JP2910946B2 - 空気浄化調和装置 - Google Patents
空気浄化調和装置Info
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- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，クリーンルーム等のよ
うに清浄空気を必要とする設備に有利に適用できる空気
浄化調和装置に関する。
うに清浄空気を必要とする設備に有利に適用できる空気
浄化調和装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】空気の温度と湿度を調節する空気調和に
空気の清浄機能を具備させるためには一般にフイルタが
用いられる。高性能フイルタ（HEPAフイルタやULPAフイ
ルタ)を用いれば空気中の同伴する粒子を意図する清浄
度まで捕集することができる。しかし，ガス成分やガス
成分に近い微小粒子の捕集まではフイルタでは捕集でき
ない。
空気の清浄機能を具備させるためには一般にフイルタが
用いられる。高性能フイルタ（HEPAフイルタやULPAフイ
ルタ)を用いれば空気中の同伴する粒子を意図する清浄
度まで捕集することができる。しかし，ガス成分やガス
成分に近い微小粒子の捕集まではフイルタでは捕集でき
ない。
【０００３】かようなフイルタの捕集機能では除去でき
ないガス成分や微小粒子 (本明細書ではこれを総合して
「不純物ガス」と呼ぶことにする)を除去するには, 吸
着剤(例えば活性炭) に吸着させる方式と，スクラバー
方式が良く知られている。
ないガス成分や微小粒子 (本明細書ではこれを総合して
「不純物ガス」と呼ぶことにする)を除去するには, 吸
着剤(例えば活性炭) に吸着させる方式と，スクラバー
方式が良く知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】吸着剤を用いる方式は
空気調和器内に設置可能であり，取り付けも簡単で設備
構成も単純であるという利点があるが，処理時間の経過
と共に吸着剤の能力が低下するので，必要な吸着能力を
維持させるためには，定期的な吸着剤の交換や再生を必
要とする。特に, 最近の高度クリーンルームのように不
純物ガスまでもほぼ完全に除去した超清浄域を必要とす
る場合に，吸着能力の経時的な低下が起きることは問題
がある。また，この方式では空気調和器に組み込んださ
いに圧力損失が大きくなり，送風機動力を多く必要とす
るという問題を伴う。
空気調和器内に設置可能であり，取り付けも簡単で設備
構成も単純であるという利点があるが，処理時間の経過
と共に吸着剤の能力が低下するので，必要な吸着能力を
維持させるためには，定期的な吸着剤の交換や再生を必
要とする。特に, 最近の高度クリーンルームのように不
純物ガスまでもほぼ完全に除去した超清浄域を必要とす
る場合に，吸着能力の経時的な低下が起きることは問題
がある。また，この方式では空気調和器に組み込んださ
いに圧力損失が大きくなり，送風機動力を多く必要とす
るという問題を伴う。
【０００５】他方，通常のスクラバー方式は空気流れと
水または薬品の液滴とを接触させて空気中の不純物ガス
をこの液滴に吸収させ，この液滴を空気流から分離する
ものであるが，不純物ガスを空気流から完全に分離する
ことは困難であり，高度に浄化された空気を得ることは
できない。また，特殊なスクラバー方式として液滴を帯
電させ，塵埃粒子を静電気力によって液滴に吸着させる
方式のものもあるが，塵埃粒子を吸着した液滴は重力に
よって沈降分離されるものであるから，やはり高度に浄
化された空気を安定して得ることは困難である。そし
て，いずれのスクラバー方式でも多量の水を必要とし，
また水の水質も水道水程度を対象としており，クリーン
ルーム等のように清浄空気を必要とする設備では適用で
きない。
水または薬品の液滴とを接触させて空気中の不純物ガス
をこの液滴に吸収させ，この液滴を空気流から分離する
ものであるが，不純物ガスを空気流から完全に分離する
ことは困難であり，高度に浄化された空気を得ることは
できない。また，特殊なスクラバー方式として液滴を帯
電させ，塵埃粒子を静電気力によって液滴に吸着させる
方式のものもあるが，塵埃粒子を吸着した液滴は重力に
よって沈降分離されるものであるから，やはり高度に浄
化された空気を安定して得ることは困難である。そし
て，いずれのスクラバー方式でも多量の水を必要とし，
また水の水質も水道水程度を対象としており，クリーン
ルーム等のように清浄空気を必要とする設備では適用で
きない。
【０００６】一方，クリーンルームでは空気の温湿度調
節も重要な要素であり，このための空気調和器を必要と
する。この空気調和器にはクリーンルーム内に取入れる
新鮮な外気を処理する外調器と，クリーンルーム内を循
環する空気を再処理する一般空気調和器と設けられる
が，いずれにしても，これらの空気調和器において，HE
PAフイルタでは除去しきれない空気中の不純物ガスを除
去することができれば，省設備的に高度なクリーンルー
ムを構築することができる。
節も重要な要素であり，このための空気調和器を必要と
する。この空気調和器にはクリーンルーム内に取入れる
新鮮な外気を処理する外調器と，クリーンルーム内を循
環する空気を再処理する一般空気調和器と設けられる
が，いずれにしても，これらの空気調和器において，HE
PAフイルタでは除去しきれない空気中の不純物ガスを除
去することができれば，省設備的に高度なクリーンルー
ムを構築することができる。
【０００７】本発明は，このような課題の解決を目的と
したものである。
したものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば，空気取
入口から空気吐出口に至るケーシング内の空気通路にお
いて，イオナイザ，純水噴霧装置および電気集塵機を空
気の流れの順に配置してなる空気浄化部と，この空気浄
化部を通過した空気を調温するための熱交換器とを設置
した空気浄化調和装置を提供する。そのさい，イオナイ
ザは紫外線照射装置と置換または併用することができ
る。また純水噴霧装置の前にオゾン発生器を取り付けて
もよい。使用する純水は比抵抗が10×104Ω・cm以上の
ものを用いる。空気を調温するための熱交換器は空気冷
却器と空気加熱器とで構成し，空気冷却器で空気の露点
調節を行い，空気加熱器で空気の乾球温度調節を行う。
入口から空気吐出口に至るケーシング内の空気通路にお
いて，イオナイザ，純水噴霧装置および電気集塵機を空
気の流れの順に配置してなる空気浄化部と，この空気浄
化部を通過した空気を調温するための熱交換器とを設置
した空気浄化調和装置を提供する。そのさい，イオナイ
ザは紫外線照射装置と置換または併用することができ
る。また純水噴霧装置の前にオゾン発生器を取り付けて
もよい。使用する純水は比抵抗が10×104Ω・cm以上の
ものを用いる。空気を調温するための熱交換器は空気冷
却器と空気加熱器とで構成し，空気冷却器で空気の露点
調節を行い，空気加熱器で空気の乾球温度調節を行う。
【０００９】
【作用】純粋にH2Oからなる純水は比抵抗が高い。比抵
抗が10×104Ω・cm以上のものでは，これを噴霧すると
微細な水滴の表面には静電気が生じ易く, その純水ミス
トは電荷を帯びる。したがって，電気集塵機を通過する
さいに，純水ミストは効率よく集塵電極に電気的に吸着
捕集される。
抗が10×104Ω・cm以上のものでは，これを噴霧すると
微細な水滴の表面には静電気が生じ易く, その純水ミス
トは電荷を帯びる。したがって，電気集塵機を通過する
さいに，純水ミストは効率よく集塵電極に電気的に吸着
捕集される。
【００１０】純水ミストが有する静電気はイオン化され
た不純物ガスを吸収する作用を供する。このため，イオ
ナイザを通過してイオン化した不純物ガスは純水ミスト
に静電気的に吸着され易くなる。したがって，空気中に
微量に同伴する不純物ガスでもその殆んどを純水ミスト
に捕集できる。そのさい，純水ミストの電荷量は空気中
の不純物ガスの電荷量と比較すると格段に多いため，不
純物ガスが純水ミストに吸着したとしても純水ミストに
は余分の電荷が残存する。このため純水ミストの集塵電
極への吸着能力は大きく低下することはない。
た不純物ガスを吸収する作用を供する。このため，イオ
ナイザを通過してイオン化した不純物ガスは純水ミスト
に静電気的に吸着され易くなる。したがって，空気中に
微量に同伴する不純物ガスでもその殆んどを純水ミスト
に捕集できる。そのさい，純水ミストの電荷量は空気中
の不純物ガスの電荷量と比較すると格段に多いため，不
純物ガスが純水ミストに吸着したとしても純水ミストに
は余分の電荷が残存する。このため純水ミストの集塵電
極への吸着能力は大きく低下することはない。
【００１１】不純物ガスをイオン化するためには，イオ
ナイザの他に紫外線照射によっても行うことができ，こ
の場合も同様の作用が供される。
ナイザの他に紫外線照射によっても行うことができ，こ
の場合も同様の作用が供される。
【００１２】空気中に純水ミストを噴霧することは空気
中の湿分を高めることになるが，この高湿空気を熱交換
器で調温調湿するさい，この熱交換器を空気冷却器と空
気加熱器で構成しておけば，まず空気冷却器において，
本空気浄化調和装置から吹出す空気を必要な露点となる
ように冷却除湿し，空気加熱器で該露点制御を行った空
気を必要な温度にまで昇温することができる。この冷却
除湿時に不純物ガスを含んだ純水ミストの一部がさらに
除去され，必要な温湿度に調和された浄化調和空気を本
発明装置から吹出すことができる。
中の湿分を高めることになるが，この高湿空気を熱交換
器で調温調湿するさい，この熱交換器を空気冷却器と空
気加熱器で構成しておけば，まず空気冷却器において，
本空気浄化調和装置から吹出す空気を必要な露点となる
ように冷却除湿し，空気加熱器で該露点制御を行った空
気を必要な温度にまで昇温することができる。この冷却
除湿時に不純物ガスを含んだ純水ミストの一部がさらに
除去され，必要な温湿度に調和された浄化調和空気を本
発明装置から吹出すことができる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明装置の一実施例を示したもので
あり，一つのケーシング１の一方の側壁に空気取入口２
を，他方の側壁に空気吐出口３を設け，送風機14を内装
することによって，空気取入口２から空気吐出口３に通
ずる空気通路がケーシング１内に形成される。このケー
シング１内の空気空路において，その上流側に不純物ガ
スを除去するための空気浄化部を形成し，その下流側に
空気の温湿度を調節する熱交換部を形成する。
あり，一つのケーシング１の一方の側壁に空気取入口２
を，他方の側壁に空気吐出口３を設け，送風機14を内装
することによって，空気取入口２から空気吐出口３に通
ずる空気通路がケーシング１内に形成される。このケー
シング１内の空気空路において，その上流側に不純物ガ
スを除去するための空気浄化部を形成し，その下流側に
空気の温湿度を調節する熱交換部を形成する。
【００１４】空気浄化部は，イオナイザ４，純水噴霧装
置５および電気集塵機６を空気の流れの順に配置するこ
とによって構成されており，熱交換部は，空気冷却器７
および空気加熱器８を順に配置することによって構成さ
れている。
置５および電気集塵機６を空気の流れの順に配置するこ
とによって構成されており，熱交換部は，空気冷却器７
および空気加熱器８を順に配置することによって構成さ
れている。
【００１５】空気浄化部のイオナイザ４は，高電圧が印
加されるエミッタ９（針状電極）を空気流れを横切るよ
うに多数配設した通常のものであり，このエミッタ９で
のコロナ放電を有利に行わせるために，各エミッタに対
向する位置に対極を設けておいてもよい。またエミッタ
での放電に伴ってエミッタから金属または金属酸化物の
微粒子が放出することがあるが，これを避けるためにエ
ミッタをセラミック製の絶縁材料で被覆しておくのも有
利である。このようなイオナイザは同一出願人に係る特
願平1-265190号, 特願平1-265189号に提案した。
加されるエミッタ９（針状電極）を空気流れを横切るよ
うに多数配設した通常のものであり，このエミッタ９で
のコロナ放電を有利に行わせるために，各エミッタに対
向する位置に対極を設けておいてもよい。またエミッタ
での放電に伴ってエミッタから金属または金属酸化物の
微粒子が放出することがあるが，これを避けるためにエ
ミッタをセラミック製の絶縁材料で被覆しておくのも有
利である。このようなイオナイザは同一出願人に係る特
願平1-265190号, 特願平1-265189号に提案した。
【００１６】イオナイザ４は直流印加方式，交流印加方
式，パルス式のもの等いずれでもよいが，交流印加式の
ものが特に好適である。図示の例では交流印加方式のも
のが使用されており，このためにエミッタ９は交流高圧
電源10に接続されている。
式，パルス式のもの等いずれでもよいが，交流印加式の
ものが特に好適である。図示の例では交流印加方式のも
のが使用されており，このためにエミッタ９は交流高圧
電源10に接続されている。
【００１７】純水噴霧装置５は，イオナイザ４を通過し
た空気流に純水を噴霧し，微細な純水ミストを分散させ
るものであり，純水槽11内の純水をポンプ12によって，
噴霧ノズル13に導くようにしたものである。純水ミスト
が空気流の全体に噴霧されるように, 多数の噴霧ノズル
13を気流を横切る方向に二次元的な広がりをもって配置
するのがよい。この純水は比抵抗が10×104Ω・cm以上,
好ましくは 100×104Ω・cm以上の高度な純水を準備す
る。本発明装置をクリーンルームの空気浄化と調和に適
用する場合には，クリーンルーム内の作業の種類 (例え
ば半導体製造等) によってはかような純水が使用される
ことがあるので, これを本発明装置に分配供給すればよ
い。
た空気流に純水を噴霧し，微細な純水ミストを分散させ
るものであり，純水槽11内の純水をポンプ12によって，
噴霧ノズル13に導くようにしたものである。純水ミスト
が空気流の全体に噴霧されるように, 多数の噴霧ノズル
13を気流を横切る方向に二次元的な広がりをもって配置
するのがよい。この純水は比抵抗が10×104Ω・cm以上,
好ましくは 100×104Ω・cm以上の高度な純水を準備す
る。本発明装置をクリーンルームの空気浄化と調和に適
用する場合には，クリーンルーム内の作業の種類 (例え
ば半導体製造等) によってはかような純水が使用される
ことがあるので, これを本発明装置に分配供給すればよ
い。
【００１８】電気集塵機６は，プラス側電極板15とマイ
ナス側電極板16を交互に配置したものであり，これら電
極板15と16は直流高圧電源装置17に接続されている。ま
たこれら電極板15と16は空気流れに抵抗を与えないよう
に，ケーシング１内において空気流れ方向に平行に配置
されている。電極板15と16には，前記作用の項で説明し
たように，電荷を帯び且つ不純物ガスを吸収した純水ミ
ストが吸着捕集されるが，その捕集量が多くなり, 重力
に抗しきれないような大きさになると, 水滴となって自
然に電極板から落下する。この水滴の落下に伴い, 水滴
中の不純物ガスも落下する。この落下を助成するため
に，定期的に純水を電極板15と16に噴射して電極板を洗
浄するようにすることもできる。
ナス側電極板16を交互に配置したものであり，これら電
極板15と16は直流高圧電源装置17に接続されている。ま
たこれら電極板15と16は空気流れに抵抗を与えないよう
に，ケーシング１内において空気流れ方向に平行に配置
されている。電極板15と16には，前記作用の項で説明し
たように，電荷を帯び且つ不純物ガスを吸収した純水ミ
ストが吸着捕集されるが，その捕集量が多くなり, 重力
に抗しきれないような大きさになると, 水滴となって自
然に電極板から落下する。この水滴の落下に伴い, 水滴
中の不純物ガスも落下する。この落下を助成するため
に，定期的に純水を電極板15と16に噴射して電極板を洗
浄するようにすることもできる。
【００１９】以上の構成になる空気浄化部の下流側には
空気の温湿度を調節するための空気冷却器７と空気加熱
器８が配置されるが，空気冷却器７は冷水が通水するフ
イン付熱交換コイルからなり，空気加熱器８は温水が通
水するフイン付熱交換コイルからなる。この空気加熱器
８は電気ヒータであってもよい。
空気の温湿度を調節するための空気冷却器７と空気加熱
器８が配置されるが，空気冷却器７は冷水が通水するフ
イン付熱交換コイルからなり，空気加熱器８は温水が通
水するフイン付熱交換コイルからなる。この空気加熱器
８は電気ヒータであってもよい。
【００２０】空気冷却器７では，空気吐出口３から吐出
して負荷側に供給される空気の必要露点となるように過
冷却する。これによって，空気冷却器７の表面では空気
中の湿分が凝縮しドレンが発生するが，そのさい，電気
集塵機で捕集しきれなかった純水ミストも同時にドレン
中の入る。このドレンの捕集はドレンパン18によって行
うが，このドレンパン18は純水噴霧装置５での純水の噴
霧滴と捕集と共用させることができる。
して負荷側に供給される空気の必要露点となるように過
冷却する。これによって，空気冷却器７の表面では空気
中の湿分が凝縮しドレンが発生するが，そのさい，電気
集塵機で捕集しきれなかった純水ミストも同時にドレン
中の入る。このドレンの捕集はドレンパン18によって行
うが，このドレンパン18は純水噴霧装置５での純水の噴
霧滴と捕集と共用させることができる。
【００２１】空気冷却器７で必要な露点にまで除湿され
且つ冷却された空気は，次の空気加熱器８で必要な乾球
温度にまで再加熱する。したがって，空気冷却器７を上
流側に，空気加熱器８を下流側に設置することが必要で
ある。
且つ冷却された空気は，次の空気加熱器８で必要な乾球
温度にまで再加熱する。したがって，空気冷却器７を上
流側に，空気加熱器８を下流側に設置することが必要で
ある。
【００２２】図２は，紫外線照射器20を純水噴霧装置５
の上流側に設置した以外は，図１の装置と同じものを示
す。具体的に紫外線ランプをケーシング１内に配置す
る。これによる紫外線照射によって不純物ガスの荷電が
なされ，その粒子化が促進され除去効率を高めることが
できる。紫外線照射器20は図２のようにイオナイザ４と
併用して用いることもできるが，イオナイザ４と置換し
て用いることも可能である。
の上流側に設置した以外は，図１の装置と同じものを示
す。具体的に紫外線ランプをケーシング１内に配置す
る。これによる紫外線照射によって不純物ガスの荷電が
なされ，その粒子化が促進され除去効率を高めることが
できる。紫外線照射器20は図２のようにイオナイザ４と
併用して用いることもできるが，イオナイザ４と置換し
て用いることも可能である。
【００２３】図３は，オゾン発生器21を純水噴霧装置５
の上流側に設置した以外は，図１の装置と同じものを示
す。これは，オゾン濃度の高い空気をノズルから噴射し
てもよいし，コロナ放電をより強くすることによってオ
ゾンを発生させてもよい。このようにしてオゾンを供給
すると，不純物ガスが粒子化が促進され，不純物ガスの
除去効率を高めることができる。
の上流側に設置した以外は，図１の装置と同じものを示
す。これは，オゾン濃度の高い空気をノズルから噴射し
てもよいし，コロナ放電をより強くすることによってオ
ゾンを発生させてもよい。このようにしてオゾンを供給
すると，不純物ガスが粒子化が促進され，不純物ガスの
除去効率を高めることができる。
【００２４】図４は，本発明の空気浄化調和装置をクリ
ーンルームに適用する場合の設置例を示したものであ
る。図示の例では, クリーンルーム内空間22に天井面に
張り渡したHEPAフイルタ層23から清浄空気が吹き出さ
れ, 空間22内の空気は多孔床の床下空間24および空気通
路25を経て天井裏26に循環される通常の垂直層流型クリ
ーンルームの例を示している。
ーンルームに適用する場合の設置例を示したものであ
る。図示の例では, クリーンルーム内空間22に天井面に
張り渡したHEPAフイルタ層23から清浄空気が吹き出さ
れ, 空間22内の空気は多孔床の床下空間24および空気通
路25を経て天井裏26に循環される通常の垂直層流型クリ
ーンルームの例を示している。
【００２５】この場合, 本発明の浄化空調装置27を空気
通路25に設置することにより，HEPAフイルタ層23でも除
去しきれないような不純物ガスを同伴した空気を浄化し
且つ必要な温湿度に調和することができる。
通路25に設置することにより，HEPAフイルタ層23でも除
去しきれないような不純物ガスを同伴した空気を浄化し
且つ必要な温湿度に調和することができる。
【００２６】また, クリーンルーの循環空気の処理のほ
かに，系外から新たな空気をクリーンルーム内に供給す
る空気路28に本発明の浄化空調装置29を設置することに
よって，この導入空気中の不純物ガスを除去し，且つこ
の空気の温湿度を必要な状態に調節することができる。
すなわち, 外調機に代えて本発明の浄化空調装置29を用
いることによって，外気中に同伴する不純物ガスを除去
することができる。
かに，系外から新たな空気をクリーンルーム内に供給す
る空気路28に本発明の浄化空調装置29を設置することに
よって，この導入空気中の不純物ガスを除去し，且つこ
の空気の温湿度を必要な状態に調節することができる。
すなわち, 外調機に代えて本発明の浄化空調装置29を用
いることによって，外気中に同伴する不純物ガスを除去
することができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明装置はパッケージ化されており，
通常の空気調和器と同様に設置が自由である。このた
め，空気の浄化が特に必要なクリーンルーム等の個別設
備に自由に取り付けができる。
通常の空気調和器と同様に設置が自由である。このた
め，空気の浄化が特に必要なクリーンルーム等の個別設
備に自由に取り付けができる。
【００２８】そして本発明装置の空気浄化は，噴霧され
た純水ミストが具有する静電気を利用するものであるか
ら，純水による不純物質の洗浄と合わせて, 静電気的に
不純物ガスが吸着しこれを電気集塵機で効率よく捕集で
きる。加えて, 不純物ガスに荷電が付与されるので，純
水ミストに不純物ガスが吸収される効率も高い。
た純水ミストが具有する静電気を利用するものであるか
ら，純水による不純物質の洗浄と合わせて, 静電気的に
不純物ガスが吸着しこれを電気集塵機で効率よく捕集で
きる。加えて, 不純物ガスに荷電が付与されるので，純
水ミストに不純物ガスが吸収される効率も高い。
【００２９】純水による空気の洗浄排液, 電気集塵機で
捕集された純水ミストの水滴, 空気冷却器でのドレンは
いずれも空気中に同伴する不純物質や不純物ガスを含有
することになり，総合的な空気洗浄ができるし，これら
の処理後の液はまとめて排液処理することができる。
捕集された純水ミストの水滴, 空気冷却器でのドレンは
いずれも空気中に同伴する不純物質や不純物ガスを含有
することになり，総合的な空気洗浄ができるし，これら
の処理後の液はまとめて排液処理することができる。
【００３０】特に電気集塵極では濡れた状態で不純物ガ
スが捕集され, これが集積することによって水滴として
落下除去できる。このため，集塵極は常に更新された状
態となり，付着粉塵の電極表面からの除去も自動的に,
或いは純水噴射の洗浄によって効率よく行うことができ
る。
スが捕集され, これが集積することによって水滴として
落下除去できる。このため，集塵極は常に更新された状
態となり，付着粉塵の電極表面からの除去も自動的に,
或いは純水噴射の洗浄によって効率よく行うことができ
る。
【図１】本発明の空気浄化調和装置の実施例を示す略断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の空気浄化調和装置の他の実施例を示す
略断面図である。
略断面図である。
【図３】本発明の空気浄化調和装置の更に他の実施例を
示す略断面図である。
示す略断面図である。
【図４】本発明の空気浄化調和装置をクリーンルームに
設置した例を示すクリーンルーム設備の略断面図であ
る。
設置した例を示すクリーンルーム設備の略断面図であ
る。
１ ケーシング ２ 空気吸込口 ３ 空気吐出口 ４ イオナイザ ５ 純水噴霧装置 ６ 電気集塵器 ７ 空気冷却器 ８ 空気加熱器 ９ エミッタ 13 純水噴霧ノズル 15,16 集塵電極 18 ドレンパン 27,29 空気浄化調和装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−83019（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−262953（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−259725（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−38644（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−270521（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−28643（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F24F 3/16 B03C 3/014 B03C 3/02 B03C 3/38
Claims (2)
- 【請求項１】 空気取入口から空気吐出口に至るケーシ
ング内の空気通路において，イオナイザ，比抵抗が１０
×１０ ４ Ω・ｃｍ以上の純水を噴霧するための純水噴霧
装置および電気集塵機を空気の流れの順に配置してなる
空気浄化部と，この空気浄化部を通過した空気を冷却除
湿するための空気冷却器とを設置した空気浄化調和装
置。 - 【請求項２】 該空気通路には，空気冷却器を通過した
空気を加熱するための空気加熱器が配置されている請求
項１に記載の空気浄化調和装置。
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| JP22357291A JP2910946B2 (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 空気浄化調和装置 |
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-
1991
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