JP3321965B2 - 間隙計測方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は間隙計測方法および装
置に関し、例えばＣＲＴの電子銃やＣＲＴのマスク等の
複雑な形状でなおかつ測定したい部位の間隙が非常に狭
い場合におけるその間隙の計測、あるいは一般的な機械
構造物で測定部位が狭隘であるため定規のようなものが
挿入できないような場合におけるその間隙を計測する方
法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の計測において用いられて
いる光学系の例として、特開平５ー９３６１４号公報が
あり、その構成を模式的に表したものを図９に示す。図
において、１は被計測体であり、部品が微小な間隙１ａ
をはさんで構成されている実装前の電子銃である。な
お、図では明確のため一部切り欠いて断面図で示してい
る。１ｂは電子ビーム通路となる開孔である。２は投光
系におけるレンズ、３は光源、４は光源３からの光を伝
送する光ファイバー、５は被計測体を検出像として観察
するためのＣＣＤカメラと結像レンズ、６は信号処理装
置、７はカメラ５が見ている像を観察するためモニタテ
レビである。

【０００３】次に動作について説明する。光源３で発生
した白色光は、伝送用ファイバー４を介して投光系レン
ズ２から被計測体１の微小間隙１ａ内部を照明できる角
度すなわちほぼ真横の状態から照明する。この照明光の
うち間隙１ａを通り抜けた光はＣＣＤカメラ５に至り、
間隙１ａに遮られた部分の光はカメラに到達しないで陰
になるので、ＣＣＤカメラ５によって得られる検出画像
では、明暗の像が観察できる。この明暗画像のなかで明
るくなっている部分の幅を、目的の間隙１ａとして、検
出画像から人間あるいは信号処理装置６に組み込まれた
れた計算ソフトウェアが、間隙寸法として計測する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の間隙計測方法お
よび装置は以上のように構成され計測されていたので、
間隙１ａの奥行きが長くなるにしたがって、検出レンズ
の焦点深度を外れるため検出画像においては間隙１ａの
境界部が作る明暗の像が不明瞭になり、境界を構成する
部品が検出光学系に対して傾いていると、更に境界が不
明瞭になって、どこが本当の部品の境界なのかの判別が
つき難くなる。また、間隙１ａが１ミリ以下の非常に狭
い物になると、間隙１ａを透過して結像レンズに到達す
る光の量が急激に減少し、その結果としてレンズの実効
解像度が低下してしまうため、検出画像における間隙１
ａの像が一層ピンボケになって部品の境界がさらに不明
瞭になり、部品が傾いているのと間隙１ａの幅が基準値
内からはずれているのとの区別が検出画像からは付けら
れなくなり、測定精度が悪い、測定効率が悪い、測定値
の再現性が得られないなどの多くの問題があった。特
に、間隙１ａ幅が０．５ミリ以下のとりわけ狭いものに
なった場合には、もはや間隙１ａの全体がピンボケなっ
て満足な測定が出来ないという問題があった。さらに、
この方法では間隙１ａの一番狭い部分の寸法を計測する
ことになり、間隙１ａの所望部分の寸法、例えば電子ビ
ーム通路１ｂ近傍の間隙１ａ寸法は計測できない。

【０００５】この発明は、上記のような問題を解消する
ためになされたもので、検出すべき間隙１ａが狭い場合
でも、所望位置の間隙の寸法を精度および再現性良く効
率的に計測できる間隙計測方法および装置を得ることを
目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る間隙計測方
法は、非平行光を放出する点光源状の光源を、間隙の被
計測部近傍でこの間隙を横切って相対移動可能に配置
し、上記光源から直進して上記間隙を通過した光を検出
することにより、上記光源が間隙を横切る時の検出光量
の変化から上記間隙の境界の位置を検出するものであ
る。

【０００７】本発明に係る間隙計測装置は、間隙の被計
測部近傍に配置され非平行光を放出する点光源状の光源
と、この光源から放出され上記間隙を通過した光を集め
る集光レンズと、この集光レンズの結像点に投影される
光を検出する光検出器とを備える光学系機構、上記光源
からの光が上記間隙を横切るように、上記被計測間隙お
よび光学系機構の少なくとも一方を移動させる移動手
段、並びに上記間隙と光学系機構の相対移動量および光
信号の変化から間隙の寸法を決定する信号処理装置を具
備するものである。

【０００８】また、間隙の被計測部が内部に存在し、被
計測部を横切る開孔を有する被計測体においては、光源
は、少なくとも側面に垂直な方向に光を放出する光放出
部を有し、この光放出部が上記開孔から上記被計測部近
傍に挿入されるプローブであるものである。

【０００９】また、集光レンズの結像点に投影される光
を選択的に通過させる光選択手段を上記集光レンズと光
検出器の間に備えるものである。

【００１０】また、光選択手段はアパーチャー、スリッ
ト、スリットの組合せ、または光ファイバーであるもの
である。

【００１１】また、点光源状の光源は、光放出部の直径
または幅が５０μｍ以下の領域よりなるものであるもの
である。

【００１２】また、集光レンズおよび光検出器を複数個
備え、間隙の被計測部近傍に配置された光源から異なる
方向に放出され上記間隙を通過した光をそれぞれ集光し
検出するように構成したものである。

【００１３】また、光学系機構を複数個備え、間隙の異
なる位置の寸法を計測するように構成したものである。

【００１４】

【作用】本発明に係る間隙計測方法によれば、非平行光
を放出する点光源状の光源を、間隙の被計測部近傍でこ
の間隙を横切って相対移動可能に配置し、上記光源から
直進して上記間隙を通過した光を検出することにより、
上記光源が間隙を横切る時の検出光量の変化から上記間
隙の境界の位置を検出するので、光源の位置そのもの
を、測定したい部品の位置に置き換えて、その光源の位
置を高精度に安定して検出でき、狭い間隙であっても所
望位置の間隙寸法を精度および再現性良く、効率的に計
測できる。

【００１５】本発明に係る間隙計測装置によれば、間隙
の被計測部近傍に配置され非平行光を放出する点光源状
の光源と、この光源から放出され上記間隙を通過した光
を集める集光レンズと、この集光レンズの結像点に投影
される光を検出する光検出器とを備える光学系機構、上
記光源からの光が上記間隙を横切るように、上記被計測
間隙および光学系機構の少なくとも一方を移動させる移
動手段、並びに上記間隙と光学系機構の相対移動量およ
び光信号の変化から間隙の寸法を決定する信号処理装置
を具備するので、間隙を透過して来る光源からの光の
内、直接透過して来る光はレンズによって結像位置に至
り、光源の像となるが、それ以外にも部品内部のさまざ
まな場所を反射してレンズに至る光例えば迷光が有り、
その光は集光レンズへの入射角が直接間隙を透過してき
た光とは異なり光路が反射によって光源射出時とは変わ
っているためあたかも違う位置からの光のようになっ
て、光源が作る像の位置には至らないで、少しずれた異
なる結像位置に到達する。そのため集光レンズの結像点
に投影される光を検出器に取り込むようにすることで、
この投光光学系と検出光学系の位置関係を固定した状態
で、被計測体との相対位置関係を厳密に管理し、光路の
途中を間隙が横切る時に発生する信号の変化から間隙の
境界を高感度に検出できるものである。よって、狭い間
隙であっても所望位置の間隙寸法を精度および再現性良
く、効率的に計測できる。

【００１６】また、間隙の被計測部が内部に存在し、被
計測部を横切る開孔を有する被計測体においては、光源
は、少なくとも側面に垂直な方向に光を放出する光放出
部を有し、この光放出部が上記開孔から上記被計測部近
傍に挿入されるプローブであるので、間隙の被計測部が
内部に存在する場合にも精度および再現性良く、効率的
に計測できる。

【００１７】また、集光レンズの結像点に投影される光
を選択的に通過させる光選択手段を上記集光レンズと光
検出器の間に備えるので、より高精度に計測できる。

【００１８】また、光選択手段としてはアパーチャーや
スリットやスリットの組合せや光ファイバーを用いるこ
とができる。

【００１９】また、点光源状の光源として、光放出部の
直径または幅が５０μｍ以下のものを用いれば、より高
精度に計測できる。

【００２０】また、集光レンズおよび光検出器を複数個
備え、間隙の被計測部近傍に配置された光源から異なる
方向に放出され上記間隙を通過した光をそれぞれ集光し
検出するように構成したので、間隙の傾きや平行度がわ
かる。

【００２１】また、光学系機構を複数個備え、間隙の異
なる位置の寸法を計測するように構成したので、間隙の
傾きや平行度がわかる。

【００２２】

【実施例】実施例１． 以下、この発明の一実施例による間隙計測方法および装
置について説明する。図１は本発明の実施例１による間
隙計測方法および装置を説明する構成図である。図にお
いて、１は被計測体である電子銃、１ａは間隙、１ｂは
間隙を横切る開孔すなわち電子ビーム通路である。８は
ヘリウムネオンレーザ光源であり、９は先端が光放出部
になっているプローブで本実施例においてはコア径５μ
ｍのシングルモードファイバーである。１０は検出用の
集光レンズ、１１はアパーチャー、１２は例えば光ダイ
オード等の光検出器、１３はアンプ、１４は例えばパー
ソナルコンピューター等の信号処理装置、１５は被計測
体を正確に直進移動させる被計測体移動機構である。な
お、矢印は被計測体の相対移動の方向を示す。

【００２３】次に計測方法について説明する。例えば電
子ビーム通路１ｂ部の間隙１ａの寸法を計測したい場
合、光源すなわち光ファイバー９の光放出部を電子ビー
ム通路１ｂから挿入して間隙１ａの中心付近に導入す
る。このとき、間隙１ａと並行な方向に放出光成分が有
るように光ファイバー９の先端形状が工夫されている。
この光源すなわち光放出部から射出した光のうち、途中
の部品によって反射されていない直進光成分のみが、検
出レンズ１０の結像位置で光源の像に一致する部分に集
まり、アパーチャー１１でその光のみを抽出して光検出
器１２に導入する。検出した光信号はアンプ１３によっ
て増幅され、信号処理装置１４によってサンプリングさ
れる。次に、被計測体１を垂直方向にゆっくりと移動さ
せる。移動手段１５は図に示したような直進駆動の高精
度のガイド機構を組み込んだ試料ステージが望ましい
が、被計測体１を駆動させずに、発光プローブ９、レン
ズ１０、アパーチャー１１、および光検出器１２からな
る光学系機構を一体ものとして、相対的に被計測体１の
間隙１ａを横切る方向に移動させても同じであり、被計
測体１か光源と検出系のセットすなわち光学系機構か少
なくとも何れか一方を移動させることにより相対位置を
変化させ、間隙１ａが有る間は透過光が検出され、間隙
１ａが光源と検出光学系を遮った瞬間、検出光が激減
し、その変化点を位置の情報として覚えておくことで、
移動量が間隙１ａの量となる計算が信号処理装置によっ
て出来る結果となる。

【００２４】その検出信号と相対的な被計測体位置との
関係の例を図２に示した。図において、横軸は相対的な
被計測体位置に当る計測信号検出位置、縦軸は検出光量
すなわち信号値である。この例では間隙１ａがＡ、Ｂ、
Ｃと３つ有る場合を示しており、経験的に決めた検出閾
値ｘを設定し、その値ｘを検出信号値が越えた距離が間
隙１ａの幅に相当する値として計測される。

【００２５】このように、光源が間隙１ａを横切る時の
検出光量の変化から１ａ間隙の境界の位置を検出するの
で、光源の位置そのものを、測定したい部品の位置に置
き換えて、その光源の位置を高精度に安定して検出で
き、狭い間隙であっても所望位置の間隙寸法を精度およ
び再現性良く、効率的に計測できる。

【００２６】図３（Ａ）〜（Ｇ）に発光源として利用可
能な光ファイバープローブ９の先端形状の一例を示す。
図において光放出部を９ａ〜９ｇとして示し、放出光を
矢印で示した。各図を説明する。図３（Ａ）は光ファイ
バーの先端を４５度に傾斜してカットしたものであり、
端面が一種のプリズムの様な役目をする。また（Ｂ）は
光ファイバーの先端に端面（明確のためハッチングで示
す）が全反射になっていて光は側面９ｂから放射される
ように屈折率や透過率を調整した材料を接合したもので
ある。（Ｃ）は光ファイバーの先端部側面の一部分を摺
ガラス状に荒して研磨したものでこの部分から光は四方
へ散乱するように設計してある。また（Ｄ）は光ファイ
バー先端部のコア部分だけを露出させたもので光は前方
のみならず側方にも射出するように表面を荒してある。
（Ｅ）は光ファイバーなどのような光を伝達するプロー
ブもしくは光鏡筒の先端に射出方向を制御するミラー構
造例えば全反射プリズム９０を接着した例である。
（Ｆ）は先端を単にカットした光ファイバーの先端部も
しくは光を導入する光鏡筒の先端に微小ピンホール９ｆ
が取り付けられている例の何れかで、この場合は光は真
横に成分は持たないが、被計測体によってはプローブ先
端を被計測部位に先端から近付けることが出来る場合に
用いる。（Ｇ）はプローブ９の先端にＬＤの様な発光素
子９１が接合されている場合である。このようにプロー
ブの先端形状はいかなる形でも光が出れば問題ないが、
電子銃の間隙計測に用いる場合には、必ず光軸から垂直
な方向への光の射出成分が有ることが必要である。ま
た、測定したい間隙１ａの形状や幅によってプローブを
使い分けるわけであるが、光放出部の大きさすなわち直
径または幅がおおむね５０μｍ以下の領域よりなる点光
源状のものである方が計測分解能が高くなるし、精度も
向上する。

【００２７】実施例２．本 発明の実施例２について説明する。図４においては、
光放出部から間隙１ａに並行な成分の光が等方に出てい
るプローブ９を採用した場合の例で、集光レンズ１０、
アパーチャー１１、および光検出器１２からなる検出系
を左右に配置し、光放出部から左右に放出され間隙１ａ
を通過した光をそれぞれ集光し検出するように構成する
ことで、右側の検出位置と検出光量および左側の検出位
置と検出光量がずれた場合に、間隙１ａの傾き度合いや
平行度が検出光量の違いと検出位置のずれ量から計算で
求めることが可能になる。このように、同一光源で、検
出系を複数別々の位置に配置し、この検出系の相対位置
関係を崩さない状態で被計測体１との相対位置を変化さ
せながら複数の検出系で同時に計測することで、この計
測される間隙幅や間隙位置の違いから間隙１ａの傾き度
合いや平行度が求められる。なお、この例では検出系を
光放出部の左右に１８０度の位置に配置した場合につい
て示したが、これに限るものでなく、他の角度で配置さ
れた場合にも上記実施例２と同様の効果が得られる。ま
たさらに、検出系は２個に限るものではない。

【００２８】実施例３．本 発明の実施例３について説明する。図５では、間隙１
ａの傾きや平行度を検出する別の手段として、実施例２
で説明した１つのプローブで検出光学系を複数配置する
方法以外の例を示している。これは被計測体の間隙１ａ
を横切る開孔１ｂ、１ｃが複数存在するような場合であ
り、例えば電子銃においては電子ビーム通路は普通３本
ある。この図は要部を拡大した断面図であり、他の実施
例と共通のものは省略している。この実施例では光源と
検出光学系のセットすなわち光学系機構を複数備え、そ
れらを測定したい同じ間隙１ａの別開孔１ｂ、１ｃの同
じ位置に並列して配置して２つのプローブ９間の位置関
係を固定した後、被測定物１を相対的に移動すること
で、間隙１ａの傾き度合いや平行度が、各プローブの同
一測定点での検出位置のずれとしてグラフの波形違いや
閾値を通過する位置のずれとなって現れるのでその値か
ら間隙１ａの傾きや平行度を計算する。なお、この例で
は光学系機構を左右に１８０度の位置に配置した場合に
ついて示したが、これに限るものでなく、他の角度で配
置された場合にもこの実施例と同様の効果が得られる。
またさらに、光学系機構は２個に限るものではない。

【００２９】なお、上記実施例２および３では部品の傾
きや平行度の計測に、少なくとも複数の検出光学系を備
えて間隙の異なる方向に進んだ光を検出する場合につい
て説明したが、被計測体を検出光学系に対して相対的に
回転させることにより、間隙の異なる方向に進んだ光を
１つの検出光学系で検出してもよく、上記実施例２、３
と同様の効果が得られる。

【００３０】実施例４．本 発明の実施例４を図６をもとに説明する。図６に示す
実施例は、図１の実施例のアパーチャー１１に該当する
部分を光ファイバー１６に変更したものである。光ファ
イバー１６は入射開口が非常に狭く、コア径の有効開口
角によって非常に限定されたものになるため、アパーチ
ャー１１より更に厳密に入射光を限定して検出したい場
合に有効である。

【００３１】実施例５．本 発明の実施例５について図７をもとに説明する。上記
各実施例では間隙１ａの被計測部が被計測体の内部にあ
る場合について説明したが、被計測部が被計測体の縁部
にあっても十分スペースがとれないなどの物理的な理由
から直接測定が難しい場合には、図７に示すように、間
隙１ａの被計測部近傍に被計測体の外部から光源を配置
する。このとき、光源としては図３（Ｆ）で示したよう
なプローブ９の先端からプローブの側面に並行に光を放
出するものを用いることができる。光源から間隙１ａを
通過した光の検出および間隙位置の計算については上記
各実施例と同様である。なお、図７ではプローブ９の先
端から被計測部に近づけた場合について示したが、図３
（Ａ）〜（Ｅ）、（Ｇ）に示したようなプローブを被計
測体に並行に近づけてもよい。何れの場合にも被計測部
に可能な限り近傍にプローブの光放出部が近づくように
配置することが重要である。

【００３２】実施例６．なお、上記各実施例では何れも
アパーチャー１１や光ファイバー１６などの光選択手段
を備えた場合について説明したが、光選択手段はこれに
限るものではなく、光学スリットや図８に要部を拡大し
て示すようにスリットを縦横に組み合わせたものを用い
ることも可能である。さらに、光の波長選択フィルタや
周波数カットフィルタ、偏光フィルタ等をこれらに加え
て組み合わせることで、余計な外乱光信号が検出器に至
らない状態での計測が可能であり、これは光計測技術と
しては一般的によく知られたテクニックである。さら
に、光検出領域が狭い光検出器１２を用いる場合は光選
択手段は無くてもよい。

【００３３】また、上記各実施例では何れもアンプ１３
を用いて光検出器１２からの検出信号を増幅する場合に
ついて示したが、検出信号の大きさ等によってはアンプ
１３は必ずしも無くてもよい。

【００３４】なお、上記各実施例では主にＣＲＴの電子
銃の間隙を計測する場合について説明したが、これに限
るものではなく、例えば、ＣＲＴのマスク等の複雑な形
状でなおかつ測定したい部位の間隙が非常に狭い場合に
おけるその間隙の計測、あるいは一般的な機械構造物で
測定部位が狭隘であるため定規のようなものが挿入でき
ないような場合にも適用できることは言うまでもない。

【００３５】

【発明の効果】以上のように本発明に係る間隙計測方法
によれば、非平行光を放出する点光源状の光源を、間隙
の被計測部近傍でこの間隙を横切って相対移動可能に配
置し、上記光源から直進して上記間隙を通過した光を検
出することにより、上記光源が間隙を横切る時の検出光
量の変化から上記間隙の境界の位置を検出するので、光
源の位置そのものを、測定したい部品の位置に置き換え
て、その光源の位置を高精度に安定して検出でき、狭い
間隙であっても所望位置の間隙寸法を精度および再現性
良く、効率的に計測できる。

【００３６】本発明に係る間隙計測装置によれば、間隙
の被計測部近傍に配置され非平行光を放出する点光源状
の光源と、この光源から放出され上記間隙を通過した光
を集める集光レンズと、この集光レンズの結像点に投影
される光を検出する光検出器とを備える光学系機構、上
記光源からの光が上記間隙を横切るように、上記被計測
間隙および光学系機構の少なくとも一方を移動させる移
動手段、並びに上記間隙と光学系機構の相対移動量およ
び光信号の変化から間隙の寸法を決定する信号処理装置
を具備するので、狭い間隙であっても所望位置の間隙寸
法を精度および再現性良く、効率的に計測できる。

【００３７】また、間隙の被計測部が内部に存在し、被
計測部を横切る開孔を有する被計測体においては、光源
は、少なくとも側面に垂直な方向に光を放出する光放出
部を有し、この光放出部が上記開孔から上記被計測部近
傍に挿入されるプローブであるので、間隙の被計測部が
内部に存在する場合にも精度および再現性良く、効率的
に計測できる。

【００３８】また、集光レンズの結像点に投影される光
を選択的に通過させる光選択手段を上記集光レンズと光
検出器の間に備えるので、より高精度に計測できる。

【００３９】また、光選択手段としてはアパーチャーや
スリットやスリットの組合せや光ファイバーを用いるこ
とができる。

【００４０】また、点光源状の光源として、光放出部の
直径または幅が５０μｍ以下の領域よりなるものを用い
れば、より高精度に計測できる。

【００４１】また、集光レンズおよび光検出器を複数個
備え、間隙の被計測部近傍に配置された光源から異なる
方向に放出され上記間隙を通過した光をそれぞれ集光し
検出するように構成したので、間隙の傾きや平行度がわ
かる。

【００４２】また、光学系機構を複数個備え、間隙の異
なる位置の寸法を計測するように構成したので、間隙の
傾きや平行度がわかる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１による間隙計測方法および装置を説明
する構成図である。

【図２】実施例１による間隙計測方法および装置によっ
て得られる検出信号波形の例を示す波形図である。

【図３】実施例１係わる発光源プローブの発光部分の先
端形状の例を示す斜視図である。

【図４】実施例２による間隙計測装置を説明する構成図
である。

【図５】実施例３による間隙計測装置を説明する要部構
成図である。

【図６】実施例４による間隙計測装置を説明する構成図
である。

【図７】実施例５による間隙計測装置を説明する要部構
成図である。

【図８】実施例６による間隙計測装置を説明する要部構
成図である。

【図９】従来の間隙計測装置を説明する構成図である。

【符号の説明】 １ 被計測体 １ａ 間隙 １ｂ、１ｃ 電子ビーム通路 ２ 投光レンズ ３ 投光源 ４ 伝送ファイバー ５ ＣＣＤカメラとレンズ ６ 信号処理装置 ７ ＴＶモニタ ８ レーザ光源 ９ 先端が発光光源になっているプローブ １０ 集光レンズ １１ アパーチャー １２ 光検出器 １３ アンプ １４ 信号処理装置 １５ 被計測体移動機構 １６ 光ファイバー １７ スリットの組合せ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−116505（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−109960（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非平行光を放出する点光源状の光源を、
   間隙の被計測部近傍でこの間隙を横切って相対移動可能
   に配置し、上記光源から直進して上記間隙を通過した光
   を検出することにより、上記光源が間隙を横切る時の検
   出光量の変化から上記間隙の境界の位置を検出する間隙
   計測方法。
2. 【請求項２】 間隙の被計測部近傍に配置され非平行光
   を放出する点光源状の光源と、この光源から放出され上
   記間隙を通過した光を集める集光レンズと、この集光レ
   ンズの結像点に投影される光を検出する光検出器とを備
   える光学系機構、上記光源からの光が上記間隙を横切る
   ように、上記被計測間隙および光学系機構の少なくとも
   一方を移動させる移動手段、並びに上記間隙と光学系機
   構の相対移動量および光信号の変化から間隙の寸法を決
   定する信号処理装置を具備する間隙計測装置。
3. 【請求項３】 間隙の被計測部が内部に存在し、被計測
   部を横切る開孔を有する被計測体においては、光源は、
   少なくとも側面に垂直な方向に光を放出する光放出部を
   有し、この光放出部が上記開孔から上記被計測部近傍に
   挿入されるプローブであることを特徴とする請求項２記
   載の間隙計測装置。
4. 【請求項４】 集光レンズの結像点に投影される光を選
   択的に通過させる光選択手段を上記集光レンズと光検出
   器の間に備えることを特徴とする請求項２または３記載
   の間隙計測装置。
5. 【請求項５】 光選択手段はアパーチャー、スリット、
   スリットの組合せ、または光ファイバーであることを特
   徴とする請求項４記載の間隙計測装置。
6. 【請求項６】 点光源状の光源は、光放出部の直径また
   は幅が５０μｍ以下の領域よりなるものである請求項２
   ないし５の何れかに記載の間隙計測装置。
7. 【請求項７】 点光源状の光源は、光放出部の直径また
   は幅が５０μｍ以下の領域よりなるものである請求項１
   記載の間隙計測方法。
8. 【請求項８】 集光レンズおよび光検出器を複数個備
   え、間隙の被計測部近傍に配置された光源から異なる方
   向に放出され上記間隙を通過した光をそれぞれ集光し検
   出するように構成した請求項２ないし６の何れかに記載
   の間隙計測装置。
9. 【請求項９】 光学系機構を複数個備え、間隙の異なる
   位置の寸法を計測するように構成した請求項２ないし６
   の何れかに記載の間隙計測装置。