JP2903263B2 - 屈折率分布の測定装置 - Google Patents
屈折率分布の測定装置Info
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- JP2903263B2 JP2903263B2 JP3057525A JP5752591A JP2903263B2 JP 2903263 B2 JP2903263 B2 JP 2903263B2 JP 3057525 A JP3057525 A JP 3057525A JP 5752591 A JP5752591 A JP 5752591A JP 2903263 B2 JP2903263 B2 JP 2903263B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/412—Index profiling of optical fibres
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば光ファイバ用プ
リフォームやロッドレンズに使用される円柱ガラスの屈
折率分布の測定装置に関するものである。
リフォームやロッドレンズに使用される円柱ガラスの屈
折率分布の測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用プリフォーム（母材）やロ
ッドレンズに使用される円柱ガラスは、半径方向の屈折
率がほぼ２乗分布、軸方向の屈折率は均一になってい
る。これを線引きして光ファイバが形成される。良好な
製品を得るためには線引き前のプリフォームの屈折率分
布を正確に測定することが必要である。
ッドレンズに使用される円柱ガラスは、半径方向の屈折
率がほぼ２乗分布、軸方向の屈折率は均一になってい
る。これを線引きして光ファイバが形成される。良好な
製品を得るためには線引き前のプリフォームの屈折率分
布を正確に測定することが必要である。
【０００３】屈折率分布の測定法としては、例えば特開
昭63-95336号公報に光ファイバ用のプリフォームの中心
軸と垂直方向から光線を入射させ、その出射角を求めて
プリフォームの屈折率分布を測定する方法が開示されて
いる。図９には同公報に開示された屈折率分布測定装置
を示してある。同図に示すように光源６とレンズ７から
なる入射光学系から、セル２内のマッチングオイル３中
に設置されたプリフォーム１に入射され、プリフォーム
１を通って出射された出射光はレンズ５１を有する出射
光学系を通過してＴＶカメラ５２の観察面に投影され
る。
昭63-95336号公報に光ファイバ用のプリフォームの中心
軸と垂直方向から光線を入射させ、その出射角を求めて
プリフォームの屈折率分布を測定する方法が開示されて
いる。図９には同公報に開示された屈折率分布測定装置
を示してある。同図に示すように光源６とレンズ７から
なる入射光学系から、セル２内のマッチングオイル３中
に設置されたプリフォーム１に入射され、プリフォーム
１を通って出射された出射光はレンズ５１を有する出射
光学系を通過してＴＶカメラ５２の観察面に投影され
る。
【０００４】図１０に示すようにプリフォーム１から出
射されＴＶカメラ５２の観察面４３に投影された出射光
の０次の回折光スポット４０、１次の回折光スポット４
１、２次の回折光スポット４２・・・の中から０次の回
折光スポット４０を２次元的に解析して取り出し、この
０次の回折光スポット４０のｘ座標xfと出射光学系の焦
点距離ｆとから出射角φを φ＝tan-1(xf/f) で求めている。そして、この出射角φからプリフォーム
１の屈折率分布n(r)を次式
射されＴＶカメラ５２の観察面４３に投影された出射光
の０次の回折光スポット４０、１次の回折光スポット４
１、２次の回折光スポット４２・・・の中から０次の回
折光スポット４０を２次元的に解析して取り出し、この
０次の回折光スポット４０のｘ座標xfと出射光学系の焦
点距離ｆとから出射角φを φ＝tan-1(xf/f) で求めている。そして、この出射角φからプリフォーム
１の屈折率分布n(r)を次式
【０００５】
【数１】
【０００６】（n2はクラッドの屈折率、ａはプリフォー
ム１の半径、ｒは入射位置）で算出している。
ム１の半径、ｒは入射位置）で算出している。
【０００７】特開昭63-95337号公報に開示された屈折率
分布の測定方法は、出射光学系にスリットを設けて出射
光の０次の回折光スポット４０だけを取り出すことによ
り、高次の回折光スポットの影響を受けずに屈折率分布
を測定している。
分布の測定方法は、出射光学系にスリットを設けて出射
光の０次の回折光スポット４０だけを取り出すことによ
り、高次の回折光スポットの影響を受けずに屈折率分布
を測定している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
測定装置を用いて屈折率を測定した場合、求める出射角
φがばらつくことがある。例えば図６に示すようなコア
の最大屈折率がn1で、クラッドの屈折率がn2であるプリ
フォーム１の入射位置ｒと出射角φの関係を測定すると
図７のような結果が得られる。図７に示す出射角φによ
り屈折率分布n(r)を求めると図８に示す特性が得られ
る。このようにして同一のプリフォーム１の屈折率分布
n(r)を３０回繰り返して測定し、 Δ=(n1-n2)×100/n1
で示す比屈折率差Δを求め、この比屈折率差Δの標準偏
差σを算出して比屈折率差Δで正規化した場合、σ／Δ
を 0.001以下にすることが出来ない。
測定装置を用いて屈折率を測定した場合、求める出射角
φがばらつくことがある。例えば図６に示すようなコア
の最大屈折率がn1で、クラッドの屈折率がn2であるプリ
フォーム１の入射位置ｒと出射角φの関係を測定すると
図７のような結果が得られる。図７に示す出射角φによ
り屈折率分布n(r)を求めると図８に示す特性が得られ
る。このようにして同一のプリフォーム１の屈折率分布
n(r)を３０回繰り返して測定し、 Δ=(n1-n2)×100/n1
で示す比屈折率差Δを求め、この比屈折率差Δの標準偏
差σを算出して比屈折率差Δで正規化した場合、σ／Δ
を 0.001以下にすることが出来ない。
【０００９】本発明は上記の問題を解決するためになさ
れたもので、プリフォームの屈折率分布をより精度高く
測定可能な屈折率分布の測定装置を提供することを目的
とする。
れたもので、プリフォームの屈折率分布をより精度高く
測定可能な屈折率分布の測定装置を提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者らは出射角φの
誤差の原因を検討したところ、測定に使用するセル２の
入射窓および出射窓を構成するガラスの気泡や屈折率変
動により測定光が曲げられるためであるということを見
い出した。即ち、従来の測定装置は円柱ガラス１を概略
屈折率の等しいマッチング液３に浸して測定するが、マ
ッチング液３の温度変化によって屈折率が変化して屈折
角が変化し、光が出射側の窓を通過する位置が変わる
（数μｍ程度）ため、出射側の窓ガラスに屈折率変動が
あると出射角φが変化してしまう。また、窓ガラスは汚
れや傷などにより交換することがあるため、使用するガ
ラス間に屈折率の変動があると出射角φが変化してしま
う。屈折率分布は、プリフォーム１に対してその中心軸
からの距離ｒを変えて測定光を入射させ、各入射位置に
おける出射角φの値から屈折率分布を求めているため、
プリフォーム１の中心軸に対する入射角および出射角φ
の測定値が一定にならない。この屈折率の変動の原因と
してガラス中の気泡や脈理が考えられる。ガラス内部の
気泡は、入射窓および出射窓に合成石英ガラスを用いる
ことによって実質的になくすことが可能であるが、合成
石英ガラスには脈理と呼ばれる屈折率の揺らぎがあり、
これをできるだけ少なくすることが必要である。
誤差の原因を検討したところ、測定に使用するセル２の
入射窓および出射窓を構成するガラスの気泡や屈折率変
動により測定光が曲げられるためであるということを見
い出した。即ち、従来の測定装置は円柱ガラス１を概略
屈折率の等しいマッチング液３に浸して測定するが、マ
ッチング液３の温度変化によって屈折率が変化して屈折
角が変化し、光が出射側の窓を通過する位置が変わる
（数μｍ程度）ため、出射側の窓ガラスに屈折率変動が
あると出射角φが変化してしまう。また、窓ガラスは汚
れや傷などにより交換することがあるため、使用するガ
ラス間に屈折率の変動があると出射角φが変化してしま
う。屈折率分布は、プリフォーム１に対してその中心軸
からの距離ｒを変えて測定光を入射させ、各入射位置に
おける出射角φの値から屈折率分布を求めているため、
プリフォーム１の中心軸に対する入射角および出射角φ
の測定値が一定にならない。この屈折率の変動の原因と
してガラス中の気泡や脈理が考えられる。ガラス内部の
気泡は、入射窓および出射窓に合成石英ガラスを用いる
ことによって実質的になくすことが可能であるが、合成
石英ガラスには脈理と呼ばれる屈折率の揺らぎがあり、
これをできるだけ少なくすることが必要である。
【００１１】前記の課題を解決するために本発明者らは
鋭意研究を重ねた結果、入射窓および出射窓に用いる合
成石英ガラスの屈折率変動を完全になくすことは出来な
いものの、屈折率変動を１０-5以下、好ましくは２．０
×１０-6以下に抑えると、測定光に与える影響が少なく
なって出射角φのばらつきが小さくなるということを見
出し、本発明を完成するに至った。
鋭意研究を重ねた結果、入射窓および出射窓に用いる合
成石英ガラスの屈折率変動を完全になくすことは出来な
いものの、屈折率変動を１０-5以下、好ましくは２．０
×１０-6以下に抑えると、測定光に与える影響が少なく
なって出射角φのばらつきが小さくなるということを見
出し、本発明を完成するに至った。
【００１２】即ち、本発明の屈折率分布の測定装置は、
実施例に対応する図１および図２に示すように、円柱ガ
ラス１の中心軸１ａと垂直方向から光線を入射する入射
光学系６と、入射光学系６から入射して円柱ガラス１を
通った出射光９を受光してその受光像の電気信号を送り
出す撮像手段１０とを有している。円柱ガラス１はその
最外周部の屈折率に略等しいマッチング液３を満たした
セル２に装着されている。図３に示すように、セル２の
光線の入射位置および出射位置には、入射光に垂直な石
英ガラス窓２１が設けられている。
実施例に対応する図１および図２に示すように、円柱ガ
ラス１の中心軸１ａと垂直方向から光線を入射する入射
光学系６と、入射光学系６から入射して円柱ガラス１を
通った出射光９を受光してその受光像の電気信号を送り
出す撮像手段１０とを有している。円柱ガラス１はその
最外周部の屈折率に略等しいマッチング液３を満たした
セル２に装着されている。図３に示すように、セル２の
光線の入射位置および出射位置には、入射光に垂直な石
英ガラス窓２１が設けられている。
【００１３】石英ガラス窓２１には、屈折率変動が２．
０×１０-6以下の石英ガラスを使用する。屈折率変動が
２．０×１０-6以上の場合は屈折率分布の測定精度が低
下する。
０×１０-6以下の石英ガラスを使用する。屈折率変動が
２．０×１０-6以上の場合は屈折率分布の測定精度が低
下する。
【００１４】
【作用】本発明の測定装置では、円柱ガラスの中心軸１
ａと垂直な方向から入射し、出射した出射光９は撮像手
段１０によって受光されてその出射角φが測定される。
セル２の光線の入射位置および出射位置に設けられた石
英ガラス窓２１を構成する石英ガラスは、屈折率変動が
２．０×１０-6以下であるため、測定光が石英ガラス窓
２１のどの部分を透過しても一定の条件でプリフォーム
１に入射し、プリフォーム１を透過した出射光９は出射
窓である石英ガラス窓２１を透過する。そのため、出射
角φのばらつきが少なく、プリフォームの屈折率分布を
高精度で測定することができる。
ａと垂直な方向から入射し、出射した出射光９は撮像手
段１０によって受光されてその出射角φが測定される。
セル２の光線の入射位置および出射位置に設けられた石
英ガラス窓２１を構成する石英ガラスは、屈折率変動が
２．０×１０-6以下であるため、測定光が石英ガラス窓
２１のどの部分を透過しても一定の条件でプリフォーム
１に入射し、プリフォーム１を透過した出射光９は出射
窓である石英ガラス窓２１を透過する。そのため、出射
角φのばらつきが少なく、プリフォームの屈折率分布を
高精度で測定することができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
【００１６】図１には本発明の屈折率分布測定装置の一
実施例の概略構成、図２には測定装置における光路が示
してある。これらの図において、２はプリフォーム１を
装着したセルであり、セル２内にはプリフォーム１の表
面における急激な屈折率変化を除くためにマッチングオ
イル３が満たされている。プリフォーム１は移動テーブ
ル４によりセル３ごと移動可能である。
実施例の概略構成、図２には測定装置における光路が示
してある。これらの図において、２はプリフォーム１を
装着したセルであり、セル２内にはプリフォーム１の表
面における急激な屈折率変化を除くためにマッチングオ
イル３が満たされている。プリフォーム１は移動テーブ
ル４によりセル３ごと移動可能である。
【００１７】５は例えばＨｅーＮｅレーザ発振器からな
る光源、６は入射光学系であり、入射光学系６は光源５
からの入射光をプリフォーム１の中心で最小になるよう
に収斂している。７ａ・７ｂはミラー、８はプリフォー
ム１から出射した出射光９の投影像を形成するスクリー
ン、１０はスクリーン８に投影された投影像を観察する
ＴＶカメラ、１１はＴＶカメラ１０で得た投影像の位置
から出射角を求めて屈折率分布を演算する制御部であ
る。この装置全体はプリフォーム１の測定温度に設定し
た恒温室に設置されている。
る光源、６は入射光学系であり、入射光学系６は光源５
からの入射光をプリフォーム１の中心で最小になるよう
に収斂している。７ａ・７ｂはミラー、８はプリフォー
ム１から出射した出射光９の投影像を形成するスクリー
ン、１０はスクリーン８に投影された投影像を観察する
ＴＶカメラ、１１はＴＶカメラ１０で得た投影像の位置
から出射角を求めて屈折率分布を演算する制御部であ
る。この装置全体はプリフォーム１の測定温度に設定し
た恒温室に設置されている。
【００１８】図３にセル２の拡大図を示す。セル２は直
方体状の容器で、その蓋２ａと底面には屈折率変動が
２．０×１０-6以下の石英ガラスを機械的に研磨した石
英ガラスの窓２１が設けられている。プリフォーム１は
その側面を貫通して装着される。セル２の内部にはプリ
フォーム１の最外周部と屈折率が略等しいマッチングオ
イル３が満たされている。
方体状の容器で、その蓋２ａと底面には屈折率変動が
２．０×１０-6以下の石英ガラスを機械的に研磨した石
英ガラスの窓２１が設けられている。プリフォーム１は
その側面を貫通して装着される。セル２の内部にはプリ
フォーム１の最外周部と屈折率が略等しいマッチングオ
イル３が満たされている。
【００１９】図４は制御部１１の構成を示すブロック図
である。同図において、１２はＴＶカメラ１０で観察し
たスクリーン８上の投影像４０〜４２（図５参照）のデ
ータを蓄えるフレームメモリ、１３はフレームメモリ１
２に蓄えられたデータを２値化し直線近似を行なう演算
手段、１４は演算手段１３で得た直線とプリフォーム１
の中心軸１ａと垂直で入射光が通る平面との交点を求め
る位置算出手段、１５は位置算出手段１４で求めた交点
の座標から出射角φを演算する出射角演算手段である。
１６は出射角演算手段で演算した出射角φによりプリフ
ォーム１の屈折率分布を演算する屈折率分布演算手段、
１７は表示部および記録部からなる出力手段である。
である。同図において、１２はＴＶカメラ１０で観察し
たスクリーン８上の投影像４０〜４２（図５参照）のデ
ータを蓄えるフレームメモリ、１３はフレームメモリ１
２に蓄えられたデータを２値化し直線近似を行なう演算
手段、１４は演算手段１３で得た直線とプリフォーム１
の中心軸１ａと垂直で入射光が通る平面との交点を求め
る位置算出手段、１５は位置算出手段１４で求めた交点
の座標から出射角φを演算する出射角演算手段である。
１６は出射角演算手段で演算した出射角φによりプリフ
ォーム１の屈折率分布を演算する屈折率分布演算手段、
１７は表示部および記録部からなる出力手段である。
【００２０】図１および図２に示すように、光源５から
送られた光は、光ファイバ用のプリフォーム１の中心軸
１ａに垂直な平面Ｐを通り、ミラー７ａで反射してセル
２に装着されたプリフォーム１に入射し、屈折されて出
射する。プリフォーム１を通った出射光９はミラー７ｂ
で反射し、プリフォーム１が装着されていない場合のセ
ル２およびマッチングオイル３を通って出射された光線
と垂直なスクリーン８に至る。この入射光と出射光９の
点ａ、ｂ、ｃはプリフォーム１の軸方向の屈折率に変化
がない場合は平面Ｐ上に存在するが、実際にはプリフォ
ーム１により散乱されて図５のように投影される。その
各投影像４０〜４２をＴＶカメラ１０で観察し、その出
力信号をフレームメモリ１２に取り込む。次に、フレー
ムメモリ１２に蓄えられた各投影像のデータを演算手段
１３で２値化して最小２乗法により直線近似を行ない、
同図に示す近似直線２０を求める。その後、位置算出手
段１４で近似直線２０とプリフォーム１の中心軸２と垂
直で入射光が通る平面、すなわち図５に示すｙ軸との交
点yCを求め、プリフォーム１が装着されていない状態、
つまりセル２およびマッチングオイル３のみを通る出射
光の投影像を基準点Ｏとした交点yCの座標値から出射角
演算手段１５で出射角φを演算し、演算した出射角φを
メモリ１８で蓄える。
送られた光は、光ファイバ用のプリフォーム１の中心軸
１ａに垂直な平面Ｐを通り、ミラー７ａで反射してセル
２に装着されたプリフォーム１に入射し、屈折されて出
射する。プリフォーム１を通った出射光９はミラー７ｂ
で反射し、プリフォーム１が装着されていない場合のセ
ル２およびマッチングオイル３を通って出射された光線
と垂直なスクリーン８に至る。この入射光と出射光９の
点ａ、ｂ、ｃはプリフォーム１の軸方向の屈折率に変化
がない場合は平面Ｐ上に存在するが、実際にはプリフォ
ーム１により散乱されて図５のように投影される。その
各投影像４０〜４２をＴＶカメラ１０で観察し、その出
力信号をフレームメモリ１２に取り込む。次に、フレー
ムメモリ１２に蓄えられた各投影像のデータを演算手段
１３で２値化して最小２乗法により直線近似を行ない、
同図に示す近似直線２０を求める。その後、位置算出手
段１４で近似直線２０とプリフォーム１の中心軸２と垂
直で入射光が通る平面、すなわち図５に示すｙ軸との交
点yCを求め、プリフォーム１が装着されていない状態、
つまりセル２およびマッチングオイル３のみを通る出射
光の投影像を基準点Ｏとした交点yCの座標値から出射角
演算手段１５で出射角φを演算し、演算した出射角φを
メモリ１８で蓄える。
【００２１】この動作を移動テーブル４を移動させなが
らプリフォーム１の半径方向の各位置で行ない、各位置
における出射角φを求めてメモリ１８に記憶させる。こ
のメモリ１８に記憶させた各出射角φを屈折率分布演算
手段１６に送って屈折率分布ｎ(r) を演算して出力手段
１７に送る。セル２の窓２１には、屈折率変動が２×１
０-6以下の合成石英ガラスを用いているため、測定の際
に測定光が窓２１のどの部分を透過した場合でも、出射
角φを同一条件で求めることが出来る。
らプリフォーム１の半径方向の各位置で行ない、各位置
における出射角φを求めてメモリ１８に記憶させる。こ
のメモリ１８に記憶させた各出射角φを屈折率分布演算
手段１６に送って屈折率分布ｎ(r) を演算して出力手段
１７に送る。セル２の窓２１には、屈折率変動が２×１
０-6以下の合成石英ガラスを用いているため、測定の際
に測定光が窓２１のどの部分を透過した場合でも、出射
角φを同一条件で求めることが出来る。
【００２２】上記のようにして、例えば図６に示すよう
なコアの最大屈折率がn1で、クラッドの屈折率がn2のプ
リフォーム１の入射位置ｒと出射角φとの関係を測定し
た結果を図７に示す。そして、図７に示す出射角φによ
り屈折率分布n(r)を求めると図８に示す特性を得ること
ができた。
なコアの最大屈折率がn1で、クラッドの屈折率がn2のプ
リフォーム１の入射位置ｒと出射角φとの関係を測定し
た結果を図７に示す。そして、図７に示す出射角φによ
り屈折率分布n(r)を求めると図８に示す特性を得ること
ができた。
【００２３】窓２１に屈折率変動が２．０×１０-6以下
の石英ガラス（信越石英（株）製、スプラジルＰ−１
０）を用い、入射側の窓ガラスは測定の都度交換し、出
射側の窓ガラスは取付けたまま交換せずに３０回繰り返
して測定し、次式で示す比屈折率差Δ Δ=(n1-n2)×100/n1 を求め、この比屈折率差Δの標準偏差σを算出して比屈
折率差Δで正規化した結果、 （σ／Δ）＝0.0007 を達成することができた。
の石英ガラス（信越石英（株）製、スプラジルＰ−１
０）を用い、入射側の窓ガラスは測定の都度交換し、出
射側の窓ガラスは取付けたまま交換せずに３０回繰り返
して測定し、次式で示す比屈折率差Δ Δ=(n1-n2)×100/n1 を求め、この比屈折率差Δの標準偏差σを算出して比屈
折率差Δで正規化した結果、 （σ／Δ）＝0.0007 を達成することができた。
【００２４】比較のため、窓２１に屈折率変動が５×１
０-5である石英ガラス（信越石英（株）製、スプラジル
Ｐ−２０）を用い、上記と同様にして比屈折率差Δを求
め、その標準偏差σを算出して比屈折率差Δで正規化し
たところ、 （σ／Δ）＝0.001 であった。
０-5である石英ガラス（信越石英（株）製、スプラジル
Ｐ−２０）を用い、上記と同様にして比屈折率差Δを求
め、その標準偏差σを算出して比屈折率差Δで正規化し
たところ、 （σ／Δ）＝0.001 であった。
【００２５】なお、上記実施例においてはスクリーン８
とＴＶカメラ１０で出射光の投影像を観察する場合につ
いて説明したが、撮像素子により投影像を観察しても上
記実施例と同様な作用を奏することができる。
とＴＶカメラ１０で出射光の投影像を観察する場合につ
いて説明したが、撮像素子により投影像を観察しても上
記実施例と同様な作用を奏することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の屈
折率分布の測定装置は、屈折率測定に用いるセルの入射
位置および出射位置の石英ガラス窓として屈折率変動が
２．０×１０-6以下の石英ガラスを用いている。測定光
が石英ガラス窓のどの部分に入射した場合でも一定の条
件で透過するために出射角のばらつきが少なく、プリフ
ォームの屈折率分布を高精度で測定することができる。
折率分布の測定装置は、屈折率測定に用いるセルの入射
位置および出射位置の石英ガラス窓として屈折率変動が
２．０×１０-6以下の石英ガラスを用いている。測定光
が石英ガラス窓のどの部分に入射した場合でも一定の条
件で透過するために出射角のばらつきが少なく、プリフ
ォームの屈折率分布を高精度で測定することができる。
【図１】本発明を適用する屈折率分布の測定装置の実施
例の概略側面図である。
例の概略側面図である。
【図２】本発明の実施例における屈折率分布測定の原理
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図３】本発明の実施例のセルを示す拡大斜視図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施例の制御部を示すブロック図であ
る。
る。
【図５】本発明の実施例の投影像を示す図である。
【図６】プリフォームの屈折率分布を示す特性図であ
る。
る。
【図７】上記の実施例により測定した出射角特性図であ
る。
る。
【図８】実施例により測定した出射角特性から得た屈折
率分布特性図である。
率分布特性図である。
【図９】従来例の概略平面図である。
【図１０】従来例の投影像を示す図である。
１はプリフォーム、２はセル、３はマッチング液、４は
移動テーブル、５は光源、６は入射光学系、７ａ・７ｂ
はミラー、８はスクリーン、９は出射光、10はＴＶカメ
ラ、11は制御部、12はフレームメモリ、13は演算手段、
14は位置算出手段、15は出射角演算手段、16は演算手
段、17は出力手段、18はメモリ、20は近似直線、21は石
英ガラス窓である。
移動テーブル、５は光源、６は入射光学系、７ａ・７ｂ
はミラー、８はスクリーン、９は出射光、10はＴＶカメ
ラ、11は制御部、12はフレームメモリ、13は演算手段、
14は位置算出手段、15は出射角演算手段、16は演算手
段、17は出力手段、18はメモリ、20は近似直線、21は石
英ガラス窓である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−225250（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−224130（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−23236（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−102139（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−24048（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−154947（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−127447（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01M 11/02 G01N 21/41
Claims (1)
- 【請求項１】 円柱ガラスの中心軸と垂直方向から光線
を入射する入射光学系と、前記入射光学系から入射して
円柱ガラスを通った出射光を受光してその受光像の電気
信号を送り出す撮像手段とを有し、該円柱ガラスがその
最外周部の屈折率に略等しいマッチング液を満たしたセ
ルに装着された屈折率分布測定装置において、前記セル
の光線の入射位置および出射位置に、入射光に垂直な石
英ガラス窓が設けられ、該石英ガラス窓を構成する石英
ガラスの屈折率変動が２．０×１０-6以下であることを
特徴とする屈折率分布の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3057525A JP2903263B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 屈折率分布の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3057525A JP2903263B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 屈折率分布の測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04294239A JPH04294239A (ja) | 1992-10-19 |
| JP2903263B2 true JP2903263B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=13058161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3057525A Expired - Lifetime JP2903263B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 屈折率分布の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2903263B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107153050A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-09-12 | 华中科技大学 | 一种折射率匹配的装置以及方法 |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3057525A patent/JP2903263B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107153050A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-09-12 | 华中科技大学 | 一种折射率匹配的装置以及方法 |
| CN107153050B (zh) * | 2017-05-31 | 2019-10-25 | 华中科技大学 | 一种折射率匹配的装置以及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04294239A (ja) | 1992-10-19 |
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