JP2939138B2 - 熱処理装置の物品搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の物品を熱処理す
る熱処理装置内に間欠的に物品を搬入して内部で移動さ
せて間欠的に搬出する熱処理装置の物品搬送装置に関
し、各種電気・電子装置、その部品や各種材料等を所定
温度にさらして熱処理する装置に利用される。

【０００２】

【従来の技術】電気・電子部品等の物品では同一製品が
多数製造されるが、これらを熱処理する場合には、多数
の物品を熱処理装置に収容して１タクト毎に１物品を出
し入れし、内部で熱処理のための必要な処理時間をとる
ようにした装置が用いられる。このような装置として
は、例えば、熱処理装置内にそれぞれ１組の固定回転棒
と昇降回転棒とを設け、これらの棒に、搬入された物品
を支持する位置と退避した位置との間を回転により往復
する爪を設けた装置が提案されている（特公昭６３ー５
２３０７号公報参照）。

【０００３】この装置では、物品を搬入したときには固
定側の爪を支持位置にしてその上に物品を載せ、これを
１ピッチ上に送るときには、昇降側を支持位置にして１
ピッチ上昇させて固定側の爪より下にあった昇降側の爪
で物品を１ピッチ持ち上げ、固定側爪を回転させて退避
させ、昇降側を更に１／３ピッチ上昇させ、固定側爪を
回転させて支持位置にし、昇降側を１／３ピッチ降下さ
せて物品を固定側爪にあずけ、昇降側の爪を回転させて
退避させ、昇降側を更に１ピッチ降下させ、昇降側の爪
を回転させて支持位置にし、初期状態に復帰させてい
る。しかしながら、このような装置では、爪を回転させ
る動きと昇降させる動きとの異なった性質の２種類の動
きが複雑に混在するため、動作制御が複雑になり誤動作
が発生し易い。又駆動機構も複雑になる。

【０００４】又上記公報では、実施例として、物品を上
送りさせる上昇部と下送りさせる下降部との２列を組み
合わせた熱処理装置が示されている。この装置では、最
上段で物品を１列目から２列目に移動させる横送り装置
を設けている。この横送り装置では、熱処理装置の上方
に設けたエアシリンダで駆動されるビームを外部から処
理室内に搬送方向に挿入して物品を移動させている。し
かし、このように上部にエアシリンダのような駆動機構
を配設すると、物品積載部の昇降機構と横送り装置の駆
動機構との駆動源及び駆動伝達系を共通にすることが困
難になる。昇降機構と移載機構との駆動系が別になれ
ば、これらの間に動作タイミングの制御が必要となり、
動作タイミング制御用に多くの制御部品や制御ソフト等
が必要となる。又、独立した駆動系同士のタイミング制
御は非常に難しく故障し易い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、駆動系の構造及び制御を簡単に
することが可能な熱処理装置の物品搬送装置を提供する
ことを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は、複数の物品を熱処理す
る熱処理装置内に間欠的に物品を搬入して内部で移動さ
せて間欠的に搬出する熱処理装置の物品搬送装置におい
て、前記熱処理装置内において前記物品の搬送経路の外
側に相対向して立設されたそれぞれ少なくとも１組の第
１縦部材及び第２縦部材であってそれぞれ最下段から最
上段まで等間隔に配設され前記物品に向かって突出した
複数の第１支持部材及び第２支持部材を備えた第１縦部
材及び第２縦部材と、これらを移動させる第１移動手段
及び第２移動手段と、を有し、前記第１移動手段は、前
記第１支持部材が前記搬送経路外の退避位置と前記搬送
経路内の物品支持位置との間で少なくともほぼ水平方向
に往復動するように前記第１縦部材を移動させる第１水
平動用カム及び第１水平ガイドを備え、前記第２移動手
段は、前記第１移動手段の動きに対応して前記第２支持
部材が１間隔以上垂直方向に往復動しつつ前記支持位置
と前記退避位置との間で往復動するように前記第２縦部
材を移動させる第２水平動用カム、垂直動用カム、第２
水平ガイド及び垂直ガイドを備えている、ことを特徴と
する。

【０００７】請求項２の発明は、複数の物品を熱処理す
る熱処理装置内に間欠的に物品を搬入して内部で移動さ
せて間欠的に搬出する熱処理装置の物品搬送装置であっ
て物品を多段に積載して最上段まで１間隔づつ上昇させ
る第１列装置と該第１列装置に対して物品の搬送方向に
並設され最上段から下方に物品を多段に積載して１間隔
づつ下降させる第２列装置と前記第１列装置の物品を前
記第２列装置に移動させる搬送方向移動手段とを備えた
熱処理装置の物品搬送装置において、前記搬送方向移動
手段は、前記物品の搬送方向に間隔を隔てて搬送経路外
に立設され搬送経路内で相対向する搬送方向支持部材を
備え揺動自在に支持された一対の揺動部材と、前記搬送
方向支持部材が前記第１列装置と前記第２列装置との間
でこれらの上方を往復動するように前記揺動部材を揺動
させる揺動機構と、前記搬送方向支持部材の間隔が所定
の時期に前記第１列装置上では物品の搬送方向長さより
狭まり前記第２列装置上では前記搬送方向長さより広が
るように前記揺動部材の揺動量を変化させる小揺動機構
と、を有することを特徴とし、請求項３の発明は、上記
に加えて、前記揺動機構は、前記揺動部材を往復回転さ
せるクランク及び該クランクのアームを揺動させるカム
を備えていることを特徴とし、請求項４の発明は、更に
上記に加えて、前記クランクの軸に固定された第２アー
ムを有し、前記揺動部材は長さ方向の中間部分に揺動中
心を備え、前記クランクの軸は前記第２アームを介して
前記揺動部材における支持部材とは反対側端を往復動さ
せ、前記小揺動機構は前記揺動中心を往復動させる第２
カムを備えている、ことを特徴とする。

【０００８】請求項５の発明は、請求項１の発明の特徴
に加えて、前記第１縦部材と第２縦部材とは前記熱処理
装置内において第１列装置及び第２列装置として前記物
品の搬送方向に直列に２列設けられ、物品を外部から前
記第１列装置に搬入する搬入手段と前記第１列装置の物
品を前記第２列装置に移動させる搬送方向移動手段と前
記第２列装置の物品を外部に搬出する搬出手段とを有
し、前記搬入手段は、物品を支持する第３支持部材、外
部と前記第１列装置の下部との間で前記第３支持部材を
往復動させるように変位を与える第１送り用カム及び前
記変位を拡大する第１拡大機構、並びに所定の時期に前
記第３支持部材を上下動させる第１上下動手段を備え、
前記搬送方向移動手段は、前記物品の搬送方向に間隔を
隔てて搬送経路外に立設され搬送経路内で相対向する第
４支持部材を持ち揺動自在に支持された一対の揺動部
材、前記第４支持部材が前記第１列装置と前記第２列装
置との間でこれらの上方を往復動するように前記揺動部
材を揺動させるクランク及び該クランクを揺動させる揺
動用カムを備えた揺動機構、並びに前記第４支持部材の
間隔が所定の時期に前記第１列装置上では物品の搬送方
向長さより狭まり前記第２列装置上では前記搬送方向長
さより広がるように前記揺動部材の揺動量を変化させる
小揺動機構を備え、前記搬出手段は、物品を支持する第
５支持部材、外部と前記第２列装置の下部との間で前記
第５支持部材を往復動させるように変位を与える第２送
り用カム及び前記変位を拡大する第２拡大機構、並びに
所定の時期に前記第５支持部材を上下動させる第２上下
動手段を備え、前記、第１水平動用カムと第２水平動用
カムと垂直動用カムと第１送り用カムと揺動用カムと第
２送り用カムとは１駆動手段で回転駆動される１軸で回
転されることを特徴とする。

【０００９】

【作用】請求項１の発明によれば、それぞれ少なくとも
１組の第１縦部材及び第２縦部材を設けているので、そ
れぞれの支持面により複数の物品を交互に支持すること
が可能になる。第１縦部材及び第２縦部材は、熱処理装
置内において物品の搬送経路外に立設されているので、
物品の搬送の妨げにならない。これらは、それぞれ最下
段から最上段まで等間隔に配設された複数の第１支持部
材及び第２支持部材を備えているので、支持面で複数の
物品を等間隔で支持することができる。

【００１０】第１支持部材は第１移動手段によって物品
の支持位置と退避位置との間で少なくとも水平往復移動
が可能であり、第２支持部材はこれに加えて第２移動手
段によって１間隔以上垂直方向に往復移動も可能である
ため、これらの動作を組み合わせることにより、第１支
持部材で物品を支持したり、第１支持部材を支持位置か
ら退避させて第２支持部材で支持された物品の上下動を
妨げないようにしたり、更に、第２支持部材が垂直移動
時に第１支持部材で支持された物品と干渉しないように
しつつ、物品を昇降させることができる。例えば、第２
支持部材の最下段が第１支持部材の最下段より１／２間
隔下になり、第１支持部材が支持位置で第２支持部材が
退避位置になるようにそれぞれの縦部材の初期位置を設
定し、外部から搬入された物品が第１支持部材の最下段
に載置されるとすれば、第２支持部材を支持方向に水平
移動させつつ垂直移動させ、第２支持部材で物品を支持
させ、第１支持部材を退避させ、更に第２支持部材を全
体で２間隔程度上昇させ、第１支持部材を支持位置に
し、第２支持部材を下降させて物品を第１支持部材で支
持させ、１段下の物品との干渉を回避するように第２支
持部材を下降させつつ退避させて初期位置に復帰させる
ことにより、物品を１間隔上昇させることができる。
又、類似の動作で物品を１間隔下降させることもでき
る。

【００１１】第１移動手段は第１水平動用カム及び第１
水平ガイドを備えているので、カムの形状を定めること
により、必然的に上記のようなタイミングで第１縦部材
を介して第１支持部材を水平往復動させることができ
る。前記第２移動手段は第２水平動用カム、垂直動用カ
ム、第２水平ガイド及び垂直ガイドを備えているので、
両カムの形状を定めることにより、必然的に上記のよう
なタイミングで第２縦部材を介して第２支持部材に水平
及び垂直方向の合成された往復動をさせることができ
る。この場合、モータ等の１つの駆動源で全てのカムを
回転させるようにすれば、何らのタイミング制御をする
ことなく、支持部材に上記のような動作を与えることが
できる。従って、動作が極めて安定していて、誤動作等
が発生することがない。

【００１２】以上のような支持部材及び縦部材を備えた
物品積載手段は、工場設備の都合等によって、物品を下
から搬入して上昇させ上から搬出する装置、又はこの反
対の装置、更にこれらを組み合わせて物品の搬入／搬出
を下で行う装置の何れにも使用することができる。な
お、以上において、第１移動手段を第２移動手段と同様
に水平及び垂直移動させるようにしてもよい。この場合
にも、第１支持部材と第２支持部材とで物品を交互に支
持して１間隔つづ昇降させることができる。

【００１３】請求項２の発明によれば、物品を上昇させ
る第１列装置とこれに対して物品の搬送方向に並設され
物品を下降させる第２列装置とを設け、この間で物品を
移動させる搬送方向移動手段を設けているので、上昇装
置及び下降装置として複列の装置になり、処理能力が倍
増する。又、物品の搬入及び搬出を下の同じレベルで行
うことができる。

【００１４】この搬送方向移動手段を構成する揺動自在
に支持された揺動部材は、物品の搬送方向に間隔を隔て
て搬送経路外に立設されているので、物品の搬送の障害
にならない。又、搬送経路内で相対向する搬送方向支持
部材を備えているので、搬送方向から物品を支持するこ
とが可能になる。

【００１５】揺動部材を揺動させる揺動機構は、支持部
材が第１列装置と第２列装置との間でこれらの上方を往
復動するように揺動部材を揺動させるので、支持部材が
それぞれの装置と干渉することなく第１列装置の物品を
支持して第２列装置に移動させることが可能になる。

【００１６】搬送方向移動手段は更に小揺動機構を備
え、小揺動機構は、所定の時期に搬送方向支持部材の間
隔が第１列装置上では物品の搬送方向長さより狭まるよ
うに揺動部材の揺動量を変化させる。第１列装置では、
物品を１間隔づつ上昇させるので、その動作過程におい
て、最上段では第１列装置の物品支持部材が物品を一度
持ち上げた後下降することになる。従って、所定の時期
を最上段物品が持ち上げられた後にすれば、搬送方向支
持部材が物品の長さの範囲内に入り、第１列装置の物品
支持部材の昇降中に物品を受け取って支持することがで
きる。

【００１７】小揺動機構は、又、所定の時期に支持部材
の間隔が第２列装置では物品の搬送方向長さより広くな
るように揺動量を変化させる。第２列装置では、物品を
１間隔づつ下降させるので、最上段では、第２列装置の
物品支持部材が一度上昇した後最上段支持位置まで下降
する。従って、所定の時期を第２列装置の物品支持部材
が持ち上げられた後にすれば、搬送方向支持部材がこの
支持部材に物品をあずけた後物品の長さの範囲外に出
て、第２列装置の物品支持部材に第１列装置から移動さ
せた物品を支持させることができる。

【００１８】以上のように、搬送方向移動手段は、揺動
部材と揺動機構と小揺動機構とによって第１列装置から
第２列装置へ物品を移動させることができる。この場
合、揺動部材の上方にある搬送方向支持部材を移動させ
るので、揺動機構は下方に位置することになる。その結
果、通常下方に設けられる第１列及び第２列装置の昇降
機構と揺動機構との駆動源を共用し、駆動機構を一体化
して機構の簡素化を図ることができる。又、熱処理装置
の室内の上方には揺動部材の出入りする何らの開口を必
要としない。従って、従来技術のように外部からビーム
を出し入れする装置に較べて、熱処理装置内部の雰囲気
の乱れが少なくなる。更に、揺動部材が揺動する場合に
は、揺動部材において室内に出入りする部分は殆ど生じ
ないので、部材の温度変化がない。従って、従来のよう
に外部で低温になったビームが室内に入り、室内の温度
を部分的に低下させることもない。又、搬送方向支持部
材は常に室内にあるので、従来のように外部のビームが
室内に侵入して物品を支持のとは異なり、温度変化がな
いため物品に対して温度的に悪影響を与えることがな
い。そして更に、従来のように熱処理装置にビームを取
り付けて装置内に出し入れする場合には、熱処理装置に
ビームの機構部重量を支持するために必要な強度を持っ
たフレーム等を組み込まなければならず、又、下部で支
持された昇降機構に対して、これとは別に熱処理装置の
上部で支持されたビームの相対的な位置精度を確保する
ために、熱処理装置の製作精度を上げなければならない
が、本発明では、揺動機構を下部で支持できるので、熱
処理装置は揺動機構を支持するための強度を必要としな
くなり、又、揺動機構と昇降機構とを固定する基準を一
致させることができるので、昇降機構に対する揺動機構
の位置精度の確保も容易になる。

【００１９】請求項３の発明によれば、クランク機構を
設け、クランクのアームをカムで揺動させてクランクの
軸で揺動部材を往復回転させるような揺動機構にしてい
るので、カムの形状を適当に定めることにより、揺動部
材の動作タイミングを定めることができる。この場合、
カムとクランクとを２組設け、それぞれのクランクの軸
でそれぞれの揺動部材を直接揺動させるようにしてもよ
い。又、揺動機構と小揺動機構とを一体化させ、１つの
カムの形状によって揺動と小揺動とを行わせることもで
きる。

【００２０】請求項４の発明によれば、カムで往復回転
するクランクの軸に別のクランクのアームを形成する第
２揺動部材を固定し、又、揺動部材が長さ方向の中間部
分の揺動中心で揺動するようにし、第２揺動部材を介し
て揺動部材を揺動させるようにしているので、１つのカ
ムで間隔を隔てて配設された一対の揺動部材を揺動させ
ることができると共に、カムで与える揺動量と揺動部材
の揺動量との倍率やカムと揺動部材との位置関係を任意
に決定することができる。更に、小揺動機構は別の第２
カムにより揺動部材の揺動中心を往復動させるので、精
度良く小揺動量を決定することができる。

【００２１】請求項５の発明によれば、第１列装置と第
２列装置とこれらへの物品の搬入手段と搬出手段とこれ
らの間の物品の搬送方向移動手段とを設けるので、外部
から物品を第１列装置に搬入し、上記の如く物品を上
昇、移送及び下降させ、第２列装置から物品を搬出させ
ることができる。

【００２２】この場合、搬入手段と第１及び第２列装置
における物品昇降部と搬送方向移動手段と搬出手段の駆
動伝達装置として第１水平動用カム、第２水平動用カ
ム、垂直動用カム、第１送り用カム、揺動用カム、第２
送り用カムからなるカム機構を用い、これらのカムを１
駆動手段で回転駆動される１軸で回転させるようにした
ので、駆動系が簡素化されると共に、カム曲線を相互に
関連させて決定することにより、何らの制御をしなくて
も、物品の搬入−上昇−移載−下降−搬出までの極めて
複雑な動作を確実且つ容易に行わせることができる。

【００２３】

【実施例】図１は実施例の熱処理装置の物品搬送装置を
含むピッチ搬送式クリーンオーブンの概略構造を示す。
クリーンオーブンは、断熱壁１０１で覆われた本体部１
０２、物品としてのガラス基板等のワークを搬入／搬出
するための入口／出口室１０３、１０４、機械室１０５
等で構成されている。本体部１０２は、上部から側方に
わたって配置された空調室１０６及び熱処理室１０７で
構成されてる。空調室１０６内には、送風機１０８、ヒ
ータ１０９、高性能フィルタ１１０、ダクトスペース１
１１等が配設されている。熱処理室１０７には、搬入さ
れたワークを上昇させる第１列装置のワーク積載部１、
ワークを第１列装置から第２列装置へ移動させる搬送方
向移動手段としてのワーク移動部３、ワークを下降させ
る第２列装置のワーク積載部２等が配設される。入口／
出口室１０３、１０４には、ワークを搬入／搬出するワ
ーク載置部５´、５、工場設備として入口／出口室１０
３、１０４に導入される図示しないローラコンベア等が
配設される。機械室１０５には、ワーク積載部１、２、
ワーク移動部３及びワーク載置部５、５´を駆動する駆
動装置が設けられる。

【００２４】図２はワーク積載部１の配置を示す。ワー
ク積載部１、２は同様の構造であるから、ワーク積載部
１について説明する。ワーク積載部１は、外側支持枠１
１及び内側支持枠１２で形成されている。支持枠１１、
１２は、それぞれ等間隔即ち等ピッチｐでワークＷの方
向に突出した複数の第１、第２支持部材としての基板受
け１３、１４を備えた第１、第２縦部材としての支持棒
１５、１６がワークの搬送方向に距離を隔てて連結材１
７、１８で連結されることにより構成されている。但
し、このように連結しないで搬送方向のそれぞれの支持
棒を独立させて設けてもよい。図では基板受けの一部分
のみを示しているが、実際には上下方向に多数の基板受
けが設けられる。支持棒１５、１６は図において両端を
矢印Ａで示すワークＷの搬送経路の外側に相対向して立
設されている。これらの支持棒は、図１に示す熱処理室
１０７内から室を貫通して機械室１０５まで延設されて
いる。又、図において手前側を１５ａ、１６ａ、奥側を
１５ｂ、１６ｂとして示している。

【００２５】図３は機械室１０５内に配置されたワーク
積載部１を駆動する駆動装置６の構造を示す。図では、
構造を分かり易くするために、装置の一部分を矢印Ａ
（ワーク搬送方向Ａと同じ）で示す軸方向に隔離して示
している。駆動装置６は、支持棒１５、１６を移動させ
る第１移動手段としての水平移動機構７及び第２移動手
段としての平面移動機構８で構成されている。水平移動
機構７は、図２に示す基板受け１３が搬送経路Ａ−Ａ内
から退避した退避位置と搬送経路内の支持位置との間で
ほぼ水平方向に往復動するように支持棒１５を移動させ
る第１水平動用カム７１及び第１水平ガイドとしての水
平移動板７２等を備えている。これらの部材は、実際に
は機械室１０５に支持される固定支持板６１に結合され
る。このとき、水平移動板７２のガイド溝７３は固定支
持板６１のガイド突条６２と摺動するように嵌合する。

【００２６】この水平移動板７２は、搬送経路両側の支
持棒１５ａ（図示せず）、１５ｂ（図において奥側）を
対称にガイドできるように、中心軸Ｃに対して両側対称
に７２ａ及び７２ｂとして配置されている。水平移動板
７２は、カム７１により直接駆動されてもよいが、本実
施例では、カム７１に接触して垂直移動するカムフォロ
ワ７４を傾斜端面７５ａ、７５ｂ（図示せず）を持つ中
間板７５に固定し、中間板７５を介して水平移動板７２
を水平移動させるようにしている。即ち、手前側部分に
示すように、水平移動板７２ａに図示しない溝が形成さ
れた垂直ガイド部材７６ａ（図示の第２移動手段の平面
移動機構の垂直ガイド部材８６ａと同じ。以下この部分
の構造を参照）を固定すると共に、固定支持棒６３に支
持される下部固定支持板６４を設け、一端側が該支持板
６４に回転自在に支持され他端側が垂直ガイド部材７６
ａの溝で垂直方向に摺動自在に支持され中間部分に傾斜
面７５ａでガイドされるフォロワ７７−１ａを備えたリ
ンク７７（７７ａ）を設けることにより、水平ガイド７
２を水平方向に往復動させている。そして、この水平移
動板７２（７２ｂ側を図示）を、中間ロッド７８（７８
ｂ）及び連結板７９（７９ｂ）を介して支持棒１５（１
５ｂ）と結合している。図では奥側の結合部分のみを示
している。カム７１は、固定支持板６１等に回転自在に
支持されるカム軸６５に固定され、カム軸はモータ等の
図示しない駆動源で回転駆動される。符号６６は、固定
支持板６１を支持するロッドである。符号５７ｄのロッ
ドについては後述する。

【００２７】第２移動手段としての平面移動機構８は、
水平移動機構７の動きに対応して、基板受け１４が１間
隔以上垂直方向に動きつつワークＷの支持位置と退避位
置との間で往復動するように支持棒１６を移動させる第
２水平動用カム８１、垂直動用カム９１、第２水平ガイ
ドとしての水平移動板８２等及び垂直ガイドとしての垂
直移動板９２等を備えている。

【００２８】水平移動板８２は、水平移動板７２と異な
り、そのガイド溝８３が垂直移動板９２のガイド突条９
３と摺動するように嵌合している。水平移動板８２を駆
動する機構は、水平移動板７２を駆動する機構と全く同
じで、ガイド溝８３、カムフォロワ８４、中間板８５、
垂直ガイド部材８６、リンク８７等を備えている。

【００２９】垂直移動板９２は、カム９１で駆動される
カムフォロワ９４、支持板６１の垂直ガイド突起６７と
摺動するように嵌合する垂直ガイド溝９５等を備えてい
る。その結果、水平移動板８２は、水平動と垂直動との
合成された平面内の移動動作をし、これが支持棒１６を
介して基板受け１４に搬送方向に直角な平面内の動きを
与えることになる。

【００３０】カム８１、９１も、カム７１と同じカム軸
６５に固定されている。その結果、これらのカム形状を
適当に選定することにより、基板受け１３、１４により
ワークＷを交互に支持して一段づつ間欠的に上昇させる
動きを与えることができる。従って、何らタイミング制
御を行うことなく、容易且つ円滑に基板受けを動かすこ
とができる。

【００３１】以上では第１列装置のワーク積載部１につ
いて説明した。第２列装置のワーク積載部２では、ワー
クが１段つづ下降するので、第１列装置のカム７１、８
１、９１に対応する第２列装置のカムは、第２列装置の
２種類の基板受けがワークを交互に支持して１段づつ間
欠的に下降させる動きを与えるような形状のものにな
る。第２列装置のその他の構造は第１列装置のものと同
様であるので、詳細説明を省略する。なお、駆動機構の
ごく一部分を図５に二点鎖線で示している。

【００３２】図４はワーク移動部３の構造を示す。ワー
ク移動部３は、矢印Ａで示すワークの搬送方向に間隔を
隔てて搬送経路外に立設され搬送経路内で相対向する搬
送方向支持部材としての上部基板受け３１、４１を備え
揺動自在に支持された一対の揺動部材としてのスイング
枠３２、４２と、上部基板受け３１、４１が第１列装置
と第２列装置との間でこれらの上方を往復動するように
スイング枠３２、４２を揺動させる揺動機構と、上部基
板受け３１、４１間の間隔が所定の時期に第１列装置上
では物品の搬送方向長さＬより狭まり第２列装置上では
それより広がるようにスイング枠３２、４２の揺動量を
変化させる小揺動機構とを有する。図において二点鎖線
で熱処理室１０７の境界１０７ｂを示し、スイング枠３
２、４２は貫通孔１０７ａを介して熱処理室１０７と機
械室１０５間を連通している。

【００３３】揺動機構は、本実施例では、スイング枠３
２、４２を往復運動させるクランク３３及びそのアーム
３３ａを揺動させるカム３４を備えている。この場合、
カム及びクランクを２組設け、それぞれのクランク軸に
直接スイング枠３２、４２を固定してスイングさせるこ
ともできるが、本実施例では、クランク軸３３ｂに第２
アーム３５を固定すると共に、スイング枠３２、４２の
長さ方向の中間部分に揺動中心３２ａ、４２ａ（奥側を
示す）を設け、クランク軸３３ｂが第２アーム３５及び
更に連結リンク３６、４６を介してスイング枠３２、４
２の上部基板受け３１、４１が固定されている側の他側
端３２ｂ、４２ｂを往復動させている。このようにすれ
ば、１つのカムでそれぞれのスイング枠が同時に揺動さ
れ構造が簡素化されると共に、上部基板受けの揺動量の
設定が容易になる。

【００３４】小揺動機構は、スイング枠３２、４２の揺
動中心３２ａ、４２ａを往復動させる第２カムとしての
中心移動用端面カム３７、４７を備えている。そして、
このカムに接触するカムフォロワ３８ａ、４８ａ（図示
せず）を備えた往復部材３８、４８を設け、これらの両
端を揺動中心３２ａ、４２ａと結合している。往復部材
３８、４８はロッド６６でその軸方向に摺動自在に支持
される。図４では、揺動範囲を角度の大きい一点鎖線で
示し、小揺動の範囲を揺動の両端の角度の小さい一点鎖
線で示している。

【００３５】この構造によれば、小揺動時には、他端側
３２ｂ、４２ｂを中心としてスイング枠３２、４２に小
揺動を与え、上部基板受け３１、４１の間隔を広げたり
狭めたりすることができる。但し、カム３４及びクラン
ク３３を２組設け、それぞれのクランク軸に直接スイン
グ枠３２、４２を固定してスイングさせる場合には、こ
れらを用いてカム曲線により小揺動を与えることができ
る。この場合には、揺動機構と小揺動機構とが兼用され
ることになる。なお、カム３４、３７、４７は、昇降機
構のカム軸６５と同じカム軸で回転される。

【００３６】図５はワークを搬入／搬出するワーク載置
部５´／５のうちの搬出側部分及びその駆動機構を示
す。搬出手段としてのワーク載置部５及びその駆動機構
は、物品を支持する第５支持部材としての往復上下動部
材５１、外部と第２列装置の下部との間で往復上下動部
材５１を往復動させるように変位を与える第２送り用カ
ムとしての送りカム５２及びその変位を拡大する第２拡
大機構としての拡大レバー５３等、並びに所定の時期に
第５支持部材を上下動させる第２上下動手段としての上
下動用カム５４等を備えている。搬入側のワーク積載部
５´は、搬出側のものと同様の構造でこれと対称に配置
されている。又、ワーク積載部５´の駆動機構は、ワー
ク積載部５の駆動機構と兼用される。従って、往復上下
動部材５１、送りカム５２、拡大レバー５３、上下動カ
ム５４等はそれぞれ第３支持部材、第１送りカム、第１
拡大機構、第１上下動手段の一例でもある。但し、ワー
ク積載部の駆動機構を搬入側と搬出側とでそれぞれ別個
に設けるようにしてもよい。

【００３７】往復上下動部材５１は、これに支持された
ワーク支持ロッド５１ａ、これに取り付けられた大小ピ
ン５１ｂ、５１ｃ、上下するように摺動案内される突条
５１ｄ、ワークＷ及びワーク積載部５の垂直荷重のかか
るローラ部５１ｅ等を備えている。一方、固定支持され
ているロッド６６には、往復部材５５が摺動自在に支持
され、図では分離して示されているが往復上下動部材５
１の突条５１ｄが往復部材５５の溝５５ａに嵌合され
る。往復部材５５には、往復運動を与えられるための突
出部５５ｂが延設されている。

【００３８】往復動及びその拡大機構は、送りカム５
２、カムフォロワ５６ａを備えた軸５６ｂ及びレバー５
６ｃ、このレバーを回転自在に支持する固定された軸５
６ｄ、この軸で回転自在に支持され軸５６ｂに結合され
レバー５６ｃの動きを拡大する前記拡大レバー５３、更
に動きを拡大するための滑車系５７を構成する一次ワイ
ヤ５７ａ、これを係止し拡大レバー５３の揺動により往
復動される往復係止部材５７ｂ、ワイヤが巻き掛けられ
る両端の固定プーリ５７ｃ、２列の溝を持ちこのワイヤ
が一方の溝に巻き付けられ往復係止部材に回転自在に取
り付けられた移動プーリ５７ｄ、この他方側の溝に巻き
付けられる二次ワイヤ５７ｅ、このワイヤが巻き掛けら
れる固定プーリ５７ｆ、５７ｇ等で構成されている。そ
して、二次ワイヤ５７ｅの途中が前記往復部材５５の突
出部５５ｂに係止され、ワイヤの動きにより往復部材を
介してワーク支持ロッド５１ａが往復動するようになっ
ている。この二次ワイヤ５７ｅは、図において左方向の
他端側まで延長されて図示しない他端側の固定プーリに
巻き掛けられると共に、他端の搬入側の往復部材の突出
部に係止されている。その結果、搬入側のワーク積載部
５´は、同じ往復機構により搬出側のワーク積載部５と
同じ時期に同じ方向に動かされる。

【００３９】上下動機構は、上下動用カム５４、これに
接触するカムフォロワ５８ａを備えた軸５８ｂが固定さ
れロッド６６で摺動自在に支持される横部材５８ｃ、こ
れに固定される往復ロッド５８ｄ、これに固定される縦
部材５８ｅ、その溝部でガイドされるローラ部を両端に
備え上下動もできる横ロッド５８ｆ、これに固定されそ
の往復動を伝達される長手部材５８ｇ、これに固定され
た突起５８ｈを嵌合する斜め溝５８ｉを備え固定されて
いる斜めガイド部材５８ｊ等で構成されている。その結
果、上下動用カム５４の変位が水平往復動として長手部
材５８ｇに伝達され、その突起５８ｈが斜めガイド部材
５８ｊでガイドされることによりその勾配分だけ長手部
材５８ｇが上下動することになる。そして、この長手部
材５８ｇの上面に前記往復上下動部材５１のローラ部５
１ｅが乗っていて、長手部材の上下動によりローラ部を
介してワーク積載部５が上下動する。なお、往復ロッド
５８ｄは図示しない他端側まで延設されていて、他端側
に配設されている搬入側のワーク積載部５´がワーク積
載部５と同じ時期に同じ方向に上下動するようになって
いる。

【００４０】このような往復動及び上下動機構により、
ワークＷはそれぞれ用のカム５２及び５４のカム曲線に
従って往復動と上下動の合成された動きする。その結
果、搬入側では、ワーク積載部５´が、図示しないロー
ラコンベア等で搬送されたワークの下から上に動いてワ
ークを受け取り、これを第１列装置の最下段基板受けに
支持させ、搬出側では、第２段装置の最下段基板受けの
ワークを受け取って図示しないローラコンベア等にワー
クを載せることができる。なお、カム５２、５４は円筒
体５９の側面に切られていて、昇降機構等のカムと同じ
カム軸６５に取り付けられている。カム軸６５の端は、
固定された支持枠６８に回転自在に軸支されている。
又、符号６９ａは固定支持板６１及び支持枠６８で支持
された支持ロッド、符号６９ｂは軸５６ｄを固定支持す
る支持部材であり、一部分だけの構造を２点鎖線で示す
部分は２列装置の昇降駆動機構である。

【００４１】以上のような構成により、熱処理装置の物
品搬送装置は次のように作動する。図６は、第１列装置
でワークＷを１段づつ上昇させるときの動作の一例を示
す。図では、Ｓ０で示す初期位置のように、水平動のみ
を行う基板受け１３及び水平と昇降の合成された平面動
を行う基板受け１４を、それぞれ３枚づつ示し、基板受
け１４を基板受け１３より下に配置してそれぞれの間を
０．５ピッチ（ｐ）だけずらせて配置した場合を示す。
説明を簡単にするために、それぞれの基板受け１３、１
４をＰ、Ｑで表示し、下から順次それぞれＰ１、Ｐ２、
Ｐ３、Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３で表示し、都合により、これら
の基板受けが中間部分のものであったり、上又は下の基
板受けＰ３、Ｑ３又はＰ１、Ｑ１が最上段又は最下段の
基板受けであるものとして説明する。これらの基板受け
に載っているワークＷ１、Ｗ２、Ｗ３についても同様と
する。なお、基板受けの移動を分かり易くするために、
基板受けＱ２のワークＷ側の位置を黒塗りした三角印で
示し、各ステップ毎のこの位置の移動を線でつないで示
した。

【００４２】カム軸６５（図３）及びこれに固定された
カムが回転すると、Ｓ０からＳ５までの動作が行われて
初期状態に復帰する。図ではステップ毎に示している
が、これらの動作は円滑且つ連続的に行われる。

【００４３】Ｓ１では、平面移動する基板受けＱ１、
２、３が、ワーク支持位置になると共に０．５ｐ余り上
昇し、水平移動する基板受けＰ１、２、３で支持されて
いたワークＷ１、２、３を支持して持ち上げる。曲線は
Ｑ２の支持端の軌跡を示す。Ｓ２では、Ｑが１．５ｐま
で更に上昇する。このときには、ワークの上昇を妨げな
いように、Ｐ２上の矢印で示す如くＰはワーク支持位置
から退避している。Ｓ３では、更にＱが上昇し、その間
にＰがＰ２上の矢印で示す如くワーク支持位置に復帰動
を始める。Ｓ４では、Ｑが最上昇した位置から１段上の
Ｐの位置を通過して下降している。この前の段階でＰ２
の下に表示した矢印に示すようにＰが元の位置に完全に
復帰していて、Ｑ２上にあったワークＷ２がＰ３に支持
されているようにワークは１段上の位置で支持される。
Ｓ５では、ワークを１段上のＰに支持させたＱがその下
の段のＰに支持されたワークと干渉することのないよう
に、ワーク支持位置から退避しつつ下降し、初期位置に
復帰する。このように、Ｐが水平往復動する間にＱは曲
線の矢印で示すような平面動作を行ない、それぞれのワ
ークを１段上のＰに支持させる。即ち、ワークを１段上
昇させる。従って、第１列装置の全てのカムは、基板受
けにこのような動作を与えるような形状になっている。

【００４４】このような動作において、最上段のＰ３で
支持されたワークＷ３は、最上段のＱ３によってＰ３の
位置よりも高く持ち上げられる。後述するように、最上
段ワークＷ３がＰ３より高く昇降される間に、図４に示
すスイング枠３２、４２が小揺動し、上部基板受け３
１、４１で支持される。一方、最下段のＰ１上には、Ｗ
１が上昇された後、例えばステップＳ３位から次のワー
クＷ０が搬入されて載置される。

【００４５】図７は第２列装置においてワークを１段づ
つ下降させる場合を示す。基板受け等の符号等は図６と
同じである。カム軸６５（図３）及びこれに固定された
カムの回転によりＳ０からＳ５までの動作が行われて初
期状態に復帰する。Ｓ１では、Ｑ１、２、３が、退避位
置からそのままワークを支持することなく１ｐ程度上昇
し、１段上のＰ及びこれに支持されたＷ位置をバイパス
する。Ｓ２では、Ｑが更に上昇すると共にワーク支持位
置まで平面移動する。Ｓ３では、Ｑ１、２、３が初期位
置から２Ｐ近くまで更に上昇し、一段上のＰ２、３、４
（図示せず）で支持されていたＷ２、３、４（図示せ
ず）を支持して持ち上げる。ＷがＱで支持されると、Ｐ
２上の矢印の如くＰは支持位置から後退を始める。Ｓ４
では、Ｑが１段上のＷを支持して下降し、Ｐによる最初
のワーク支持位置を通過する状態を示す。このときに
は、Ｐ２上の矢印の如くＰは完全に退避位置になってい
て、１段上のＷの下降を妨げない。Ｓ５では、Ｐ３上の
矢印のようにＰが最初のワーク支持位置まで復帰し、Ｑ
が更に下降して１段下のＰにＷを支持させ、その後平面
動作をして初期位置に復帰する。このように、Ｐが水平
往復動する間にＱは曲線の矢印で示すような平面動作を
行ない、それぞれのワークを１段下のＰに支持させる。
即ち、ワークを１段下降させる。

【００４６】このような動作において、最上段のＱ３
は、Ｐ３位置を超えて昇降する間に、上部基板受けで１
列装置から２列装置へ移動された２列装置の最上段のＷ
（図示せず）を受け取り、最上段のＰ３に支持させる。
一方、最下段のＰ１上のＷ１は、Ｗ２が下降する前に外
部に搬出され、Ｐ１上ではＷ２を載置できる状態になっ
ている。

【００４７】図８は他の動作例を示す。上記では、Ｐが
水平動のみを行う場合のワークの昇降について説明した
が、図示の如くＰがＱと同様な平面動作をするようにし
てもよい。同図（ａ）はワークを上昇させる過程を示
す。まずＰが一度昇降する（Ｓ１）。この間に最上段の
Ｗを小揺動する上部基板受けに移載する。Ｑ１（他のＱ
も同じ）は、Ｐ１より少し下の初期位置からＰ１が支持
したＷ１を受け取って０・５ｐ余り上昇する（Ｓ２）。
ワーク支持状態から開放されたＰ２（たのＰも同じ）
は、支持位置から退避、下降、支持位置への前進、上昇
により再び初期位置に復帰し、この間にＱ１で上昇され
たＷ１を受け取り、Ｗ１を１段上昇させる（Ｓ３）。Ｗ
１をＰ２に支持させたＱ１は、その後初期位置に復帰す
る（Ｓ４）。最下段では、初期位置に復帰したＰ１に搬
入されたワークが載置される。

【００４８】同図（ｂ）はワークを下降させる過程を示
す。Ｐ２は、支持したＷ２を一度高く持ち上げ（Ｓ
１）、その後初期位置を通過して更に０・５ｐ以上下降
して支持位置にあるＱ１にＷ２を支持させ、ワーク支持
状態から開放されて支持位置から退避しつつ上昇して再
び初期の支持位置に復帰する（Ｓ２）。Ｑ１は、Ｗ２を
支持して下降し、初期位置に復帰しているＰ１にＷ２を
支持させた後初期位置に復帰する（Ｓ３）。最上段のＰ
にはワークが載置されていなく、その昇降の間に上部基
板受けのワークを受け取る。最下段では、ワーク下降動
作開始前にワークが搬出されている。

【００４９】図９（ａ）、（ｂ）は、それぞれ処理室内
へのワークの搬入、搬出動作の一例を示す。 （ａ）において、搬入側のワーク積載部５´のワーク支
持ロッド５１ａ´は、図示しないコンベア等からワーク
Ｗ０を持ち上げてその小ピン５１ｃ´で支持すると共に
大ピン５１ｂ´で位置決めし、ロッド５１ａ´の水平移
動によりＷ０の先端Ｒが処理室内の搬送方向の奥側の最
下段基板受けＰ１の上の位置Ｒ´に来ると、下降してＷ
０をＰ１で支持させ、その後水平移動と上昇とにより初
期位置に復帰する。このようにしてワークを図１に示す
入口室１０３から処理室１０７内に搬入し第１列装置の
最下段の基板受けに載せることができる。

【００５０】（ｂ）では、ワーク支持ロッド５１ａは、
ワークを載置しない状態で水平移動によりその先端部が
処理室内の搬送方向の奥側の最下段基板受けＰ１の下の
位置に来ると、上昇してＰ１からＷ１を受け取り、その
後水平移動と再度の下降とにより初期位置に復帰する。
この下降中に図示しないコンベア等にワークＷ１が移載
される。このようにして図１に示す熱処理室１０７の第
２列装置の最下段基板受けに積載されたワークを出口室
１０４に搬出することができる。従って、搬入搬出装置
のカム５２、５４の形状等は、第１列及び第２列装置の
昇降動作との関連で上記のような搬入／搬出動作ができ
るように定められる。

【００５１】図１０は、搬送方向移動手段の小揺動機構
によるワーク移送の動作例を示す。（ａ）は、スイング
枠３２、４２が揺動して第１列装置上に来た状態を示
す。第１列装置の最上段基板受けＱは、図６でも示した
ように、ワーク上昇時に最上段基板受けＰ上のワークＷ
を受け取ってそれより高くＱ´の位置まで上昇する。こ
の上昇後、図４に示した小揺動機構が作動し、スイング
枠３２、４２は点線で示す３２´、４２´位置まで間隔
を狭めるように動く。これにより、上部基板受け３１、
４１も３１´、４１´の位置になり、その間隔が狭まっ
てワークＷを支持する位置に来る。そして、Ｑが下降し
て来たときにそれに支持されたワークＷを受け取る。即
ち、最上段のワークＷは搬送方向移動手段に移載され
る。

【００５２】（ｂ）は、上記のようにスイング枠３２、
４２がその上部基板受け３１、４１で第１列装置の最上
段ワークＷを支持した後揺動して第２列装置上に来た状
態を示す。第２列装置の最上段基板受けＱは、図７でも
示したように、ワーク下降時にワークを支持しない状態
で最上段基板受けＰより高くＱ´の位置まで上昇する。
そして、この過程で上部基板受け３１、４１上のワーク
Ｗを受け取る。この上昇後、図４に示した小揺動機構が
作動し、スイング枠３２、４２は点線で示す３２´、４
２´位置まで間隔を広げるように動く。これにより、上
部基板受け３１、４１も３１´、４１´の位置になり、
その間隔が広がってワークＷを支持する位置から退避す
る。そして、Ｑが下降して来たときにそれに支持された
ワークＷを通過させる。その結果、Ｗは搬送方向移動手
段から第２列最上段のＰに移載される。搬送方向移動手
段のカム形状等は、このような動作ができるように決定
される。

【００５３】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、第１及び第２移動手段にカムを用いる
ので、カム形状を定めるだけで、第１及び第２支持部材
で物品を１段づつ上昇又は下降させる複雑な動作を行わ
せることができる。従って、難しいタイミング制御を一
切必要としない。その結果、誤動作等が発生せず装置が
安定して確実に作動すると共に、装置が簡単で低コスト
化される。又、１つの駆動源で駆動される１軸で全ての
カムを駆動することが可能になり、移動手段の駆動系の
構造を簡単にすることができる。

【００５４】請求項２の発明においては、揺動部材を揺
動させる揺動機構と小揺動機構とは上方にある揺動部材
の反対側である下方に位置することになるため、通常下
方に設けられる第１列及び第２列装置の昇降機構と駆動
源を共用することが可能になる。又、駆動機構を一体化
して機構の簡素化を図ることが容易になる。更に、揺動
部材は熱処理装置の室内で揺動するので、上部に開口が
ないため室内雰囲気の乱れが少なくなる。又、揺動部材
の温度変化がないため物品に対して温度的な悪影響を与
えることがない。

【００５５】請求項３の発明においては、請求項２の発
明の効果に加えて、揺動機構にカムを用いるので、カム
の形状を適当に定めることにより、揺動部材の複雑な運
動を容易に且つ確実に行わせることができる。請求項４
の発明においては、上記に加えて、揺動部材の小揺動を
別のカムで行わせるので、精度良く小揺動量を決定する
ことができる。

【００５６】請求項５の発明においては、物品の搬入／
搬出、昇降及び移載に必要な動作を全て１駆動手段で回
転駆動される１軸で回転されるカムにより行うようにし
たので、駆動系が簡素化されると共に、カム曲線を相互
に関連させて決定することにより、何らの制御をしなく
ても、物品の搬入−上昇−移載−下降−搬出までの極め
て複雑な全ての動作を確実且つ容易に行わせることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の熱処理装置及びその物品搬送装置の概
略配置を示し、（ａ）は正面図で（ｂ）は平面図であ
る。

【図２】第１列装置のワーク積載部の構造を示す斜視図
である。

【図３】第１列装置のワーク積載部の駆動装置を示す斜
視図である。

【図４】ワーク移動部の構造を示す斜視図である。

【図５】搬出側のワーク載置部及びその駆動装置の構造
を示す斜視図である。

【図６】第１列装置のワーク積載部のワーク上昇動作の
説明図である。

【図７】第２列装置のワーク積載部のワーク下降動作の
説明図である。

【図８】他の実施例のワーク積載部の動作の説明図で、
（ａ）は第１列装置の上昇時で（ｂ）は第２列装置の下
降時である。

【図９】（ａ）及び（ｂ）は、ワーク搬入及び搬出時の
動作を示す説明図である。

【図１０】搬送方向移動手段の動作を示し、（ａ）は第
１列装置からワークを受け取る動作で（ｂ）は第２列装
置へワークを渡す動作を示す。

【符号の説明】

１ ワーク積載部（第１列装置） ２ ワーク積載部（第２列装置） ３ ワーク移動部（搬送方向移動手段） ５、５´ ワーク載置部（搬出、搬入手段） ７ 水平移動機構（第１移動手段） ８ 平面移動機構（第２移動手段） １１ 外側支持枠（第１縦部材） １２ 内側支持枠（第２縦部材） １３ 基板受け（第１支持部材） １４ 基板受け（第２支持部材） １５ 支持棒（第１縦部材） １６ 支持棒（第２縦部材） ３１ 上部基板受け（搬送方向支持部材、
第４支持部材） ３２ スイング枠（揺動部材） ３２ａ 揺動中心 ３３ クランク（クランク、揺動機構） ３３ａ アーム（アーム、揺動機構） ３４ カム（カム、揺動機構） ３５ 第２アーム（第２アーム、揺動機
構） ３７ 中心移動用端面カム（第２カム、小
揺動機構） ４１ 上部基板受け（搬送方向支持部材、
第４支持部材） ４２ スイング枠（揺動部材） ４２ａ 揺動中心 ４７ 中心移動用端面カム（第２カム、小
揺動機構） ５１ 往復上下動部材（第３、第５支持部
材） ５２ 送りカム（第１、第２送り用カム） ５３ 拡大レバー（第１、第２拡大機構） ５７ 滑車系（第１、第２拡大機構） ７１ 第１水平動用カム ７２ 水平移動板（第１水平ガイド） ８１ 第２水平動用カム ８２ 水平移動板（第２水平ガイド） ９１ 垂直動用カム ９２ 垂直移動板（垂直ガイド） １０７ 熱処理室（熱処理装置内）

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の物品を熱処理する熱処理装置内に
   間欠的に物品を搬入して内部で移動させて間欠的に搬出
   する熱処理装置の物品搬送装置において、 前記熱処理装置内において前記物品の搬送経路の外側に
   相対向して立設されたそれぞれ少なくとも１組の第１縦
   部材及び第２縦部材であってそれぞれ最下段から最上段
   まで等間隔に配設され前記物品に向かって突出した複数
   の第１支持部材及び第２支持部材を備えた第１縦部材及
   び第２縦部材と、これらを移動させる第１移動手段及び
   第２移動手段と、を有し、前記第１移動手段は、前記第
   １支持部材が前記搬送経路外の退避位置と前記搬送経路
   内の物品支持位置との間で少なくともほぼ水平方向に往
   復動するように前記第１縦部材を移動させる第１水平動
   用カム及び第１水平ガイドを備え、前記第２移動手段
   は、前記第１移動手段の動きに対応して前記第２支持部
   材が１間隔以上垂直方向に往復動しつつ前記支持位置と
   前記退避位置との間で往復動するように前記第２縦部材
   を移動させる第２水平動用カム、垂直動用カム、第２水
   平ガイド及び垂直ガイドを備えている、ことを特徴とす
   る熱処理装置の物品搬送装置。
2. 【請求項２】 複数の物品を熱処理する熱処理装置内に
   間欠的に物品を搬入して内部で移動させて間欠的に搬出
   する熱処理装置の物品搬送装置であって物品を多段に積
   載して最上段まで１間隔づつ上昇させる第１列装置と該
   第１列装置に対して物品の搬送方向に並設され最上段か
   ら下方に物品を多段に積載して１間隔づつ下降させる第
   ２列装置と前記第１列装置の物品を前記第２列装置に移
   動させる搬送方向移動手段とを備えた熱処理装置の物品
   搬送装置において、 前記搬送方向移動手段は、前記物品の搬送方向に間隔を
   隔てて搬送経路外に立設され搬送経路内で相対向する搬
   送方向支持部材を備え揺動自在に支持された一対の揺動
   部材と、前記搬送方向支持部材が前記第１列装置と前記
   第２列装置との間でこれらの上方を往復動するように前
   記揺動部材を揺動させる揺動機構と、前記搬送方向支持
   部材の間隔が所定の時期に前記第１列装置上では物品の
   搬送方向長さより狭まり前記第２列装置上では前記搬送
   方向長さより広がるように前記揺動部材の揺動量を変化
   させる小揺動機構と、を有することを特徴とする熱処理
   装置の物品搬送装置。
3. 【請求項３】 前記揺動機構は、前記揺動部材を往復回
   転させるクランク及び該クランクのアームを揺動させる
   カムを備えていることを特徴とする請求項２に記載の熱
   処理装置の物品搬送装置。
4. 【請求項４】 前記クランクの軸に固定された第２アー
   ムを有し、前記揺動部材は長さ方向の中間部分に揺動中
   心を備え、前記クランクの軸は前記第２アームを介して
   前記揺動部材における支持部材とは反対側端を往復動さ
   せ、前記小揺動機構は前記揺動中心を往復動させる第２
   カムを備えている、ことを特徴とする請求項３に記載の
   熱処理装置の物品搬送装置。
5. 【請求項５】 前記第１縦部材と第２縦部材とは前記熱
   処理装置内において第１列装置及び第２列装置として前
   記物品の搬送方向に直列に２列設けられ、物品を外部か
   ら前記第１列装置に搬入する搬入手段と前記第１列装置
   の物品を前記第２列装置に移動させる搬送方向移動手段
   と前記第２列装置の物品を外部に搬出する搬出手段とを
   有し、前記搬入手段は、物品を支持する第３支持部材、
   外部と前記第１列装置の下部との間で前記第３支持部材
   を往復動させるように変位を与える第１送り用カム及び
   前記変位を拡大する第１拡大機構、並びに所定の時期に
   前記第３支持部材を上下動させる第１上下動手段を備
   え、前記搬送方向移動手段は、前記物品の搬送方向に間
   隔を隔てて搬送経路外に立設され搬送経路内で相対向す
   る第４支持部材を持ち揺動自在に支持された一対の揺動
   部材、前記第４支持部材が前記第１列装置と前記第２列
   装置との間でこれらの上方を往復動するように前記揺動
   部材を揺動させるクランク及び該クランクを揺動させる
   揺動用カムを備えた揺動機構、並びに前記第４支持部材
   の間隔が所定の時期に前記第１列装置上では物品の搬送
   方向長さより狭まり前記第２列装置上では前記搬送方向
   長さより広がるように前記揺動部材の揺動量を変化させ
   る小揺動機構を備え、前記搬出手段は、物品を支持する
   第５支持部材、外部と前記第２列装置の下部との間で前
   記第５支持部材を往復動させるように変位を与える第２
   送り用カム及び前記変位を拡大する第２拡大機構、並び
   に所定の時期に前記第５支持部材を上下動させる第２上
   下動手段を備え、前記、第１水平動用カムと第２水平動
   用カムと垂直動用カムと第１送り用カムと揺動用カムと
   第２送り用カムとは１駆動手段で回転駆動される１軸で
   回転されることを特徴とする請求項１に記載の熱処理装
   置の物品搬送装置。