JP5133095B2 - 超音波ガスメーター部品の検査方法及びその装置 - Google Patents
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Description
ΔX=L×sin2α ・・・(1)
で与えられる。距離Lは、長く取ることができる。距離Lが長ければ、ΔXが大きくなるので、角度αが小さくても、検出感度を上げることができる。
Lm>L1 +n×L2 ≫L1 ・・・(2)
となり、反射点68と平面撮像素子78の撮像面80との距離を延長できる。この場合、反射回数n=4であるから、Lm>L1 +4L2 ≫L1 となり、角度の変化αが小さくても、平面撮像素子78の撮像面80上の光点70の変位を大きくでき、検査精度を高めることができる。
ΔX=Lm×sin2α>(L1 +n×L2 )sin2α
・・・(3)
となり、大きな変位ΔXが得られる。距離Lが長ければ、ΔXが大きくなるので、角度αが小さくても、検出感度を上げることができる。
4 整流ユニット
16 整流板
24 表面
25 歪み検査装置
26、50 光源
28 撮像装置
29 判定装置
34 リファレンス体
40 テストパターン
42 パターン写像
44 基準パターン写像
56 レーザー光源
64 撮像面
78 平面撮像素子
Claims (8)
- 計測流路に流すガスを整流する整流板を備える超音波ガスメーター部品の検査方法であって、
所定の入射角で光を照射する光源から前記整流板の基準となるリファレンス体の表面に前記光を照射し、前記リファレンス体の前記表面から得られる反射光により第1の光点を撮像手段の撮像面に投影させ、前記第1の光点の位置情報を取得する工程と、
前記光源から前記整流板の表面に照射し、前記整流板の前記表面から得られる反射光により第2の光点を前記撮像面に投影させ、前記第2の光点の位置情報を取得する工程と、
前記第1の光点の位置情報と前記第2の光点の位置情報とから光点の変位情報を取得する工程と、
前記変位情報と、前記光の反射点と前記撮像手段の距離情報とから、前記整流板の前記リファレンス体に対する傾斜角度を算出する工程と、
を含むことを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査方法。 - 請求項1記載の超音波ガスメーター部品の検査方法において、
前記光源から前記リファレンス体又は前記整流板に照射する前記光はスポット光であって、このスポット光を前記リファレンス体又は前記整流板の前後方向及び/又は横方向に走査し、複数行複数列のマトリクス状の複数のスポット反射光を得ることを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査方法。 - 請求項1記載の超音波ガスメーター部品の検査方法において、
前記照射光は、マトリクス状の複数のスポット光であって、前記リファレンス体又は前記整流板から複数行複数列のマトリクス状の複数のスポット反射光を得ることを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査方法。 - 請求項1、2又は3記載の超音波ガスメーター部品の検査方法において、
前記照射光に平行光を用いることを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査方法。 - 請求項1記載の超音波ガスメーター部品の検査方法において、
前記リファレンス体及び前記整流板の表面にテストパターンを投影し、前記リファレンス体及び前記整流板の前記表面を通して前記テストパターンの写像を前記撮像手段で撮像して取得する工程と、
前記リファレンス体の前記写像と、前記整流板の前記写像とを比較することにより、前記整流板の良否を判定する工程と、
を含むことを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査方法。 - 請求項5記載の超音波ガスメーター部品の検査方法において、
前記テストパターンに格子状又は放射状の図形パターンを用いることを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査方法。 - 計測流路に流すガスを整流する整流板を備える超音波ガスメーター部品の検査装置であって、
前記整流板の基準となるリファレンス体又は前記整流板の表面に所定の入射角で照射光を当てる光源と、
前記リファレンス体の前記表面から得られる反射光により、第1の光点を撮像面に投影させて該第1の光点の位置情報を取得し、又は前記整流板の前記表面から得られる反射光により、第2の光点を前記撮像面に投影させて該第2の光点の位置情報を取得する撮像手段と、
前記撮像手段で取得した前記第1の光点の位置情報と前記第2の光点の位置情報から取得した光点の変位情報を取得し、該変位情報と、前記照射光の反射点と前記撮像手段の距離情報とから、前記整流板の前記リファレンス体に対する傾斜角度を算出する判定手段と、
を含むことを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査装置。 - 請求項7記載の超音波ガスメーター部品の検査装置において、
前記整流板又は前記リファレンス体の表面に投影するテストパターンを含み、
前記撮像手段は、前記整流板又は前記リファレンス体の前記表面を通して得られる前記テストパターンの写像を撮像して取得し、
前記判定手段は、前記撮像手段で取得した前記リファレンス体の前記写像と前記整流板の前記写像とを比較して前記整流板の良否を判定することを特徴とする、超音波ガスメーター部品の検査装置。
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