JP2996706B2 - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、パルスレーザ発振装置に係り、特に、その
放電部及び電源構成に改良を施したパルスレーザ発振装
置に関するものである。
放電部及び電源構成に改良を施したパルスレーザ発振装
置に関するものである。
（従来の技術） 放電励起方式のガスレーザ装置では、レーザガス中で
空間的に均一なグロー放電を発生させてレーザ発振を得
ているが、横方向励起パルスCO2レーザやエキシマレー
ザを始めとするパルスレーザ発振装置では、レーザガス
圧力が大気圧以上であり、さらに、電子付着性の強いガ
ス成分を含んでいるため、上記グロー放電を均一に点孤
することは困難である。このため、グロー放電点孤に先
立って予備電離を行うと共に、高速のパルス電圧を放電
部に印加してグロー放電を形成するのが一般的である。
空間的に均一なグロー放電を発生させてレーザ発振を得
ているが、横方向励起パルスCO2レーザやエキシマレー
ザを始めとするパルスレーザ発振装置では、レーザガス
圧力が大気圧以上であり、さらに、電子付着性の強いガ
ス成分を含んでいるため、上記グロー放電を均一に点孤
することは困難である。このため、グロー放電点孤に先
立って予備電離を行うと共に、高速のパルス電圧を放電
部に印加してグロー放電を形成するのが一般的である。
第３図は、従来のパルスレーザ発振装置の放電部構成
及び励起電源回路の一例を示す図である。即ち、一対の
主電極1,2が対向して配設され、主電極1,2で囲まれた空
間内にレーザガスが充填されている。また、主電極２は
接地されている。一方、主電極１には予備電離電極3aが
接続され、両者は電気的に同電位になっている。この予
備電離電極3aと予備電離電極3bとは、ギャップ４を介し
てレーザガス中に対向して配設されている。また、予備
電離電極3bは主電極１を機械的に支持する導体から電気
的に絶縁されてレーザガス中から引き出され、コンデン
サCs5に接続されている。さらに、充電用インダクタン
ス６の一端は予備電離電極3bとコンデンサCs5に共通接
続され、他端は接地されている。また、コンデンサCs5
はスイッチ７を介して接地されると共に、充電抵抗８を
介して高圧電源HV9に接続されている。さらに、主電極
1,2間にはコンデンサCb10が接続されている。なお、こ
れらのコンデンサ及びインダクタンス類は、一つもしく
は複数個が並列に接続されて構成さている。また、紙面
に垂直方向には光共振器（図示せず）が配設されてい
る。
及び励起電源回路の一例を示す図である。即ち、一対の
主電極1,2が対向して配設され、主電極1,2で囲まれた空
間内にレーザガスが充填されている。また、主電極２は
接地されている。一方、主電極１には予備電離電極3aが
接続され、両者は電気的に同電位になっている。この予
備電離電極3aと予備電離電極3bとは、ギャップ４を介し
てレーザガス中に対向して配設されている。また、予備
電離電極3bは主電極１を機械的に支持する導体から電気
的に絶縁されてレーザガス中から引き出され、コンデン
サCs5に接続されている。さらに、充電用インダクタン
ス６の一端は予備電離電極3bとコンデンサCs5に共通接
続され、他端は接地されている。また、コンデンサCs5
はスイッチ７を介して接地されると共に、充電抵抗８を
介して高圧電源HV9に接続されている。さらに、主電極
1,2間にはコンデンサCb10が接続されている。なお、こ
れらのコンデンサ及びインダクタンス類は、一つもしく
は複数個が並列に接続されて構成さている。また、紙面
に垂直方向には光共振器（図示せず）が配設されてい
る。
この様に構成された従来のパルスレーザ発振装置は、
以下に述べるように動作する。即ち、初期状態において
は、スイッチ７は開いており、高圧電源HV9−充電抵抗
８−コンデンサCs5−充電用インダクタンス６−接地の
経路で、コンデンサCs5は充電されている。一方、コン
デンサCb10は充電されていないので、主電極１は接地電
位となっている。次いで、スイッチ７が閉じられると、
コンデンサCs5のスイッチ７側の電位は接地電位となる
ので、コンデンサCs5の予備電離電極3b側の電位は、コ
ンデンサCs5に充電された極性と逆の極性で予備電離電
極3bに加わる。一方、予備電離電極3aは接地電位なの
で、ギャップ４には高電位が加わり、ギャップ４でスパ
ーク放電が発生する。このスパーク放電により発生する
紫外線によって、主電極1,2間のレーザガスが予備電離
される。また、コンデンサCs5に蓄えられた電荷は、ス
イッチ７−コンデンサCs5−予備電離電極3b−ギャップ
４−予備電離電極3a−主電極１−コンデンサCb10の経路
で流れ、コンデンサCb10が充電されていく。この様にし
てコンデンサCb10の電圧が上昇して、主電極1,2間に加
わる電圧がレーザガスの放電破壊電圧以上に達すると、
主電極1,2間にグロー放電11が形成され、レーザガスが
励起され、図示していない光共振器の作用でレーザ光が
紙面垂直方向に出射される。
以下に述べるように動作する。即ち、初期状態において
は、スイッチ７は開いており、高圧電源HV9−充電抵抗
８−コンデンサCs5−充電用インダクタンス６−接地の
経路で、コンデンサCs5は充電されている。一方、コン
デンサCb10は充電されていないので、主電極１は接地電
位となっている。次いで、スイッチ７が閉じられると、
コンデンサCs5のスイッチ７側の電位は接地電位となる
ので、コンデンサCs5の予備電離電極3b側の電位は、コ
ンデンサCs5に充電された極性と逆の極性で予備電離電
極3bに加わる。一方、予備電離電極3aは接地電位なの
で、ギャップ４には高電位が加わり、ギャップ４でスパ
ーク放電が発生する。このスパーク放電により発生する
紫外線によって、主電極1,2間のレーザガスが予備電離
される。また、コンデンサCs5に蓄えられた電荷は、ス
イッチ７−コンデンサCs5−予備電離電極3b−ギャップ
４−予備電離電極3a−主電極１−コンデンサCb10の経路
で流れ、コンデンサCb10が充電されていく。この様にし
てコンデンサCb10の電圧が上昇して、主電極1,2間に加
わる電圧がレーザガスの放電破壊電圧以上に達すると、
主電極1,2間にグロー放電11が形成され、レーザガスが
励起され、図示していない光共振器の作用でレーザ光が
紙面垂直方向に出射される。
（発明が解決しようとする課題） ところで、上記の様な従来のパルスレーザ発振装置に
おいては、コンデンサCs5の充電電圧を数10kV以上と
し、また、コンデンサCb10を充電する速度を高めて、ギ
ャップ４で形成される予備電離放電の発生時間とグロー
放電11が形成される時間間隔を短くすることが必要であ
る。このため、スイッチ７を流れる電流の最大値及び時
間変化率は非常に大きく、使用可能なスイッチの種類が
限定されるだけでなく、スイッチ７の寿命も短くなると
いった欠点があった。また、スイッチ７の特性で決まる
許容電流最大値及び許容電流変化率以上には充電電圧を
あげることができなかった。
おいては、コンデンサCs5の充電電圧を数10kV以上と
し、また、コンデンサCb10を充電する速度を高めて、ギ
ャップ４で形成される予備電離放電の発生時間とグロー
放電11が形成される時間間隔を短くすることが必要であ
る。このため、スイッチ７を流れる電流の最大値及び時
間変化率は非常に大きく、使用可能なスイッチの種類が
限定されるだけでなく、スイッチ７の寿命も短くなると
いった欠点があった。また、スイッチ７の特性で決まる
許容電流最大値及び許容電流変化率以上には充電電圧を
あげることができなかった。
この様に、利用できるスイッチの動作範囲及び種類が
限定されるため、繰り返し運転や、長寿命運転といった
産業応用上必要な運転動作を実現するのは困難であっ
た。また、グロー放電11の放電開始電圧は、コンデンサ
Cb10の充電速度及び電圧で決まるため、放電開始電圧に
よって、放電注入エネルギーを制御することは事実上で
きなかった。特に、エキシマレーザの場合は、放電イン
ピーダンスが低く、コンデンサCb10に蓄えたエネルギー
しか発振に利用できないため、放電開始電圧を制御して
発振効率を高め、コンデンサCa5に蓄えた全エネルギー
を有効に利用することのできるパルスレーザ発振装置の
開発が切望されていた。
限定されるため、繰り返し運転や、長寿命運転といった
産業応用上必要な運転動作を実現するのは困難であっ
た。また、グロー放電11の放電開始電圧は、コンデンサ
Cb10の充電速度及び電圧で決まるため、放電開始電圧に
よって、放電注入エネルギーを制御することは事実上で
きなかった。特に、エキシマレーザの場合は、放電イン
ピーダンスが低く、コンデンサCb10に蓄えたエネルギー
しか発振に利用できないため、放電開始電圧を制御して
発振効率を高め、コンデンサCa5に蓄えた全エネルギー
を有効に利用することのできるパルスレーザ発振装置の
開発が切望されていた。
本発明は、上記の様な従来技術の欠点を解消するため
に提案されたもので、その目的は、スイッチの動作責務
を大幅に低減し、スイッチの選択範囲を広げ、且つ、レ
ーザの発振効率を上げ、高効率で、長寿命のパルスレー
ザ発振装置を提供することにある。
に提案されたもので、その目的は、スイッチの動作責務
を大幅に低減し、スイッチの選択範囲を広げ、且つ、レ
ーザの発振効率を上げ、高効率で、長寿命のパルスレー
ザ発振装置を提供することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明のパルスレーザ発振装置は、主電極間に接続さ
れるコンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、緩やかに電圧が立ち上げられた前記主電
極間に短波長光を照射する装置を主電極間の外部に設け
たことを特徴とするものである。
れるコンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、緩やかに電圧が立ち上げられた前記主電
極間に短波長光を照射する装置を主電極間の外部に設け
たことを特徴とするものである。
（作用） 本発明のパルスレーザ発振装置によれば、グロー放電
に供給するエネルギーを低速パルスで充電したコンデン
サから供給することができるので、スイッチ素子の動作
責務を大幅に低減することができる。また、放電部に印
加される電圧は正負の逆極性となるため、放電破壊電圧
が上昇すると共に、主電極外部に設置した短波長光源の
作用で、放電開始時刻を制御することができるので、低
速充電電圧パルスによりグロー放電を安定した状態で発
生させることができ、発振効率の向上が図れる。
に供給するエネルギーを低速パルスで充電したコンデン
サから供給することができるので、スイッチ素子の動作
責務を大幅に低減することができる。また、放電部に印
加される電圧は正負の逆極性となるため、放電破壊電圧
が上昇すると共に、主電極外部に設置した短波長光源の
作用で、放電開始時刻を制御することができるので、低
速充電電圧パルスによりグロー放電を安定した状態で発
生させることができ、発振効率の向上が図れる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づい
て具体的に説明する。なお、第３図に示した従来型と同
一の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
て具体的に説明する。なお、第３図に示した従来型と同
一の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１図に示した様に、一対の主
電極1,2は、レーザガスが充填された気密容器内に対向
して配設され、主電極1,2のレーザガスに接する面の形
状は同一形状となっている。また、主電極１は断面Ｕ字
形の板状に構成され、その背面側には、主電極間に短波
長光を照射する装置20（例えば、Ｘ線源等）が配設され
ている。さらに、前記主電極1,2間には、等容量の第１
のコンデンサCpa22と第２のコンデンサCpb23が直列に接
続され、両コンデンサの接続点は設置されている。一
方、高圧電源HVA12は充電抵抗８を介して第３のコンデ
ンサCd24に接続され、この第３のコンデンサCd24は、ス
イッチ７とトランス25の一次巻線26とから閉回路を構成
している。また、前記トランス25の二次巻線は、互いに
逆極性の第１の二次巻線27a及び第２の二次巻線27bとか
ら成り、両者の接続点は接地されている。そして、前記
第１のコンデンサCpa22と第１の二次巻線27a及び第２の
コンデンサCpb23と第２の二次巻線27bは、それぞれ接地
を介して閉回路を構成している。なお、以上のコンデン
サ、抵抗及びインダクタンス類は、一つまたは複数個が
並列に接続されて構成されている。
電極1,2は、レーザガスが充填された気密容器内に対向
して配設され、主電極1,2のレーザガスに接する面の形
状は同一形状となっている。また、主電極１は断面Ｕ字
形の板状に構成され、その背面側には、主電極間に短波
長光を照射する装置20（例えば、Ｘ線源等）が配設され
ている。さらに、前記主電極1,2間には、等容量の第１
のコンデンサCpa22と第２のコンデンサCpb23が直列に接
続され、両コンデンサの接続点は設置されている。一
方、高圧電源HVA12は充電抵抗８を介して第３のコンデ
ンサCd24に接続され、この第３のコンデンサCd24は、ス
イッチ７とトランス25の一次巻線26とから閉回路を構成
している。また、前記トランス25の二次巻線は、互いに
逆極性の第１の二次巻線27a及び第２の二次巻線27bとか
ら成り、両者の接続点は接地されている。そして、前記
第１のコンデンサCpa22と第１の二次巻線27a及び第２の
コンデンサCpb23と第２の二次巻線27bは、それぞれ接地
を介して閉回路を構成している。なお、以上のコンデン
サ、抵抗及びインダクタンス類は、一つまたは複数個が
並列に接続されて構成されている。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発振装
置は、以下に述べる様に作用する。即ち、初期状態では
スイッチ７は開いており、高圧電源HVA12−充電抵抗８
−第３のコンデンサCd24−接地の経路で、第３のコンデ
ンサCd24は充電されている。一方、第１のコンデンサCp
a22及び第２のコンデンサCpb23は初期状態では充電され
ていないので、主電極1,2は接地電位となっている。次
いで、図示していない制御装置からの信号によってスイ
ッチ７が閉じられると、第３のコンデンサCd24に蓄えら
れた電荷は、第３のコンデンサCd24−スイッチ７−トラ
ンス25の一次巻線26の経路で流れ、トランス25の第１の
二次巻線27a及び第２の二次巻線27bにそれぞれ逆極性の
等しい電圧が発生する。この時、第１のコンデンサCpa2
2に発生する電圧Va及び第２のコンデンサCpb23に発生す
る電圧Vbは、それぞれ第２図に示した様に、逆極性の対
称の電圧波形となる。その結果、主電極1,2間には、そ
れぞれ接地電位との間にVa,Vbの電圧が印加され、主電
極1,2間のレーザガスにはVa,Vbの和電圧が加わることに
なる。そして、時刻t1で、主電極１の背面に設けられた
Ｘ線源20から、第２図中Ｘで示すパルス状のＸ線21が主
電極１を透過して主電極1,2間のレーザガスに照射され
ると、主電極1,2間のレーザガスが予備電離され、主電
極間の電子密度が増加していく。主電極1,2間の電圧（V
a＋Vb）が、時刻t2で主電極1,2間のレーザガスの放電破
壊電圧に達すると、主電極1,2間にグロー放電11が形成
され、レーザガスが励起されて、図示していない光共振
器の作用でレーザ光が紙面垂直方向に出射される。
置は、以下に述べる様に作用する。即ち、初期状態では
スイッチ７は開いており、高圧電源HVA12−充電抵抗８
−第３のコンデンサCd24−接地の経路で、第３のコンデ
ンサCd24は充電されている。一方、第１のコンデンサCp
a22及び第２のコンデンサCpb23は初期状態では充電され
ていないので、主電極1,2は接地電位となっている。次
いで、図示していない制御装置からの信号によってスイ
ッチ７が閉じられると、第３のコンデンサCd24に蓄えら
れた電荷は、第３のコンデンサCd24−スイッチ７−トラ
ンス25の一次巻線26の経路で流れ、トランス25の第１の
二次巻線27a及び第２の二次巻線27bにそれぞれ逆極性の
等しい電圧が発生する。この時、第１のコンデンサCpa2
2に発生する電圧Va及び第２のコンデンサCpb23に発生す
る電圧Vbは、それぞれ第２図に示した様に、逆極性の対
称の電圧波形となる。その結果、主電極1,2間には、そ
れぞれ接地電位との間にVa,Vbの電圧が印加され、主電
極1,2間のレーザガスにはVa,Vbの和電圧が加わることに
なる。そして、時刻t1で、主電極１の背面に設けられた
Ｘ線源20から、第２図中Ｘで示すパルス状のＸ線21が主
電極１を透過して主電極1,2間のレーザガスに照射され
ると、主電極1,2間のレーザガスが予備電離され、主電
極間の電子密度が増加していく。主電極1,2間の電圧（V
a＋Vb）が、時刻t2で主電極1,2間のレーザガスの放電破
壊電圧に達すると、主電極1,2間にグロー放電11が形成
され、レーザガスが励起されて、図示していない光共振
器の作用でレーザ光が紙面垂直方向に出射される。
以上の過程では、主電極1,2に印加されるパルス状の
電圧は、常に接地電位に対して正負の対称波形となって
おり、また、主電極1,2のレーザガスに接する面の形状
は同一形状であるため、主電極1,2間に加わる電圧が上
昇していった場合に、主電極と接地電位間あるいは主電
極間で放電破壊現象が起こりにくい。さらに、主電極１
の背面側にＸ線源20を設置し、従来の様に主電極の近傍
に予備電離電極を設置していないため、主電極1,2間の
電界分布は一様になり、放電破壊電極が上昇する。ま
た、Ｘ線源20から発生するＸ線21の作用によって、放電
開始時刻を制御することができるため、第１のコンデン
サCpa22及び第２のコンデンサCpb23を低速パルスで充電
しても、放電破壊電圧が高くなり、しかも、グロー放電
を最適な時刻に安定した状態で発生することができる。
その結果、第３のコンデンサCd24に蓄えた電荷をすべて
第１のコンデンサCpa22及び第２のコンデンサCpb23に移
行した後、グロー放電11を発生できるため、エネルギー
移行効率を高くすることができる。また、放電破壊電圧
を高くできるので、エキシマレーザの場合でも発振効率
を上げることができる。さらに、第１のコンデンサCpa2
2及び第２のコンデンサCpb23を充電するパルス電圧は低
速パルス波形で良いため、トランス25を使用することが
でき、第３のコンデンサCd24の充電電圧は、トランス24
の一次巻線及び二次巻線の巻数比に応じて低減すること
ができる。
電圧は、常に接地電位に対して正負の対称波形となって
おり、また、主電極1,2のレーザガスに接する面の形状
は同一形状であるため、主電極1,2間に加わる電圧が上
昇していった場合に、主電極と接地電位間あるいは主電
極間で放電破壊現象が起こりにくい。さらに、主電極１
の背面側にＸ線源20を設置し、従来の様に主電極の近傍
に予備電離電極を設置していないため、主電極1,2間の
電界分布は一様になり、放電破壊電極が上昇する。ま
た、Ｘ線源20から発生するＸ線21の作用によって、放電
開始時刻を制御することができるため、第１のコンデン
サCpa22及び第２のコンデンサCpb23を低速パルスで充電
しても、放電破壊電圧が高くなり、しかも、グロー放電
を最適な時刻に安定した状態で発生することができる。
その結果、第３のコンデンサCd24に蓄えた電荷をすべて
第１のコンデンサCpa22及び第２のコンデンサCpb23に移
行した後、グロー放電11を発生できるため、エネルギー
移行効率を高くすることができる。また、放電破壊電圧
を高くできるので、エキシマレーザの場合でも発振効率
を上げることができる。さらに、第１のコンデンサCpa2
2及び第２のコンデンサCpb23を充電するパルス電圧は低
速パルス波形で良いため、トランス25を使用することが
でき、第３のコンデンサCd24の充電電圧は、トランス24
の一次巻線及び二次巻線の巻数比に応じて低減すること
ができる。
この様に、本実施例によれば、スイッチ７に流れる電
流パルスは低速となり、且つ、スイッチ７に加わる電圧
も低減されるので、スイッチ７の動作責務は大幅に低減
される。そのため、サイリスタ等の半導体スイッチの使
用が可能となり、パルスレーザ発振装置の高繰り返し
化、長寿命化に有利となる。
流パルスは低速となり、且つ、スイッチ７に加わる電圧
も低減されるので、スイッチ７の動作責務は大幅に低減
される。そのため、サイリスタ等の半導体スイッチの使
用が可能となり、パルスレーザ発振装置の高繰り返し
化、長寿命化に有利となる。
［発明の効果］ 以上述べた様に、本発明によれば、主電極間に接続さ
れるコンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、前記主電極間に短波長光を照射する装置
を主電極間の外部に設けることによって、スイッチの動
作責務を大幅に低減し、スイッチの選択範囲を広げ、且
つ、レーザの発振効率を上げ、高効率で、長寿命のパル
スレーザ発振装置を提供することができる。
れるコンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、前記主電極間に短波長光を照射する装置
を主電極間の外部に設けることによって、スイッチの動
作責務を大幅に低減し、スイッチの選択範囲を広げ、且
つ、レーザの発振効率を上げ、高効率で、長寿命のパル
スレーザ発振装置を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す構成図、第２図は本発明の一実施例の動作説明図、第
３図は従来のパルスレーザ発振装置の一例を示す構成図
である。 1,2……主電極、3a,3b……予備電離電極、４……ギャッ
プ、５……コンデンサCs、６……充電用インダクタン
ス、７……スイッチ、８……充電抵抗、９……高圧電源
HV、10……コンデンサCb、11……グロー放電、12……高
圧電源HVA、20……Ｘ線源、21……Ｘ線、22……第１の
コンデンサCpa、23……第２のコンデンサCpb、24……第
３のコンデンサCd、25……トランス、26……一次巻線、
27a……第１の二次巻線、27b……第２の二次巻線。
す構成図、第２図は本発明の一実施例の動作説明図、第
３図は従来のパルスレーザ発振装置の一例を示す構成図
である。 1,2……主電極、3a,3b……予備電離電極、４……ギャッ
プ、５……コンデンサCs、６……充電用インダクタン
ス、７……スイッチ、８……充電抵抗、９……高圧電源
HV、10……コンデンサCb、11……グロー放電、12……高
圧電源HVA、20……Ｘ線源、21……Ｘ線、22……第１の
コンデンサCpa、23……第２のコンデンサCpb、24……第
３のコンデンサCd、25……トランス、26……一次巻線、
27a……第１の二次巻線、27b……第２の二次巻線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−130978（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−274485（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−128482（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−217678（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】レーザガスを気密充填した容器内に、一対
の主電極を対向配置し、前記主電極間にコンデンサを接
続して成るパルスレーザ発振装置において、 前記コンデンサを、等容量の第１のコンデンサと第２の
コンデンサに２分割して構成し、両者を直列に接続し、
また、その接続点を接地し、さらに、前記第１のコンデ
ンサと第２のコンデンサを、互いに逆極性の２系列のト
ランスの二次巻線にそれぞれ接続し、前記トランスの一
次巻線に第３のコンデンサとスイッチを接続して閉回路
を構成し、また、前記第３のコンデンサを直流電源に接
続し、さらに、緩やかに電圧が立ち上げられた前記主電
極間に短波長光を照射する装置を主電極間の外部に設け
たこと、 を特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25025390A JP2996706B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25025390A JP2996706B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130785A JPH04130785A (ja) | 1992-05-01 |
| JP2996706B2 true JP2996706B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=17205131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25025390A Expired - Lifetime JP2996706B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2996706B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100223415B1 (ko) * | 1997-08-16 | 1999-10-15 | 윤종용 | 세탁기용 이물걸름장치의 역류차단구조 |
| CN114421930B (zh) * | 2021-12-20 | 2024-06-21 | 西北核技术研究所 | 基于光导开关触发的Marx发生器及基于光导开关的触发电路 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25025390A patent/JP2996706B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04130785A (ja) | 1992-05-01 |
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