JP2995829B2 - Circuit board with built-in magnetic material - Google Patents
Circuit board with built-in magnetic materialInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、基板の内部に磁性体層を形成してなる回路
基板に関し、特に焼成時における磁性体と基板との構成
成分が互いに拡散して特性が劣化するのを防止できると
ともに、製品コストを低減できるようにした構造に関す
る。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit board having a magnetic layer formed inside a substrate, and in particular, the constituents of the magnetic substance and the substrate at the time of firing are mutually diffused. The present invention relates to a structure capable of preventing the characteristics from deteriorating and reducing the product cost.
絶縁体基板の内部に磁性体層を埋設してなる磁性体内
蔵型回路基板は、該基板全体を低背化,薄型化できると
ともに、基板内部の任意の位置に磁性体層を形成できる
ことから設計の自由度を向上できる高密度実装用回路基
板として注目されている。このような磁性体内蔵型回路
基板として、従来、例えば特開昭63−300593号公報に提
案されたものがある。この回路基板は、主として、フェ
ライトからなる磁性体シートに外部回路に接続される内
部導体を印刷し、この磁性体シートを挟むようにセラミ
ックからなる絶縁シートを重ね、これを一体焼結して構
成されている。また上記内部導体には、従来からAg,あ
るいはAg/Pdが一般的に使用されている。A circuit board with a built-in magnetic material, in which a magnetic layer is embedded inside an insulating substrate, is designed because the entire substrate can be reduced in height and thickness, and the magnetic layer can be formed at an arbitrary position inside the substrate. Is attracting attention as a circuit board for high-density mounting that can improve the degree of freedom. As such a circuit board with a built-in magnetic body, there is a circuit board proposed in, for example, JP-A-63-300593. This circuit board is mainly constructed by printing an internal conductor connected to an external circuit on a magnetic sheet made of ferrite, superimposing an insulating sheet made of ceramic so as to sandwich the magnetic sheet, and sintering this integrally. Have been. Conventionally, Ag or Ag / Pd is generally used for the inner conductor.
しかしながら上記従来の磁性体内蔵型回路基板は、磁
性体シートとセラミックシートとを直接接触させた状態
で一体焼成することから、この焼成時に磁性体,及びセ
ラミックを構成する元素が拡散し易く、その結果特性が
劣化するという問題点がある。即ち、上記磁性体として
採用されるフェライトのFe元素がセラミックシートに拡
散し、またセラミックからはガラス成分がフェライトに
拡散し、場合によってはフェライトとしての機能を失う
ことがある。However, since the above-described conventional circuit board with a built-in magnetic material is integrally fired in a state where the magnetic material sheet and the ceramic sheet are in direct contact with each other, the elements constituting the magnetic material and the ceramic are liable to diffuse at the time of this firing. As a result, there is a problem that characteristics are deteriorated. That is, the Fe element of the ferrite employed as the magnetic material diffuses into the ceramic sheet, and the glass component from the ceramic diffuses into the ferrite, and in some cases, loses the function as the ferrite.
また、上記従来の回路基板の内部導体には、貴金属の
Ag,Ag/Pdが使用していることから、それだけ製品コスト
が上昇するという問題があり、しかも上記Ag/Pdを使用
した場合は導体抵抗が大きくなることから、回路基板と
しての用途が限られるという問題点もある。In addition, noble metal
Since Ag and Ag / Pd are used, there is a problem that the product cost rises accordingly.In addition, when Ag / Pd is used, the conductor resistance increases, which limits its use as a circuit board. There is also a problem.
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、
焼成時における磁性体,セラミック元素の拡散を防止し
て特性の劣化を回避できるとともに、製品コストを低減
でき、かつ用途を拡大できる磁性体内蔵型回路基板を提
供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above conventional situation,
An object of the present invention is to provide a circuit board with a built-in magnetic material that can prevent the deterioration of characteristics by preventing diffusion of a magnetic material and a ceramic element at the time of sintering, can reduce product cost, and can be used for a wider range of applications.
そこで本願の請求項(1)の発明は、基板と該基板の
内部に形成されたフェライト系磁性体層との間に、フェ
ライト中のFe元素の基板への拡散を抑制する厚膜層を形
成したことを特徴とする磁性体内蔵型回路基板である。
また、請求項(2)の発明は、上記基板の内部に形成さ
れ、外部回路に接続される内部導体に銅を用いたことを
特徴としている。Therefore, the invention of claim (1) of the present application is to form a thick film layer between a substrate and a ferrite-based magnetic layer formed inside the substrate to suppress diffusion of Fe element in ferrite into the substrate. This is a circuit board with a built-in magnetic material, characterized in that:
The invention according to claim (2) is characterized in that copper is used for an internal conductor formed inside the substrate and connected to an external circuit.
請求項(3)の発明は、上記厚膜層は、TiO2系セラミ
ックス層,あるいはTiO2を主成分とするセラミックス層
であることを特徴としている。このTiO2系セラミックを
ペースト状に形成して印刷したり、あるいはグリーンシ
ート状に形成して重ねたりすることにより実現できる。The invention according to claim (3) is characterized in that the thick film layer is a TiO 2 -based ceramic layer or a ceramic layer containing TiO 2 as a main component. This can be realized by forming the TiO 2 -based ceramic into a paste and printing it, or forming it into a green sheet and overlapping it.
請求項(1)の発明に係る磁性体内蔵型回路基板によ
れば、基板とフェライト系磁性体層との間に、両者の構
成成分の拡散を抑制する厚膜層を形成したので、該厚膜
層によって焼成時における磁性体層のフェライト中のFe
元素が基板側に拡散するのを防止できるとともに、基板
中のガラス成分が磁性体層に拡散するのを防止でき、そ
の結果特例の劣化を回避できる。According to the circuit board with a built-in magnetic material according to the invention of claim (1), since the thick film layer that suppresses the diffusion of both components is formed between the substrate and the ferrite magnetic layer, Fe in ferrite of magnetic layer during firing by film layer
The element can be prevented from diffusing to the substrate side, and the glass component in the substrate can be prevented from diffusing into the magnetic material layer. As a result, special degradation can be avoided.
また、請求項(2)の発明によれば、内部電極に銅を
使用したので、Ag等の貴金属に比べて安価であり、それ
だけ製品コストを低減できる。しかも比抵抗がAg程度で
あることから、Ag/Pdを使用した場合に比べて導体抵抗
を小さくでき、回路基板としての用途を拡大できる。な
お、上記銅の融点は焼成温度より高いことから、溶融す
ることはない。According to the invention of claim (2), since copper is used for the internal electrode, the cost is lower than that of a noble metal such as Ag, and the product cost can be reduced accordingly. Moreover, since the specific resistance is about Ag, the conductor resistance can be reduced as compared with the case where Ag / Pd is used, and the application as a circuit board can be expanded. Since the melting point of the copper is higher than the firing temperature, the copper does not melt.
請求項(3)の発明では、上記厚膜層にTiO2系セラミ
ックス層,あるいはTiO2を主成分とするセラミックス層
を採用したので、上記Fe元素の基板への拡散を防止でき
る。In the invention of claim (3), the TiO 2 -based ceramic layer or the ceramic layer containing TiO 2 as a main component is employed for the thick film layer, so that the diffusion of the Fe element to the substrate can be prevented.
以下、本発明の実施例を図について説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図ないし第3図は本発明の一実施例による磁性体
内蔵型回路基板を説明するための図であり、第1図はそ
の分解斜視図、第2図は断面図である。1 to 3 are views for explaining a circuit board with a built-in magnetic material according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 is an exploded perspective view thereof, and FIG. 2 is a sectional view thereof.
図おいて、1は本実施例の磁性体内蔵型回路基板であ
り、これはセラミック製の第1,第2基板2a,2bからなる
矩形板状の絶縁体基板2の内部に磁性体としてのフェラ
イト層3,及び内部導体4を埋設し、これを一体焼結して
なるものである。上記内部導体4は銅製の帯状のもの
で、これの両端部には電極パッド部4aが一体形成されて
おり、該両パッド部4aは上記絶縁基板2の長手方向両端
部に位置している。また、上記フェライト層3は上,下
一対のフェライト層3a,3bからなり、上記内部導体4の
中央部分を挟んで対向している。この上,下フェライト
層3a,3bはNi−Zn系フェライトからなるペーストを印刷
して形成されたものである。さらに上記第2基板2bの上
面の上記両パッド部4aと対向する部分には外部導体6が
形成されており、該外部導体6と上記パッド部4aとはス
ルーホール電極5により接続されている。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a circuit board with a built-in magnetic material according to the present embodiment, which is provided inside a rectangular plate-shaped insulator substrate 2 made of ceramic first and second substrates 2a and 2b as a magnetic material. The ferrite layer 3 and the internal conductor 4 are buried and sintered integrally. The internal conductor 4 is a copper band, and electrode pads 4a are integrally formed at both ends thereof. The both pads 4a are located at both ends of the insulating substrate 2 in the longitudinal direction. The ferrite layer 3 includes a pair of upper and lower ferrite layers 3a and 3b, and is opposed to each other with a central portion of the inner conductor 4 interposed therebetween. The upper and lower ferrite layers 3a and 3b are formed by printing a paste made of Ni-Zn ferrite. Further, an external conductor 6 is formed on a portion of the upper surface of the second substrate 2b opposite to the pad portions 4a, and the external conductor 6 and the pad portion 4a are connected by a through-hole electrode 5.
そして、上記第1基板2aと下フェライト層3aとの間,
及び第2基板2bと上フェライト層3bとの間には、本実施
例の厚膜層7が形成されている。この厚膜層7はTiO2を
主成分とするセラミックペーストを印刷して形成された
もので、該厚膜層7により上記絶縁体基板2とフェライ
ト層3との間で構成成分が拡散するのを防止している。Then, between the first substrate 2a and the lower ferrite layer 3a,
The thick film layer 7 of the present embodiment is formed between the second substrate 2b and the upper ferrite layer 3b. The thick film layer 7 is formed by printing a ceramic paste containing TiO 2 as a main component, and the components are diffused between the insulator substrate 2 and the ferrite layer 3 by the thick film layer 7. Has been prevented.
次に本実施例の磁性体内蔵型回路基板1の製造方法に
ついて説明する。Next, a method of manufacturing the circuit board 1 with a built-in magnetic material of the present embodiment will be described.
まず、本実施例の回路基板1の製造工程の概要につい
て説明する。これは、 絶縁体基板2を構成するセラ
ミックシートの製造工程、 フェライト層3を構成す
るフェライトペーストの製造工程、 内部導体4を構
成する銅ペーストの製造工程、 厚膜層7を構成する
TiO2ペーストの製造工程からなり、上記〜工程で作
製されたセラミックシート,及び各ペーストを所定の順
序と方法で印刷し、この後圧着し、焼成する。First, an outline of a manufacturing process of the circuit board 1 of the present embodiment will be described. This includes a process of manufacturing a ceramic sheet forming the insulator substrate 2, a process of manufacturing a ferrite paste forming the ferrite layer 3, a process of manufacturing a copper paste forming the internal conductor 4, and forming the thick film layer 7.
The method comprises the steps of manufacturing a TiO 2 paste. The ceramic sheet and the respective pastes prepared in the above steps are printed in a predetermined order and method, and then pressed and fired.
上記絶縁体基板となるセラミックシートの製造工程 SiO2:55重量部,BaO:30重量部,B2O3:5重量部,及びCa
O:5重量部からなる平均粒径2μmのセラミック原料粉
末100重量部に対して、アクリル系バインダー:12重量
部,可塑剤ヂオクチルフタレート:3重量部を加えて混合
し、ドクターブレード法で厚さ300μmのグリーンシー
トを形成し、このグリーンシートを所定の大きさに裁断
して第1,第2基板2a,2bに対応する矩形状のセラミック
シートを作製する。Manufacturing process of the ceramic sheet to be the insulator substrate: SiO 2 : 55 parts by weight, BaO: 30 parts by weight, B 2 O 3 : 5 parts by weight, and Ca
O: 5 parts by weight of ceramic raw material powder having an average particle diameter of 2 μm and 100 parts by weight, 12 parts by weight of an acrylic binder and 3 parts by weight of a plasticizer / octyl phthalate were added and mixed. A green sheet having a thickness of 300 μm is formed, and the green sheet is cut into a predetermined size to produce a rectangular ceramic sheet corresponding to the first and second substrates 2a and 2b.
上記フェライト層となるフェライトペーストの製造
工程 Fe2O3:48.5mol%,NiO:22.5mol%,及びZnO:29mol%か
らなるNi−Zn系フェライトに、副成分としてPbO:1.7重
量部,B2O3:0.2重量部,及びSiO2:0.1重量部を混合して
なる平均粒径1μmの混合粉末100重量部に対してアク
リル系ワニス30重量部を加えて、これを三本ロールミル
で混練してフェライトペーストを作製する。Manufacturing Process of Ferrite Paste to be Ferrite Layer The Ni—Zn ferrite composed of 48.5 mol% of Fe 2 O 3, 22.5 mol% of NiO, and 29 mol% of ZnO was added with 1.7 parts by weight of PbO as an auxiliary component and B 2 30 parts by weight of an acrylic varnish was added to 100 parts by weight of a mixed powder having an average particle size of 1 μm obtained by mixing O 3 : 0.2 part by weight and SiO 2 : 0.1 part by weight, and the mixture was kneaded with a three-roll mill. To produce a ferrite paste.
上記内部導体となる銅ペーストの製造工程平均粒径
1μm以下の銅粉末100重量部に、エチルセルロース系
ワニス25重量部を加え、これを三本ロールミルで混練し
て銅ペーストを作製する。Manufacturing Process of Copper Paste as Internal Conductor To 100 parts by weight of copper powder having an average particle diameter of 1 μm or less, 25 parts by weight of an ethylcellulose varnish is added and kneaded with a three-roll mill to produce a copper paste.
上記厚膜層となるTiO2ペーストの製造工程 TiO2:95mol,NiO:4mol%,及びMnO:1mol%からなるセ
ラミック粉末100重量部に、副成分としてPbO:3.2重量
部,B2O3:0.6重量部,及びSiO2:0.2重量部を混合してな
る平均粒径1μmの混合粉末100重量部に対してアクリ
ル系ワニス30重量部を加えて、これを三本ロールミルで
混練してTiO2ペーストを作製する。Production process of TiO 2 paste for forming the above thick film layer 100 parts by weight of ceramic powder composed of 95 mol of TiO 2 , 4 mol% of NiO, and 1 mol% of MnO, 3.2 parts by weight of PbO as auxiliary components, B 2 O 3 : 30 parts by weight of an acrylic varnish was added to 100 parts by weight of a mixed powder having an average particle diameter of 1 μm obtained by mixing 0.6 parts by weight and SiO 2 : 0.2 parts by weight, and the mixture was kneaded with a three-roll mill to obtain TiO 2 Make a paste.
次に上記〜により製造されたグリーンシート,各
ペーストにより本実施例の磁性体内蔵型回路基板1を製
造する工程を第3図に沿って説明する。Next, a process of manufacturing the magnetic substance built-in type circuit board 1 of this embodiment using the green sheets and the pastes manufactured as described above will be described with reference to FIG.
I.上記で作製された所定寸法のセラミックシート,つ
まり第1基板2aとなるシートの上面に、上記で作製さ
れたTiO2ペーストをスクリーン印刷して厚膜層7を形成
する。この場合、該厚膜層7の周縁が第1基板2aの周縁
より内側に位置するように形成する(第3図(a)参
照)。I. The TiO 2 paste prepared above is screen-printed on the upper surface of the ceramic sheet having the predetermined dimensions prepared above, that is, the sheet to be the first substrate 2a, to form the thick film layer 7. In this case, the thick film layer 7 is formed such that the peripheral edge is located inside the peripheral edge of the first substrate 2a (see FIG. 3A).
II.次に、上記厚膜層7の上面中央部に、上記で作製
されたフェライトペーストを印刷して下フェライト層3a
を形成する。この下フェライト層3aは上記厚膜層7の面
積より小さく、かつフェライト層3aの周縁が厚膜層7の
周縁より内側に位置するよう形成する(第3図(b)参
照)。II. Next, the ferrite paste prepared above was printed on the center of the upper surface of the thick film layer 7 to form a lower ferrite layer 3a.
To form The lower ferrite layer 3a is formed so that the area is smaller than the area of the thick film layer 7 and the periphery of the ferrite layer 3a is located inside the periphery of the thick film layer 7 (see FIG. 3B).
III.上記第1基板2aの下フェライト層3aの上面に、上記
で作製された銅ペーストを印刷して内部導体4を形成
する。この内部導体4は上記第1基板2aの長手方向に延
び、かつ該内部導体4の各パッド部4aが上記第1基板2a
の両端部に位置するよう形成する(第3図(c)参
照)。III. The copper paste produced as described above is printed on the upper surface of the lower ferrite layer 3a of the first substrate 2a to form the internal conductor 4. The internal conductor 4 extends in the longitudinal direction of the first substrate 2a, and each pad portion 4a of the internal conductor 4 is connected to the first substrate 2a.
(See FIG. 3 (c)).
IV.次に、上記内部導体4の中央部分に、該内部導体4
を挟んで上記フェライト層3aと対向するようフェライト
ペーストを印刷して上フェライト層3bを形成し、続い
て、該上フェライト層3bの上面に上記厚膜層7と対向す
るようTiO2ペーストを印刷して厚膜層7を形成する(第
3図(d),(e)参照)。IV. Next, the inner conductor 4
A ferrite paste is printed so as to face the ferrite layer 3a with the interposition therebetween, thereby forming an upper ferrite layer 3b. Subsequently, a TiO 2 paste is printed on the upper surface of the upper ferrite layer 3b so as to face the thick film layer 7. To form a thick film layer 7 (see FIGS. 3 (d) and 3 (e)).
V.そして、上記第1基板2aの上面に第2基板2bを積層
し、これを0.1torrの減圧下で、かつ温度80℃,圧力400
kg/cm2で熱圧着する。これにより上記内部導体4,フェラ
イト層3,及び厚膜層7が埋設された絶縁体基板2を形成
する(第3図(f)参照)。V. Then, a second substrate 2b is laminated on the upper surface of the first substrate 2a, and this is subjected to a pressure of 0.1 torr, a temperature of 80 ° C., and a pressure of
thermocompression bonding in kg / cm 2. Thus, the insulator substrate 2 in which the internal conductor 4, the ferrite layer 3, and the thick film layer 7 are embedded is formed (see FIG. 3 (f)).
VI.次に、上記絶縁体基板2の両端部に、上記内部導体
4の両パッド部4aを貫通するスルーホールを形成し、該
スルーホール内に銅ペーストを印刷してスルーホール電
極5を形成するとともに、上記基板2のスルーホール電
極5の周縁に同じく銅ペーストを印刷して外部導体6を
形成する。これにより上記内部導体4はスルーホール電
極5を介して外部導体6に接続されることとなる(第3
図(g)参照)。VI. Next, through holes are formed at both ends of the insulator substrate 2 so as to penetrate both pad portions 4a of the internal conductor 4, and a copper paste is printed in the through holes to form through hole electrodes 5. At the same time, an external conductor 6 is formed by printing copper paste on the periphery of the through-hole electrode 5 of the substrate 2. As a result, the inner conductor 4 is connected to the outer conductor 6 via the through-hole electrode 5 (third conductor).
FIG. (G)).
VII.最後に、上記絶縁体基板2を窒素−水蒸気雰囲気中
にて950℃に加熱焼成し、一体焼結する。これにより本
実施例の磁性体内蔵型回路基板1が製造される。VII. Finally, the insulator substrate 2 is heated and fired at 950 ° C. in a nitrogen-water vapor atmosphere to be integrally sintered. As a result, the circuit board 1 with a built-in magnetic body of this embodiment is manufactured.
次に本実施例の作用効果について説明する。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
本実施例の磁性体内蔵型回路基板1によれば、第1基
板2aと下フェライト層3a,及び第2基板2bと上フェライ
ト層3bとの間にTiO2を主成分とした厚膜層7を形成した
ので、両基板2a,2bとフェライト層3a,3bとは直接接触す
ることはなく、加熱焼成時のFe元素,ガラス成分の拡散
を防止でき、その結果特性の劣化を回避できる。According to the circuit board 1 with a built-in magnetic material of this embodiment, the thick film layer 7 containing TiO 2 as a main component is provided between the first substrate 2a and the lower ferrite layer 3a and between the second substrate 2b and the upper ferrite layer 3b. Is formed, the two substrates 2a and 2b do not come into direct contact with the ferrite layers 3a and 3b, and the diffusion of the Fe element and the glass component at the time of heating and firing can be prevented, and as a result, deterioration of characteristics can be avoided.
また、本実施例では、内部導体4に銅ペーストを使用
したので、Ag等の貴金属に比べてコストを低減でき、し
かもAg/Pdを使用した場合に比べて導体抵抗を小さくで
きることから、回路基板としての用途を拡大できる。さ
らに上記銅は融点が1083℃であることから、上記非酸化
雰囲気中で焼成しても溶融したり,酸化したりすること
はない。Further, in this embodiment, since the copper paste is used for the internal conductor 4, the cost can be reduced as compared with a noble metal such as Ag, and the conductor resistance can be reduced as compared with the case where Ag / Pd is used. Applications can be expanded. Further, since copper has a melting point of 1083 ° C., it does not melt or oxidize even when fired in the non-oxidizing atmosphere.
ここで、上記製造方法より作製された磁性体内蔵型回
路基板のインダクタンスを測定し、フェライト層の寸
法,形状から初透磁率を測定したところ、150の値が得
られた。また、上記フェライト層と同一の組成でトロイ
ダルコアを作製し、この初透磁率を測定したところ同等
の150であった。このことから、本実施例構造を適用す
ることによりフェライト本来の特性を発現できることが
わかる。また、比較するために上記厚膜層を形成してい
ない従来の回路基板では、フェライト成分とセラミック
成分とが拡散し、所定の透磁率が得られなかった。Here, the inductance of the circuit board with a built-in magnetic material manufactured by the above manufacturing method was measured, and the initial permeability was measured from the size and shape of the ferrite layer, and a value of 150 was obtained. A toroidal core having the same composition as that of the ferrite layer was prepared, and its initial magnetic permeability was measured to be equal to 150. This shows that the application of the structure of the present embodiment makes it possible to express the inherent characteristics of ferrite. Further, for comparison, in the conventional circuit board without the thick film layer, the ferrite component and the ceramic component diffused, and a predetermined magnetic permeability was not obtained.
以上のように請求項(1)の発明に係る磁性体内蔵型
回路基板によれば、基板と磁性体層との間にフェライト
中のFe元素の基板への拡散を抑制する厚膜層を形成した
ので、上記基板,磁性体層の両者の拡散を抑制でき、特
性の劣化を回避できる効果がある。また、請求項(2)
の発明によれば、内部導体に銅を使用したので、この場
合は製品コストを低減できるとともに、比抵抗を小さく
でき、ひいては用途を拡大できる効果がある。As described above, according to the circuit board with a built-in magnetic material according to the invention of claim (1), a thick film layer is formed between the substrate and the magnetic material layer to suppress the diffusion of Fe element in ferrite into the substrate. Therefore, there is an effect that diffusion of both the substrate and the magnetic layer can be suppressed, and deterioration of characteristics can be avoided. Claim (2)
According to the invention, since copper is used for the internal conductor, in this case, the product cost can be reduced, the specific resistance can be reduced, and the application can be expanded.
請求項(3)の発明では、上記厚膜層にTiO2系セラミ
ックス層,あるいはTiO2を主成分とするセラミックス層
を採用したので、上記Fe元素の基板への拡散を防止でき
る。In the invention of claim (3), the TiO 2 -based ceramic layer or the ceramic layer containing TiO 2 as a main component is employed for the thick film layer, so that the diffusion of the Fe element to the substrate can be prevented.
第1図ないし第3図は本発明の一実施例による磁性体内
蔵型回路基板を説明するための図であり、第1図はその
分解斜視図、第2図は断面正面図、第3図(a)ないし
第3図(g)はそれぞれその製造方法を説明するための
工程図である。 図において、1は磁性体内蔵型回路基板、2は絶縁体基
板、3はフェライト層(磁性体層)、4は内部導体、7
は厚膜層である。1 to 3 are views for explaining a circuit board with a built-in magnetic material according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is an exploded perspective view, FIG. 2 is a sectional front view, and FIG. 3 (a) to 3 (g) are process diagrams for explaining the manufacturing method. In the figure, 1 is a circuit board with a built-in magnetic material, 2 is an insulating substrate, 3 is a ferrite layer (magnetic material layer), 4 is an internal conductor, 7
Is a thick film layer.
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05K 1/16 H05K 3/46 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) H05K 1/16 H05K 3/46
Claims (3)
ト系磁性体層との間に、フェライト中のFe元素の基板へ
の拡散を抑制する厚膜層を形成したことを特徴とする磁
性体内蔵型回路基板。A thick film layer formed between a substrate and a ferrite magnetic layer formed inside the substrate to suppress diffusion of Fe element in ferrite into the substrate. Built-in circuit board.
外部回路に接続される内部導体を形成し、該内部導体に
銅を用いたことを特徴とする磁性体内蔵型回路基板。2. A circuit board with a built-in magnetic material according to claim 1, wherein an internal conductor connected to an external circuit is formed inside said substrate, and copper is used for said internal conductor.
膜層は、TiO2系セラミックス層,あるいはTiO2を主成分
とするセラミックス層であることを特徴とする磁性体内
蔵型回路基板。3. The circuit according to claim 1, wherein the thick film layer is a TiO 2 -based ceramic layer or a ceramic layer containing TiO 2 as a main component. substrate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2251144A JP2995829B2 (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Circuit board with built-in magnetic material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2251144A JP2995829B2 (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Circuit board with built-in magnetic material |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04129286A JPH04129286A (en) | 1992-04-30 |
JP2995829B2 true JP2995829B2 (en) | 1999-12-27 |
Family
ID=17218329
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