JP2978890B1 - 設備メンテナンス状態チェック方法 - Google Patents
設備メンテナンス状態チェック方法Info
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- JP2978890B1 JP2978890B1 JP19841198A JP19841198A JP2978890B1 JP 2978890 B1 JP2978890 B1 JP 2978890B1 JP 19841198 A JP19841198 A JP 19841198A JP 19841198 A JP19841198 A JP 19841198A JP 2978890 B1 JP2978890 B1 JP 2978890B1
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Abstract
【要約】
【課題】半導体集積回路装置等の生産設備の保全が未完
了の状態まま製品の生産が行われるような事態を防止す
る。 【解決手段】設備の予防保全または事後保全作業必要に
なった段階で、前記設備の生産作業を禁止する手順Ｓ１
１と、前記保全作業が終了した段階で前記設備の生産作
業を許可する手順Ｓ１７とを含んで構成される。
了の状態まま製品の生産が行われるような事態を防止す
る。 【解決手段】設備の予防保全または事後保全作業必要に
なった段階で、前記設備の生産作業を禁止する手順Ｓ１
１と、前記保全作業が終了した段階で前記設備の生産作
業を許可する手順Ｓ１７とを含んで構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は設備メンテナンス状
態チェック方法、特に、半導体集積回路装置等の製造設
備の設備メンテナンス状態チェック方法に関する。
態チェック方法、特に、半導体集積回路装置等の製造設
備の設備メンテナンス状態チェック方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造は、一つの生産システ
ム（生産ライン）に多数の半導体ウエハを製造ロット単
位で流して数十から数百の多数の作業を行うことにより
行われ、行う作業の数、順序、各作業の作業条件は製造
しようとする半導体装置の品種によって異なる。この品
種によって異なる一連の作業はプロセスと称され、各プ
ロセスには例えばプロセス００１、プロセス００２とい
うように認識番号が与えられている。
ム（生産ライン）に多数の半導体ウエハを製造ロット単
位で流して数十から数百の多数の作業を行うことにより
行われ、行う作業の数、順序、各作業の作業条件は製造
しようとする半導体装置の品種によって異なる。この品
種によって異なる一連の作業はプロセスと称され、各プ
ロセスには例えばプロセス００１、プロセス００２とい
うように認識番号が与えられている。
【０００３】そして、半導体装置の製造は、作業担当者
に対して作業指示を行う装置（コンピュータ端末）を設
け各装置をコンピュータにより制御する生産管理システ
ムを用いて行われるのが普通である。
に対して作業指示を行う装置（コンピュータ端末）を設
け各装置をコンピュータにより制御する生産管理システ
ムを用いて行われるのが普通である。
【０００４】ところで、普通の半導体装置の製造、即ち
商品としての半導体装置の製造においては必要はない
が、試作や研究開発のための半導体装置の製造において
必要とされるのが、製造ロット中の何枚かの半導体ウェ
ハをリファレンスウェハとすることである。普通の半導
体ウェハが一連の作業全部が為されるのに対してリファ
レンスウェハは、一部の作業のみが為されるものであ
り、製造過程における状態を把握し、それによって一部
の作業の効果、良否を判断するためにリファレンスウェ
ハを製造ロット中に含ませることは試作や研究、開発に
は不可欠である。
商品としての半導体装置の製造においては必要はない
が、試作や研究開発のための半導体装置の製造において
必要とされるのが、製造ロット中の何枚かの半導体ウェ
ハをリファレンスウェハとすることである。普通の半導
体ウェハが一連の作業全部が為されるのに対してリファ
レンスウェハは、一部の作業のみが為されるものであ
り、製造過程における状態を把握し、それによって一部
の作業の効果、良否を判断するためにリファレンスウェ
ハを製造ロット中に含ませることは試作や研究、開発に
は不可欠である。
【０００５】従って、リファレンスウェハは一連の作業
の途中で属していた製造ロットから取り除かれて特性測
定等に供されたり、一連の作業の中のいくつかの作業が
省略されたり、途中の作業から製造ロットに加わったり
する。そして、一つの製造ロット中に存在する複数のリ
ファレンスウェハが同じような作業履歴をすることは少
なく、それぞれ互いに異なる作業履歴を経るようにする
ことが多い。
の途中で属していた製造ロットから取り除かれて特性測
定等に供されたり、一連の作業の中のいくつかの作業が
省略されたり、途中の作業から製造ロットに加わったり
する。そして、一つの製造ロット中に存在する複数のリ
ファレンスウェハが同じような作業履歴をすることは少
なく、それぞれ互いに異なる作業履歴を経るようにする
ことが多い。
【０００６】従来の技術は、作業情報登録手段に製造ロ
ット単位での作業条件のみならず製造ロット中の各リフ
ァレンスウェハについての処置をも登録できるように
し、作業指示手段に該作業情報登録手段からのデータに
基づいて製造ロットに対する作業条件の指示のほか該製
造ロット中の各リファレンスウェハについての処置につ
いて指示を行わせるようにすると共に、そして、リファ
レンスウェハの作業条件、処置についてその内容を変更
できる更新入力手段を設ける。（例えば、特開平０５−
０７４６７５号公報参照） 従来の設備メンテナンス状態チェック方法について図面
を参照して詳細に説明する。
ット単位での作業条件のみならず製造ロット中の各リフ
ァレンスウェハについての処置をも登録できるように
し、作業指示手段に該作業情報登録手段からのデータに
基づいて製造ロットに対する作業条件の指示のほか該製
造ロット中の各リファレンスウェハについての処置につ
いて指示を行わせるようにすると共に、そして、リファ
レンスウェハの作業条件、処置についてその内容を変更
できる更新入力手段を設ける。（例えば、特開平０５−
０７４６７５号公報参照） 従来の設備メンテナンス状態チェック方法について図面
を参照して詳細に説明する。
【０００７】図３は従来の一例を示す流れ図である。図
３に示す設備メンテナンス状態チェック方法は、使用者
から故障の連絡をするステップＳ２０と、端末装置のプ
ログラム切替を指示するステップＳ２１と、使用者診断
プログラムに切替えるステップＳ２２と、電話回線で両
装置を接続するステップＳ２３と、保守診断装置より診
断プログラムの起動を指示して送信するステップＳ２４
と、端末装置の指示に従いプログラムを実行し、結果を
保守診断装置へ送信するステップＳ２５と、故障原因を
判明できたか否かを調べ、判明できなかった場合はステ
ップＳ２４に戻り、判明できた場合は次に進む判断ステ
ップＳ２６とステップＳ２６において故障原因が判明で
きた場合は、両装置を接続している電話回線を切断する
ステップＳ２７と、推測された故障原因から修理に必要
な部品を入手するステップＳ２８と、現地にて修理を行
なうステップＳ２９と、とを含んで構成される。
３に示す設備メンテナンス状態チェック方法は、使用者
から故障の連絡をするステップＳ２０と、端末装置のプ
ログラム切替を指示するステップＳ２１と、使用者診断
プログラムに切替えるステップＳ２２と、電話回線で両
装置を接続するステップＳ２３と、保守診断装置より診
断プログラムの起動を指示して送信するステップＳ２４
と、端末装置の指示に従いプログラムを実行し、結果を
保守診断装置へ送信するステップＳ２５と、故障原因を
判明できたか否かを調べ、判明できなかった場合はステ
ップＳ２４に戻り、判明できた場合は次に進む判断ステ
ップＳ２６とステップＳ２６において故障原因が判明で
きた場合は、両装置を接続している電話回線を切断する
ステップＳ２７と、推測された故障原因から修理に必要
な部品を入手するステップＳ２８と、現地にて修理を行
なうステップＳ２９と、とを含んで構成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の設備メ
ンテナンス状態チェック方法は、設備の点検結果に異常
が認められた場合、または修理後の設備の動作確認を忘
れた場合でも、設備自体は起動指示をすれば動作するの
で、不良製品を生産する危険性があるという欠点があっ
た。
ンテナンス状態チェック方法は、設備の点検結果に異常
が認められた場合、または修理後の設備の動作確認を忘
れた場合でも、設備自体は起動指示をすれば動作するの
で、不良製品を生産する危険性があるという欠点があっ
た。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【課題を解決するための手段】 第１の発明の設備メンテ
ナンス状態チェック方法は、（Ａ）整備、故障、点検な
どにより設備のメンテナンス作業が発生した時、メンテ
ナンスを実施する作業者が、通信端末を用いてＨＯＳＴ
とサーバに対してメンテナンス開始の報告を行う手順
と、（Ｂ）メンテナンス開始の報告を受けたＨＯＳＴ
が、設備に対して製品作業のロックの指示をかける手順
と、（Ｃ）サーバがメンテナンス開始の報告を保管する
とともに表示端末に必要情報を提供する手順と、（Ｄ）
メンテナンスが完了すると、作業者は通信端末を用いて
サーバに対してメンテナンス終了の報告を行い、表示端
末に必要情報を表示する手順と、（Ｅ）リファレンスウ
エハ発行者が表示端末を用いて設備情報をチェックする
ためのリファレンスウエハを発行し、そのチェック結果
をＨＯＳＴに送信する手順と、（Ｆ）ＨＯＳＴはチェッ
ク結果がＮＧの場合はメンテナンスを指示し、チェック
結果がＯＫの場合は設備に対して適用していた製品ロッ
クの解除をして、通常の生産作業が行えるようにする手
順と、を含んで構成される。
ナンス状態チェック方法は、（Ａ）整備、故障、点検な
どにより設備のメンテナンス作業が発生した時、メンテ
ナンスを実施する作業者が、通信端末を用いてＨＯＳＴ
とサーバに対してメンテナンス開始の報告を行う手順
と、（Ｂ）メンテナンス開始の報告を受けたＨＯＳＴ
が、設備に対して製品作業のロックの指示をかける手順
と、（Ｃ）サーバがメンテナンス開始の報告を保管する
とともに表示端末に必要情報を提供する手順と、（Ｄ）
メンテナンスが完了すると、作業者は通信端末を用いて
サーバに対してメンテナンス終了の報告を行い、表示端
末に必要情報を表示する手順と、（Ｅ）リファレンスウ
エハ発行者が表示端末を用いて設備情報をチェックする
ためのリファレンスウエハを発行し、そのチェック結果
をＨＯＳＴに送信する手順と、（Ｆ）ＨＯＳＴはチェッ
ク結果がＮＧの場合はメンテナンスを指示し、チェック
結果がＯＫの場合は設備に対して適用していた製品ロッ
クの解除をして、通常の生産作業が行えるようにする手
順と、を含んで構成される。
【００１３】第２の発明の設備メンテナンス状態チェッ
ク方法は、第１の発明において、故障発生後の診断プロ
グラムの実施を、端末の通信機能を用いて遠隔操作す
る。
ク方法は、第１の発明において、故障発生後の診断プロ
グラムの実施を、端末の通信機能を用いて遠隔操作す
る。
【００１４】第３の発明の設備メンテナンス状態チェッ
ク方法は、第１の発明において、表示端末に表示させる
前記必要情報がメンテナンス実施中の設備、実施部署、
実施者、開始時間等である。
ク方法は、第１の発明において、表示端末に表示させる
前記必要情報がメンテナンス実施中の設備、実施部署、
実施者、開始時間等である。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００１６】図１および図２は本発明の一実施の形態を
示すブロック図および流れ図である。図１に示す設備メ
ンテナンス状態チェック方法は、予防保全または保全作
業が必要となった場合、オペレータが通信端末から保全
作業の開始をＨＯＳＴコンピュータ（以下ＨＯＳＴとい
う）１に通知するステップＳ１０と、ＨＯＳＴから設備
３に製品処理ロックを指示するステップＳ１１と、表示
端末５に保全作業の開始を表示させるステップＳ１２
と、オペレータに保全作業を実施させるステップＳ１３
と、表示端末５に保全作業の終了を表示させるステップ
Ｓ１４と、表示端末５からリファレンスウエハを発行す
るステップＳ１５と、リファレンスウエハによる結果判
定を行ない、ＮＧの場合はステップＳ１２に戻って再保
全するステップＳ１６と、ステップＳ１６において、リ
ファレンスウエハによる結果判定がＯＫの場合に製品処
理ロックを解除するステップＳ１７と、を含んで構成さ
れる。
示すブロック図および流れ図である。図１に示す設備メ
ンテナンス状態チェック方法は、予防保全または保全作
業が必要となった場合、オペレータが通信端末から保全
作業の開始をＨＯＳＴコンピュータ（以下ＨＯＳＴとい
う）１に通知するステップＳ１０と、ＨＯＳＴから設備
３に製品処理ロックを指示するステップＳ１１と、表示
端末５に保全作業の開始を表示させるステップＳ１２
と、オペレータに保全作業を実施させるステップＳ１３
と、表示端末５に保全作業の終了を表示させるステップ
Ｓ１４と、表示端末５からリファレンスウエハを発行す
るステップＳ１５と、リファレンスウエハによる結果判
定を行ない、ＮＧの場合はステップＳ１２に戻って再保
全するステップＳ１６と、ステップＳ１６において、リ
ファレンスウエハによる結果判定がＯＫの場合に製品処
理ロックを解除するステップＳ１７と、を含んで構成さ
れる。
【００１７】整備，故障，点検などにより設備のメンテ
ナンス作業が発生する。メンテナンスを実施する作業者
は、通信端末４を用いてＨＯＳＴ１とサーバ２に対して
メンテナンス開始の報告を行なう。
ナンス作業が発生する。メンテナンスを実施する作業者
は、通信端末４を用いてＨＯＳＴ１とサーバ２に対して
メンテナンス開始の報告を行なう。
【００１８】メンテナンス開始の報告を受けたＨＯＳＴ
１は、設備３に対して製品作業のロックの指示をかけ
る。
１は、設備３に対して製品作業のロックの指示をかけ
る。
【００１９】サーバ２は、メンテナンス開始の報告を保
管するとともに表示端末５に必要な情報、例えばメンテ
ナンス実施中の設備，実施部署，実施者，開始時間等の
情報を提供する。
管するとともに表示端末５に必要な情報、例えばメンテ
ナンス実施中の設備，実施部署，実施者，開始時間等の
情報を提供する。
【００２０】メンテナンスが完了すると、作業者は通信
端末４を用いてサーバ２に対してメンテナンス終了の報
告を行ない、表示端末５に必要情報を表示する。
端末４を用いてサーバ２に対してメンテナンス終了の報
告を行ない、表示端末５に必要情報を表示する。
【００２１】リファレンスウエハ発行者が表示端末５を
用いて設備情報をチェックするためのリファレンスウエ
ハを発行し、そのチュック結果をＨＯＳＴ１に送信す
る。
用いて設備情報をチェックするためのリファレンスウエ
ハを発行し、そのチュック結果をＨＯＳＴ１に送信す
る。
【００２２】ＨＯＳＴ１は、チェック結果がＮＧの場合
はメンテナンスを指示し、チェック結果がＯＫの場合は
設備３に対して適用していた製品ロックの解除して、通
常の生産作業が行えるようにする。
はメンテナンスを指示し、チェック結果がＯＫの場合は
設備３に対して適用していた製品ロックの解除して、通
常の生産作業が行えるようにする。
【００２３】本発明は、実際にメンテナンスが行われて
いる（製品処理にロックがかかっている）設備の停止理
由，処置内容，停止時間，メンテナンス実施者等の情報
をリアルタイムに更新して表示する。また、本発明は、
故障発生後の診断プログラムの実施を通信端末を用いて
遠隔操作ができ、メンテナンス中の設備の所要情報の管
理が容易であり、この情報の入手，表示か容易である。
いる（製品処理にロックがかかっている）設備の停止理
由，処置内容，停止時間，メンテナンス実施者等の情報
をリアルタイムに更新して表示する。また、本発明は、
故障発生後の診断プログラムの実施を通信端末を用いて
遠隔操作ができ、メンテナンス中の設備の所要情報の管
理が容易であり、この情報の入手，表示か容易である。
【００２４】
【発明の効果】本発明の設備メンテナンス状態チェック
方法は、保全作業の開始時点で設備に製品処理ロックを
かけ、リファレンスウエハを用いた設備の状態チェック
結果がＯＫとならない限り製品処理ロックを解除できな
いようにしたので、保全作業の確認以前に誤って製品処
理をする恐れがないいう効果がある。
方法は、保全作業の開始時点で設備に製品処理ロックを
かけ、リファレンスウエハを用いた設備の状態チェック
結果がＯＫとならない限り製品処理ロックを解除できな
いようにしたので、保全作業の確認以前に誤って製品処
理をする恐れがないいう効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】本発明の一実施の形態を示す流れ図である。
【図３】従来の一例を示す流れ図である。
１ ＨＯＳＴ ２ サーバ ３ 設備 ４ 通信端末 ５ 表示端末
Claims (3)
- 【請求項１】 （Ａ）整備、故障、点検などにより設備
のメンテナンス作業が発生した時、メンテナンスを実施
する作業者が、通信端末を用いてＨＯＳＴとサーバに対
してメンテナンス開始の報告を行う手順と、 （Ｂ）メンテナンス開始の報告を受けたＨＯＳＴが、設
備に対して製品作業のロックの指示をかける手順と、 （Ｃ）サーバがメンテナンス開始の報告を保管するとと
もに表示端末に必要情報を提供する手順と、 （Ｄ）メンテナンスが完了すると、作業者は通信端末を
用いてサーバに対してメンテナンス終了の報告を行い、
表示端末に必要情報を表示する手順と、 （Ｅ）リファレンスウエハ発行者が表示端末を用いて設
備情報をチェックするためのリファレンスウエハを発行
し、そのチェック結果をＨＯＳＴに送信する手順と、 （Ｆ）ＨＯＳＴはチェック結果がＮＧの場合はメンテナ
ンスを指示し、チェック結果がＯＫの場合は設備に対し
て適用していた製品ロックの解除をして、通常の生産作
業が行えるようにする手順と、 を含むことを特徴とする設備メンテナンス状態チェック
方法。 - 【請求項２】 故障発生後の診断プログラムの実施を、
端末の通信機能を用いて遠隔操作する請求項１記載の設
備メンテナンス状態チェック方法。 - 【請求項３】 表示端末に表示させる前記必要情報がメ
ンテナンス実施中の設備、実施部署、実施者、開始時間
等である請求項１記載の設備メンテナンス状態チェック
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19841198A JP2978890B1 (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 設備メンテナンス状態チェック方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19841198A JP2978890B1 (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 設備メンテナンス状態チェック方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2978890B1 true JP2978890B1 (ja) | 1999-11-15 |
| JP2000029511A JP2000029511A (ja) | 2000-01-28 |
Family
ID=16390683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19841198A Expired - Fee Related JP2978890B1 (ja) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | 設備メンテナンス状態チェック方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2978890B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102193314B1 (ko) * | 2019-07-04 | 2020-12-23 | (주)벨루션네트웍스 | 다중 회선신호 관리시스템 |
-
1998
- 1998-07-14 JP JP19841198A patent/JP2978890B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000029511A (ja) | 2000-01-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990817 |
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