KR900018643A - 삼각형법 광센서 및 그장치 - Google Patents

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KR900018643A KR1019900007086A KR900007086A KR900018643A KR 900018643 A KR900018643 A KR 900018643A KR 1019900007086 A KR1019900007086 A KR 1019900007086A KR 900007086 A KR900007086 A KR 900007086A KR 900018643 A KR900018643 A KR 900018643A
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워렌 레딩 브루스
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에이. 엘. 미첼슨
코닝 인코오포레이티드
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Abstract

내용 없음

Description

삼각형법 광센서 및 그장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 거울상 반사 형태에 사용된 삼각형법의 센서를 나타낸 개략도, 제3도는 본 발명의 한예에서 언급된 삼각형법 센서를 정밀하게 나타낸 단면도, 제4a도 및 제4b도는 결합뭉치의 입구면에 대해 비스듬히 섬유를 놓아 뭉치에 의해 상이 용이하게 나타나도록 하는 부분의 개략도.

Claims (15)

  1. (1)광원, (2)상기 광원에 연결되어 물체 표면쪽으로 광선을 투영하여 상기 표면에 광점을 형성하는 첫번째 광섬유 수단, (3)상기 첫번째 광섬유 수단과 작동하는 위치에 놓여 있으며 상기 물체로부터 상기 광점의 상을 받는 두번째 광섬유 수단, 및 (4)위치 감지수단에 형성된 상의 위치를 감지하여 상기 광점에 있는 상기 물체의 위치범위를 측정하는데 사용되며 상기 두번째 광수단에 연결되어 작동하는 위치감지수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 삼각형법 센서.
  2. (1) 선(先)결정된 파장을 갖는 광원, (2) 선결정된 기준축을 따라 상기 표면에 평행하게 위치된 한쌍의 센서 헤드, (3) 상기 기준축을 따라 다르게 위치한 최소한 1개의 다른 센서 헤드, 여기서, 각 센서 헤드들은 상기 광원에 광학적으로 결합되어 있으며, 상기 표면 쪽으로 물체를 투영하여 상기 표면에 광점을 형성하는 첫번째 광수단 및 상기 광점의 상을 받는 두번째 광섬유 수단을 함유하고 있다. (4) 각각의 두번째 광섬유 수단을 통해 각각의 상기 센서 헤드와 연결되어 작동하는 감지 수단, (5) 각각의 광점이 형성된 상기 표면상의 점을 이용하여 각각의 상기 센서 헤드의 위치 범위를 결정하며, 상기 감지수단에 연결되어 작동하는 첫번째 작동수단, 및 (6) 상기 첫번째 작동수단에 연결되어 작동하고, 상기 기준축에 대한 위치범위를 결정하며, 상기 기준축까지의 최소한 하나의 다른 센서 헤드를 통해 기준 면적 범위를 결정함으로서 상기 표면의 굴곡을 결정하는 두번째 작동 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면의 굴곡을 측정하는 장치.
  3. (1)광원, (2)표면에 평행인 면에 직선상으로 위치하지 않은 최소한 세개의 센서 헤드, (3) 상기 세개의 센서 헤드에 대해 작동하는 최소한 또다른 센서 헤드, 여기서, 각 센서 헤드들은 상기 광원에 광학적으로 결합되어 있으며, 상기 표면 쪽으로 물체를 투영하여 상기 표면에 광점을 형성하는 첫번째 광수단 및 상기 광점의 상을 받는 두번째 광섬유 수단을 함유하고 있다. (4) 각각의 두번째 광섬유 수단을 통해 각각의 상기 센서 헤드와 연결되어 작동하는 감지 수단, (5) 각각의 광점이 형성된 상기 표면상의 점을 이용하여 각각의 상기 센서 헤드의 위치 범위를 결정하며, 상기 감지수단에 연결되어 작동하는 첫번째 작동수단, 및 (6) 상기 첫번째 작동수단에 연결되어 작동하고, 상기 면에 대한 위치범위를 결정하며, 상기 면까지의 범위를 결정함으로서 상기 표면의 굴곡을 결정하는 두번째 작동 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 선결정된 면에 대한 표면의 굴곡을 측정하는 장치.
  4. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 광원이 단색광 또는 레이저로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 광원이 선결정된 파장을 갖고 있으며, 상기 첫번째 광섬유 수단이 상기 선결정된 파장에서 작동하기에 알맞는 안일 모두 광섬유이며, 상기 단일 모드 광섬유에 결합되어 상기 광원으로부터 상기 빛을 시준하는 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 시준수단이 그레이디드 인덱스 렌즈(graded index lens)로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 두번째 광섬유 수단이 입구표면과 출구표면을 갖는 광섬유들의 결합뭉치 및 상기 결합뭉치의 상기 입구 표면에 상기 광점의 상을 맺히게하는 렌즈 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 결합뭉치들이 선형결합뭉치 또는 면적결합뭉치로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 위치 감지수단이 아나로그 센서 감지기로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 위치 감지수단이 상기 결합뭉치들의 상기 출구 표면에 광학적으로 결합되고, 상기 센서로부터 상기 물체까지의 거리를 표시해주는 다수의 시그널을 형성하는 선형어레이 및, 상기 센서로 부터의 거리를 결정하여 그 표시를 하는 상기 선형 어레이로 부터의 상기 시그널을 받도록 결합되어 있는 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 위치 감지 수단이 상기 결합뭉치들의 상기 출구 표면에 광학적으로 결합되고, 상기 센서로부터 상기 물체까지의 거리를 표시해주는 다수의 시그널을 형성하는 면적어레이 및, 상기 센서로 부터의 거리를 결정하여 그 표시를 하는 상기 면적 어레이로 부터의 상기 시그널을 받도록 결합되어 있는 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 결합뭉치의 상기 입구 표면이 상기 렌즈수단의 촛점 표면에 선결정된 각도로 위치되어 Scheimpflug조건을 만족시키는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제7항에 있어서, 상기 뭉치의 상기 출구 표면이 상기 위치 감지수단에 직접 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제7항에 있어서, 상기 결합뭉치들의 상기 출구표면이 상기 결합뭉치의 상기 출구 표면에 있는 광축에 수직으로 놓여진 시준 렌즈, 상기 시준렌즈로부터 상기 상을 받도록 결합된 레이저선 필터 및 상기 감지수단에 맺힌 상의 촛점을 맞추기 위해 다시 촛점을 맞추는 렌즈를 통해서 상기 위치 감지수단에 선택적이며 광학적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제1항 내지 제14항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 결합뭉치(62)의 출구말단이 서로의 옆에 위치하며, 렌즈(64)에 의해 공유 감지기(66)로 중개되거나 상기 출구말단들이 감지기(66)에 직접 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900007086A 1989-05-18 1990-05-17 삼각형법 광센서 및 그장치 KR900018643A (ko)

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