JP2986656B2 - 光電センサ - Google Patents

光電センサ

Info

Publication number
JP2986656B2
JP2986656B2 JP5192615A JP19261593A JP2986656B2 JP 2986656 B2 JP2986656 B2 JP 2986656B2 JP 5192615 A JP5192615 A JP 5192615A JP 19261593 A JP19261593 A JP 19261593A JP 2986656 B2 JP2986656 B2 JP 2986656B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistance
ratio
light
light receiving
detected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP5192615A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0750570A (ja
Inventor
育夫 西本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP5192615A priority Critical patent/JP2986656B2/ja
Priority to DE69316354T priority patent/DE69316354T2/de
Priority to EP93117311A priority patent/EP0637757B1/en
Priority to US08/144,798 priority patent/US5471050A/en
Publication of JPH0750570A publication Critical patent/JPH0750570A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2986656B2 publication Critical patent/JP2986656B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光電センサに係り、
とくにその光軸調整ならびに距離設定に関するものであ
って、物体の距離を光学的に検出する変位センサあるい
は距離判定型光電スイッチ等に適用することが可能であ
る。
【0002】
【従来の技術】光学的に物体までの距離を計測する方法
として3角測量法がある。図5は位置検出機能を有する
光電センサの基本的な動作を説明するために単線をもっ
て描いた構成図、図6は光電センサの被検出物体までの
距離Xと受光面上の輝点の位置Yとの関係を示す特性図
である。すなわち、図5において、投光部3より発せら
れた光が検出体上に輝点を作り、レンズ系2を介して受
光面上に上記輝点の像を形成する。この受光面上には光
電変換装置である受光部4が配設され、この受光部4か
ら電気信号を取り出す。受光面上の輝点像は被検出物体
6までの距離Xが変わると、受光面上の輝点像の位置Y
が動く。従来、光の位置を検出するものとして、特公昭
58−42411号公報に見られるPSDすなわち光位
置検出素子(受光エレメント)10がある。この光位置
検出素子10は図1に示すような構成を有し、この光位
置検出素子10を光電変換装置に適用することで、この
光電変換装置の電気信号の値から輝点像の位置Yが判
り、よってXが判る。したがってその電気信号にもとづ
き出力されるセンサの出力は距離Xに律された出力とな
る。なお、検出距離Xと受光面上の輝点像の位置Yとの
関係を示すと図6のようになる。
【0003】先に、出願人は特願平4−154014号
で、受光部4、分流部12、分流制御部14を有し、受
光面上の特定の位置の入射光位置感度が光位置検出素子
(PSD)に比べて任意の受光面上の位置Yo近傍で高
感度にすることができる光電変換方法およびその装置を
発明した。これはその光電変換装置を用い、受光面上の
光位置検出が高感度の位置を光判定基準位置Y0とする
ことで、高感度な距離判定型光電スイッチ、変位センサ
を実現できるものである。すなわち光位置検出が高感度
な位置を光判定基準位置Y0とすると、光判定基準位置
Y0を設定基準距離Xoに対応させることで、光電変換
装置の出力は輝点像の位置Yを光判定基準位置Y0と比
較することになり、距離Xと設定基準距離Xoとを比較
することになる。(Y−Yo)の符号を出力するように
すれば距離判定型光電スイッチとできるし、(Y−Y
o)の大きさに応じた信号を出力すれば変位センサとす
ることができる。
【0004】XとYとの関係は Y=g/X 又は X=g/Y・・・・・・・・・・ (1) (ただしgは光学系で決まる常数) で表せる。よって、受光面上の輝点像の位置Yを検出す
れば距離Xを求めることができる。実際に使用する投光
素子、投光レンズ、受光レンズ、受光素子等の寸法公
差、並びに組付時の公差等を考慮すると実際には投光軸
と受光軸の相対位置にばらつきがある。これらのばらつ
きは(1)式においてYの値に誤差を与える。この誤差
をεとすると、Yの値がεの値に比べて充分大きいとき
にはXを求める演算に大きな誤差を与えないが、Yの値
がεの値に比べて充分大きくないときにはXを求める演
算に大きな誤差を与える。すなわち長距離を検出すると
きに誤差が大きくなり、実用限度を越えることがあっ
た。このためレンズ、投光素子、受光素子等の光学系の
部品間の相対位置の許される誤差範囲が極めて狭くな
り、精密な部品が必要であったり、光学系部品の組付時
に精密な位置合わせ調整が必要であった。
【0005】また、操作部の操作量に対して受光面上の
光判定基準位置Y0が比例的に対応すると、設定基準距
離Xoと光判定基準位置Y0との関係も(1)式で表せ
るので、操作量と設定基準距離Xoの非線形が光学系等
により極端になることがあり、実用限界を越えることが
あった。このため、操作部の操作量に対して光判定基準
位置Y0の関係が(1)の非線形を低減する逆非線形を
持つことが望ましい。上記非線形は光学系の寸法、設定
範囲等で決まるので、この値を予測して補正する手段が
必要である。しかし、光学系の寸法、設定範囲等等の変
更は非線形の関数の定数が変わってしまうので上記非線
形補正手段は固定関数でなく常数を簡単に変えられるも
のでなくてはならない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする第1の課題は、上述のように、投光素子、投光レ
ンズ、受光レンズ、受光素子等の寸法公差、並びに組付
時の公差等を考慮すると、実際には投光軸と受光軸の相
対位置にばらつきがあることである。とくに光学系部品
の組付時に精密な位置合わせ調整を行なうことは時間を
要し、精密調整用の精密位置合わせ機構が必要であるこ
とである。
【0007】この発明が解決しようとする第2の課題
は、光判定基準位置Y0と設定基準距離Xoの非線形関
係が光学系の条件、距離設定範囲等により極端となり、
実用限界を越える怖れがあることである。
【0008】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、請求項1の発明は、機構的
な精密位置合わせの代わりに電気的な調整で光軸の相対
誤差を補正する装置を提供することを目的とする。
【0009】請求項2の発明は、操作部の操作量と光判
定基準位置との関係が受光免状の輝点像の位置と被検出
物体までの距離の非線形を補正する逆非線形関係を有
し、かつこの逆非線形の程度、すなわち距離設定が簡単
に変更できる装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明に係る光電セン
サは、従来の光位置検出素子に代え、受光エレメントを
用いるもので、請求項1の発明は、被検出体の変位に伴
い結像が移動する方向に配列されたn(n>2)個の受
光エレメント10と、この各受光エレメント101、1
02、・・・、10nの各光電流I1、I2、・・・、
Inを所定比率k1と1−k1、k2と1−k2、・・
・knと1−knに分割して第1、第2の光電流出力端
にそれぞれ導くn個の分流器と、第1、第2の光電流出
力を入力としてその比率に基づき検出信号を演算する演
算部と、参照抵抗と設定抵抗とを有する操作部を含み参
照抵抗と設定抵抗の抵抗比率を設定する設定部と、上記
所定比率k1、k2、・・・knをk1>0.5>kn
及びkp≧km(p=m−1;m=2〜n)なる関係を
保って制御する分流制御部と、上記参照抵抗は抵抗値を
修正することで設定抵抗値との比率を補正し、参照抵抗
値と設定抵抗値の比率により定まる上記所定比率k1、
k2、・・・knを修正し、もって、上記被検出体が所
定の距離の時に上記第1、第2の光電流が所望の比率と
なるようにするトリミング抵抗とを備えたものである。
【0011】請求項2の発明は、被検出体の変位に伴い
結像が移動する方向に配列されたn(n>2)個の受光
エレメント10と、この各受光エレメント101、10
2、・・・、10nの各光電流I1、I2、・・・、I
nを所定比率k1と1−k1、k2と1−k2、・・・
knと1−knに分割して第1、第2の光電流出力端に
それぞれ導くn個の分流器と、第1、第2の光電流出力
を入力としてその比率に基づき検出信号を出力する演算
部と、参照抵抗と設定抵抗とを有する操作部を含み参照
抵抗と設定抵抗の抵抗比率を設定する設定部と、所定比
率k1、k2、・・・knをk1>0.5>kn及びk
p≧km(p=m−1;m=2〜n)なる関係を保って
制御する分流制御部と、上記参照抵抗は抵抗値を修正す
ることで設定抵抗値との比率を補正し、参照抵抗値と設
定抵抗値の比率により定まる上記所定比率k1、k2、
・・・knを修正し、もって、上記被検出体が所定の距
の時に上記第1、第2の光電流が所望の比率となるよ
うにするトリミング抵抗とを備えたものである。
【0012】
【作用】第1の発明は、n個の分流器により受光エレメ
ント101、102、・・・、10nの各光電流I1、
I2、・・・、Inを所定比率k1と1−k1、k2と
1−k2、・・・knと1−knに分割して第1、第2
の光電流出力端にそれぞれ導くとともに、演算部により
第1、第2の光電流出力を演算し、分流制御部により所
定比率k1、k2、・・・knをk1>0.5>kn及
びkp≧km(p=m−1;m=2〜n)なる関係を保
って制御し、さらに分流制御部において、参照抵抗と設
定抵抗との比率により分割比率k1、k2、・・・kn
を調整し、投光軸と受光軸のずれを補正する。
【0013】請求項2の発明は、n個の分流器により各
受光エレメント101、102、・・・、10nの各光
電流I1、I2、・・・、Inを所定比率k1と1−k
1、k2と1−k2、・・・knと1−knに分割して
第1、第2の光電流出力端にそれぞれ導くとともに、演
算部により上記第1、第2の光電流出力を演算し、分流
制御部により上記所定比率k1、k2、・・・knをk
1>0.5>kn及びkp≧km(p=m−1;m=2
〜n)なる関係を保って制御し、さらにこの分流制御部
において、この参照抵抗と設定抵抗との比率により分割
比率k1、k2、・・・knを調整し、これによって光
電センサの距離を設定する。
【0014】
【実施例】以下この発明の一実施例を図によって説明す
る。図1は光電センサのブロック図、図2は図1におけ
る分流部と分流制御部をより具体的に示す回路図、図3
は図1における受光部に配列される受光エレメントの配
列を示す平面図である。図4は本発明の受光部の光位置
検出感度を説明する特性図である。図3に示すようなn
個の受光エレメント10を被検出体の変位に伴い結像が
移動する方向に図1の受光部4に配列する。図1におい
て、4は受光部、12は分流部、13は差動アンプ部、
14は分流制御部である。分流制御部14には設定部2
6が接続される。そしてこの設定部26の一部には操作
部15が設けられる。なおこの設定部26は言うまでも
なく、分流制御部14とともに、回路的に一体に形成す
ることも可能であるが、理解を容易にするために分流制
御部14と分離して画かれている。そして受光部4には
図3に示すようなn個の受光エレメント10が図5に示
被検出体の変位に伴い結像が移動する方向に配列され
る。受光部からの信号を処理し出力信号とするまでの中
で、本発明の要部は図1に示す受光部4、分流部12お
よび分流制御部14であるのでこれらについて図2を参
照して、より詳しく説明する。図2において、16は演
算部である。今、a点にボルツマン電圧Vt(=kT/
q)に比例した電圧αVtが生じ、トランジスタQ1と
トランジスタQ2の大きさの比によりαが決まることが
知られている。よってb点の電圧は参照抵抗Rrefの
大きさによらずαVtとなる。固定抵抗Rpと設定抵抗
VR1との合成抵抗すなわち設定抵抗の値Rvp1と参
照抵抗Rrefとの比によりc点に電圧が生じる。c点
の電圧は所定値だけシフトされd点の電圧となる。この
電圧を設定電圧と呼ぶ。設定抵抗VR1の大きさを変え
ると設定電圧はそれに応じて連続的に変化する。抵抗R
1に流れる電流に比例した電流がe点より流れるのでf
点、g点、h点の順に電圧が小さくなっていき、その電
圧差は抵抗R1と抵抗Rjの比とボルツマン電圧Vtと
で決まる一定値である。この電圧が参照電圧となる。こ
の図においてRjとその前後の計3つの抵抗だけしか示
していないが、受光エレメント10の数だけこの抵抗が
直列に接続される。多数の受光エレメント101、10
2、103・・・10nのうちj番目とその前後の計3
つを示して残りの受光エレメントは省略してある。ま
た、分流部12も同様にj番目とその前後の計3つだけ
を示してある。各分流部はエミッタをたがいに接続した
一対のトランジスタを有する。このエミッタに各受光エ
レメントが接続され、各トランジスタの一方のコレクタ
が第1の電流出力端pに接続され、各トランジスタの他
方のコレクタが第2の電流出力端qに接続される。これ
によりn個の受光エレメントのn本の光電流信号はp、
qの2つの信号に変換される。各トランジスタの一方の
ベースには参照電圧を他方のベースには設定電圧が与え
られる。設定電圧は各分流器とも同一の電圧であるが、
参照電圧は各分流器で所定の電位差を持っていてその差
はボルツマン電圧Vtの定数倍したものである。
【0015】今、設定抵抗VR1の値により設定電圧が
j番目の参照電圧Vjに近い場合を考える。隣り合った
分流器の参照電圧の差を適当に設計することにより、1
番目からj−2番目までの全ての分流器の参照電圧は設
定電圧より十分小さく受光エレメントの光電流のほとん
どすべてを第1の電流出力端pに、j+2番目からn番
目までの全ての分流器の参照電圧は設定電圧より十分大
きく受光エレメント10の光電流のほとんどすべてを第
2の電流出力端qに分流していると見なすことが出来
る。j−1番目の分流器の参照電圧は設定電圧より低い
ので受光エレメント10の光電流を第1の電流出力端p
に電流の多くを分流し、j+1番目の分流器の参照電圧
は設定電圧より高いので受光エレメント10の光電流を
第2の電流出力端qに電流の多くを分流する。j番目の
受光エレメント10の光電流は第1の電流出力端pと第
2の電流出力端qに分流する。このようにすることで第
1の電流出力端pの電流をIa、第2の電流出力端qの
電流をIbとすると、図4に示すようにj番目近傍の入
射光の位置に対しては入射光位置の変化に対して敏感な
出力特性が得られる。すなわち、j番目近傍は受光部全
長がLeに小さくなった光位置検出素子(PSD)の特
性と等価であり、L/Le倍の感度が得られる。この敏
感な特性の位置を光判定基準位置Y0とする。以上述べ
たように、受光面が光を受けて第1の電流出力端pと第
2の電流出力端qからの2つの出力を有する2分割受光
素子と類似の機能となる。また演算部16は上記2つの
電流Ia、Ibを入力とし所望の出力を得る。設定抵抗
VR1の値を操作することで上記j番目は1番目からn
番目までその間の任意の位置に光判定基準位置Y0を自
由に設定できる。光判定基準位置Y0が判定基準距離X
0に対応しているので、設定抵抗VR1の値を変えるこ
とで判定基準距離X0を操作できる。
【0016】今、設定抵抗VR1の操作量をh(h=0
〜100%)としその時の合成抵抗Rvp1の値をRv
p1(h)、Rvp1(h)に対応する受光面上の光判
定基準位置をY0(h)、Y0(h)に対応する判定基
準距離をX0(h)と書くことにする。jの値が大きく
なるにつれてYの値が小さくなるようにY軸の方向を定
める。このようにすると、設定抵抗VR1の調整量がV
R1=0%のとき光判定基準位置Y0(h)は最大で判
定基準距離X0(h)は最小であり、設定抵抗VR1の
調整量がVR1=100%のとき光判定基準位置Y0
(h)は最小で判定基準距離X0(h)は最大となる。
いま光軸がずれの影響が最も大きいのは前述のとおりY
の値が最小のときすなわちXが最大のときであるのでh
=100の場合を考える。判定基準距離X0(100)
の所の物体に存在すると受光面上の輝点像は光判定基準
位置Y0(100)に位置せず、光軸ずれのため{Y0
(100)+δ}であったとする。この状態では判定基
準距離X0(100)の近傍で距離Xが変化しても距離
Xに対応する受光面上の輝点の位置YがY0(100)
近傍で変化せず電流Ia、Ibから演算される距離は実
際の距離Xに対して非常に大きな誤差を持つことにな
る。
【0017】そこで参照抵抗Rrefをトリミングする
ことで参照抵抗Rrefに流れる電流が変わるので合成
抵抗Rvp1に生じている電圧が変わり、結果として光
判定基準位置Y0が変わっていくことになる。よって、
光判定基準位置Y0が{Y0(100)+δ}まで変え
ることで光軸ずれがない場合と同様の電流Ia、Ibが
得られることになる。すなわち、電流Ia、Ibが所定
の値になるようにRrefをトリミングすることにより
h=100で判定基準距離X0(100)上に物体があ
るときの誤差が補正されたことになる。この方法によれ
ば、設定抵抗VR1と固定抵抗Rpとの関係は変化がな
いので設定抵抗VR1の操作量hと合成抵抗Rvp1と
で設定されている逆非線形に影響を与えない。以上判定
基準距離X0(100)で光軸ずれの誤差の補正につい
て述べたが、判定基準距離X0が近い場合の誤差は
(1)式よりわかるように影響が少ないので本方法によ
り実質的に光軸のずれがほとんどないのと等価となる。
これが請求項1の発明である。
【0018】操作量hと合成抵抗値Rvp1の関係は、
h=0であると合成抵抗Rvp1=0となる。hが小さ
くVR1(h)<Rpのときは合成抵抗Rvp1は合成
抵抗Rvp1(h)に近いのでhが変化したときの合成
抵抗Rvp1の変化も大きいが、VR1(h)>Rpと
なるようにhが大きい時は合成抵抗Rvp1は固定抵抗
Rpに近いのでhが変化したときの合成抵抗Rvp1の
変化が小さくなる。この非線形はX−Y非線形を補正す
る傾向の非線形でありhとX0の関係を線形に近づける
ことができる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように請求項1の発明にお
ける光電センサの光軸調整装置によれば、とくに参照抵
抗と設定抵抗の抵抗比率を設定する操作部15を含む設
定部と、上記所定比率k1、k2、・・・knをk1>
0.5>kn及びkp≧km(p=m−1;m=2〜
n)なる関係を保って上記参照抵抗と設定抵抗との比率
により定める分流制御部14と、上記参照抵抗は抵抗値
を修正することで設定抵抗値との比率を補正し、参照抵
抗値と設定抵抗値の比率により定まる上記所定比率k
1、k2、・・・knを修正し、もって、上記被検出体
が所定の距離の時に上記第1、第2の光電流が所望の比
率となるようにするトリミング抵抗とで構成したので、
光学系の部品公差、組付時の位置公差等により生じる光
位置検出装置の出力を電気的な抵抗トリミングで補正で
き、かつX−Y非線形補正に影響を与えずに行うことが
できるという効果がある。
【0020】また請求項2の発明における光電センサの
距離設定装置によれば、参照抵抗と、可変抵抗および固
定抵抗の並列回路からなる設定抵抗とにより構成され、
この参照抵抗と設定抵抗との比率により分割比率k1、
k2、・・・knを調整し、光電センサの距離を設定す
る設定部とを備えているので、X−Y非線形補正を2つ
の抵抗部品だけで簡単に行なえ、請求項1の光軸調整装
置と併用でき、設定抵抗以外を集積回路としても外付部
品となる設定抵抗だけで非線形を自由に設定でき、さら
に光学系の違う多種製品に対して同一集積回路で対応で
きるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明における光電センサの一実施例を示す
ブロック図である。
【図2】図1における分流部と分流制御部をより具体的
に示す回路図であり、本発明の方法を具体的に説明する
回路図である。
【図3】図1における受光部に配列される受光エレメン
トの配列を示す平面図である。
【図4】この発明における光電センサの受光部の光位置
検出感度を説明する特性図である。
【図5】位置検出機能を有する光電センサの基本的な動
作を説明するために単線をもって描いた構成図である。
【図6】光電センサの被検出物体までの距離Xと受光面
上の輝点の位置Yとの関係を示す特性図である。
【符号の説明】
1 光電センサ 2 レンズ系 3 投光部 4 受光部 6 被検出物体 10 受光エレメント 12 分流部 14 分流制御部 15 操作部 16 演算部 26 設定部 Rp 固定抵抗 VR1 設定抵抗 Rref 参照抵抗
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H03K 17/78 - 17/98 G01B 11/00 G01C 3/06

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 投光軸を通して被検出物体上に光を照射
    するとともに、この被検出物体上に輝点を作る投光部
    と、上記被検出物体からの光をレンズ系を介して受け、
    かつ上記被検出物体上の輝点の像を結像させる受光面を
    有する受光部と、上記受光面上において、被検出体の変
    位に伴い結像が移動する方向に配列されたn(n>2)
    個の受光エレメントと、この各受光エレメントの各光電
    流を所定比率k1と1−k1、k2と1−k2、・・・
    knと1−knに分割して第1、第2の光電流出力端に
    それぞれ導くn個の分流器を有する分流部と、上記第
    1、第2の光電流出力を入力としてその比率に基づき
    出信号を演算する演算部と、参照抵抗と設定抵抗とを有
    する操作部を含み参照抵抗と設定抵抗の抵抗比率を設定
    する設定部と、上記所定比率k1、k2、・・・knを
    k1>0.5>kn及びkp≧km(p=m−1;m=
    2〜n)なる関係を保って上記抵抗比率に基づき定める
    分流制御部と、上記参照抵抗は抵抗値を修正することで
    設定抵抗値との比率を補正し、参照抵抗値と設定抵抗値
    の比率により定まる上記所定比率k1、k2、・・・k
    nを修正し、もって、上記被検出体が所定の距離の時に
    上記第1、第2の光電流が所望の比率となるようにする
    トリミング抵抗とを備えた光電センサ。
  2. 【請求項2】 投光軸を通して被検出物体上に光を照射
    するとともに、この被検出物体上に輝点を作る投光部
    と、上記被検出物体からの光をレンズ系を介して受け、
    かつ上記被検出物体上の輝点の像を結像させる受光面を
    有する受光部と、上記受光面上において、被検出体の変
    位に伴い結像が移動する方向に配列されたn(n>2)
    個の受光エレメントと、この各受光エレメントの各光電
    流を所定比率k1と1−k1、k2と1−k2、・・・
    knと1−knに分割して第1、第2の光電流出力端に
    それぞれ導くn個の分流器を有する分流部と、上記第
    1、第2の光電流出力を入力としてその比率に基づき検
    出信号を出力する演算部と、参照抵抗と設定抵抗とを有
    する操作部を含み参照抵抗と設定抵抗の抵抗比率を設定
    する設定部と、上記所定比率k1、k2、・・・knを
    k1>0.5>kn及びkp≧km(p=m−1;m=
    2〜n)なる関係を保って上記抵抗比率に基づき定めら
    れる分流制御部と、上記参照抵抗は抵抗値を修正するこ
    とで設定抵抗値との比率を補正し、参照抵抗値と設定抵
    抗値の比率により定まる上記所定比率k1、k2、・・
    ・knを修正し、もって、上記被検出体が所定の距離の
    時に上記第1、第2の光電流が所望の比率となるように
    するトリミング抵抗とを備えた光電センサ。
JP5192615A 1993-08-03 1993-08-03 光電センサ Expired - Fee Related JP2986656B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5192615A JP2986656B2 (ja) 1993-08-03 1993-08-03 光電センサ
DE69316354T DE69316354T2 (de) 1993-08-03 1993-10-26 Verfahren und Gerät zur photoelektrischen Detektion
EP93117311A EP0637757B1 (en) 1993-08-03 1993-10-26 Photoelectric detecting method and apparatus
US08/144,798 US5471050A (en) 1993-08-03 1993-10-28 Photoelectric conversion method and apparatus thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5192615A JP2986656B2 (ja) 1993-08-03 1993-08-03 光電センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0750570A JPH0750570A (ja) 1995-02-21
JP2986656B2 true JP2986656B2 (ja) 1999-12-06

Family

ID=16294212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5192615A Expired - Fee Related JP2986656B2 (ja) 1993-08-03 1993-08-03 光電センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2986656B2 (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2690428B2 (ja) 1992-04-30 1997-12-10 山武ハネウエル株式会社 光電変換方法およびその装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2690428B2 (ja) 1992-04-30 1997-12-10 山武ハネウエル株式会社 光電変換方法およびその装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0750570A (ja) 1995-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4477168A (en) Range finder
JPS6367522A (ja) 光電的変位量検出装置
JPH0212215A (ja) カメラ用距離検出装置
JP3215232B2 (ja) 光電式距離センサ
JP2986656B2 (ja) 光電センサ
EP0637757B1 (en) Photoelectric detecting method and apparatus
JP2933804B2 (ja) 光電スイッチ
GB2210529A (en) Distance detecting apparatus
JP2928061B2 (ja) 変位センサ
JPS599781A (ja) 光位置検出装置
JPS6227688A (ja) 距離設定用光電スイツチ
EP1439378A2 (en) Hot-wire flow meter with linear frequency output
JP3223525B2 (ja) 位置センサ装置
JPH0626860A (ja) 距離検出用半導体位置検出素子
JP3242444B2 (ja) 測距装置
JP2613721B2 (ja) スポット光の位置制御装置
JPH05118846A (ja) 変位計
KR100417547B1 (ko) 서보시스템
JPH0720607Y2 (ja) レベル校正用信号源
JPH03166534A (ja) カメラ用測距装置
JPH04184202A (ja) 位置検出装置
JPS5972007A (ja) 対称物体の中心位置検出装置
JPH0648197B2 (ja) 零点補正センサ回路
JPS61102817A (ja) 光電スイツチ
JPH05306930A (ja) 測距装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees