JP2908928B2 - スピニング・ビーム・スキャナー - Google Patents
スピニング・ビーム・スキャナーInfo
- Publication number
- JP2908928B2 JP2908928B2 JP4027793A JP2779392A JP2908928B2 JP 2908928 B2 JP2908928 B2 JP 2908928B2 JP 4027793 A JP4027793 A JP 4027793A JP 2779392 A JP2779392 A JP 2779392A JP 2908928 B2 JP2908928 B2 JP 2908928B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnet
- reflecting mirror
- spindles
- iron piece
- beam scanner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばレーザー溶接
ロボットのスピニング・ビーム・スキャナーに関するも
のである。
ロボットのスピニング・ビーム・スキャナーに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のレーザー溶接ロボットを示
す斜視図、図４はこのレーザー溶接ロボットで使われて
いる２組の反射鏡を用いた従来のスピニング・ビーム・
スキャナーの原理図である（“溶接新報”Ｎｏ．２４
７，１９９１−９−２）。図において、１は反射鏡とし
ての放物面鏡、２は本体、２４はロボット本体、２５は
放物面鏡１と対向して配設された第１の反射鏡、２６は
第１の反射鏡２５と対向して配設された第２の反射鏡、
２７は第１の反射鏡２５を回転駆動させる第１のモー
タ、２８は第２の反射鏡２６を回転駆動させる第２のモ
ータ、２９は本体２に連設されたレーザー発振機であ
る。
す斜視図、図４はこのレーザー溶接ロボットで使われて
いる２組の反射鏡を用いた従来のスピニング・ビーム・
スキャナーの原理図である（“溶接新報”Ｎｏ．２４
７，１９９１−９−２）。図において、１は反射鏡とし
ての放物面鏡、２は本体、２４はロボット本体、２５は
放物面鏡１と対向して配設された第１の反射鏡、２６は
第１の反射鏡２５と対向して配設された第２の反射鏡、
２７は第１の反射鏡２５を回転駆動させる第１のモー
タ、２８は第２の反射鏡２６を回転駆動させる第２のモ
ータ、２９は本体２に連設されたレーザー発振機であ
る。
【０００３】次に、このスピニング・ビーム・スキャナ
ーの動作について説明する。レーザー発振機２９から発
射されたレーザービームは図４の左側から本体２に入射
して、第２の反射鏡２６に反射し、更に第１の反射鏡２
５に反射して、ロボット本体２４に入射し、放物面鏡１
で反射して絞られ、焦点を結ぶ。第１の反射鏡２５は第
１のモータ２７の軸に対し△θa 、第２の反射鏡２６は
第２のモータ２８の軸に対し△θb だけ傾斜して取り付
けられているので、それぞれの反射鏡をモータで回転さ
せることにより、レーザービームはそれぞれ４△θa 、
４△θb だけ方向を変えることができる。反射鏡２５，
２６の回転方向と位相とを変えることにより、レーザー
ビームの振り幅と振り方向を制御できる。
ーの動作について説明する。レーザー発振機２９から発
射されたレーザービームは図４の左側から本体２に入射
して、第２の反射鏡２６に反射し、更に第１の反射鏡２
５に反射して、ロボット本体２４に入射し、放物面鏡１
で反射して絞られ、焦点を結ぶ。第１の反射鏡２５は第
１のモータ２７の軸に対し△θa 、第２の反射鏡２６は
第２のモータ２８の軸に対し△θb だけ傾斜して取り付
けられているので、それぞれの反射鏡をモータで回転さ
せることにより、レーザービームはそれぞれ４△θa 、
４△θb だけ方向を変えることができる。反射鏡２５，
２６の回転方向と位相とを変えることにより、レーザー
ビームの振り幅と振り方向を制御できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の対向する反射鏡
２５，２６を用いたレーザー溶接ロボットのスピニング
・ビーム・スキャナーは、以上のように構成されている
ので、（１）ロボット手首に組み込んで使用するにはか
さばりすぎる、（２）レーザービームの振り幅がロボッ
トの手先にいくにつれて大きくなるので、レーザー発振
機２９からのレーザービームを細く絞る必要があり、そ
のための絞り機構を設けなければならない、（３）反射
鏡２５，２６は回転するので、また放物面鏡１ではスペ
ース上の問題で反射鏡２５，２６、放物面鏡１を冷却す
る冷却機構を付設することが困難である、（４）ロボッ
トのベース側にスピニング・ビーム・スキャナーを取り
付けるので、スキャナー以降の光軸の調整に手間がかか
る、（５）放物面鏡１と反射鏡２５，２６とが必要なの
で、それぞれでレーザーが一部吸収されレーザーの効率
が低下する、といった課題があった。
２５，２６を用いたレーザー溶接ロボットのスピニング
・ビーム・スキャナーは、以上のように構成されている
ので、（１）ロボット手首に組み込んで使用するにはか
さばりすぎる、（２）レーザービームの振り幅がロボッ
トの手先にいくにつれて大きくなるので、レーザー発振
機２９からのレーザービームを細く絞る必要があり、そ
のための絞り機構を設けなければならない、（３）反射
鏡２５，２６は回転するので、また放物面鏡１ではスペ
ース上の問題で反射鏡２５，２６、放物面鏡１を冷却す
る冷却機構を付設することが困難である、（４）ロボッ
トのベース側にスピニング・ビーム・スキャナーを取り
付けるので、スキャナー以降の光軸の調整に手間がかか
る、（５）放物面鏡１と反射鏡２５，２６とが必要なの
で、それぞれでレーザーが一部吸収されレーザーの効率
が低下する、といった課題があった。
【０００５】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、構造がコンパクトで、反射鏡の
冷却が容易であるスピニング・ビーム・スキャナーを得
ることを目的とする。
ためになされたもので、構造がコンパクトで、反射鏡の
冷却が容易であるスピニング・ビーム・スキャナーを得
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
るスピニング・ビーム・スキャナーは、直交する２支軸
に取り付けられ各支軸のまわりに回動可動な揺動板と、
この揺動板の一面の辺部であって各前記支軸の軸線の延
長線上にそれぞれ設けられた鉄片と、これらの鉄片にそ
れぞれ間隙をおいて対向して設けられた電磁石と、前記
揺動板の他面に連設された反射鏡と、この反射鏡の内部
に形成された反射鏡冷却用のチャンバーとを備えたもの
である。
るスピニング・ビーム・スキャナーは、直交する２支軸
に取り付けられ各支軸のまわりに回動可動な揺動板と、
この揺動板の一面の辺部であって各前記支軸の軸線の延
長線上にそれぞれ設けられた鉄片と、これらの鉄片にそ
れぞれ間隙をおいて対向して設けられた電磁石と、前記
揺動板の他面に連設された反射鏡と、この反射鏡の内部
に形成された反射鏡冷却用のチャンバーとを備えたもの
である。
【０００７】この発明の請求項２に係るスピニング・ビ
ーム・スキャナーは、直交する２支軸に取り付けられ各
支軸のまわりに回動可能な揺動板と、この揺動板の一面
の辺部であって各前記支軸の軸線の延長線上にそれぞれ
設けられた鉄片と、これらの鉄片にそれぞれ間隙をおい
て対向して設けられた電磁石と、前記揺動板の他面に連
設されたホルダーと、このホルダー内にスペーサを挟ん
で収められた反射鏡と、この反射鏡の内部に形成された
反射鏡冷却用のチャンバーとを備えたものである。
ーム・スキャナーは、直交する２支軸に取り付けられ各
支軸のまわりに回動可能な揺動板と、この揺動板の一面
の辺部であって各前記支軸の軸線の延長線上にそれぞれ
設けられた鉄片と、これらの鉄片にそれぞれ間隙をおい
て対向して設けられた電磁石と、前記揺動板の他面に連
設されたホルダーと、このホルダー内にスペーサを挟ん
で収められた反射鏡と、この反射鏡の内部に形成された
反射鏡冷却用のチャンバーとを備えたものである。
【０００８】
【作用】この発明の請求項１においては、揺動板を揺動
させることによりレーザービームの光軸を微小に振れ回
りされ、またチャンバーに冷却水を供給することで、反
射鏡は冷却される。
させることによりレーザービームの光軸を微小に振れ回
りされ、またチャンバーに冷却水を供給することで、反
射鏡は冷却される。
【０００９】この発明の請求項２においては、揺動板を
揺動させることによりレーザービームの光軸を微小に振
り回りされ、またチャンバーに冷却水を供給すること
で、反射鏡は冷却される。さらに、スペーサの厚さを調
整することで、光軸の調整が可能となる。
揺動させることによりレーザービームの光軸を微小に振
り回りされ、またチャンバーに冷却水を供給すること
で、反射鏡は冷却される。さらに、スペーサの厚さを調
整することで、光軸の調整が可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の一実施例として、反射鏡と
して放物面鏡を使用した場合について、図について説明
する。図１はこの発明の一実施例を示す側面図、図２は
この図１の要部平面図である。図において、１は反射鏡
である放物面鏡、２は放物面鏡１を収納した本体、３は
放物面鏡１を支持するホルダー、４は放物面鏡１とホル
ダー３との間に介在するスペーサ、５は継軸、６は本体
２と継軸５との間に介在するパッキン、７は継軸５に連
設された揺動板、８は揺動板７を覆う枠体、９は弾性Ｘ
支軸、１０は弾性Ｙ支軸、１１ａは鉄片Ｘａ、１１ｂは
鉄片Ｘａ１１ａに対向して配設された鉄片Ｘｂ、１２ａ
は鉄片Ｘａ１１ａの上方に配設された電磁石Ｘａ、１２
ｂは鉄片Ｘｂ１１ｂの上方に配設された鉄片Ｘｂ、１３
ａは鉄片Ｙａ、１３ｂは鉄片Ｙａ１３ａに対向して配設
された電磁石Ｙｂ、１４ａは鉄片Ｙａ１３ａの上方に配
設された電磁石Ｙａ、１４ｂは鉄片Ｙｂ１３ｂの上方に
配設された電磁石Ｙｂ、１５は変位センサＸ、１６は変
位センサＹ、１７は放物面鏡１に形成された水冷チャン
バー、１８は水冷チャンバー１７中に先端部が指向した
水冷ノズル、１９は水冷ノズル１８に接続された水冷ホ
ース、２０は本体２を閉じる本体フタ、２１はロボット
手首、２２はノズル、２３はスピニング・ビーム・スキ
ャナーをロボット手首２１に取り付けるための取り付け
フランジである。
して放物面鏡を使用した場合について、図について説明
する。図１はこの発明の一実施例を示す側面図、図２は
この図１の要部平面図である。図において、１は反射鏡
である放物面鏡、２は放物面鏡１を収納した本体、３は
放物面鏡１を支持するホルダー、４は放物面鏡１とホル
ダー３との間に介在するスペーサ、５は継軸、６は本体
２と継軸５との間に介在するパッキン、７は継軸５に連
設された揺動板、８は揺動板７を覆う枠体、９は弾性Ｘ
支軸、１０は弾性Ｙ支軸、１１ａは鉄片Ｘａ、１１ｂは
鉄片Ｘａ１１ａに対向して配設された鉄片Ｘｂ、１２ａ
は鉄片Ｘａ１１ａの上方に配設された電磁石Ｘａ、１２
ｂは鉄片Ｘｂ１１ｂの上方に配設された鉄片Ｘｂ、１３
ａは鉄片Ｙａ、１３ｂは鉄片Ｙａ１３ａに対向して配設
された電磁石Ｙｂ、１４ａは鉄片Ｙａ１３ａの上方に配
設された電磁石Ｙａ、１４ｂは鉄片Ｙｂ１３ｂの上方に
配設された電磁石Ｙｂ、１５は変位センサＸ、１６は変
位センサＹ、１７は放物面鏡１に形成された水冷チャン
バー、１８は水冷チャンバー１７中に先端部が指向した
水冷ノズル、１９は水冷ノズル１８に接続された水冷ホ
ース、２０は本体２を閉じる本体フタ、２１はロボット
手首、２２はノズル、２３はスピニング・ビーム・スキ
ャナーをロボット手首２１に取り付けるための取り付け
フランジである。
【００１１】レーザー発振機（図示せず）から発射され
たレーザービーム（図中ａ）はロボットのアーム（図示
せず）の内部を通ってロボット手首２１に導かれ、放物
面鏡１で反射して絞られ、焦点（図中ｂ）を結ぶ。この
焦点は小さいので、２枚の板を突き合わせて溶接するよ
うなとき、板の間に隙間があると、焦点が２枚の板の間
にまたがらず、有効な突き合わせ溶接ができない。この
ため、焦点を振って、焦点が２枚の板にまたがるように
する必要がある。スピニング・ビーム・スキャナーはこ
のような用途に使われる。
たレーザービーム（図中ａ）はロボットのアーム（図示
せず）の内部を通ってロボット手首２１に導かれ、放物
面鏡１で反射して絞られ、焦点（図中ｂ）を結ぶ。この
焦点は小さいので、２枚の板を突き合わせて溶接するよ
うなとき、板の間に隙間があると、焦点が２枚の板の間
にまたがらず、有効な突き合わせ溶接ができない。この
ため、焦点を振って、焦点が２枚の板にまたがるように
する必要がある。スピニング・ビーム・スキャナーはこ
のような用途に使われる。
【００１２】次に上記のように実施された実施例の動作
について説明する。放物面鏡１はスペーサ４を挟んでホ
ルダー３にはめあわされて固定されている。ホルダー３
は継軸５を介して揺動板７に固定されている。本体２の
内部には熱による酸化防止のため不活性ガスであるパー
ジエアが注入されており、ノズル２２の先端から噴出す
る。本体２と継軸５との間にはパッキン６が入っている
ので、本体２の気密は保たれる。このパッキン６は柔ら
かいゴムなどでできているので、後述する放物面鏡１の
揺動を妨げるものではない。また、放物面鏡１の揺動角
度は微小なので、揺動しても気密は保たれる。
について説明する。放物面鏡１はスペーサ４を挟んでホ
ルダー３にはめあわされて固定されている。ホルダー３
は継軸５を介して揺動板７に固定されている。本体２の
内部には熱による酸化防止のため不活性ガスであるパー
ジエアが注入されており、ノズル２２の先端から噴出す
る。本体２と継軸５との間にはパッキン６が入っている
ので、本体２の気密は保たれる。このパッキン６は柔ら
かいゴムなどでできているので、後述する放物面鏡１の
揺動を妨げるものではない。また、放物面鏡１の揺動角
度は微小なので、揺動しても気密は保たれる。
【００１３】揺動板７は、その中央で弾性Ｘ支軸９によ
りＸ軸まわりに、弾性Ｙ支軸１０によりＹ軸まわりに、
ジンバル状に支持されて、枠体８に対して揺動自在に懸
架されている。揺動板７は正方形をなしており、その４
辺には、鉄片Ｘａ１１ａ、鉄片Ｘｂ１１ｂと鉄片Ｙａ１
３ａ，鉄片Ｙｂ１３ｂが２個１組で向かいあうように固
定されている。枠体８の内部には、２個１組の電磁石Ｘ
ａ１２ａ、電磁石Ｘｂ１２ｂ、および電磁石Ｙａ１４
ａ、電磁石Ｙｂ１４ｂが、それぞれ２個１組の鉄片Ｘａ
１１ａ、鉄片Ｘｂ１１ｂ、および鉄片Ｙａ１３ａ、鉄片
Ｙｂ１３ｂと間隙をおいて対向している。電磁石Ｘａ１
２ａを駆動すれば、鉄片Ｘａ１１ａが上方に吸引され、
揺動板７が反時計まわりに回動し、放物面鏡１は図１の
右方向に傾く。これにより、レーザービームの焦点ｂは
右に移動する。同様にして、電磁石Ｘｂ１２ｂの駆動に
より焦点ｂは左に、電磁石Ｙａ１４ａの駆動により焦点
ｂは紙面の奥へ、電磁石Ｙｂ１４ｂの駆動により焦点ｂ
は紙面の手前へ移動する。以上の動作による揺動板７の
傾きを変位センサＸ１５および変位センサＹ１６により
検出し、外部のコントローラ（図示せず）から各電磁石
への指令電流をフィードバック制御する。これによりレ
ーザービームの焦点を微小に回転させる。
りＸ軸まわりに、弾性Ｙ支軸１０によりＹ軸まわりに、
ジンバル状に支持されて、枠体８に対して揺動自在に懸
架されている。揺動板７は正方形をなしており、その４
辺には、鉄片Ｘａ１１ａ、鉄片Ｘｂ１１ｂと鉄片Ｙａ１
３ａ，鉄片Ｙｂ１３ｂが２個１組で向かいあうように固
定されている。枠体８の内部には、２個１組の電磁石Ｘ
ａ１２ａ、電磁石Ｘｂ１２ｂ、および電磁石Ｙａ１４
ａ、電磁石Ｙｂ１４ｂが、それぞれ２個１組の鉄片Ｘａ
１１ａ、鉄片Ｘｂ１１ｂ、および鉄片Ｙａ１３ａ、鉄片
Ｙｂ１３ｂと間隙をおいて対向している。電磁石Ｘａ１
２ａを駆動すれば、鉄片Ｘａ１１ａが上方に吸引され、
揺動板７が反時計まわりに回動し、放物面鏡１は図１の
右方向に傾く。これにより、レーザービームの焦点ｂは
右に移動する。同様にして、電磁石Ｘｂ１２ｂの駆動に
より焦点ｂは左に、電磁石Ｙａ１４ａの駆動により焦点
ｂは紙面の奥へ、電磁石Ｙｂ１４ｂの駆動により焦点ｂ
は紙面の手前へ移動する。以上の動作による揺動板７の
傾きを変位センサＸ１５および変位センサＹ１６により
検出し、外部のコントローラ（図示せず）から各電磁石
への指令電流をフィードバック制御する。これによりレ
ーザービームの焦点を微小に回転させる。
【００１４】放物面鏡１に穿たれた水冷チャンバー１７
には水冷ホース１９が２本つながっており、冷却水を供
給・排出する。これにより、放物面鏡１は効率的に冷却
される。水冷ホース１９は放物面鏡１と本体２との間を
つないでいるが、水冷ホース１９は可撓性があるので、
放物面鏡１の揺動を妨げることはない。
には水冷ホース１９が２本つながっており、冷却水を供
給・排出する。これにより、放物面鏡１は効率的に冷却
される。水冷ホース１９は放物面鏡１と本体２との間を
つないでいるが、水冷ホース１９は可撓性があるので、
放物面鏡１の揺動を妨げることはない。
【００１５】本スピニング・ビーム・スキャナーの組み
立て時の光軸の調整には、調整リング４を用いる。すな
わち、厚さの違う調整リング４を用意しておき、これを
入れ替えることでレーザービームの焦点ｂの図１の左右
方向（Ｘ軸方向）の調整をし、放物面鏡１をホルダー３
の軸まわりに回動させることで、図１の奥行方向（Ｙ軸
方向）の調整をする。これらの調整は、本体フタ２０を
外すことで簡単に行える。
立て時の光軸の調整には、調整リング４を用いる。すな
わち、厚さの違う調整リング４を用意しておき、これを
入れ替えることでレーザービームの焦点ｂの図１の左右
方向（Ｘ軸方向）の調整をし、放物面鏡１をホルダー３
の軸まわりに回動させることで、図１の奥行方向（Ｙ軸
方向）の調整をする。これらの調整は、本体フタ２０を
外すことで簡単に行える。
【００１６】放物面鏡１に溶接のスパッタなどが付着す
ると反射率が低下するので、放物面鏡１はしばしば交換
する必要がある。このときは本体フタ２０をはずした
後、放物面鏡１をホルダー３から抜いて外し、新しい放
物面鏡１を入れればよいので、交換作業は迅速に行え
る。スピニング・ビーム・スキャナーの本体２は取り付
けフランジ２３によりロボット手首２１に固定するの
で、取り付け取り外しは容易である。従ってスピニング
・ビーム・スキャナーの備わっていない従来の放物面鏡
との交換も容易である。この際のロボット側の光軸の調
整は不要である。
ると反射率が低下するので、放物面鏡１はしばしば交換
する必要がある。このときは本体フタ２０をはずした
後、放物面鏡１をホルダー３から抜いて外し、新しい放
物面鏡１を入れればよいので、交換作業は迅速に行え
る。スピニング・ビーム・スキャナーの本体２は取り付
けフランジ２３によりロボット手首２１に固定するの
で、取り付け取り外しは容易である。従ってスピニング
・ビーム・スキャナーの備わっていない従来の放物面鏡
との交換も容易である。この際のロボット側の光軸の調
整は不要である。
【００１７】上記実施例は放物面鏡１を用いた場合を示
したが、反射鏡を用いてもよい。この場合、反射鏡の前
または後に凸レンズを入れてレーザービームを集光す
る。また、上記実施例は駆動手段として電磁石を用いた
ものを示したが、圧電素子など他の手段によってもよ
い。さらに、上記実施例は溶接ロボットに適用した場合
を示したが、レーザー加工機に適用してもよい。
したが、反射鏡を用いてもよい。この場合、反射鏡の前
または後に凸レンズを入れてレーザービームを集光す
る。また、上記実施例は駆動手段として電磁石を用いた
ものを示したが、圧電素子など他の手段によってもよ
い。さらに、上記実施例は溶接ロボットに適用した場合
を示したが、レーザー加工機に適用してもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１によれば、直交する２軸の支軸のまわりに揺動板を回
動させることにより、レーザービームの光軸を微小に振
り回りさせるので、コンパクトなスピニング・ビーム・
スキャナーが得られるという効果がある。また、反射鏡
に形成されたチャンバーにより反射鏡は効率よく冷却さ
れ、反射鏡が熱歪みでレーザービームの焦点距離が変動
するといった不都合は生じない。
１によれば、直交する２軸の支軸のまわりに揺動板を回
動させることにより、レーザービームの光軸を微小に振
り回りさせるので、コンパクトなスピニング・ビーム・
スキャナーが得られるという効果がある。また、反射鏡
に形成されたチャンバーにより反射鏡は効率よく冷却さ
れ、反射鏡が熱歪みでレーザービームの焦点距離が変動
するといった不都合は生じない。
【００１９】また、この発明の請求項２によれば、請求
項１の効果に加えて、スペーサの厚さを調整すること
で、光軸の調整を容易にすることができるという効果も
ある。
項１の効果に加えて、スペーサの厚さを調整すること
で、光軸の調整を容易にすることができるという効果も
ある。
【図１】この発明の一実施例を示す側面図である。
【図２】図１の要部平面図である。
【図３】従来のレーザー溶接ロボットの斜視図である。
【図４】従来のスピニング・ビーム・スキャナーの原理
図である。
図である。
１ 放物面鏡 ３ ホルダー ４ スペーサ ７ 揺動板 ９ 弾性Ｘ支軸 １０ 弾性Ｙ支軸 １７ 水冷チャンバー
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−105918（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−200684（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23K 26/00 - 26/18
Claims (2)
- 【請求項１】 直交する２支軸に取り付けられ各支軸の
まわりに回動可動な揺動板と、この揺動板の一面の辺部
であって各前記支軸の軸線の延長線上にそれぞれ設けら
れた鉄片と、これらの鉄片にそれぞれ間隙をおいて対向
して設けられた電磁石と、前記揺動板の他面に連設され
た反射鏡と、この反射鏡の内部に形成された反射鏡冷却
用のチャンバーとを備え、前記電磁石の駆動により前記
鉄片が電磁石に吸引されて前記揺動板が揺動されること
によりレーザービームの光軸が微小に振れ回りされるス
ピニング・ビーム・スキャナー。 - 【請求項２】 直交する２支軸に取り付けられ各支軸の
まわりに回動可能な揺動板と、この揺動板の一面の辺部
であって各前記支軸の軸線の延長線上にそれぞれ設けら
れた鉄片と、これらの鉄片にそれぞれ間隙をおいて対向
して設けられた電磁石と、前記揺動板の他面に連設され
たホルダーと、このホルダー内にスペーサを挟んで収め
られた反射鏡と、この反射鏡の内部に形成された反射鏡
冷却用のチャンバーとを備え、前記電磁石の駆動により
前記鉄片が電磁石に吸引されて前記揺動板が揺動される
ことによりレーザービームの光軸が微小に振れ回りされ
るスピニング・ビーム・スキャナー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4027793A JP2908928B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | スピニング・ビーム・スキャナー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4027793A JP2908928B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | スピニング・ビーム・スキャナー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05220592A JPH05220592A (ja) | 1993-08-31 |
| JP2908928B2 true JP2908928B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=12230856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4027793A Expired - Fee Related JP2908928B2 (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | スピニング・ビーム・スキャナー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2908928B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114211140B (zh) * | 2021-11-26 | 2022-08-19 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光双摆轴的光束指向调节方法 |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP4027793A patent/JP2908928B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05220592A (ja) | 1993-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4088188B2 (ja) | プロジェクタ | |
| JP2690466B2 (ja) | レーザビームスピンナ | |
| CN113677476A (zh) | 用于激光加工工件的加工设备、用于激光加工工件的加工设备的成套零件以及用于使用这种加工设备激光加工工件的方法 | |
| JP2908928B2 (ja) | スピニング・ビーム・スキャナー | |
| JP2925835B2 (ja) | レーザ加工装置用手首構造 | |
| JP2010048897A (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
| KR20050104118A (ko) | 레이저 발진부를 이동하여 도광판을 가공하는 레이저 장치 | |
| JPH03179420A (ja) | 光学装置 | |
| JPH09248684A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH02142693A (ja) | ビームスキャニング装置 | |
| JP2005338241A (ja) | 揺動体およびこれを用いた画像形成装置、スペックル低減方法 | |
| JP3244905B2 (ja) | 角変位検出装置及び像ぶれ補正装置 | |
| JP3607898B2 (ja) | 揺動反射鏡装置 | |
| JPH0545600A (ja) | ポリゴンミラー | |
| JPH0669928U (ja) | レーザビームオッシレータ装置 | |
| KR20020038133A (ko) | 마스크 헤드 어셈블리 및 이를 적용한 레이저 가공장치 | |
| CN219703803U (zh) | 一种摇摆振镜头 | |
| JPH027016A (ja) | 光偏向器 | |
| JP3829677B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2003338647A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH05169285A (ja) | レ−ザスキャナ | |
| JPH09222578A (ja) | 光走査装置 | |
| JPS6276580A (ja) | レ−ザ出力装置 | |
| JPS59147317A (ja) | 光走査装置 | |
| JP2001235698A (ja) | 光走査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080402 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090402 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |