JP2955602B2 - スズメッキホイスカーの抑制方法 - Google Patents

スズメッキホイスカーの抑制方法

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JP2955602B2
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宏明 栗原
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Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムキャリアーの
インナーリードにスズメッキを施す場合にショートの原
因となるスズメッキホイスカーを抑制する方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】一般に、スズメッキ皮膜
は光沢のある外観を有し、耐食性及びハンダ付け性に優
れていることから、電子、電気機器等に広範に使用され
ている。これらスズメッキ皮膜にはいわゆる真正スズホ
イスカーが発生することが知られており、特に線幅及び
ギャップ幅が小さいフィルムキャリアーのインナーリー
ド部では、ホイスカーの発生がショートの原因となるた
め、従来から種々の対策が講じられている。
【0003】スズホイスカー抑制の一例は、例えば0.
3〜0.7μmのスズメッキを施した後、アニール処理
することが知られている。このような処理において、ア
ニールを施さないと、24時間で5μm以上の長さのホ
イスカーが多数発生し、ショートの原因となる。
【0004】また、ホイスカーを発生させないために、
スズメッキ以外の表面処理方法として、金メッキあるい
はハンダメッキを施すことが知られている。
【0005】しかしながら、スズメッキ後のアニール処
理を施すことにより、メッキ直後のホイスカー発生は抑
制されるものの、1ヶ月以内に5μm以上の長さのホイ
スカーの発生が観察され、信頼性のあるホイスカー発生
防止対策にはなり得ないものであった。
【0006】スズメッキの代わりとしての金メッキは高
価であるばかりでなく、ボンディング温度がスズの場合
は490℃であるのに対し、500℃と高く、さらに5
00℃、1秒でのボンディング時のフィンガー(インナ
ーリード)1本当たりの荷重が90gとスズメッキの場
合の60gよりも大きい力で圧着する必要がある。ま
た、ハンダメッキはSn−Pbの組成及び厚みを規格内
にコントロールすることが比較的困難であり、組成のバ
ラツキが生じ、メッキ厚さを、例えば0.3μm以下に
薄くすることが困難であり、このように薄くするとPb
が多くなり、Pbが多くなると、金バンプと熱圧着した
時に、脆い金属間化合物が生じて、ボンディング不良と
なる。なお、銅又は銅合金母材上にSn又はSn合金を
メッキし、その上にさらにSn又はSn合金をメッキす
ることが特開昭62−20895号公報に記載されてい
るが、この発明ではメッキ厚さが2μm以上必要であ
り、本願発明で意図するフィルムキャリアーのインナー
リード部のスズメッキには適用できないものである。
【0007】本発明はボンディング温度やボンディング
圧力も通常値に設定でき、安価で、信頼性の高いスズメ
ッキホイスカーを抑制し得る方法を提供することを目的
とするものである。
【0008】
【問題点を解決するための手段】フィルムキャリアーの
インナーリードにスズメッキを施すに際し、まず厚さ
0.05〜0.4μmのハンダメッキを施し、その上に
スズメッキを施し、ハンダメッキ及びスズメッキ層の合
計厚さを0.5〜1μmとし、次いで80〜150℃で
0.5〜2時間加熱処理して、メッキ厚を0.3〜0.
5μmとすることにより、前記問題点を解決したもので
ある。
【0009】通常、フィルムキャリアーのインナーリー
ドにスズメッキを施す場合、スズメッキの厚さが0.5
μm以上であると、バンプとのボンディング時にメッキ
だれを起こすことが知られており、0.4±0.1μm
になるように調整されている。すなわち、スズメッキ厚
さが0.3μmでボンディング可能となり、0.5μm
だとメッキダレで金ダンプ部の短絡が起き始めるため、
スズ単一のメッキ厚を0.5μm以下にしなければなら
ない。本発明のようにハンダメッキ及びスズメッキの複
合メッキにおいてアニール処理をすると、ハンダメッキ
中のSn及びスズメッキ中のSnがフィルムキャリアー
のCu中に拡散移行しその膜厚が減少する。そのために
本発明では、アニール処理した後のメッキ合計厚を、
0.4±0.1μmとするために、アニール処理前のス
ズメッキ及びハンダメッキの合計厚を0.5〜1μmと
するものである。
【0010】本発明において、ハンダメッキ及びスズメ
ッキは電解メッキ及び無電解メッキのいずれの方法で形
成してもよいが、メッキ厚のバラツキが少ないことから
無電解メッキとすることが好ましい。
【0011】
【発明の効果】以上のような本発明によれば、ボンディ
ング温度やボンディング圧力も通常値に設定でき、比較
的安価(金に比べ)な手段で、スズメッキホイスカーを
抑制することができ、信頼性の高いフィルムキャリアー
が得られる。また、下地としてのハンダメッキは比較的
薄くともよいため、従来からハンダメッキの問題点とさ
れていたメッキ厚及びPb−Sn組成を一定にコントロ
ールすることが容易となる。そして、このハンダメッキ
とスズメッキとを複合させ、且つメッキ後、所定のアニ
ール処理を施すという手段により、従来からスズメッキ
厚が薄くなるとホイスカーの発生を防止できないとされ
ていた常識を覆し、極めて薄いスズメッキにより、ホイ
スカーの発生防止が可能となる。
【0012】
【実施例1】フィルムキャリアー上に、無電解ハンダメ
ッキ液として、50℃のテクノフェーズ220TR−4
(株式会社シミズ社製)を使用し、無電解ハンダメッキ
を施した。次に、無電解メッキ液として、60℃のティ
ンポジットLT−34(シプレー社製)を使用し、無電
解ハンダメッキ上にスズメッキを施した。これらハンダ
メッキ及びスズメッキ時間、厚さ、Sn%等を表1に示
す。メッキ処理後、130℃で1時間のアニール処理を
施し、又は施さずに9日後、16日後、30日、60日
後に5μm以上のホイスカー数を調べた。その結果を表
1に示す。
【0013】
【表1】
【0014】表1の結果より、本発明に従って処理した
フィルムキャリアーには30日後においてもホイスカー
の発生は全く見られなかった。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フィルムキャリアーのインナーリードに
    スズメッキを施すに際し、まず厚さ0.05〜0.4μ
    mのハンダメッキを施し、その上にスズメッキを施し、
    ハンダメッキ及びスズメッキ層の合計厚さを0.5〜1
    μmとし、次いで80〜150℃で0.5〜2時間加熱
    処理して、メッキ厚を0.3〜0.5μmとすることを
    特徴とするスズメッキホイスカーの抑制方法。
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JP5375384B2 (ja) * 2009-07-10 2013-12-25 トヨタ自動車株式会社 SnまたはSn合金のめっき層を有するめっき材の製造方法およびそのめっき材

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