度が２０℃以
下になることが報告されている（LANDORT-BORNSTEIN, G
roup III, Vol.12, Prat a, Springer-VerlagBerlin (1
978) 64p)。
【００１４】本発明の実施例ではＢｉ１Ｄｙ２Ｇａ2.3
Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ1.2 Ｔｂ1.8 Ｇａ2.3 Ｆｅ
2.7 Ｏ12、Ｂｉ１Ｇｄ２Ｇａ2.3 Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ
0.7 Ｄｙ1.8 Ｇａ2.3 Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ0.7 Ｄｙ1.0
Ｇａ2.3 Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ１Ｄｙ２Ｇａ1.9 Ｆｅ2.3
Ｏ12、Ｂｉ1.4 Ｄｙ1.6 Ａｌ2.2 Ｆｅ2.8 Ｏ12、Ｂｉ１
Ｔｂ２Ａｌ2.2 Ｆｅ2.8 Ｏ12、Ｂｉ１Ｇｄ２Ａｌ2.2 Ｆ
ｅ2.8 Ｏ12においてキューリー温度が２０℃以下になる
ことが示されており、従って、Ｂｉ１Ｄｙ２ＧａｙＦｅ
5-y Ｏ12、Ｂｉ1.2 Ｔｂ1.8 ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ
１Ｇｄ２ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ0.7 Ｄｙ1.8 Ｇａｙ
Ｆｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ0.7 Ｄｙ1.0 ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12に
おいてはｙ≧２．３、Ｂｉ1.4 Ｄｙ1.6 ＡｌｙＦｅ5-y
Ｏ12、Ｂｉ１Ｔｂ２ＡｌｙＦｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ１Ｇｄ２
ＡｌｙＦｅ5-y Ｏ12においてはｙ≧２．２、Ｂｉ１Ｄｙ
２ＧａｙＦｅ4.2-y Ｏ12においてはｙ≧１．９のとき
に、キューリー温度が２０℃以下になる。
Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ1.2 Ｔｂ1.8 Ｇａ2.3 Ｆｅ
2.7 Ｏ12、Ｂｉ１Ｇｄ２Ｇａ2.3 Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ
0.7 Ｄｙ1.8 Ｇａ2.3 Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ0.7 Ｄｙ1.0
Ｇａ2.3 Ｆｅ2.7 Ｏ12、Ｂｉ１Ｄｙ２Ｇａ1.9 Ｆｅ2.3
Ｏ12、Ｂｉ1.4 Ｄｙ1.6 Ａｌ2.2 Ｆｅ2.8 Ｏ12、Ｂｉ１
Ｔｂ２Ａｌ2.2 Ｆｅ2.8 Ｏ12、Ｂｉ１Ｇｄ２Ａｌ2.2 Ｆ
ｅ2.8 Ｏ12においてキューリー温度が２０℃以下になる
ことが示されており、従って、Ｂｉ１Ｄｙ２ＧａｙＦｅ
5-y Ｏ12、Ｂｉ1.2 Ｔｂ1.8 ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ
１Ｇｄ２ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ0.7 Ｄｙ1.8 Ｇａｙ
Ｆｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ0.7 Ｄｙ1.0 ＧａｙＦｅ5-y Ｏ12に
おいてはｙ≧２．３、Ｂｉ1.4 Ｄｙ1.6 ＡｌｙＦｅ5-y
Ｏ12、Ｂｉ１Ｔｂ２ＡｌｙＦｅ5-y Ｏ12、Ｂｉ１Ｇｄ２
ＡｌｙＦｅ5-y Ｏ12においてはｙ≧２．２、Ｂｉ１Ｄｙ
２ＧａｙＦｅ4.2-y Ｏ12においてはｙ≧１．９のとき
に、キューリー温度が２０℃以下になる。
【００１５】ガーネット多結晶は、可視光に対し透明も
しくは透明褐色を示し、光を透過しやすい性質を持って
いる。そのため、光磁気記録ディスクとして利用する場
合にはガーネット二層膜の上にさらにＣｒやＡｌなどの
金属反射層を形成する必要がある。それによって、レー
ザー光の入射系と検出系がディスクに対して同じ側にあ
る現行の光磁気ディスクドライブを使用できる。また、
同反射層を設けることによりレーザー光のエネルギーを
効率よく吸収することができ、光磁気記録ディスクとし
て利用できるようになる。
しくは透明褐色を示し、光を透過しやすい性質を持って
いる。そのため、光磁気記録ディスクとして利用する場
合にはガーネット二層膜の上にさらにＣｒやＡｌなどの
金属反射層を形成する必要がある。それによって、レー
ザー光の入射系と検出系がディスクに対して同じ側にあ
る現行の光磁気ディスクドライブを使用できる。また、
同反射層を設けることによりレーザー光のエネルギーを
効率よく吸収することができ、光磁気記録ディスクとし
て利用できるようになる。
【００１６】
【作用】ガーネット二層膜の記録再生特性を決定してい
る要素として、各々のガーネット層のファラデー回転
角、磁化の大きさ、保磁力、磁気異方性定数、結晶粒
径、及び両ガーネット層間の磁気的な結合の度合、さら
にガーネット層、ガラス基板、反射層の誘電率を合成し
た媒体全体の誘電率が挙げられる。そのうち、第１層の
磁気光学的性質については、特にビット形状、媒体ノイ
ズ等に与える影響について未検討の課題であった。本発
明者等は、様々な磁気光学特性を示すガーネット多結晶
を第１層とし、さらにその上に記録層としていつも全く
同じ条件で作製した第２層を積層して、それらの記録再
生特性を評価した。その結果、第１層の磁気光学的性質
が二層膜の記録再生特性に大きな影響を及ぼすことを見
いだした。
る要素として、各々のガーネット層のファラデー回転
角、磁化の大きさ、保磁力、磁気異方性定数、結晶粒
径、及び両ガーネット層間の磁気的な結合の度合、さら
にガーネット層、ガラス基板、反射層の誘電率を合成し
た媒体全体の誘電率が挙げられる。そのうち、第１層の
磁気光学的性質については、特にビット形状、媒体ノイ
ズ等に与える影響について未検討の課題であった。本発
明者等は、様々な磁気光学特性を示すガーネット多結晶
を第１層とし、さらにその上に記録層としていつも全く
同じ条件で作製した第２層を積層して、それらの記録再
生特性を評価した。その結果、第１層の磁気光学的性質
が二層膜の記録再生特性に大きな影響を及ぼすことを見
いだした。
【００１７】ガーネット二層膜において、記録層として
の役割を第２層にのみ持たせるならば、第２層の磁化容
易方向は膜面に対して垂直方向であることが必須である
（光磁気記録媒体においては膜面に対して垂直方向に
上、もしくは下向きに磁化したビットを情報として記録
再生する）。さらに、記録層のファラデー回転角と保磁
力を大きく設計することが要求される。しかし、ガーネ
ット二層膜の記録再生特性について、第１層の磁気光学
特性が及ぼす効果については、これまで未検討の課題で
あった。
の役割を第２層にのみ持たせるならば、第２層の磁化容
易方向は膜面に対して垂直方向であることが必須である
（光磁気記録媒体においては膜面に対して垂直方向に
上、もしくは下向きに磁化したビットを情報として記録
再生する）。さらに、記録層のファラデー回転角と保磁
力を大きく設計することが要求される。しかし、ガーネ
ット二層膜の記録再生特性について、第１層の磁気光学
特性が及ぼす効果については、これまで未検討の課題で
あった。
【００１８】二層膜に反射層を積層して透明基板側より
測定したカー回転角の磁場依存曲線（カーヒステリシス
ループ）の形状は、記録再生特性と大きな相関がある。
例えば、第１層のキューリー温度を室温以下にしたり、
保磁力の大きさを変化させる。もしくは、同じく第１層
の磁化容易方向を膜面内に設計するなど、第１層の磁気
的特性に応じて様々な形状のカーヒステリシスループが
得られる。そのとき、第１層のキューリー温度が室温以
下の場合、最も単純な形状のカーヒステリシスループが
得られ、ビット形状が最も良く、しかも媒体ノイズの小
さな、最も記録再生特性の高い二層膜が得られる。第１
層のキューリー温度が室温以上であると、カーヒステリ
シスループは第１層、第２層のループを足し合わせた複
雑形状となるが、そのような試料では書き込み時に複雑
な磁化過程を経ることになり、ビット形状は大きく乱れ
る。
測定したカー回転角の磁場依存曲線（カーヒステリシス
ループ）の形状は、記録再生特性と大きな相関がある。
例えば、第１層のキューリー温度を室温以下にしたり、
保磁力の大きさを変化させる。もしくは、同じく第１層
の磁化容易方向を膜面内に設計するなど、第１層の磁気
的特性に応じて様々な形状のカーヒステリシスループが
得られる。そのとき、第１層のキューリー温度が室温以
下の場合、最も単純な形状のカーヒステリシスループが
得られ、ビット形状が最も良く、しかも媒体ノイズの小
さな、最も記録再生特性の高い二層膜が得られる。第１
層のキューリー温度が室温以上であると、カーヒステリ
シスループは第１層、第２層のループを足し合わせた複
雑形状となるが、そのような試料では書き込み時に複雑
な磁化過程を経ることになり、ビット形状は大きく乱れ
る。
【００１９】また、ガーネット二層膜の記録再生特性
は、第１層の磁気的性質だけでなく、第１層、第２層の
粒径との相関も持っている。通常書き込める最小ビット
径の大きさは、粒界で磁壁移動が止まるため、粒径の大
きさと同程度である。第１層のキューリー温度が室温以
上で、かつ粒径がレーザースポット径に比べて大きい場
合には、第２層の粒径が十分微細化していても、二層膜
としたときに書き込めるビット径の大きさは第１層と第
２層の粒径の大きさの間にあり、レーザースポット以下
の大きさのビットを書き込むことは難しい。第１層のキ
ューリー温度が室温以下ならばビット形状に影響を及ぼ
すのは第２層の粒径だけであり、第２層がレーザースポ
ットに比べて十分微細化していれば、そのレーザースポ
ット以下の大きさの形状良好なビットが書き込み可能で
ある。
は、第１層の磁気的性質だけでなく、第１層、第２層の
粒径との相関も持っている。通常書き込める最小ビット
径の大きさは、粒界で磁壁移動が止まるため、粒径の大
きさと同程度である。第１層のキューリー温度が室温以
上で、かつ粒径がレーザースポット径に比べて大きい場
合には、第２層の粒径が十分微細化していても、二層膜
としたときに書き込めるビット径の大きさは第１層と第
２層の粒径の大きさの間にあり、レーザースポット以下
の大きさのビットを書き込むことは難しい。第１層のキ
ューリー温度が室温以下ならばビット形状に影響を及ぼ
すのは第２層の粒径だけであり、第２層がレーザースポ
ットに比べて十分微細化していれば、そのレーザースポ
ット以下の大きさの形状良好なビットが書き込み可能で
ある。
【００２０】以上、二層膜に記録したビットの形状及び
媒体ノイズは、第１層の磁気光学特性に極めて敏感であ
り、特に第１層のキューリー温度を室温以下にすること
によりビット形状、媒体ノイズが改善されることを述べ
た。
媒体ノイズは、第１層の磁気光学特性に極めて敏感であ
り、特に第１層のキューリー温度を室温以下にすること
によりビット形状、媒体ノイズが改善されることを述べ
た。
【００２１】また、通常、光磁気記録媒体においては、
非磁性の誘電体層を磁気記録層と積層し、誘電体層と磁
性層の多重干渉によって光学特性を改善する。その様な
非磁性誘電体層は、エンハンス層と呼ばれている。前記
のキューリー温度が室温以下のガーネット第１層は、室
温で磁性を持たないのでエンハンス層としても利用可能
である。
非磁性の誘電体層を磁気記録層と積層し、誘電体層と磁
性層の多重干渉によって光学特性を改善する。その様な
非磁性誘電体層は、エンハンス層と呼ばれている。前記
のキューリー温度が室温以下のガーネット第１層は、室
温で磁性を持たないのでエンハンス層としても利用可能
である。
【００２２】
【実施例】以下に、本発明を実施例に基いてさらに説明
する。まず、ガラス基板上に第１層のガーネット多結晶
膜を製膜させた。３０ｍＴｏｒｒのＡｒ雰囲気中でセラ
ミックターゲットを用いて、高周波スパッタ法により製
膜した。投入高周波パワーは、２５０〜４５０Ｗであ
る。スパッタ直後の膜は、非晶質であるので、アルゴン
と酸素の混合ガス中で５００〜７５０℃にて２０〜１８
０分間熱処理して結晶化させた。さらに、その膜の上に
同様の条件で第２層をスパッタし、熱処理を施し、ガー
ネット多結晶を製膜した。この時、基板温度を５００℃
以上として製膜中に直接第２層を結晶化しても良い。ス
パッタ条件、熱処理条件は、第１層と同様である。ガー
ネット結晶は、光を良く透過するので、さらに３層目に
反射および熱吸収層としてＣｒ金属を同様の条件でスパ
ッタした。ただし、熱処理は施していない。膜構成を図
１に示す。記録再生特性は、５１４ｎｍのレーザーを用
いて、１μｍ以下のビットを書き込んで評価した。
する。まず、ガラス基板上に第１層のガーネット多結晶
膜を製膜させた。３０ｍＴｏｒｒのＡｒ雰囲気中でセラ
ミックターゲットを用いて、高周波スパッタ法により製
膜した。投入高周波パワーは、２５０〜４５０Ｗであ
る。スパッタ直後の膜は、非晶質であるので、アルゴン
と酸素の混合ガス中で５００〜７５０℃にて２０〜１８
０分間熱処理して結晶化させた。さらに、その膜の上に
同様の条件で第２層をスパッタし、熱処理を施し、ガー
ネット多結晶を製膜した。この時、基板温度を５００℃
以上として製膜中に直接第２層を結晶化しても良い。ス
パッタ条件、熱処理条件は、第１層と同様である。ガー
ネット結晶は、光を良く透過するので、さらに３層目に
反射および熱吸収層としてＣｒ金属を同様の条件でスパ
ッタした。ただし、熱処理は施していない。膜構成を図
１に示す。記録再生特性は、５１４ｎｍのレーザーを用
いて、１μｍ以下のビットを書き込んで評価した。
【００２３】実施例１ 本実施例では、様々な磁気光学特性を示すガーネット多
結晶を第１層とし、さらにその上にいつも全く同じ条件
で作製した第２層を積層して、それらの記録再生特性を
評価した。第１層の膜厚は、４０ｎｍである。第２層
は、１２０ｎｍ膜厚のＢｉ２Ｄｙ１Ｇａ0.8 Ｆｅ4.2 Ｏ
12とした。どの実施例においても第２層の結晶粒径は、
１μｍ以下、もしくは１μｍ程度に微細化されている。
第２層の保磁力は、約１．６ｋＯｅである。
結晶を第１層とし、さらにその上にいつも全く同じ条件
で作製した第２層を積層して、それらの記録再生特性を
評価した。第１層の膜厚は、４０ｎｍである。第２層
は、１２０ｎｍ膜厚のＢｉ２Ｄｙ１Ｇａ0.8 Ｆｅ4.2 Ｏ
12とした。どの実施例においても第２層の結晶粒径は、
１μｍ以下、もしくは１μｍ程度に微細化されている。
第２層の保磁力は、約１．６ｋＯｅである。
【００２４】表１に試料Ａ〜Ｇにおけるガーネット第１
層の組成、主要な磁気特性および粒径と、第１層と第２
層の格子定数差、第２層の粒径、試料Ａ〜Ｇのカールー
プ形状、記録再生時の信号雑音比（Ｃ／Ｎ値）の結果お
よびビット形状を３段階（良好、乱れあり、不良）に評
価した結果をまとめた。
層の組成、主要な磁気特性および粒径と、第１層と第２
層の格子定数差、第２層の粒径、試料Ａ〜Ｇのカールー
プ形状、記録再生時の信号雑音比（Ｃ／Ｎ値）の結果お
よびビット形状を３段階（良好、乱れあり、不良）に評
価した結果をまとめた。
【００２５】
【表１】
【００２６】表１に示すように第１層のキューリー温度
が室温以下の試料Ａ、Ｅ、Ｆの記録再生特性が高く、ビ
ット形状も良好である。特に、試料Ａは、１μｍ以下の
ビット径で４３ｄＢという高いＣ／Ｎ比を示す。その理
由を端的に示すのは、図２の試料Ａ、Ｂの２０℃におけ
るカーヒステリシスループの比較である。第１層が非磁
性の試料Ａにおけるカーヒステリシスループは、通常み
られる単純形状のヒステリシスループである。一方、第
１層のキューリー温度が室温以上、かつ磁化容易方向が
第２層と同じく膜面に対して垂直である試料Ｂにおいて
は、段差のある複雑形状のヒステリシスループを示し、
したがってビット形状は大きく乱れ、Ｃ／Ｎ値も低い。
同じく第１層のキューリー温度が室温以上、かつ保磁力
の大きな試料Ｃ、磁化容易方向が膜面内である試料Ｄも
カーループの形状は複雑で、やはり記録再生時のＣ／Ｎ
比が低く、ビット形状が乱れている。
が室温以下の試料Ａ、Ｅ、Ｆの記録再生特性が高く、ビ
ット形状も良好である。特に、試料Ａは、１μｍ以下の
ビット径で４３ｄＢという高いＣ／Ｎ比を示す。その理
由を端的に示すのは、図２の試料Ａ、Ｂの２０℃におけ
るカーヒステリシスループの比較である。第１層が非磁
性の試料Ａにおけるカーヒステリシスループは、通常み
られる単純形状のヒステリシスループである。一方、第
１層のキューリー温度が室温以上、かつ磁化容易方向が
第２層と同じく膜面に対して垂直である試料Ｂにおいて
は、段差のある複雑形状のヒステリシスループを示し、
したがってビット形状は大きく乱れ、Ｃ／Ｎ値も低い。
同じく第１層のキューリー温度が室温以上、かつ保磁力
の大きな試料Ｃ、磁化容易方向が膜面内である試料Ｄも
カーループの形状は複雑で、やはり記録再生時のＣ／Ｎ
比が低く、ビット形状が乱れている。
【００２７】結晶粒径の影響については、第１層と第２
層の格子定数差が０．３％以内の試料Ｅも第１層の粒径
が大きい試料Ｆも、第１層のキューリー温度が室温以下
であるために高特性が得られている。第１層の粒径が大
きく、かつキューリー温度が室温以上の試料Ｇでは１μ
ｍ以下のビットを書き込むことは非常に困難であり、Ｃ
／Ｎ値も最小である。
層の格子定数差が０．３％以内の試料Ｅも第１層の粒径
が大きい試料Ｆも、第１層のキューリー温度が室温以下
であるために高特性が得られている。第１層の粒径が大
きく、かつキューリー温度が室温以上の試料Ｇでは１μ
ｍ以下のビットを書き込むことは非常に困難であり、Ｃ
／Ｎ値も最小である。
【００２８】実施例２ 本実施例でも、様々な磁気光学特性を示すガーネット多
結晶を第１層とし、さらにその上にいつも全く同じ条件
で作製した第２層を積層して、それらの記録再生特性を
評価した。第１層の膜厚は、４０ｎｍである。第２層
は、１２０ｎｍ膜厚のＣｕを１．０ａｔ％添加したＢｉ
２Ｄｙ１Ｇａ0.8 Ｆｅ4.2 Ｏ12とした。どの実施例にお
いても第２層の結晶粒径は、１μｍ以下に微細化されて
いる。第２層の保磁力は、Ｃｕを添加した効果で約４．
０ｋＯｅである。様々な組成でキューリー温度が室温以
下の第１層を作製し、その記録再生特性を評価した。表
２にそれら第１層の組成をまとめた。
結晶を第１層とし、さらにその上にいつも全く同じ条件
で作製した第２層を積層して、それらの記録再生特性を
評価した。第１層の膜厚は、４０ｎｍである。第２層
は、１２０ｎｍ膜厚のＣｕを１．０ａｔ％添加したＢｉ
２Ｄｙ１Ｇａ0.8 Ｆｅ4.2 Ｏ12とした。どの実施例にお
いても第２層の結晶粒径は、１μｍ以下に微細化されて
いる。第２層の保磁力は、Ｃｕを添加した効果で約４．
０ｋＯｅである。様々な組成でキューリー温度が室温以
下の第１層を作製し、その記録再生特性を評価した。表
２にそれら第１層の組成をまとめた。
【００２９】
【表２】
【００３０】試料Ｉ〜Ｍの記録再生特性はＣｕを添加し
た効果でさらに改善されており、特に試料Ｉは、４８ｄ
Ｂという非常に高いＣ／Ｎ比を示した。
た効果でさらに改善されており、特に試料Ｉは、４８ｄ
Ｂという非常に高いＣ／Ｎ比を示した。
【００３１】実施例３ 本実施例でも、様々な磁気光学特性を示すガーネット多
結晶を第１層とし、さらにその上にいつも全く同じ条件
で作製した第２層を積層して、それらの記録再生特性を
評価した。実施例１および２では、ＢｉｘＲ3-x+u Ｍｙ
Ｆｅ5-y+v Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−
３≦ｕ≦３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１
種類以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属
を表す）の組成で代表される多結晶ガーネットにおい
て、第１層、第２層ともにｕ＝０、かつｖ＝０の場合で
あった。本実施例では、前記のように表される第１層、
第２層の組成がｕ≠０、もしくはｖ≠０である場合につ
いて評価した。第１層の膜厚は、４０ｎｍである。第２
層は、１２０ｎｍ膜厚のＢｉ1.6 Ｄｙ１Ｇａ0.8 Ｆｅ
4.2 Ｏ12とした。いずれの実施例においても、第２層の
結晶粒径は、１μｍ以下に微細化されている。第２層の
保磁力は、実施例１の場合、約１．８ｋＯｅである。様
々な組成でキューリー温度が室温以下の第１層を作製
し、その記録再生特性を評価した。表３にそれら第１層
の組成をまとめた。
結晶を第１層とし、さらにその上にいつも全く同じ条件
で作製した第２層を積層して、それらの記録再生特性を
評価した。実施例１および２では、ＢｉｘＲ3-x+u Ｍｙ
Ｆｅ5-y+v Ｏ12（ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−
３≦ｕ≦３、−５≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１
種類以上の希土類元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属
を表す）の組成で代表される多結晶ガーネットにおい
て、第１層、第２層ともにｕ＝０、かつｖ＝０の場合で
あった。本実施例では、前記のように表される第１層、
第２層の組成がｕ≠０、もしくはｖ≠０である場合につ
いて評価した。第１層の膜厚は、４０ｎｍである。第２
層は、１２０ｎｍ膜厚のＢｉ1.6 Ｄｙ１Ｇａ0.8 Ｆｅ
4.2 Ｏ12とした。いずれの実施例においても、第２層の
結晶粒径は、１μｍ以下に微細化されている。第２層の
保磁力は、実施例１の場合、約１．８ｋＯｅである。様
々な組成でキューリー温度が室温以下の第１層を作製
し、その記録再生特性を評価した。表３にそれら第１層
の組成をまとめた。
【００３２】
【表３】
【００３３】第１層の組成がｕ＝０、かつｖ＝０の試料
Ｎよりも試料Ｏの方が若干特性が良く、必ずしもｕ＝
０、かつｖ＝０の試料が良いとは限らない。しかし、試
料Ｐは、ｕが最も０からズレた組成で、かつ最も特性が
悪い結果となった。
Ｎよりも試料Ｏの方が若干特性が良く、必ずしもｕ＝
０、かつｖ＝０の試料が良いとは限らない。しかし、試
料Ｐは、ｕが最も０からズレた組成で、かつ最も特性が
悪い結果となった。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、多結晶ガーネット
二層膜を光磁気媒体として利用した場合、基板直上の第
１層の多結晶ガーネットのキューリー温度が室温以下で
あるように組成を調整すると、二層構造にした場合のビ
ット形状の乱れ及び媒体ノイズが改善され、ガーネット
光磁気媒体ではこれまでにない１μｍのビット径で４８
ｄＢという高い信号雑音比を得た。本発明によるガーネ
ット膜は、短波長での高密度光磁気記録媒体として有効
である。
二層膜を光磁気媒体として利用した場合、基板直上の第
１層の多結晶ガーネットのキューリー温度が室温以下で
あるように組成を調整すると、二層構造にした場合のビ
ット形状の乱れ及び媒体ノイズが改善され、ガーネット
光磁気媒体ではこれまでにない１μｍのビット径で４８
ｄＢという高い信号雑音比を得た。本発明によるガーネ
ット膜は、短波長での高密度光磁気記録媒体として有効
である。
【図１】本発明による光磁気媒体の構造である。
【図２】実施例１に示す試料Ａ、Ｂのカー回転角の磁場
依存曲線である。
依存曲線である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−182032（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−178105（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−101935（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 11/10 501 G11B 11/10 506 H01F 10/24
Claims (4)
- 【請求項１】ガラス基板上に形成された下記の式の組成
で表される多結晶ガーネットであって、ガラス基板直上
に形成された第１層が室温以下のキューリー温度を有す
るガーネット多結晶であり、前記第１層上に形成された
第２層が室温以上のキューリー温度を有する多結晶ガー
ネットであることを特徴とする光磁気記録媒体用ガーネ
ット二層膜。 ＢｉｘＲ3-x+u ＭｙＦｅ5-y+v Ｏ12 ここで、０≦ｘ≦３、０≦ｙ≦５、−３≦ｕ≦３、−５
≦ｖ≦５、Ｒはイットリウムを含む１種類以上の希土類
元素、Ｍは鉄と置換可能な３価の金属を表す。 - 【請求項２】請求項１における二層の各々のガーネット
多結晶膜の格子定数が互いに±０．３％以上異なり、第
２層の結晶粒径が１μｍ以下であることを特徴とする光
磁気記録媒体用ガーネット二層膜。 - 【請求項３】請求項１、２記載のガーネット二層膜の第
２層に酸素を除いた原子量比で５ａｔ％以下のＣｕを添
加することを特徴とする光磁気記録媒体用ガーネット二
層膜。 - 【請求項４】請求項１、２、３記載のガーネット二層膜
を利用し、さらに反射層として金属層を形成した光磁気
記録ディスク。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9671893A JP3007239B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 光磁気記録媒体用ガーネット二層膜及び光磁気記録ディスク |
| US08/201,385 US5702793A (en) | 1993-02-25 | 1994-02-24 | Magneto-optical recording medium, disk and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9671893A JP3007239B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 光磁気記録媒体用ガーネット二層膜及び光磁気記録ディスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06290497A JPH06290497A (ja) | 1994-10-18 |
| JP3007239B2 true JP3007239B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=14172527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9671893A Expired - Fee Related JP3007239B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-03-31 | 光磁気記録媒体用ガーネット二層膜及び光磁気記録ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3007239B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6759137B1 (en) | 1998-08-28 | 2004-07-06 | Centre National De La Recherche Scientifique, Inc. | Opto-magnetic recording medium with a garnet ferrite recording layer, and opto-magnetic information recording/reproducing device |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP9671893A patent/JP3007239B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06290497A (ja) | 1994-10-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5747136A (en) | High-density magneto-optic disk and method of manufacturing the same | |
| JPS6066349A (ja) | 光熱磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS6227459B2 (ja) | ||
| US5660929A (en) | Perpendicular magnetic recording medium and method of producing same | |
| JPH0740380B2 (ja) | 光磁気記録材料 | |
| JP2646398B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US4925742A (en) | Thin-film having large Kerr rotation angle and production process thereof | |
| US5501913A (en) | Garnet polycrystalline film for magneto-optical recording medium | |
| JPH0515778B2 (ja) | ||
| JP3007239B2 (ja) | 光磁気記録媒体用ガーネット二層膜及び光磁気記録ディスク | |
| US5702793A (en) | Magneto-optical recording medium, disk and method of manufacturing the same | |
| US5100741A (en) | Magneto-optic recording systems | |
| JP3084580B2 (ja) | 光磁気記録媒体用ガーネット多結晶膜、光磁気記録用媒体および光磁気記録ディスク | |
| JPH0470705B2 (ja) | ||
| JP2681199B2 (ja) | 光磁気記録素子 | |
| JP3381960B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2829321B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2876062B2 (ja) | 磁性膜 | |
| JPH0614488B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS6189604A (ja) | 金属酸化物磁性体および磁性膜 | |
| Hashimoto et al. | Ultrathin Co/Pt and Co/Pd new magneto-optical recording media | |
| JPH0445898B2 (ja) | ||
| JPS63153749A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0384755A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH03222112A (ja) | 磁性膜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19991019 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071126 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081126 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |