JP3001200B1 - 溶融金属等の表面レベル計測装置 - Google Patents

溶融金属等の表面レベル計測装置

Info

Publication number
JP3001200B1
JP3001200B1 JP3155999A JP3155999A JP3001200B1 JP 3001200 B1 JP3001200 B1 JP 3001200B1 JP 3155999 A JP3155999 A JP 3155999A JP 3155999 A JP3155999 A JP 3155999A JP 3001200 B1 JP3001200 B1 JP 3001200B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
molten metal
measurement
visible light
visible
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3155999A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000230850A (ja
Inventor
逸夫 生野
成登 森
Original Assignee
新川電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 新川電機株式会社 filed Critical 新川電機株式会社
Priority to JP3155999A priority Critical patent/JP3001200B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3001200B1 publication Critical patent/JP3001200B1/ja
Publication of JP2000230850A publication Critical patent/JP2000230850A/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)

Abstract

【要約】 【課題】 溶融金属等の測定表面の変位を光学式三角
測量等にて測定を行なう場合において、測定表面が乱反
射面であっても、鏡面反射面であっても、非接触で連続
的な変位計測を可能とする。 【解決手段】 可視光線2を薄厚平面状に照射する可
視光ラインマーカー2と、該可視光ラインマーカー2に
より照射されて現れる可視像3を撮像する撮像カメラ4
とを具備し、溶融金属a等の表面変位を計測する際にお
いて、可視光ラインマーカー2から照射される可視光線
2’を、所定の傾斜角度を介して測定表面a1とこれに
直交する壁面1aとに照射し、測定表面a1の反射率に
よって略L字型若しくは略V字型に結像する可視像3を
撮像カメラ4にて撮像し、その可視像3の屈折点の座標
を画像処理により求め、それぞれの測定表面の変位計測
結果として演算して出力するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、溶融金属等の液面
のように、計測する対象表面の反射率が大きく変化する
測定表面のレベルを計測する装置に関し、さらに詳しく
は、例えば溶融金属の液面等のように、その表面に形成
される酸化層が厚いときは、反射率が低く、反対に、上
記酸化層が全くなくなれば、全反射面になってしまうよ
うな、表面の反射率が大きく異なる場合において、任意
の光線を光源として、光学的に安定して当該表面の変位
を計測するための溶融金属等の表面レベル計測装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば溶融金属等の液面のレベル
変位を計測する手段としては、レーザスポットを測定表
面に照射し、その光学像を別のCCDカメラなどで撮影
することにより、カメラ視野内の上下方向の光学像の変
位量を計測し、その光学的な位置関係から実際の測定表
面変位を求める三角測量法が一般的に行なわれている。
【0003】しかし、上記した如き測定法においては、
計測すべき表面の反射率が大きすぎると、照射されたレ
ーザスポットは、測定する対象物の表面に殆ど像を結ぶ
事なく、反射角の方向にある物体、例えば天井などにス
ポット像が現れて、CCDカメラ等の計測視野から外れ
てしまうため、計測不能となる事が多い。したがって、
反射率の大きい材料や、或いは、人手により行なう酸化
層の除去作業などによって、測定表面の反射率が大きく
変化し得る溶融金属等の表面の変位計測には三角測量法
の適用が困難であった。
【0004】したがって、例えば亜鉛めっき浴でのレベ
ル測定等では、所謂セラミックフロートを浮かべて、そ
の変位をポテンショメータなどにより計測する接液型の
変位計に依存せざるを得なかった。しかし、溶融金属に
対する接液型の変位測定は、地金が接液部に付着する事
により、誤差が生じること、又は接液部の材料が溶融金
属内へ溶出、または剥離浮遊する事で、誤差の発生と不
純物の混入を生じるという問題点を抱えていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、溶融
金属等の表面の変位を、光学式三角測量等の計測方法を
用いて計測する場合において、その計測対象となる表面
が乱反射面であっても、若しくは鏡面反射面であって
も、非接触で且つ連続的な変位計測を可能とすることに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、本発明の溶融金属等の表面レベル計測装置は、
以下に記する如き手段を講じたものである。照射光源か
ら発せられる光を薄厚平面状の可視光線として照射する
可視光ラインマーカーと、該可視光ラインマーカーによ
り照射される可視光線が結像することにより現れる可視
像を撮像する撮像カメラとを具備し、溶融金属等の測定
表面の変位を計測する際において、上記可視光ラインマ
ーカーから照射される可視光線を、鉛直軸に対して0゜
若しくは90゜以外の傾斜角度を介して、同溶融金属の
測定表面と、該測定表面と垂直に交わる壁面とに亘って
照射し、上記溶融金属等の測定表面の反射率が比較的低
い状態にあって、同測定表面上から上記壁面に亘って略
L字型に屈折した線として可視像が結像する場合、上記
可視像の屈折点部位を上記撮像カメラにて撮像し、その
屈折点の座標を任意の画像処理により求め、且つ、上記
溶融金属等の測定表面の反射率が比較的高い状態であっ
て、該測定表面にて可視光線が反射されて、上記壁面に
直接結像する可視光線とその反射像とが同壁面上にてV
字型に屈折した線として結像する場合、この可視像の屈
折点部位を上記撮像カメラにて撮像し、その可視像の屈
折点の座標を任意の画像処理により求め、上記それぞれ
の測定表面の変位計測結果として演算して出力するよう
に構成したものである。
【0007】上記した手段によれば、可視光ラインマー
カーから照射される薄厚平面状の可視光線は、垂直軸に
対して0゜若しくは90゜以外の適宜な傾斜角度を介し
て測定表面及び該表面と直交する壁面に向けて照射し、
その際に結像する可視光線による可視像の屈折点の座標
をもって、上記測定表面変位を求めるものである。
【0008】例えば、溶融金属の測定表面が、酸化層で
覆われて乱反射面である際には、撮像カメラと対向する
測定表面と壁面とに亘り、可視光ラインマーカーの可視
光線が照射されることにより、上記測定表面と壁面との
接触位置を屈折点とするL字型の可視像として結像す
る。一方、溶融金属の測定表面が、酸化層によって全く
覆われていない鏡面反射面の状態では、測定表面に照射
される可視光線が略全反射され、可視光ラインマーカー
の可視光線による可視像が壁面上において略V字型の可
視像となって現れる(鏡面反射面に写る虚像をも併せて
みれば、X字型となる)。
【0009】尚、上記した測定表面の変位と、屈折点の
座標(主にY軸方向の座標)は、ほぼ良い直線関係が得
られるので、事前に変換係数を校正により求めておくと
よい。即ち、照射光源の設置位置が変わらない限り、同
じ表面変位におけるL字型の屈折点座標と、V字型の屈
折点座標とは一致するので、いずれか一方の状態におい
て校正しておくと良い。また、上記可視像の屈折点の座
標は、L字型またはV字型の可視像における2通りの直
線の交点座標を連立方程式の解から求めても、或いは2
値化した画像の屈折点周辺部分の画像の重心を求める等
の演算方法を用いることにより導いてもよい。即ち、上
記屈折点の座標は、既存の演算方法を任意に用いて求め
る。
【0010】請求項2記載の溶融金属等の表面レベル計
測装置は、上記撮像カメラと対向する壁面上に結像され
る可視像を同撮像カメラにより撮像して任意の画像処理
を行ない、上記可視像の形態が略L字型であるか、V字
型であるかを判定することにより、上記測定表面の反射
率若しくは溶融金属表面の表層酸化膜の厚みを判定する
ことが可能となる。上記した手段によれば、溶融金属の
測定表面及び、壁面の上に現れる可視像の形態(L字
型,V字型)を撮像カメラにて撮像して監視すること
で、上記溶融金属の測定表面が鏡面反射状態であるか、
若しくは酸化膜を生じた乱反射状態であるか、その液表
面の性状を判定することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面に
基づいて説明する。図1は、本発明を実施した溶融金属
等の表面レベル計測装置を示している。この装置は、溶
融金属aを収容する収容槽1と、光源として薄厚平面状
のレーザビームを照射する可視光ラインマーカー2と、
該可視光ラインマーカー2から照射されるレーザビーム
2’を、溶融金属aの測定表面a1と、収容槽1内側の
壁面1aとに亘って照射することによって結像する可視
像3を撮像する撮像カメラ、即ち、CCDカメラ4とを
具備している。
【0012】収容槽1は、例えば亜鉛メッキやアルミ等
の溶融金属aを収容する略升型の槽である。上記収容槽
1は、溶融金属aの補充と排出を行なうことにより、同
収容槽1内に収容される溶融金属aの測定表面a1のレ
ベルが変位する。また、上記収容槽1内に収容される溶
融金属aの測定表面a1は、酸化膜が形成された状態で
は、表面反射率が低くなって乱反射面となる。これとは
反対に、上記酸化膜が取り除かれた状態では、溶融金属
aの測定表面a1の表面反射率が高くなって鏡面反射面
となる。即ち、上記溶融金属aの測定表面a1の状態
は、酸化膜の厚い乱反射面であるか、若しくは酸化膜の
ない鏡面反射面であるかによって、その反射率が大きく
変化することになる。
【0013】図4及び図5は照射光源2aとしてレーザ
を使用した本実施例の可視光ラインマーカー2によって
照射されるレーザビーム2’と、軸状に照射する通常の
スポットレザーとを比較したものである。図4(a),
(b)にて示すように、本実施例に使用した可視光ライ
ンマーカー2は、平面視略三角形でかつ薄厚平面状のレ
ーザビーム2’を照射することを示している。尚、上記
可視光ラインマーカー2は、構造の簡便さからレーザを
照射光源2aとしたものを使用したが、日色光源を光学
的に平行光線として使用して、同様の可視像3を結んで
も良い。また、上記ラインマーカーは紫外線を光源とし
て使用し、紫外線を認識できるカメラにて画像認識する
こともできる。
【0014】上記した可視光ラインマーカー2は、上記
した如く薄厚平面状に照射されるレーザビーム2’を、
鉛直軸に対して0゜若しくは90゜以外の傾斜角度、例
えば45゜前後の傾斜角度を介して、測定表面a1とこ
れと垂直に交わる収容槽1の壁面1aとに亘って照射す
る(図1)。したがって、可視光ラインマーカー2は、
上記レーザビーム2’の傾斜角度が得られる状態であれ
ば、十分な光量が得られる限り、収容槽1の上方の遠隔
の所定位置に設置して固定することができる
【0015】上記した如く、溶融金属aの測定表面a1
と、該測定表面a1から垂直に立ち上がる収容槽1内側
の壁面1aとに亘って結像する可視像3は、前記したよ
うに溶融金属aの測定表面a1の状態によって可視像3
の屈折形状が異なる。例えば、測定表面a1が、酸化層
で覆われて乱反射面である時は、収容槽1の壁面1aと
測定表面a1とに亘って、両者1a,a1の境界部を屈
折点3aとする略L字型の可視像3が現れる(図1)。
【0016】これとは反対に、測定表面a1が、酸化層
の全くない鏡面反射面である時には、測定表面a1に照
射されるレーザビーム2’が殆ど反射されるため、図2
にて示すように、収容槽1の壁面1aに測定表面a1を
屈折点3bとする略V字型の可視像が現れる(鏡面への
虚像をも併せてみれば、X字型となる)。尚、上記した
如くL字型(乱反射面)若しくはV型或いはX型(鏡面
反射面)に結像される可視像3の実際の形態を図6,図
7のスケッチにて示す。尚、図7(鏡面反射面)のX型
の上半部は、収容槽1の内側の壁面に結像した可視像3
であり、下半部は鏡面反射面状の測定表面a1に写され
た虚像3’である。
【0017】一方、CCDカメラ4は、液面境界部を視
野に収める撮像装置であり、該CCDカメラ4により撮
像して得られた画像データーを、パソコン等から成る信
号処理部5によって、L字型若しくはV字型に屈折する
可視像3として判別する画像処理を行なうと共に、これ
ら可視像3の屈折点3a,3bの位置を算出して測定液
面a1変位量に変換する。そして、信号処理部5は液面
の変位量を電気信号として送り出す外部出力6を有し、
これと同時に、CCDカメラ4の画像又は画像処理され
た後の画像を図6又は図7のような姿で外部表示するた
めのモニター7に表示する(図1)。尚、上記CCDカ
メラ4は、壁面1aと対向する所定の位置に設置して固
定する。
【0018】ところで、上記した実施例においては、収
容槽1の内側の壁面1aを、可視光ラインマーカー2に
よって照射するレーザビーム2’の照射部位の垂直面と
して利用した。しかし、上記壁面1aに凝固物などが堆
積したりして、十分な平面性が得られない場合や、収容
槽1自体の寸法が大きすぎて同収容槽1の内側の壁面1
aを計測部位として利用できない場合には、新たな壁面
となる写像材7の一部を溶融金属aに浸漬させ、可視光
ラインマーカー2によるレーザビーム2’の可視像3を
上記写像材7の表面にて結像させてもよい(図3)。
【0019】図3にて示す溶融金属等の表面レベル計測
装置は、前記した装置と同様に構成してあるが、可視光
ラインマーカー2によって照射するレーザビーム2’の
照射部位の垂直面として板状の写像材8を利用してい
る。上記写像材8は、収容槽1の溶融金属aの測定表面
a1に下端部分を浸漬させた状態で垂直に取り付け支持
し、その垂直面を前記した収容槽1の内側の壁面1aと
して利用したものである。即ち、上記した装置は、同写
像材8をCCDカメラ4の視野内にて垂直に浸漬させる
ことで、可視光ラインマーカー2のレーザビーム2’に
よるL字型若しくはV字型の可視像3を同写像材8表面
と測定表面a1との上に結像することが可能である。
【0020】
【表1】 表1は、図1及び図3にて示す如く構成した本発明の溶
融金属等の表面レベル計測装置により変位測定して得ら
れた距離特性を示す。X軸は、他の変位測定手段で求め
た液面変位の実測値で「真値」をあらわし、Y軸は、L
字又はV字のレーザビーム像の屈折点の座標のY座標値
を「計測値」として示す。尚、本発明の溶融金属等の表
面レベル計測装置は、溶融金属や液体の他に、固体金属
板などの表面変位計測においても、或いは、異なる反射
率を有する材料が入れ替わる場合の表面変位計測につい
ても、同様に適用し得るものである。
【0021】
【発明の効果】本発明の溶融金属等の表面レベル計測装
置によれば、例えば溶融金属等の表面の変位を光学式三
角測量を行なう場合において、その計測対象となる測定
表面が乱反射面であっても、若しくは鏡面反射面であっ
ても、非接触状態にて測定表面の変位計測を連続的且つ
正確に行なうことができる。したがって、従来の接液型
の測定のように、溶融金属の地金が接液部に付着する事
により、誤差が生じることや、接液部材が剥離浮遊する
事で、誤差の発生と不純物の混入を生じるという問題を
解消することがてきる。さらに、溶融金属等の表面変位
を、その表面が乱反射面であるか鏡面反射面であるかに
関わらず、一組の可視光ラインマーカーと撮像カメラの
みで、光学的に安定した計測が可能となり、簡素な構成
と変位計製造コストの低廉化を実現できる。
【0022】請求項2記載の溶融金属等の表面レベル計
測装置にあっては、測定表面及び、撮像カメラと対向す
る壁面の上に現れる可視光ラインマーカーの撮像形状
(L字型,V字型)を撮像カメラにて撮像しつつ監視す
ることで、上記溶融金属の液表面が鏡面反射状態である
か、若しくは乱反射状態であるか、その液表面の性状を
判定することが可能である。
【0023】例えば、一般に亜鉛めっきなどの溶融金属
の地金表面は鏡面反射面であるが、高温空気によって表
層が酸化されるにしたがって、酸化膜厚みが成長し、次
第に乱反射面となっていく。したがって、前記可視光ラ
インマーカーの壁面上での光学像の形状の監視、判別及
びX型の場合には、上半部と下半部の像の光量差(又は
比)の定量化等により、表面反射率の変化の度合い、す
なわち測定表面の酸化膜厚みの推定も可能となるので、
酸化膜の除去装置(ポンプ排出など)の駆動操作は、単
純に液面変位を一定に制御するのではなく、液表面の酸
化膜厚み、例えばX型光学像の上部光量と下部光量の差
又は比が一定になるように液面変位を操作することが可
能となる。このことは、亜鉛めっき鋼板の製造ラインに
おいては、めっき浴槽の単なるレベル安定化の効果のみ
ならず、亜鉛浴表面の品質維持管理に直接的に貢献し得
ることを示すものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明を実施した溶融金属等の表面レベル
計測装置を一部切欠して示す斜視図であり、乱反射面状
態における可視像を示す。
【図2】 同溶融金属等の表面レベル計測装置を一部
切欠して示す斜視図であり、鏡面反射面状態における可
視像を示す。
【図3】 写像材を溶融金属に浸漬し、該写像材に可
視像を結像させるように構成した溶融金属等の表面レベ
ル計測装置を示す斜視図。
【図4】 本発明に使用する可視光ラインマーカーの
レーザビームの形状を示すものであり、(a)は、レー
ザビームの側面形状を示し、(b)は同レーザビームの
平面図を示す。
【図5】 一般的なスポットレーザビームをの形状を
示すものであり、(a)は、レーザビームの側面形状を
示し、(b)は同レーザビームの平面図を示す。
【図6】 溶融金属の測定表面が乱反射面状態にある
時に現れる略L字型の可視像のスケッチ図。
【図7】 溶融金属の測定表面が鏡面反射面状態にあ
る時に現れる略X字型の可視像のスケッチ図。
【符号の説明】
a・・・溶融金属 a1・・・測定表面 1・・・収容槽 1a・・・壁面 2・・・可視光ラインマーカー 2’・・・レーザビーム 2a・・・照射光源 3・・・可視像 3a・・・屈折点(L字型) 3b・・・屈折点(V字型) 4・・・CCDカメラ 5・・・信号処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 23/28

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 照射光源から発せられる光を薄厚平面
    状の可視光線として照射する可視光ラインマーカーと、
    該可視光ラインマーカーにより照射される可視光線が結
    像することにより現れる可視像を撮像する撮像カメラと
    を具備し、溶融金属等の測定表面の変位を計測する際に
    おいて、上記可視光ラインマーカーから照射される可視
    光線を、鉛直軸に対して0゜若しくは90゜以外の傾斜
    角度を介して、同溶融金属の測定表面と、該測定表面と
    垂直に交わる壁面とに亘って照射し、上記溶融金属等の
    測定表面の反射率が比較的低い状態にあって、同測定表
    面上から上記壁面に亘って略L字型に屈折した線として
    可視像が結像する場合、上記可視像の屈折点部位を上記
    撮像カメラにて撮像し、その屈折点の座標を任意の画像
    処理により求め、且つ、上記溶融金属等の測定表面の反
    射率が比較的高い状態であって、該測定表面にて可視光
    線が反射されて、上記壁面に直接結像する可視光線とそ
    の反射像とが同壁面上にてV字型に屈折した線として結
    像する場合、この可視像の屈折点部位を上記撮像カメラ
    にて撮像し、その可視像の屈折点の座標を任意の画像処
    理により求め、上記それぞれの測定表面の変位計測結果
    として演算して出力するように構成した溶融金属等の表
    面レベル計測装置。
  2. 【請求項2】 上記撮像カメラと対向する壁面上に結
    像される可視像を同撮像カメラにより撮像して任意の画
    像処理を行ない、上記可視像の形態が略L字型である
    か、V字型であるかを判定することにより、上記測定表
    面の反射率若しくは溶融金属表面の表層酸化膜の厚みを
    判定する請求項1記載の溶融金属等の表面レベル計測装
    置。
JP3155999A 1999-02-09 1999-02-09 溶融金属等の表面レベル計測装置 Expired - Fee Related JP3001200B1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3155999A JP3001200B1 (ja) 1999-02-09 1999-02-09 溶融金属等の表面レベル計測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3155999A JP3001200B1 (ja) 1999-02-09 1999-02-09 溶融金属等の表面レベル計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP3001200B1 true JP3001200B1 (ja) 2000-01-24
JP2000230850A JP2000230850A (ja) 2000-08-22

Family

ID=12334544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3155999A Expired - Fee Related JP3001200B1 (ja) 1999-02-09 1999-02-09 溶融金属等の表面レベル計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3001200B1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117647295A (zh) * 2024-01-30 2024-03-05 合肥金星智控科技股份有限公司 基于机器视觉的熔池液位测量方法、电子设备及存储介质

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6677075B2 (ja) * 2016-05-19 2020-04-08 富士通株式会社 水位計測装置、方法及びプログラム
TWI590196B (zh) * 2016-06-06 2017-07-01 財團法人成大水利海洋研究發展文教基金會 液面監測方法
FI130293B (fi) * 2018-06-28 2023-06-06 Planmeca Oy Stereolitografialaitteisto varustettu havaitsemaan hartsin määrä, ja menetelmä saman laitteiston käyttämiseksi
CN111397692B (zh) * 2020-06-03 2020-08-21 成都科睿埃科技有限公司 基于视觉非接触的液位检测方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117647295A (zh) * 2024-01-30 2024-03-05 合肥金星智控科技股份有限公司 基于机器视觉的熔池液位测量方法、电子设备及存储介质
CN117647295B (zh) * 2024-01-30 2024-05-14 合肥金星智控科技股份有限公司 基于机器视觉的熔池液位测量方法、电子设备及存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000230850A (ja) 2000-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3511450B2 (ja) 光学式測定装置の位置校正方法
Costa Surface inspection by an optical triangulation method
US8474306B1 (en) Method and apparatus for measurement of fluid properties
US7641099B2 (en) Solder joint determination method, solder inspection method, and solder inspection device
KR101484528B1 (ko) 디바이스용 기울기 센서 및 디바이스의 기울기를 결정하기 위한 방법
EP0584673A1 (en) Measurement of transparent container wall thickness
JPH11230886A (ja) 接触角測定装置および接触角測定方法
JP3001200B1 (ja) 溶融金属等の表面レベル計測装置
US9733078B2 (en) Levelness detecting device and method, levelness adjusting device and method
CN112946673A (zh) 一种激光测距方法、对焦方法、激光测距系统及对焦系统
JP2000258227A (ja) 鏡面、非鏡面物における表面の変位測定装置
JP2001099632A (ja) Ccdカメラによる正反射式表面性状測定方法及びその装置
CN110502947B (zh) 结构光测深系统、测量信息码深度的方法及数据处理方法
CN104136881A (zh) 计测物品表面上的突起或突条的高度的方法及用于该方法的装置
CN207937605U (zh) 一种超精密激光位移传感器
JPS6117007A (ja) コンクリート製造装置の組立方法
JP5133095B2 (ja) 超音波ガスメーター部品の検査方法及びその装置
JPH01212338A (ja) ガラス板の表面性状測定装置
CN220472581U (zh) 亮光面瓷砖镜面平整度的检测装置
CN219245763U (zh) 一种基于单色激光线扫描及三角法量测的高速激光位移传感器
JP2906081B2 (ja) 光雨量計
RU2315949C2 (ru) Способ триангуляционного измерения поверхностей объектов и устройство для его осуществления
JPH03291509A (ja) 超音波探傷のための形状測定方法
CN117169228A (zh) 一种氮化硅陶瓷材料覆铜质量检测装置
JP2004028792A (ja) 非接触断面形状測定方法および測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees