JP2977594B2 - 微細電極成形装置 - Google Patents
微細電極成形装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、放電加工によって微細な細穴を加工する際
に、加工電極として使用される細径の微細電極、または
放電加工によって微細なスリットを加工する際に、加工
電極として使用される薄板状の微細電極を成形する装置
に関する。
に、加工電極として使用される細径の微細電極、または
放電加工によって微細なスリットを加工する際に、加工
電極として使用される薄板状の微細電極を成形する装置
に関する。
［従来の技術］ 放電加工機によって細穴を加工する場合、加工目的と
する細穴の径に応じた棒状の加工電極が使用され、要求
される細穴の径が小さくなるに従って、より細径の微細
電極が必要となる。
する細穴の径に応じた棒状の加工電極が使用され、要求
される細穴の径が小さくなるに従って、より細径の微細
電極が必要となる。
このような微細電極を成形加工する場合、従来は、第
６図に示すように、Ｖ溝を有する固定器60にワイヤ電極
10を周回させて走行移動させ、そのワイヤ電極10と微小
間隙を介して、棒状電極40を対向配置させ、その棒状電
極40の軸を中心として、棒状電極40を回転させるととも
に、ワイヤ電極10を含む平面（水平面）と直角に（第６
図中、上から下方向に）加工送りしながら、ワイヤ電極
10と棒状電極40との間に間欠的に電圧パルスを印加し、
繰り返し放電パルスを発生させることによって、棒状電
極40の先端部を次第に細径の微細部41に成形し、微細電
極としている。
６図に示すように、Ｖ溝を有する固定器60にワイヤ電極
10を周回させて走行移動させ、そのワイヤ電極10と微小
間隙を介して、棒状電極40を対向配置させ、その棒状電
極40の軸を中心として、棒状電極40を回転させるととも
に、ワイヤ電極10を含む平面（水平面）と直角に（第６
図中、上から下方向に）加工送りしながら、ワイヤ電極
10と棒状電極40との間に間欠的に電圧パルスを印加し、
繰り返し放電パルスを発生させることによって、棒状電
極40の先端部を次第に細径の微細部41に成形し、微細電
極としている。
［発明が解決しようとする課題］ このような従来技術では、第６図に示すように、棒状
電極40の放電加工されている部位には、加工送りによる
下向きの力と、発生する放電パルスによる右向きの放電
衝撃圧力との合力が作用し、放電加工された微細部41に
曲りが生じるという問題がある。
電極40の放電加工されている部位には、加工送りによる
下向きの力と、発生する放電パルスによる右向きの放電
衝撃圧力との合力が作用し、放電加工された微細部41に
曲りが生じるという問題がある。
この問題は、平板状電極から、スリット加工用の板厚
数μｍを有する薄板状の微細電極を成形する場合にも生
じる。
数μｍを有する薄板状の微細電極を成形する場合にも生
じる。
また、第６図における右側面図である第７図に示すよ
うに、棒状電極40に対して、ワイヤ電極10が右方に走行
移動していると、ワイヤ電極10の走行条件や棒状電極40
の回転条件によっては、棒状電極40の加工部位に、下方
への加工送りによる下向きの力と、放電衝撃圧力による
右向きの力との合力が作用し、微細部41に曲りが生じる
という問題も考えられる。
うに、棒状電極40に対して、ワイヤ電極10が右方に走行
移動していると、ワイヤ電極10の走行条件や棒状電極40
の回転条件によっては、棒状電極40の加工部位に、下方
への加工送りによる下向きの力と、放電衝撃圧力による
右向きの力との合力が作用し、微細部41に曲りが生じる
という問題も考えられる。
以上の問題に鑑み、本発明は、細径や薄板状の微細電
極を放電加工によって成形する際、曲りを生じさせるこ
となく、真直性のよい微細電極を精度よく成形すること
ができる微細電極成形装置を提供することを目的とする
ものである。
極を放電加工によって成形する際、曲りを生じさせるこ
となく、真直性のよい微細電極を精度よく成形すること
ができる微細電極成形装置を提供することを目的とする
ものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、放電加工によって微細電極を成形する微細
電極成形装置において、水平面上の一軸方向に対向して
配置される２個の固定器と、上記２個の固定器を、それ
ぞれ上記一軸方向に移動させる固定器移動手段と、別個
のワイヤ電極供給源から供給され、上記２個の固定器の
それぞれの対向面に案内され、互いに逆向きに走行する
それぞれ未使用の２本のワイヤ電極と、上記２個の固定
器の対向する部位の上方に配置される微細電極を成形す
る電極材を、上下方向に移動させる電極材移動手段と、
水平面に垂直な軸を中心として、上記電極材を回転させ
る電極材回転手段と、上記２本のワイヤ電極のそれぞれ
と上記電極材との間に、放電パルスを発生させる放電パ
ルス供給手段とを有することを特徴とする微細電極成形
装置である。
電極成形装置において、水平面上の一軸方向に対向して
配置される２個の固定器と、上記２個の固定器を、それ
ぞれ上記一軸方向に移動させる固定器移動手段と、別個
のワイヤ電極供給源から供給され、上記２個の固定器の
それぞれの対向面に案内され、互いに逆向きに走行する
それぞれ未使用の２本のワイヤ電極と、上記２個の固定
器の対向する部位の上方に配置される微細電極を成形す
る電極材を、上下方向に移動させる電極材移動手段と、
水平面に垂直な軸を中心として、上記電極材を回転させ
る電極材回転手段と、上記２本のワイヤ電極のそれぞれ
と上記電極材との間に、放電パルスを発生させる放電パ
ルス供給手段とを有することを特徴とする微細電極成形
装置である。
また、本発明は、上記２個の固定器の対向面を平行な
直線状に形成し、上記電極材として平板電極を使用する
微細電極成形装置であり、また、上記固定器移動手段と
して圧電素子を用いる微細電極成形装置である。
直線状に形成し、上記電極材として平板電極を使用する
微細電極成形装置であり、また、上記固定器移動手段と
して圧電素子を用いる微細電極成形装置である。
［実施例］ 第１図（１）は、本発明の一実施例を示す平面図、第
１図（２）は第１図（１）におけるII−II矢視縦断面図
である。
１図（２）は第１図（１）におけるII−II矢視縦断面図
である。
第２図は、一実施例の全体構成図である。
図において、水平面上一軸方向に対向して配置された
２個の固定器61および62は、この実施例において、半円
形に形成され、ワイヤ巻き取り装置10Wによって、ワイ
ヤ電極11が固定器61の円弧状対向面に案内されて走行移
動し、第２図では、図示が省略されているワイヤ巻き取
り装置10Wと同様の装置によって、ワイヤ電極12が固定
器62の円弧状対向面に案内されて走行移動する。
２個の固定器61および62は、この実施例において、半円
形に形成され、ワイヤ巻き取り装置10Wによって、ワイ
ヤ電極11が固定器61の円弧状対向面に案内されて走行移
動し、第２図では、図示が省略されているワイヤ巻き取
り装置10Wと同様の装置によって、ワイヤ電極12が固定
器62の円弧状対向面に案内されて走行移動する。
圧電素子31および32は、固定器移動手段を構成し、制
御電圧供給手段30によって圧電素子32を制御することに
よって、固定器62の上記一軸方向の位置が微調整され、
第２図では図示が省略されている制御電圧供給手段30と
同様の手段によって、圧電素子31を制御することによ
り、固定器61の上記一軸方向の位置が微調整され、ワイ
ヤ電極11と12間の間隔が所望値に保たれる。
御電圧供給手段30によって圧電素子32を制御することに
よって、固定器62の上記一軸方向の位置が微調整され、
第２図では図示が省略されている制御電圧供給手段30と
同様の手段によって、圧電素子31を制御することによ
り、固定器61の上記一軸方向の位置が微調整され、ワイ
ヤ電極11と12間の間隔が所望値に保たれる。
微細電極を成形する電極材である棒状電極40は、主軸
53（第２図）に取り付けられて２個の固定器61と62との
対向する部位の上方に配置される。また、ケース55に主
軸53とモータ51が保持され、モータ51の回転力がベルト
52を介して主軸53に伝えられ、棒状電極40がその軸を中
心として回転する。モータ51、ベルト52、およびケース
55によって棒状電極を回転させる回転手段50が構成され
る。
53（第２図）に取り付けられて２個の固定器61と62との
対向する部位の上方に配置される。また、ケース55に主
軸53とモータ51が保持され、モータ51の回転力がベルト
52を介して主軸53に伝えられ、棒状電極40がその軸を中
心として回転する。モータ51、ベルト52、およびケース
55によって棒状電極を回転させる回転手段50が構成され
る。
また、電極材移動手段を構成する主軸移動モータ56に
よってケース55が矢印のように上下に移動することによ
って、主軸53を介して棒状電極40に上下方向の移動が与
えられる。70は２本のそれぞれのワイヤ電極11および12
と電極材（棒状電極40）との間に放電パルスを発生させ
る放電パルス供給手段であり、導電性を有する主軸53に
摺動する通電ブラシ54と、導電材から形成した固定器61
および62、またはワイヤ電極11および12に接する通電ピ
ン等の慣用される通電部材とに接続されて、２本のワイ
ヤ電極11および12のそれぞれと棒状電極40との間に、間
欠的に電圧パルスが印加される（第２図ではワイヤ電極
12と棒状電極40との間に放電パルスを発生させる放電パ
ルス供給手段の図示を省略してある）。また、20は、圧
電素子31および32を支持する筐体であり、下端部21には
微細電極に成形された微細部41が通過する透孔22が設け
られている。
よってケース55が矢印のように上下に移動することによ
って、主軸53を介して棒状電極40に上下方向の移動が与
えられる。70は２本のそれぞれのワイヤ電極11および12
と電極材（棒状電極40）との間に放電パルスを発生させ
る放電パルス供給手段であり、導電性を有する主軸53に
摺動する通電ブラシ54と、導電材から形成した固定器61
および62、またはワイヤ電極11および12に接する通電ピ
ン等の慣用される通電部材とに接続されて、２本のワイ
ヤ電極11および12のそれぞれと棒状電極40との間に、間
欠的に電圧パルスが印加される（第２図ではワイヤ電極
12と棒状電極40との間に放電パルスを発生させる放電パ
ルス供給手段の図示を省略してある）。また、20は、圧
電素子31および32を支持する筐体であり、下端部21には
微細電極に成形された微細部41が通過する透孔22が設け
られている。
以上の構成によって、棒状電極40から細径の微細電極
を成形するときは、ワイヤ巻き取り装置10Wと図示しな
い同様の装置とによって、第１図（１）に矢印で示すよ
うに、ワイヤ電極11と12を対峙する加工部において互い
に逆向きに走行させ、また、モータ51によってワイヤ電
極11および12と対向する各周面がワイヤ電極と逆方向に
移動するように（第１図（１）において反時計方向
に）、棒状電極40を回転させた状態で、主軸駆動モータ
56によって棒状電極40をワイヤ電極11と12とが対峙する
間隙に向かって降下させ、棒状電極40とワイヤ電極11と
の間、および棒状電極40とワイヤ電極12との間に、放電
パルス供給手段から間欠的に電圧パルスを印加する。
を成形するときは、ワイヤ巻き取り装置10Wと図示しな
い同様の装置とによって、第１図（１）に矢印で示すよ
うに、ワイヤ電極11と12を対峙する加工部において互い
に逆向きに走行させ、また、モータ51によってワイヤ電
極11および12と対向する各周面がワイヤ電極と逆方向に
移動するように（第１図（１）において反時計方向
に）、棒状電極40を回転させた状態で、主軸駆動モータ
56によって棒状電極40をワイヤ電極11と12とが対峙する
間隙に向かって降下させ、棒状電極40とワイヤ電極11と
の間、および棒状電極40とワイヤ電極12との間に、放電
パルス供給手段から間欠的に電圧パルスを印加する。
これによって、ワイヤ電極11および12と棒状電極40の
下端部との間に放電パルスが繰り返し発生し、棒状電極
40の下部が次第に放電加工される。そして、放電加工を
継続しながら、棒状電極40に徐々に降下する加工送りを
与えることによって、棒状電極40が、ワイヤ電極11と12
との間隙から加工クリアランスの２倍を差し引いた直径
の径の細い微細部41に成形され、該微細部41が次第に長
く形成される。
下端部との間に放電パルスが繰り返し発生し、棒状電極
40の下部が次第に放電加工される。そして、放電加工を
継続しながら、棒状電極40に徐々に降下する加工送りを
与えることによって、棒状電極40が、ワイヤ電極11と12
との間隙から加工クリアランスの２倍を差し引いた直径
の径の細い微細部41に成形され、該微細部41が次第に長
く形成される。
上記実施例の場合、直径0.3mmの棒状電極40を放電加
工し、微細部41の直径が10μｍの細径の微細電極を成形
した。もちろん、棒状電極40の直径は0.3mmに限定され
ず、これよりも大きくても小さくてもよく、微細部41の
直径は10μｍよりも大きくも小さくも成形することがで
きる。微細部41の直径の調整は、圧電素子31および32に
供給する制御電圧を変えることによって、またはワイヤ
電極11および12の直径を変えることによって行われる。
工し、微細部41の直径が10μｍの細径の微細電極を成形
した。もちろん、棒状電極40の直径は0.3mmに限定され
ず、これよりも大きくても小さくてもよく、微細部41の
直径は10μｍよりも大きくも小さくも成形することがで
きる。微細部41の直径の調整は、圧電素子31および32に
供給する制御電圧を変えることによって、またはワイヤ
電極11および12の直径を変えることによって行われる。
第３図は、本発明の他の実施例を示す平面図である。
第１図の実施例では、固定器61および62の対向面が、
円弧状をなしているのに対し、第３図の実施例では、２
個の固定器61aおよび62aが、略四角形に形成され、対向
面が平行な直線状に形成されている点で相違する。
円弧状をなしているのに対し、第３図の実施例では、２
個の固定器61aおよび62aが、略四角形に形成され、対向
面が平行な直線状に形成されている点で相違する。
このように固定器61aおよび62aの対向面を直線状に形
成し、２本のワイヤ電極11および12が該対向面において
平行に走行移動するように構成することによって、対向
面が円弧状の場合のように棒状電極40の設置位置が最狭
対向部位に限定されることなく、ワイヤ電極11および12
が平行するどこの部位に棒状電極40を設置しても、所期
の細径の微細電極を成形し得る利点がある。なお、固定
器61aおよび62aの形状は長方形でも正方形でもよい。
成し、２本のワイヤ電極11および12が該対向面において
平行に走行移動するように構成することによって、対向
面が円弧状の場合のように棒状電極40の設置位置が最狭
対向部位に限定されることなく、ワイヤ電極11および12
が平行するどこの部位に棒状電極40を設置しても、所期
の細径の微細電極を成形し得る利点がある。なお、固定
器61aおよび62aの形状は長方形でも正方形でもよい。
第４図は、第３図の実施例と同様に、固定器61aおよ
び62aの対向面を直線状に形成し、２本のワイヤ電極11
および12が該対向面において平行に走行移動するように
構成し、電極材として平板電極42を用いるようにした他
の実施例の斜視図である。
び62aの対向面を直線状に形成し、２本のワイヤ電極11
および12が該対向面において平行に走行移動するように
構成し、電極材として平板電極42を用いるようにした他
の実施例の斜視図である。
この第４図の実施例によれば、平行するワイヤ電極11
および12と平行に平板電極42を設置し、電極材移動手段
（主軸駆動モータ56）によって該平板電極42をワイヤ電
極11と12間の間隙に降下させることによって、平板電極
42を薄板部43に放電加工し、たとえば板厚が数μｍのス
リット加工用の微細電極を成形することができる。この
場合、圧電素子31および32に印加する電圧を制御するこ
とによって、薄板部43の厚さを制御して数μｍの薄板状
のスリット加工用微細電極を容易に成形することができ
る。
および12と平行に平板電極42を設置し、電極材移動手段
（主軸駆動モータ56）によって該平板電極42をワイヤ電
極11と12間の間隙に降下させることによって、平板電極
42を薄板部43に放電加工し、たとえば板厚が数μｍのス
リット加工用の微細電極を成形することができる。この
場合、圧電素子31および32に印加する電圧を制御するこ
とによって、薄板部43の厚さを制御して数μｍの薄板状
のスリット加工用微細電極を容易に成形することができ
る。
上述した各実施例によれば、電極材の放電加工されて
いる部位がワイヤ電極11と12との間に挟まれた状態で加
工が進行することによって、該部位の両側から大きさが
同じで逆向きの放電衝撃圧力が作用し、該放電衝撃圧力
の作用が相殺されることになるから、第６図に示す従来
技術のように、放電加工されている部位に片側からのみ
放電衝撃圧力が作用し、放電加工された微細部41または
薄板部43に曲りを生じさせることがない。
いる部位がワイヤ電極11と12との間に挟まれた状態で加
工が進行することによって、該部位の両側から大きさが
同じで逆向きの放電衝撃圧力が作用し、該放電衝撃圧力
の作用が相殺されることになるから、第６図に示す従来
技術のように、放電加工されている部位に片側からのみ
放電衝撃圧力が作用し、放電加工された微細部41または
薄板部43に曲りを生じさせることがない。
一方、このように放電衝撃圧力の作用を相殺させて微
細部41または薄板部43の曲りを防止することは、第５図
に示す構成を採用することによっても可能である。
細部41または薄板部43の曲りを防止することは、第５図
に示す構成を採用することによっても可能である。
すなわち、第５図に示す如く、ワイヤ電極13をボビン
71から巻き取りローラ76、押えローラ77によってブレー
キローラ72、押えローラ73を介して引き出し、固定器61
の円弧状対向面からローラ74、75を経て、固定器62の円
弧状対向面を走行させ、トルクモータ79によってワイヤ
巻取部78に巻き取るように構成しても、放電加工されて
いる部位の両側から放電衝撃圧力を作用させ、該作用を
相殺することができる。
71から巻き取りローラ76、押えローラ77によってブレー
キローラ72、押えローラ73を介して引き出し、固定器61
の円弧状対向面からローラ74、75を経て、固定器62の円
弧状対向面を走行させ、トルクモータ79によってワイヤ
巻取部78に巻き取るように構成しても、放電加工されて
いる部位の両側から放電衝撃圧力を作用させ、該作用を
相殺することができる。
しかし、第５図のように１本のワイヤ電極13を二度の
放電加工に使用する構成では、固定器61部で放電にさら
され表面が荒れて消耗したワイヤ電極13が固定器62部に
供給されることになるので、固定器62部における放電加
工によって寸法や面粗さ等の加工精度が悪化したり、ワ
イヤ電極13が断線したりするおそれがある。このよう
に、１本のワイヤ電極が複数回使用される構成では精度
のよい放電加工を安定して円滑に行うことが困難であ
り、上記実施例のように、２個の固定器にそれぞれ未使
用の新しい２本のワイヤ電極が別個に供給される構成を
とることによって、放電加工による微細電極の成形を安
定した状態で精度よく行うことができる。
放電加工に使用する構成では、固定器61部で放電にさら
され表面が荒れて消耗したワイヤ電極13が固定器62部に
供給されることになるので、固定器62部における放電加
工によって寸法や面粗さ等の加工精度が悪化したり、ワ
イヤ電極13が断線したりするおそれがある。このよう
に、１本のワイヤ電極が複数回使用される構成では精度
のよい放電加工を安定して円滑に行うことが困難であ
り、上記実施例のように、２個の固定器にそれぞれ未使
用の新しい２本のワイヤ電極が別個に供給される構成を
とることによって、放電加工による微細電極の成形を安
定した状態で精度よく行うことができる。
また、第１図および第３図に示した各実施例では、２
本のワイヤ電極11および12を、棒状電極40の加工部位の
両側において矢印のように逆向きに走行させているか
ら、第７図に示した合力の作用も相殺され微細部41に曲
りを生じさせることはない。
本のワイヤ電極11および12を、棒状電極40の加工部位の
両側において矢印のように逆向きに走行させているか
ら、第７図に示した合力の作用も相殺され微細部41に曲
りを生じさせることはない。
上記実施例によれば、ワイヤ電極の走行を案内する固
定器を一軸方向に対向させて２個設け、２個の固定器の
各対向面にそれぞれ未使用の新しい２本のワイヤ電極を
別個に周回させ、２個の固定器の位置を固定器移動手段
によって調整し、微細電極を成形する電極材を電極材移
動手段によって下方に加工送りし、必要に応じて電極材
を電極材回転手段によって回転させながら、電極材の加
工部位を、互いに異なる２本のワイヤ電極間に挟んだ状
態で放電加工を行うようにしたので、加工部位には放電
衝撃圧力が両側から作用し、第６図によって説明した合
力の作用が相殺され、上記微細部に曲りを生じさせるこ
とがない。上記第７図によって説明した合力の作用も相
殺され、上記微細部に曲りを生じさせることがない。
定器を一軸方向に対向させて２個設け、２個の固定器の
各対向面にそれぞれ未使用の新しい２本のワイヤ電極を
別個に周回させ、２個の固定器の位置を固定器移動手段
によって調整し、微細電極を成形する電極材を電極材移
動手段によって下方に加工送りし、必要に応じて電極材
を電極材回転手段によって回転させながら、電極材の加
工部位を、互いに異なる２本のワイヤ電極間に挟んだ状
態で放電加工を行うようにしたので、加工部位には放電
衝撃圧力が両側から作用し、第６図によって説明した合
力の作用が相殺され、上記微細部に曲りを生じさせるこ
とがない。上記第７図によって説明した合力の作用も相
殺され、上記微細部に曲りを生じさせることがない。
また、上記実施例によれば、対向配置される２個の固
定器にそれぞれ未使用の新しい２本のワイヤ電極を別個
に周回させ、放電加工される部位の両側に常に未使用の
ワイヤ電極が更新供給されるので、ワイヤ電極を断線さ
せることなく、安定した状態で寸法、面粗さ等精度のよ
い放電加工が行われる。
定器にそれぞれ未使用の新しい２本のワイヤ電極を別個
に周回させ、放電加工される部位の両側に常に未使用の
ワイヤ電極が更新供給されるので、ワイヤ電極を断線さ
せることなく、安定した状態で寸法、面粗さ等精度のよ
い放電加工が行われる。
また、電極材として棒状電極を用い、該棒状電極を回
転させながら下方に加工送りすることによって、細径の
微細電極が成形される。また、２個の固定器の対向面を
平行な直線状に形成し、電極材として平板電極を用い、
該平板電極を下方に加工送りすることによって、薄板状
の微細電極が成形される。また、固定器移動手段として
圧電素子を用いることによって、固定器の一軸方向の位
置が高精度に微調整される。
転させながら下方に加工送りすることによって、細径の
微細電極が成形される。また、２個の固定器の対向面を
平行な直線状に形成し、電極材として平板電極を用い、
該平板電極を下方に加工送りすることによって、薄板状
の微細電極が成形される。また、固定器移動手段として
圧電素子を用いることによって、固定器の一軸方向の位
置が高精度に微調整される。
［発明の効果］ 本発明の微細電極成形装置によれば、放電加工による
微細な細穴加工に用いる直径10μｍ程度の細径の微細電
極やスリット加工に用いる板厚数μｍ程度の薄板状の微
細電極を、放電加工によって曲りを生じさせることな
く、真直性よく、また安定した状態で精度よく成形する
ことができるという効果を奏する。
微細な細穴加工に用いる直径10μｍ程度の細径の微細電
極やスリット加工に用いる板厚数μｍ程度の薄板状の微
細電極を、放電加工によって曲りを生じさせることな
く、真直性よく、また安定した状態で精度よく成形する
ことができるという効果を奏する。
第１図（１）は、本発明の一実施例を示す平面図であ
り、第１図（２）は、第１図（１）におけるII−II矢視
縦断面図である。 第２図は、上記一実施例の全体構成図である。 第３図は、本発明の他の実施例を示す平面図である。 第４図は、本発明の他の実施例を示す斜視図である。 第５図は、本発明の効果を説明する説明図である。 第６図は、従来技術における微細電極の曲りを説明する
説明図である。 第７図は、第６図における右側面図である。 11、12、13……ワイヤ電極、 20……筐体、 31、32……圧電素子、 40……棒状電極、 41……微細部、 42……平板電極、 43……薄板部、 50……回転手段、 56……主軸駆動モータ、 61、62、61a、62a……固定器、 70……放電パルス供給手段。
り、第１図（２）は、第１図（１）におけるII−II矢視
縦断面図である。 第２図は、上記一実施例の全体構成図である。 第３図は、本発明の他の実施例を示す平面図である。 第４図は、本発明の他の実施例を示す斜視図である。 第５図は、本発明の効果を説明する説明図である。 第６図は、従来技術における微細電極の曲りを説明する
説明図である。 第７図は、第６図における右側面図である。 11、12、13……ワイヤ電極、 20……筐体、 31、32……圧電素子、 40……棒状電極、 41……微細部、 42……平板電極、 43……薄板部、 50……回転手段、 56……主軸駆動モータ、 61、62、61a、62a……固定器、 70……放電パルス供給手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23H 9/14,1/04,7/22
Claims (3)
- 【請求項１】放電加工によって微細電極を成形する微細
電極成形装置において、 水平面上の一軸方向に対向して配置される２個の固定器
と； 上記２個の固定器を、それぞれ上記一軸方向に移動させ
る固定器移動手段と； 別個のワイヤ電極供給源から供給され、上記２個の固定
器のそれぞれの対向面に案内され、互いに逆向きに走行
するそれぞれ未使用の２本のワイヤ電極と； 上記２個の固定器の対向する部位の上方に配置される微
細電極を成形する電極材を、上下方向に移動させる電極
材移動手段と； 水平面に垂直な軸を中心として、上記電極材を回転させ
る電極材回転手段と； 上記２本のワイヤ電極のそれぞれと上記電極材との間
に、放電パルスを発生させる放電パルス供給手段と； を有することを特徴とする微細電極成形装置。 - 【請求項２】請求項１において、 上記２個の固定器の対向面が平行な直線状に形成され、
上記電極材は、平板電極であることを特徴とする微細電
極成形装置。 - 【請求項３】請求項１において、 上記固定器移動手段は、圧電素子であることを特徴とす
る微細電極成形装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2263455A JP2977594B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 微細電極成形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2263455A JP2977594B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 微細電極成形装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04141323A JPH04141323A (ja) | 1992-05-14 |
| JP2977594B2 true JP2977594B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=17389754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2263455A Expired - Fee Related JP2977594B2 (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | 微細電極成形装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2977594B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003019625A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-21 | Mitsutoyo Corp | ワイヤ放電加工装置及び放電加工方法 |
| CN110280859A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-27 | 浙江辉旺机械科技股份有限公司 | 一种盲孔电脉冲加工结构以及操作方法 |
-
1990
- 1990-10-01 JP JP2263455A patent/JP2977594B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04141323A (ja) | 1992-05-14 |
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