JP3829677B2 - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスレーザ発振装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図3に従来のレーザ発振装置における光学ベンチ部分の概略構成を示す。
【0003】
終端鏡101は、終端鏡ミラー保持部102によって保持されている。
【0004】
ミラーは、反射時に共振する為、出力鏡(図示せず)と終端鏡101の光軸の中心は一致する必要がある。
【0005】
この光軸の調整を行う為出力鏡側ミラー保持部(図示せず)と、終端鏡ミラー保持部102には、角度調整機構103を設けて角度調整が出来るようになっている。
【0006】
また、ガス導入部104は、つなぎ管105と銅リング106から構成され、レーザガスは、つなぎ管105から、銅リング106に開けられた、丸穴を通り無放電管107に導入され、放電管(図示せず)に供給される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
この様な従来のレーザ発振装置の持つ課題について、説明する。
【0008】
レーザガス導入口が一個または複数の丸穴の場合、導入口付近でガスの乱流が発生して長時間使用した場合電極の粉等の周辺の異物を巻き上げ、かえって反射鏡・部分反射鏡に汚れを付着させ、レーザ出力の低下を招くことがある。
【0009】
またレーザガス導入口を形成する部品と周辺部品の隙間は、ガス流を有効に形成するため極力小さくする必要があるが、それらの接触により反射鏡保持部材に外力が作用して、反射鏡角度を微動させビーム品質を低下させることがある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項1記載の本発明は、部分反射鏡を含む複数の反射鏡と前記反射鏡を保持する保持部を有し、レーザガスを導入するレーザガス導入口を形成した部品と前記保持部を密着させたガスレーザ発振装置において、前記レーザガス導入口として同一円周上に配置した複数のスリットにより構成しし、前記円周上に対向した二個のスリットを、近接した二個以上の異なる円周上で相互に一定角度ずらして配置したガスレーザ発振装置である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【0012】
図1にガスレーザ発振装置の概略構成の一例を示す。以下、図1を参照しながらガスレーザ発振装置を説明する。
【0013】
この図に於いて、1はガラスなどの誘電体よりなる放電管であり、2、3は前記放電管周辺に設けられた電極である。4は前記電極に接続された電源である。5は前記電極2、3間に挟まれた放電管1内の放電空間である。6はほぼ全反射である終端鏡、7は部分反射である出力鏡であり、この終端鏡6、出力鏡7は前記放電空間5の両端に固定配置され、光共振器を形成している。8は前記出力鏡7より出力されるレーザビームである。矢印9はレーザガスの流れる方向を示しており、100〜200Torr程度の圧力で、軸流型ガスレーザ発振器の中を循環している。10はレーザガス流路であり、11および12は放電空間5における放電と送風機の運転により温度上昇したレーザガスの温度を下げるための熱交換機、13はレーザガスを循環させるための送風機であり、この送風機13により放電空間5にてガス流を得ている。また電極2、3と出力鏡7及び終端鏡6は無放電管19にて絶縁されている。
【0014】
このように構成されたレーザ発振装置では、送風機13より送り出されたレーザガスは、レーザガス流路10を通り、放電管1内を導入される。この状態で電源4に接続された電極2、3から放電空間5に放電を発生させる。放電空間5内のレーザガスは、この放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガスは終端鏡6および出力鏡7により形成された光共振器で共振状態となり、出力鏡7からレーザビーム8が出力される。このレーザビーム8がレーザ加工等の用途に用いられる。
【0015】
図2にレーザ発振装置における光学ベンチ部分の概略構成を示す。
【0016】
出力鏡5は出力鏡側ミラー保持部15aによって、終端鏡6は、終端鏡ミラー保持部15bによって保持されている。
【0017】
ミラーは、反射時に共振する為、出力鏡7と終端鏡6の光軸の中心は一致する必要がある。
【0018】
この光軸の調整を行う為に出力鏡側ミラー保持部15aには、出力鏡側ミラー調整機構16a、終端鏡ミラー保持部15bには、終端鏡ミラー調整機構16bを有し角度調整が出来るようになっている。
【0019】
また、ガス導入部14は、つなぎ管18と銅リング19から構成され、レーザガスは、つなぎ管18から、銅リング19に開けられたスリット21を通り無放電管20に導入され、放電管1に供給される。
【0020】
銅リング19は誘電体からなる無放電管20内面に密着するように差し込まれている。また銅リング19はミラーを保持する出力鏡側ミラー保持部15aに密着するように固定されている。また、出力鏡側ミラー保持部15a、銅リング19及び無放電管20のそれぞれ密着するように接続されこの部分よりレーザガスがもれない構造になっている。
【0021】
この開口部を図2に示すようなスリット形状にすることでレーザガスはその円周上より均一に銅リング19内部に入り、銅リング19内のガス流を乱すことなくミラー近傍のガス圧を高め、レーザ共振空間内で発生する電極の粉等の不純物のミラーへの飛来を防ぐ事ができる。
【0022】
また上記図2に示すような銅リングをスリット形状にすることで、出力鏡側ミラー保持部15a、終端鏡ミラー保持部15bにかかる外力を容易に吸収する事ができる。
【0023】
以上のようにレーザガス導入口付近でのガス乱流を防止でき長時間使用した場合の電極の粉等の周辺の異物を巻き上げを防止し反射鏡の汚れを低減できる。反射鏡保持部材への外力をかけずにレーザガスを放電空間に供給することが出来る。
【0024】
以上のことによりミラーの汚れを防止することができ、長期に渡って高品質なレーザビームを提供することができる。
【0025】
【発明の効果】
本発明は、レーザガス導入口を同一円周上に配置した複数のスリットにより構成することで、ガス流を乱流なく整然と形成して周辺の電極粉等の異物を巻き上げず、反射鏡汚れを防止することができる。
【0026】
また、前記スリットの配置において、円周上に対向した二個のスリットを、近接した二個以上の異なる円周上で相互に一定角度だけずらして配置することにより、レーザガス導入口を形成する部品に柔軟性を付与して、周辺部品と接触した場合でも反射鏡保持部材に外力を作用させず、反射鏡角度を微動させることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】レーザ発振装置の構成図
【図2】本発明の実施の形態例の光学ベンチ部分の概略構成図
【図3】従来のレーザ発振装置における光学ベンチ部分の概略構成図
【符号の説明】
1 放電管
2 電極
3 電極
4 電源
5 放電空間
6 終端鏡
7 出力鏡
8 レーザビーム
9 レーザガスの流れる方向
10 レーザガス流路
11 熱交換器
12 熱交換器
13 送風機
14 レーザガス導入部
15a 出力鏡側ミラー保持部
15b 終端鏡ミラー保持部
16a 出力鏡側ミラー調整機構
16b 終端鏡ミラー調整機構
18 つなぎ管
19 銅リング
20 無放電管
21 スリット
Claims (1)
- 部分反射鏡を含む複数の反射鏡と前記反射鏡を保持する保持部を有し、レーザガスを導入するレーザガス導入口を形成した部品と前記保持部を密着させたガスレーザ発振装置において、前記レーザガス導入口として同一円周上に配置した複数のスリットにより構成し、前記円周上に対向した二個のスリットを、近接した二個以上の異なる円周上で相互に一定角度ずらして配置したレーザ発振装置。
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