JPH05110160A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents

ガスレーザ発振装置

Info

Publication number
JPH05110160A
JPH05110160A JP26585091A JP26585091A JPH05110160A JP H05110160 A JPH05110160 A JP H05110160A JP 26585091 A JP26585091 A JP 26585091A JP 26585091 A JP26585091 A JP 26585091A JP H05110160 A JPH05110160 A JP H05110160A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
aluminum die
gas laser
gas
output
mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26585091A
Other languages
English (en)
Inventor
Masashi Onishi
正史 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP26585091A priority Critical patent/JPH05110160A/ja
Publication of JPH05110160A publication Critical patent/JPH05110160A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空容器を構成する部品をアルミニウムダイ
キャストで製作してもレーザ出力の低下が無く、量産化
によるコストダウンが可能で、かつ信頼性の高いガスレ
ーザ発振装置を提供する。 【構成】 ガスレーザ発振装置の真空容器部分を構成す
るメインフランジ3,集合ブロック4,折り返しブロッ
ク7,出力鏡1を保持する出力鏡ホルダー2および終端
鏡9を保持する終端鏡ホルダー8等の部品を構成する材
料として比表面積が0.05m2/g以上で0.5m2
g以下のアルミニウムダイキャストを使用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属などの切断,溶
接,熱処理等に用いられる、低コストで高信頼性のガス
レーザ発振装置に関する。
【0002】
【従来の技術】以下、従来の技術について図面を参照し
ながら説明する。図1に高速軸流型と呼ばれているガス
レーザ発振装置の代表的な概略構成を示す。図1におい
て、1は出力鏡、2は出力鏡ホルダー、3はメインフラ
ンジ、4は集合ブロック、5は放電管、6a,6bは放
電管5の両端に設けられた対となる金属電極、7は折り
返しブロック、8は終端鏡ホルダー、9は終端鏡、10
は熱交換器、11はレーザ媒質ガスのガス配管、12は
送風機である。
【0003】以上のような構成の高速軸流型のガスレー
ザ発振装置の動作ついて図1に従って説明する。メイン
フランジ3,集合ブロック4,放電管5,折り返しブロ
ック7,熱交換器10,配管11および送風機12等に
より構成される真空容器にレーザ媒質ガスを充満させ、
一定の圧力を保持しながら送風機12によりレーザ媒質
ガスを循環させる。図示されていない外部に設けられた
高電圧電源から電極6aと電極6b間に高電圧を印加
し、電極6aと電極6b間で放電を発生させ、放電によ
りレーザ媒質ガスを励起しレーザ光を発生させる。発生
したレーザ光は出力鏡1,折り返しブロック7および終
端鏡9により構成される光共振器で増幅され、その一部
が出力鏡1から外部に取り出され、レーザ光として加工
などに利用される。
【0004】このようなガスレーザ発振装置では、真空
容器部分を構成するメインフランジ3,集合ブロック
4,折り返しブロック7,出力鏡1を保持する出力鏡ホ
ルダー2および終端鏡9を保持する終端鏡ホルダー8等
の多くの部分がアルミニウムインゴットからの切出し材
(以下、単にアルミニウム切出し材という)の切削加工
によって製作されていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなガスレー
ザ発振装置の真空容器部分を構成する、メインフランジ
3,集合ブロック4,折り返しブロック7,出力鏡1を
保持する出力鏡ホルダー2および終端鏡9を保持する終
端鏡ホルダー8等の多くのアルミニウム切出し材からの
切削部品の製作には、多くの時間を要しており、コスト
ダウンの要請からこれらの部品をアルミニウムダイキャ
ストで製作し、量産化を行う試みがなされている。しか
しながら、上記の部品を通常のアルミニウムダイキャス
トで製作すると、それらのアルミニウムダイキャストで
製作された部品は比表面積が大きいため、アルミニウム
ダイキャスト表面に吸着された物質の量が多く、これら
の吸着物質が真空容器内に放出されレーザ媒質ガスに混
入し、レーザ出力が大きく低下するという問題があっ
た。
【0006】本発明はこの問題を解決しようとするもの
で、真空容器に関係する上記部品をアルミニウムダイキ
ャストで製作してもレーザ出力の低下が無く、量産化に
よるコストダウンが可能で、かつ信頼性の高いガスレー
ザ発振装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のガスレーザ発振装置は、従来アルミニウム切
出し材製部品で製作されていたガスレーザ発振装置の真
空容器部分をアルミニウムダイキャストで構成し、その
アルミニウムダイキャスト部品の比表面積を0.05m
2/g以上で0.5m2/g以下としたものである。
【0008】
【作用】上記の構成によれば、アルミニウムダイキャス
ト部品の比表面積が一般のアルミニウムダイキャストを
用いた部品よりはるかに小さくなるので、アルミニウム
ダイキャスト表面に吸着している物質の量が少なく、不
純物のレーザ媒質ガスへの混入が著しく少なくなり、レ
ーザ出力低下に与える影響が抑制され、高信頼性を維持
しつつ、量産化によるコストダウンを実現することが可
能となる。
【0009】
【実施例】本発明のガスレーザ発振装置の概略構成を図
1に示す。図1は従来のガスレーザ発振装置の構成も示
しており、本発明と従来例の相違点は使用材料の違いだ
けである。したがって、図1の説明は省略して使用材料
の違いについて説明する。
【0010】図2に、ガスレーザ発振装置の真空容器部
分を構成する、メインフランジ3,集合ブロック4,折
り返しブロック7,出力鏡1を保持する出力鏡ホルダー
2および終端鏡9を保持する終端鏡ホルダー8等の部品
を構成する材料をアルミニウムダイキャストとした場合
の、そのアルミニウムダイキャストの比表面積とガスレ
ーザ発振装置におけるレーザ出力の低下関係を示してい
る。図2から明らかなように、上記部品に使用する材料
のアルミニウムダイキャストの比表面積を0.05m2
/g以上で0.5m2/g以下とすることにより、レー
ザ出力の低下を防止することができる。したがって、本
発明のガスレーザ発振装置の一実施例では、ガスレーザ
発振装置の真空容器部分を構成するメインフランジ3,
集合ブロック4,折り返しブロック7,出力鏡1を保持
する出力鏡ホルダー2および終端鏡9を保持する終端鏡
ホルダー8等の部品を構成する材料として比表面積が
0.05m2/g以上で0.5m2/g以下のアルミニウ
ムダイキャストを使用している。
【0011】なお比表面積が0.05m2/g未満のア
ルミニウムダイキャストは、材料として製作が困難であ
り、実用化は実質的に不可能である。
【0012】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
ガスレーザ発振装置によれば、真空容器に関係する部分
に使用するアルミニウムダイキャスト部分の比表面積
を、一般のアルミニウムダイキャストを用いた部品より
はるかに小さくしているので、アルミニウムダイキャス
ト表面に吸着している物質の量が少なく、不純物のレー
ザガスへの混入が著しく少なくなり、レーザ出力低下に
与える影響が抑制され、高信頼性を維持しつつ、量産化
によるコストダウンを実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明および従来のガスレーザ発振装置の概略
構成図
【図2】真空容器に関係する部分に使用するアルミニウ
ムダイキャスト部品の比表面積とレーザ出力低下率の関
係を示す特性図
【符号の説明】
1 出力鏡 5 放電管 6a,6b 対となる金属電極 9 終端鏡 11 ガス配管 12 送風機

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも1本の絶縁体からなる放電管
    と、その各放電管ごとに設けられた対となる金属電極
    と、対となる金属電極間に高電圧を印加する高圧電源
    と、放電管の両端に配設された出力鏡と終端鏡からなる
    レーザ共振器と、放電管内を光軸方向にレーザ媒質ガス
    を流すための送風機と、送風機と放電管を継ぐガス配管
    とを備え、真空容器部分に使用するアルミニウム製部品
    をアルミニウムダイキャストで構成し、そのアルミニウ
    ムダイキャスト部品の比表面積を0.05m2/g以上
    で0.5m2/g以下としたガスレーザ発振装置。
JP26585091A 1991-10-15 1991-10-15 ガスレーザ発振装置 Pending JPH05110160A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26585091A JPH05110160A (ja) 1991-10-15 1991-10-15 ガスレーザ発振装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26585091A JPH05110160A (ja) 1991-10-15 1991-10-15 ガスレーザ発振装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05110160A true JPH05110160A (ja) 1993-04-30

Family

ID=17422943

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26585091A Pending JPH05110160A (ja) 1991-10-15 1991-10-15 ガスレーザ発振装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05110160A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0141263B2 (ja)
JPH05110160A (ja) ガスレーザ発振装置
JPH05110161A (ja) ガスレーザ発振装置
JP2723516B2 (ja) レーザ発振装置
JPH05110162A (ja) ガスレーザ発振装置
JP3829677B2 (ja) ガスレーザ発振装置
JPH06326379A (ja) ガスレーザ発振装置
JP2685946B2 (ja) ガスレーザ発振装置
JP2997606B2 (ja) 狭帯域化エキシマレーザー装置
JPH03185885A (ja) パルスガスレーザ装置
JPS6320138Y2 (ja)
JP3475662B2 (ja) 気体レーザ発振装置
JPS6052070A (ja) 同軸型レ−ザ発振器
JP2557707Y2 (ja) 金属蒸気レーザ
JPH0444283A (ja) レーザ発振装置
JP3259161B2 (ja) ガスレーザ発振装置
JPS60133772A (ja) ガスレ−ザ装置
JPH02281671A (ja) ガスレーザ発振装置
JP2653216B2 (ja) エキシマレーザ装置
JPS5936984A (ja) ガスレ−ザ装置
JPS63229875A (ja) エキシマレ−ザ装置
JPH047110B2 (ja)
JPH02281675A (ja) ガスレーザ発振装置
JPS6384180A (ja) ガスレ−ザ発振装置
JPS6314485A (ja) ガスレ−ザ発振装置