JP2905154B2 - 動圧スピンドル装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の動圧を利用
してスピンドル主軸を支承した動圧スピンドル装置に係
り、詳細には、該スピンドル主軸の負荷容量及び剛性を
高めるための改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の動圧スピンドル装置とし
ては、特開平６−２４１２２２号公報、特開平６−２４
９２３６号公報、特開平７−１９２３６号公報等に開示
されたものが知られている。かかる動圧スピンドル装置
は、工作機械の主軸頭等に固定されるハウジングと、駆
動手段に連結されて回転するスピンドル主軸と、所定の
軸受隙間を介して対向する回転側部材及び固定側部材か
ら構成されると共に上記スピンドル主軸をハウジングに
対して回転自在に支承するラジアル動圧軸受とを備えて
おり、上記ラジアル動圧軸受の回転側部材には深さ１０
〜１５μｍ程度の動圧発生用溝が所定のパターンで形成
されている。

【０００３】このように構成された動圧スピンドル装置
においては、上記スピンドル主軸の回転に伴ってラジア
ル動圧軸受の軸受隙間に介在する潤滑流体が加圧され、
スピンドル主軸はこの加圧流体によって浮揚状態とな
り、その状態のままで回転を支承される。このため、ス
ピンドル主軸の回転に対しては極僅かな回転抵抗しか作
用せず、しかも回転時における振動も殆ど発生しないこ
とから、該スピンドル主軸に対して毎分１万回転以上の
高速回転を与えて使用することも可能といった優れた特
質を有している。

【０００４】その一方、かかる動圧スピンドル装置では
スピンドル主軸の回転に伴って潤滑流体を加圧している
ことから、ラジアル動圧軸受の回転側部材と固定側部材
との軸受隙間が過大であると、該軸受隙間において潤滑
流体の圧力を十分に高めることができず、スピンドル主
軸の外部荷重に対する負荷能力及び剛性が低下してしま
う。このため、前述した従来のスピンドル装置では軸受
隙間を数μｍ程度に設定し、スピンドル主軸の低速回転
においても潤滑流体を十分に加圧できるようにしてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、スピンドル主
軸が回転すると潤滑流体には剪断摩擦熱が発生し、この
剪断摩擦熱によってラジアル動圧軸受の回転側部材及び
固定側部材が膨張するので、上記軸受隙間を決定するに
当たってはこの膨張分を予め見込んでおかなければなら
ず、軸受隙間を当初から小さく設計することには限界が
あった。特に毎分数万回転の高速回転を予定しているス
ピンドル装置においてはより多くの剪断摩擦熱が発生す
るので、かかる軸受隙間はその分だけ大きく見込まなけ
ればならず、スピンドル主軸の負荷能力及び剛性を十二
分に高め得る程度にまで軸受隙間を小さくすることは困
難であった。

【０００６】また、ラジアル動圧軸受で多量の剪断摩擦
熱が発生すると、かかる熱量がスピンドル主軸それ自体
にも流入することから、スピンドル主軸の軸長が寸法変
化を起こすこととなり、例えばスピンドル主軸の出力端
に工具を取り付けてワークを加工する際に、加工精度が
低下するといった問題点があった。

【０００７】本発明はこのような問題点に鑑みなされた
ものであり、その目的とするところは、スピンドル主軸
の回転に伴うラジアル動圧軸受の発熱を抑え、該ラジア
ル動圧軸受の軸受隙間の変動を可及的に防止することに
より、高い負荷能力及び剛性を備えた動圧スピンドル装
置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の動圧スピンドル装置は、ハウジングと、駆
動手段に連結されて回転するスピンドル主軸と、所定の
軸受隙間を介して対向する回転側部材及び固定側部材か
ら構成され、上記スピンドル主軸をハウジングに対して
回転自在に支承するラジアル動圧軸受とを備え、上記ラ
ジアル動圧軸受の固定側部材には該軸受の軸受隙間に対
して潤滑流体を供給する供給流路を開設する一方、上記
回転側部材には上記供給流路の開設位置を挟んで一対の
ポンプアウト型の動圧発生用溝を形成し、上記スピンド
ル主軸の回転に伴いラジアル動圧軸受の軸受隙間に介在
する潤滑流体を該軸受の軸方向の両端へ向けて排出する
ようにしたことを特徴とするものである。

【０００９】このような技術的手段によれば、上記スピ
ンドル主軸が回転すると上記ラジアル動圧軸受の回転側
部材も共に回転し、かかる回転側部材に形成された一対
の動圧発生用溝はラジアル動圧軸受の軸受隙間に介在す
る潤滑流体を加圧する。このとき、上記動圧発生用溝は
固定側部材に開設された潤滑流体の供給流路を挟んで形
成されており、しかもそのパターンはポンプアウト型に
形成されていることから、スピンドル主軸が回転する
と、ラジアル動圧軸受の軸受隙間に介在する潤滑流体は
該軸受の軸方向の両端にから軸受外へ排出され、これに
伴って上記供給流路からは新たな潤滑流体が軸受隙間に
吸引される。

【００１０】このため、スピンドル主軸の回転によって
昇温した潤滑流体は速やかに軸受外へ排出される一方、
上記供給流路からは比較的低温の新たな潤滑流体が軸受
隙間に流入することとなり、ラジアル動圧軸受の回転側
部材及び固定側部材の昇温を抑えることが可能となる。
従って、回転側部材及び固定側部材の熱膨張を可及的に
小さくすることができるので、該軸受隙間を小さく設定
してスピンドル主軸の負荷能力及び剛性を高めることが
可能となる。

【００１１】また、このような技術的手段において、上
記ラジアル動圧軸受の昇温の更なる防止を図るために
は、該軸受隙間における単位時間当たりの潤滑流体の流
量をできるだけ多くすれば良い。但し、上記動圧発生用
溝は前述したようにその深さが１０μｍ程度であり、潤
滑流体の加圧といったその本来の目的を考慮すると、か
かる動圧発生用溝の深さを余り大きく設定できないこと
から、いくら動圧発生用溝をポンプアウト型に形成した
としても、軸受隙間の潤滑流体の流量には限界があると
考えられる。

【００１２】従って、潤滑流体の流量の増大を図るため
には、上記ラジアル動圧軸受の回転側部材の周面に上記
動圧発生用溝よりも深溝の螺旋状溝を形成し、スピンド
ル主軸の回転に伴って該螺旋状溝を潤滑流体の圧送のた
めのポンプとして機能させるのが好ましい。このように
構成すれば、スピンドル主軸の回転に伴って多量の潤滑
流体をラジアル動圧軸受の軸受隙間に吸引すると共にこ
れを該軸受隙間から排出することができ、動圧発生用溝
のみで潤滑流体の吸引及び排出を行っている場合と比較
して、ラジアル動圧軸受の昇温、ひいてはスピンドル主
軸の昇温を防止することが可能となる。

【００１３】また、かかる螺旋状溝は固定側部材に開設
された潤滑流体の供給流路と各動圧発生用溝との間に対
応させて、上記回転側部材の周面に形成するのが好まし
い。このように構成すれば、潤滑流体が動圧発生用溝に
よって加圧される以前の段階で該潤滑流体を螺旋状溝で
僅かなりとも加圧することができるので、動圧発生用溝
によって一層高い動圧を発生させることができ、結果的
にスピンドル主軸の負荷能力を向上させることも可能と
なる。

【００１４】一方、ラジアル動圧軸受の回転側部材及び
固定側部材が熱膨張を生じた際に、固定側部材の内径に
収容される回転側部材が固定側部材よりも大きく膨張し
たのでは、ラジアル動圧軸受の軸受隙間が所定値よりも
狭くなってしまい、極端な場合には回転側部材と固定側
部材とが固体接触を生じてしまう懸念もある。従って、
かかる事態の発生を防止するためには、上記固定側部材
の熱膨張係数を回転側部材のそれよりも大きく設定する
のが好ましい。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の動圧スピンドル装置を詳細に説明する。図１は研削盤
の研削軸として用いられる動圧スピンドル装置に本発明
を適用した第一実施例を示すものであり、符号１は軸端
にクイル軸を介して砥石（図示せず）が装着されるスピ
ンドル主軸を、符号２は該スピンドル主軸１を支承する
ハウジング本体を、符号３は上記スピンドル主軸１を駆
動するモータを、符号４は上記モータ３をハウジング本
体２に固定するためのモータハウジングを、符号５は上
記ハウジング本体２に固定されたエンドキャップを夫々
示している。

【００１６】上記スピンドル主軸１は空気を潤滑流体と
したラジアル動圧軸受６によってその回転を支承されて
おり、該ラジアル動圧軸受６は所定の軸受隙間を保って
対向する一対の外輪（固定側部材）７及び内輪（回転側
部材）から構成されている。上記外輪７はハウジング本
体２の内径に固定される一方、上記内輪はスピンドル主
軸１の外径に固定されるが、本実施例ではスピンドル主
軸１それ自体を内輪として機能させることにより上記内
輪を省略し、構成の簡素化を図っている。

【００１７】上記外輪７はＡｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂等のセラ
ミクス材から形成されており、その軸方向の中央にはハ
ウジング本体２の外の空気を上記ラジアル動圧軸受６の
軸受隙間、すなわち外輪７の内径とスピンドル主軸１の
外径との隙間に導く潤滑流体の供給流路８が開設されて
いる。軸受隙間に対して潤滑流体たる空気が円滑に流入
するよう、この供給流路８は外輪７の円周方向の複数箇
所に形成されている。

【００１８】一方、上記スピンドル主軸１は、ラジアル
動圧軸受６の内輪としてのジャーナル部９と、上記クイ
ル軸の取付け孔１０を有する先端部１１と、上記モータ
３のロータ１２が固定される後端部１３とから構成さ
れ、これら部位を結合して形成されている。上記ジャー
ナル部９は外輪７と同様にセラミクス材から形成されて
いるが、スピンドル主軸１の回転時におけるジャーナル
部９の熱膨張によって、該ジャーナル部９と外輪７とが
固体接触を生じるのを防止するため、外輪７のセラミク
ス材よりも熱膨張係数の小さなＳｉ₃Ｎ₄、ＳｉＣ等のセ
ラミクス材を使用している。

【００１９】また、ジャーナル部９に結合された上記先
端部１１には該ジャーナル部のセラミクス材よりも熱膨
張係数が低い合金、例えばインバー合金等が使用され、
スピンドル主軸１の発熱時における軸先端の伸びを防止
している。

【００２０】図３は上記スピンドル主軸１を示すもので
あるが、ラジアル動圧軸受６の外輪７の内径と対向する
ジャーナル部９の周面には間隔をおいて一対の螺旋状溝
１４，１４が形成され、更にこれら螺旋状溝１４の外側
には一対の動圧発生用溝１５，１５が形成されている。
また、これら一対の螺旋状溝１４及び動圧発生用溝１５
は上記外輪７に開設された供給流路８を挟むようにして
形成されており、換言すれば該記供給流路８は一対の螺
旋状溝１４，１４の中間において軸受隙間と連通連結さ
れている。

【００２１】かかる螺旋状溝１４はスピンドル主軸１の
回転に伴って潤滑流体を軸端方向へ付勢する向きに巻き
回されており、一対の螺旋状溝１４，１４は互いに逆ね
じの関係に形成されている。また、上記動圧発生用溝１
５はやはりスピンドル主軸１の回転に伴って潤滑流体を
軸端方向へ加圧する所謂ポンプアウト型に形成されてお
り、一対の動圧発生用溝１５，１５は互いに反対の向き
に形成されている。ここで、上記動圧発生用溝１５の溝
深さは１０μｍであるが、上記螺旋状溝１４の溝深さは
動圧発生用溝１５よりも深い０．１ｍｍに設定した。

【００２２】一方、上記スピンドル主軸１は空気を潤滑
流体としたスラスト動圧軸受１６によってその軸方向の
移動を規制されており、該スラスト動圧軸受１６はスピ
ンドル主軸１に固定されたカラー１７及び所定の軸受隙
間を保って該カラー１７を挟み込む一対のスラスト板と
から構成されている。但し、この実施例ではラジアル動
圧軸受６とスラスト動圧軸受１６を隣接して配置してい
ることから、スペーサ１９を介してラジアル動圧軸受６
の外輪７と一枚のスラスト板１８とを隣接配置すると共
に、これら外輪７とスラスト板１８とで上記カラー１７
を挟み込み、もう一枚のスラスト板を省略して構成の簡
素化を図っている。

【００２３】上記スラスト板１８は上記ラジアル動圧軸
受６の外輪７と同じセラミクス材から、またカラー１７
はスピンドル主軸１のジャーナル部９と同じセラミクス
材から形成されており、上記カラー１７の両表面にはス
パイラル状の動圧発生用溝２０，２１が夫々形成されて
いる。図３に示すように、カラー１７の外輪６側の表面
に形成された動圧発生用溝２０はスピンドル主軸１の回
転に伴って潤滑流体を外径方向へ加圧する所謂ポンプア
ウト型に、図４に示すように、カラー１７のスラスト板
１８側の表面に形成された動圧発生用溝２１はスピンド
ル主軸１の回転に伴って潤滑流体を内径方向へ加圧する
所謂ポンプイン型に形成されている。尚、この実施例に
おいて、カラー１７に形成された夫々の動圧発生用溝２
０，２１の溝深さは１５μｍとした。

【００２４】また、スピンドル主軸１の回転時における
カラー１７の熱膨張によって、該カラー１７と外輪７、
あるいはスラスト板１８とが固体接触するのを防止する
ため、外輪７とスラスト板１８との間に挟み込むスペー
サ１９にはカラー１７よりも熱膨張係数の大きな材料を
使用している。

【００２５】更に、上記スラスト軸受１６の軸受隙間は
ラジアル動圧軸受６の軸受隙間と連通連結されており、
ラジアル動圧軸受６の軸受隙間から排出された潤滑流体
がスラスト動圧軸受１６の軸受隙間に流入し、スラスト
動圧軸受１６から外部へ排出されるようになっている。

【００２６】尚、本実施例において、ラジアル動圧軸受
６における外輪７とスピンドル主軸１との軸受隙間、及
びスラスト動圧軸受１６におけるカラー１７と外輪６又
はスラスト板１８との軸受隙間は何れも７．５μｍとし
た。

【００２７】更に、この実施例ではスピンドル主軸１の
起動時及び停止時にスラスト動圧軸受１６のカラー１７
とスラスト板１８とが接触するのを防止するため、スピ
ンドル主軸１の自重のみを支える低圧の静圧をカラー１
７とスラスト板１８との間に付与している。このため、
図１に示すように、上記スラスト板１８には図示外のコ
ンプレッサに連通する静圧孔２２が穿設されており、ス
ピンドル主軸１の起動時及び停止時等のようにカラー１
７とスラスト板１８との間に十分な動圧か発生していな
い場合であっても、カラー１７をスラスト板１８から浮
揚させることができるようになっている。

【００２８】そして、以上のように構成された本実施例
の動圧スピンドル装置においては、モータ３によってス
ピンドル主軸１に回転が与えられると、上記ラジアル動
圧軸受６及びスラスト動圧軸受１６の軸受隙間に潤滑流
体たる空気の動圧が発生し、スピンドル主軸１は高圧空
気の潤滑膜によって非接触でその回転を支承される。

【００２９】このとき、上記ラジアル動圧軸受６ではス
ピンドル主軸１のジャーナル部９に形成された動圧発生
用溝１５がポンプアウト型に形成されていることから、
スピンドル主軸１が回転すると、ラジアル動圧軸受６の
軸受隙間の空気がジャーナル部９の軸方向の端部に向け
て排出される一方、外輪７に形成された供給流路８から
はハウジング本体２の外の新たな空気か該軸受隙間に吸
引される。このため、スピンドル主軸１の回転に伴いラ
ジアル動圧軸受６の軸受隙間の空気が昇温したとして
も、かかる高温の空気は順次ラジアル動圧軸受６から排
出され、軸受隙間には低温の空気が流入してくるので、
スピンドル主軸１のジャーナル部９の熱膨張が可及的に
防止される。

【００３０】特に、本実施例では該ジャーナル部９に螺
旋状溝１４が形成されており、該螺旋状溝１４はスピン
ドル主軸１の回転に伴って軸受隙間の潤滑流体を軸端方
向へ付勢するポンプとしての機能を果たしているので、
かかる螺旋状溝１４の作用によって大量の潤滑流体がハ
ウジング本体２の外からラジアル動圧軸受６の軸受隙間
に吸引される。このため、動圧発生用溝１５のみをジャ
ーナル部９に形成した場合と比較して軸受隙間を流れる
潤滑流体の流量を多く設定することができ、その分だけ
該ジャーナル部９の冷却効果を高めることができるよう
になっている。

【００３１】従って、スピンドル主軸１が高速で回転す
ればするほどジャーナル部９の冷却効果は高まり、スピ
ンドル主軸９が毎分数万回転の高速で回転しても、上記
ジャーナル部９が空気の剪断摩擦熱によって昇温するの
を確実に防止することができ、スピンドル主軸１の熱膨
張を防止することができるものである。その結果、本実
施例のスピンドル装置ではラジアル動圧軸受６の軸受隙
間を必要最小限に設定することができ、その分だけラジ
アル動圧軸受６の負荷能力及び剛性を高めることがで
き、ひいては外力に対するスピンドル主軸１の負荷能力
及び剛性を高めることができるものである。

【００３２】また、前述したように、ラジアル動圧軸受
６の外輪７はスピンドル主軸１のジャーナル部９よりも
熱膨張係数の大きなセラミクス材で形成されていること
から、たとえ潤滑流体の剪断摩擦熱によってこれら外輪
７及びジャーナル部９が昇温したとしても、ラジアル動
圧軸受６の軸受隙間が狭まることはなく、外輪７とジャ
ーナル部９との固体接触を防止することができるように
なっている。

【００３３】更に、本実施例ではスピンドル主軸１のジ
ャーナル部９に動圧発生用溝１５と隣接して上記螺旋状
溝１４を形成し、供給流路８からラジアル動圧軸受６の
軸受隙間に吸引した潤滑流体を該螺旋状溝１４で上記動
圧発生用溝１５の形成部位に押し込むようにしているの
で、動圧発生用溝１５によって昇圧される空気は既に螺
旋状溝１４によって大気圧から加圧された状態にある。
従って、大気圧にある空気を動圧発生用溝１５のみで昇
圧させる場合と比較して一層高圧の空気潤滑膜を軸受隙
間に形成することができるのであって、その分だけスピ
ンドル主軸１の負荷能力及び剛性を高めることができる
ようになっている。

【００３４】図５は、ラジアル動圧軸受６における潤滑
流体の排出機構を具備しない従来の動圧スピンドル装置
と、潤滑流体の排出機構を具備した本実施例のスピンド
ル装置とに関し、運転時間の経過に伴うスピトンル主軸
１の温度上昇の結果をプロットしたグラフである。この
グラフから明らかなように、本実施例の動圧スピンドル
装置は毎分４２０００回転で継続的に運転してもスピン
ドル主軸１の温度上昇は１０°Ｃ程度であり、従来の動
圧スピンドル装置を毎分３００００回転で運転した場合
よりもその温度上昇は小さかった。

【００３５】また、図６は、従来のスピンドル装置と本
実施例のスピトンル装置とに関し、熱膨張によるスピン
ドル主軸１の軸方向の伸びを比較したグラフである。こ
のグラフから明らかなように、毎分３００００回転及び
４２０００回転の何れにおいても本実施例のスピンドル
装置の方がスピンドル主軸１の伸びは小さかった。これ
により、本実施例のスピンドル装置はこれを工作機械等
に用いた場合のワークの加工精度においても、従来のス
ピンドル装置より優れていることが理解される。

【００３６】次に、図７は上記スピンドル主軸の他の例
を示すものである。概ねの構成は図２に示したスピンド
ル主軸１と同じであるが、ジャーナル部９の外周面の後
端部側の縁部にも動圧発生用溝２３が形成されている点
において前述のスピンドル主軸１と異なる。該動圧発生
用溝２３は、スピンドル主軸１の回転に伴い、ラジアル
動圧軸受６の軸受隙間の潤滑流体をジャーナル部９の中
央に向けて加圧する所謂ポンプイン型に形成されてい
る。

【００３７】従って、このスピンドル主軸１が回転する
と、ラジアル動圧軸受６の軸受隙間の潤滑流体はポンプ
アウト型の動圧発生用溝１５によってジャーナル部９の
端部方向へ加圧される一方、ポンプイン型の動圧発生用
溝２３によってジャーナル部９の中央方向に向けて加圧
され、結果的に軸受隙間の潤滑流体はこれら動圧発生用
溝１５，２３の間において高い圧力を示すこととなる。
従って、スピトンル主軸１のジャーナル部９ではよりモ
ータ３に近い場所で高圧の空気潤滑膜が発生するので、
スピトンル主軸１の高速回転に伴いモータ３で振動が発
生しても、この振動に抗してスピンドル主軸１を支承す
ることが可能となる。

【００３８】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の動圧
スピンドル装置によれば、スピンドル主軸の回転に伴っ
てラジアル動圧軸受の軸受隙間に存在する潤滑流体は入
れ換えられ、かかる入れ換えによって軸受隙間で発生し
た剪断摩擦熱はラジアル動圧軸受の外部に持ち去られる
ので、ラジアル動圧軸受の回転側部材及び固定側部材の
熱膨張を可及的に小さくすることができ、その分だけ動
圧軸受の軸受隙間を小さく設定してスピンドル主軸の負
荷能力及び剛性を高めることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の動圧スピンドル装置の実施例を示す
断面図である。

【図２】 実施例に係るスピトンル主軸を示す正面図で
ある。

【図３】 実施例に係るカラーに形成されたポンプアウ
ト型の動圧発生用溝のパターンを示す図である。

【図４】 実施例に係るカラーに形成されたポンプイン
型の動圧発生用溝のパターンを示す図である。

【図５】 時間経過に伴うスピンドル主軸の温度上昇を
示すグラフである。

【図６】 回転時におけるスピンドル主軸の軸方向への
伸びを本実施例の動圧スピンドル装置と従来のそれとで
比較したグラフである。

【図７】 スピンドル主軸の他の例を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

１…スピンドル主軸、６…ラジアル動圧軸受、７…外輪
（回転側部材）、１４…螺旋状溝、１５…動圧発生用
溝、１６…スラスト動圧軸受、１８…供給流路

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−21435（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−175717（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) F16C 17/00 - 17/26 F16C 37/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジングと、駆動手段に連結されて回
   転するスピンドル主軸と、所定の軸受隙間を介して対向
   する回転側部材及び固定側部材から構成され、上記スピ
   ンドル主軸をハウジングに対して回転自在に支承するラ
   ジアル動圧軸受とを備えた動圧スピンドル装置におい
   て、 上記ラジアル動圧軸受の固定側部材には該軸受の軸受隙
   間に対して潤滑流体を供給する供給流路を開設する一
   方、上記回転側部材には上記供給流路の開設位置を挟ん
   で一対のポンプアウト型の動圧発生用溝を形成し、上記
   スピンドル主軸の回転に伴いラジアル動圧軸受の軸受隙
   間に介在する潤滑流体を該軸受の軸方向の両端へ向けて
   排出するように構成し、更に、 上記ラジアル動圧軸受の回転側部材の周面には、上記供
   給流路の開設位置と各動圧発生用溝の形成位置との間に
   対応して該動圧発生用溝よりも深溝の螺旋状溝を形成
   し、上記スピンドル主軸の回転に伴って上記供給流路か
   らラジアル動圧軸受の軸受隙間に潤滑流体を吸引し、且
   つ、これを動圧発生用溝の形成部位に押し込むようにし
   た ことを特徴とする動圧スピンドル装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の動圧スピンドル装置にお
   いて、上記ラジアル動圧軸受の固定側部材の熱膨張係数
   を回転側部材のそれよりも大きく設定したことを特徴と
   する動圧スピンドル装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の動圧スピンドル装
   置において、上記スピンドル主軸の出力端と上記ラジア
   ル動圧軸受との間には該スピンドル主軸の軸方向への移
   動を規制するスラスト動圧軸受を設けると共に、上記ス
   ピンドル主軸にはこのスラスト動圧軸受を構成するカラ
   ーを固定し、このカラーよりもラジアル動圧軸受側に位
   置するスピンドル主軸のジャーナル部をセラミクス材で
   形成する一方、上記カラーよりも出力端側に位置するス
   ピンドル主軸の先端部を上記セラミクス材よりも熱膨張
   係数の低い材料で形成したことを特徴とする動圧スピン
   ドル装置。