JP2891144B2

JP2891144B2 - 極低温冷凍機

Info

Publication number: JP2891144B2
Application number: JP7254978A
Authority: JP
Inventors: 達也山口; 伸一笠原; 和夫三浦
Original assignee: Daikin Kogyo Co Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1995-10-02
Filing date: 1995-10-02
Publication date: 1999-05-17
Anticipated expiration: 2015-10-02
Also published as: JPH0996453A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、極低温冷凍機に関
し、特に、ＪＴ弁と該ＪＴ弁の調節手段との連結構造に
係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ヘリウムガスを冷媒とした極
低温冷凍機としては、米国特許第４２２３５４０号公報
に開示されているように、予冷冷凍機とＪＴ冷凍機とを
組み合わせたものがある。上記予冷冷凍機は、ＧＭサイ
クル（ギフォード・マクマホンサイクル）の冷凍機で、
圧縮機で圧縮されたヘリウムガス（冷媒）を膨張機で断
熱膨張させ、その冷媒の温度降下によりヒートステーシ
ョンに極低温レベルの寒冷を発生させるものである。

【０００３】一方、ＪＴ冷凍機は、圧縮機から供給され
たヘリウムガスを予冷冷凍機における膨張機のヒートス
テーションとの間で熱交換して予冷する予冷器と、ヘリ
ウムガスをジュール・トムソン膨張させるＪＴ弁とを備
えている。そして、上記ＪＴ冷凍機は、圧縮機からのヘ
リウムガスを予冷器で予冷すると共に、該予冷されたヘ
リウムガスをＪＴ弁でジュール・トムソン膨張させて４
Ｋレベルの寒冷を発生させるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した極低温冷凍機
において、予冷冷凍機の膨張機やＪＴ冷凍機の予冷器及
びＪＴ弁は、ハウジングに収納されて冷凍機ユニットを
構成している。そして、上記ＪＴ弁の開度を調節するた
めの調節手段がハウジングの外部に設けられており、こ
の調節手段とＪＴ弁とは連結手段によって連結されてい
る。

【０００５】この連結手段は、ＪＴ弁のバルブケースと
ハウジングとに連続するパイプ状のケーシングと、該ケ
ーシングに挿入されたステムシャフトとより構成され、
該ステムシャフトが調節手段とＪＴ弁のステムとに連結
されている。

【０００６】従来、上記調節手段が常温部に配置される
一方、ＪＴ弁が４Ｋレベルの冷却部に近接して配置され
ているので、ステムシャフトを中空シャフトに形成し、
該ステムシャフトの熱伝導を小さくして熱侵入を抑制す
るようにしていた。この中空のステムシャフトを用いる
と、該中空部にヘリウムガスが流入するものの、冷凍機
ユニットが縦置きに配置された場合には、中空部で対流
が生じることがないので、熱侵入はほぼ皆無である。

【０００７】しかしながら、上記冷凍機ユニットが横置
きに配置された場合には、ステムシャフトも横向きに配
置されることになり、シャフトの中空部でヘリウムガス
の対流が生じることになる。この結果、調節手段の常温
部から極低温の冷却部に熱侵入が生じ、冷凍性能が低下
するという問題があった。

【０００８】本発明は、斯かる点に鑑みてなされたもの
で、ＪＴ弁と調節手段とを連結する連結手段からの熱侵
入を抑制して冷凍性能の向上を図ることを目的とするも
のである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明が講じた手段は、ＪＴ弁と調節手段とを熱
移動の小さい連結手段によって連結するようにしたもの
である。

【００１０】具体的に、図１に示すように、請求項１に
係る発明が講じた手段は、先ず、冷媒を圧縮する圧縮機
（21）と、圧縮機（21）からの高圧ガス冷媒を膨張させ
て寒冷を発生させる低温部（2S-1，2S-2）とを有する予
冷冷凍回路（20）が設けられている。そして、冷媒を圧
縮する圧縮機（31，32）と、圧縮機（31，32）からの高
圧ガス冷媒を予冷冷凍回路（20）の低温部（2S-1，2S-
2）で予冷する予冷部（3C-1，3C-2）と、該予冷部（3C-
1，3C-2）で予冷されたガス冷媒を膨脹させるＪＴ弁（4
0）と、該ＪＴ弁（40）で膨張した冷媒によって寒冷と
なる冷却部（36）とを有するＪＴ冷凍回路（30）が設け
られている。更に、上記予冷冷凍回路（20）の低温部
（2S-1，2S-2）とＪＴ冷凍回路（30）の予冷部（3C-1，
3C-2）、ＪＴ弁（40）及び冷却部（36）とを内蔵して構
成される冷凍機ユニット（11）のハウジング（12）の外
部には、ＪＴ弁（40）の開度を調節するための調節手段
（50）が設けられている。加えて、該調節手段（50）と
ＪＴ弁（40）とが熱移動の小さい連結手段（60）によっ
て連結されている。

【００１１】その一方、連結手段（60）が、ＪＴ弁（4
0）の弁体（45）と調節手段（50）とに連結されて調節
手段（50）の調整動作を弁体（45）に伝達するシャフト
（62）と、該シャフト（62）が貫挿されてシャフト（6
2）を覆い且つＪＴ弁（40）のバルブケース（41）に連
続する中空のケーシング（61）とより形成されたもので
ある。そして、上記シャフト（62）が中空シャフトで形
成されて該シャフト（62）の中空部に熱伝導率の低い充
填剤（63）が設けられている。

【００１２】−作用−上記の構成により、請求項１に係
る発明では、先ず、予冷冷凍回路（20）における予冷冷
凍機（2A）で圧縮機（21）から供給された高圧の冷媒が
膨張し、この冷媒の膨張作用により低温部（2S-1，2S-
2）が温度下降する。

【００１３】これと同時に、ＪＴ冷凍回路（30）におい
て、冷媒が圧縮機（31，32）で圧縮された後、この高圧
冷媒は、予冷冷凍回路（20）の低温部（2S-1，2S-2）で
予冷される。そして、予冷された冷媒は、ＪＴ弁（40）
でジュール・トムソン膨張して冷却部（36）へ供給さ
れ、該冷却部（36）が寒冷となる。

【００１４】一方、上記ＪＴ弁（40）は調節手段（50）
によって開度が調節され、また、上記冷凍運転時におい
て、ＪＴ弁（40）と調節手段（50）との連結手段（60）
は、熱移動が小さく設定されているので、調節手段（5
0）の常温部から極低温の冷却部（36）への方向に熱侵
入が生じることはない。

【００１５】具体的に、連結手段（60）におけるシャフ
ト（62）の内部には充填剤（63）が設けられているの
で、このシャフト（62）の内部にヘリウムガスが侵入し
ても対流が生じないことから、調節手段（50）の常温部
から極低温の冷却部（36）への方向に熱侵入が生じるこ
とはない。

【００１６】

【発明の効果】従って、請求項１に係る発明によれば、
連結手段（60）におけるシャフト（62）の内部にグラス
ウール等の充填剤（63）を設けるようにしたために、こ
のシャフト（62）の内部でヘリウムガスの対流を確実に
防止することができる。この結果、調節手段（50）の常
温部から極低温の冷却器（36）への方向の熱侵入を確実
に阻止することができるので、冷凍効率の向上を図るこ
とができる。

【００１７】また、上記シャフト（62）の断面積は従来
と同様であるので、熱伝導を従来と同様に小さく保持す
ることができるので、該熱伝導による熱侵入が増大する
ことはなく、充填剤（63）による効果を確実に発揮させ
ることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１９】図１に示すように、極低温冷凍機（10）
は、２元２段圧縮サイクルのヘリウム冷凍機で構成され
ている。

【００２０】上記極低温冷凍機（10）は、冷凍機ユニッ
ト（11）と予冷圧縮機ユニット（2B）とＪＴ圧縮機ユニ
ット（3B）とを備える一方、上記冷凍機ユニット（11）
は、予冷冷凍機（2A）とＪＴ冷凍機（3A）とを備えてい
る。そして、上記ＪＴ冷凍機（3A）とＪＴ圧縮機ユニッ
ト（3B）とが、極低温を発生するためにヘリウムガスを
圧縮してジュール・トムソン膨張させるＪＴ冷凍回路
（30）を構成している。また、上記予冷圧縮機ユニット
（2B）と予冷冷凍機（2A）とが、ジュール・トムソン膨
張で冷凍を得るためにヘリウムガスを予冷する予冷冷凍
回路（20）を構成している。

【００２１】上記予冷圧縮機ユニット（2B）は、ヘリウ
ムガスを圧縮する予冷用圧縮機（21）と、該圧縮機（2
1）で圧縮された高圧のヘリウムガスから圧縮機（21）
の潤滑油を分離除去する油分離器（22）と、該油分離器
（22）を通過したヘリウムガス中の水分や不純ガス等の
不純物を吸着除去する吸着器（23）とを備え、該吸着器
（23）は高圧配管（2H）を介して冷凍機ユニット（11）
の予冷冷凍機（2A）の高圧側入口に接続されている。

【００２２】また、上記予冷冷凍機（2A）には、膨張後
の低圧のヘリウムガスを吐出させる低圧側出口が開口さ
れ、該低圧側出口は低圧配管（2L）を介して上記予冷用
圧縮機（21）の吸入側に接続され、予冷冷凍機（2A）か
ら吐出された低圧のヘリウムガスが圧縮機（21）に吸引
される。

【００２３】上記予冷冷凍機（2A）は、ＧＭ（ギフォー
ド・マクマホン）サイクルの冷凍機で構成されていて、
冷凍機ユニット（11）のハウジングである真空槽（12）
の外部に配置されるバルブ機構（24）と、該バルブ機構
（24）に連続して大小２段構造に構成された大径シリン
ダ（25）及び小径シリンダ（26）とを備えている。そし
て、上記バルブ機構（24）には、高圧側入口と低圧側出
口とが開口されている。

【００２４】上記大径シリンダ（25）は、真空槽（12）
を貫通してその内部に延びており、先端部は所定温度レ
ベルに冷却保持される低温部である第１ヒートステーシ
ョン（2S-1）に構成され、また、小径シリンダ（26）の
先端部は上記第１ヒートステーション（2S-1）よりも低
い温度レベルに冷却保持される低温部である第２ヒート
ステーション（2S-2）に構成されている。

【００２５】すなわち、図示しないが、上記各シリンダ
（25，26）内には、各ヒートステーション（2S-1，2S-
2）に対応する位置にそれぞれ膨張空間を区画形成する
フリータイプのディスプレーサ（置換器）が往復動可能
に嵌挿されている。

【００２６】一方、上記バルブ機構（24）内には、回転
する毎に開閉するロータリバルブと、該ロータリバルブ
を駆動するバルブモータとが収容されている。上記ロー
タリバルブは、高圧側入口から流入したヘリウムガスを
各シリンダ（25，26）内の各膨張空間に供給し、又は各
膨張空間内で膨張したヘリウムガスを低圧側出口から排
出するように切り換わる。

【００２７】そして、上記ロータリバルブの開閉により
高圧ヘリウムガスを各シリンダ（25，26）の各膨張空間
でサイモン膨張させて、その膨張に伴う温度降下により
極低温レベルの寒冷を発生させ、その寒冷を第１及び第
２ヒートステーション（2S-1，2S-2）にて保持する。つ
まり、予冷冷凍機（2A）では、予冷用圧縮機（21）から
吐出された高圧のヘリウムガスを断熱膨張させてヒート
ステーション（2S-1，2S-2）の温度を低下させ、ＪＴ冷
凍機（3A）における後述の予冷器を予冷している。

【００２８】一方、上記ＪＴ圧縮機ユニット（3B）に
は、ヘリウムガスを所定圧力に圧縮する低段圧縮機（3
1）と、該圧縮機（31）から吐出された高圧ヘリウムガ
スを更に高圧に圧縮する高段圧縮機（32）と、該圧縮機
（32）から吐出された高圧ヘリウムガスから圧縮機（3
1，32）の潤滑油を分離除去する油分離器（33）と、該
油分離器（33）を経由した高圧ヘリウムガス中の不純物
を吸着除去する吸着器（34）とが設けられている。

【００２９】上記冷凍機ユニット（11）のＪＴ冷凍機
（3A）には、１次側及び２次側をそれぞれ通過するヘリ
ウムガスの間で互いに熱交換させる３つのＪＴ熱交換器
（3X-1，3X-2，3X-3）が配設され、第１ＪＴ熱交換器
（3X-1）の１次側は高圧配管（3H）を介しＪＴ圧縮機ユ
ニット（3B）の吸着器（34）に接続されている。

【００３０】上記第１ＪＴ熱交換器（3X-1）及び第２Ｊ
Ｔ熱交換器（3X-2）の各１次側同士は、予冷冷凍機（2
A）の第１ヒートステーション（2S-1）の外周に配置し
た予冷部である第１予冷器（3C-1）を介して接続される
と共に、第２ＪＴ熱交換器（3X-2）及び第３ＪＴ熱交換
器（3X-3）の各１次側同士は、同様に予冷冷凍機（2A）
の第２ヒートステーション（2S-2）の外周に配置した予
冷部である第２予冷器（3C-2）を介して接続されてい
る。

【００３１】更に、上記第３ＪＴ熱交換器（3X-1）の１
次側は、吸着器（35）及び高圧のヘリウムガスをジュー
ル・トムソン膨張させるＪＴ弁（40）を介して、冷凍機
ユニット（11）の下端に位置する冷却部である冷却器
（36）に接続されている。該冷却器（36）は、第３ＪＴ
熱交換器（3X-3）及び第２ＪＴ熱交換器（3X-2）の各２
次側を経て第１ＪＴ熱交換器（3X-1）の２次側に接続さ
れ、該第１ＪＴ熱交換器（3X-1）の２次側は低圧配管
（3L）を介してＪＴ圧縮機ユニット（3B）における低段
圧縮機（31）の吸入側に接続されている。

【００３２】尚、上記ＪＴ圧縮機ユニット（3B）には、
吸着器（34）の吐出側と低段圧縮機（31）の吐出側とを
接続するバラストライン（3a）が設けられている。該バ
ラストライン（3a）は、高圧制御弁（SV-H）とバラスト
タンク（37）と中間圧制御弁（SV-M）とが直列に接続さ
れ、高圧のヘリウムガスを低段圧縮機（31）の吐出側に
供給して該低段圧縮機（31）の吐出圧を制御している。

【００３３】次に、本発明の特徴とするＪＴ弁（40）と
該ＪＴ弁（40）の調節手段（50）との連結構造について
説明する。

【００３４】先ず、図２及び図３に示すように、ＪＴ弁
（40）は、バルブケース（41）にバルブステム（42）が
ネジを介して螺合されると共に、バルブステム（42）に
ニードル弁（43）が取付けられて構成されている。上記
バルブケース（41）のバルブ室（44）には、ヘリウムガ
スの流入路（3s）と流出路（3d）とが接続され、該流出
路（3d）に上記ニードル弁（43）が臨んでおり、上記バ
ルブステム（42）とニードル弁（43）とで弁体（45）が
構成されている。

【００３５】上記ＪＴ弁（40）には、調節手段（50）が
連結手段（60）によって連結されており、該連結手段
（60）は、ケーシング（61）とシャフト（62）とより形
成されている。該ケーシング（61）は、中空状のパイプ
に形成されており、一端がバルブケース（41）に連続
し、他端が真空槽（12）の壁体（12-W）の内面に当接し
ている。

【００３６】上記シャフト（62）は、ケーシング（61）
に貫挿され、一端がバルブステム（42）の軸部にピン連
結される一方、他端が真空槽（12）の壁体（12-W）を貫
通して調節手段（50）に連結されている。そして、該調
節手段（50）は、壁体（12-W）に固定される取付け片
（51）に操作片（52）が設けられてなり、操作片（52）
を操作してＪＴ弁（40）の開口を調節するように構成さ
れている。

【００３７】更に、上記シャフト（62）は、調節手段
（50）の調整動作を弁体（45）に伝達するものであっ
て、中空シャフトによって構成されており、熱移動が小
さく形成されている。具体的に、上記シャフト（62）の
中空部には、熱伝導率の低い充填剤（63）が設けられて
おり、この充填剤（63）としては、グラスウール、ウー
ル、ウールフェルト及びエポキシ樹脂などの軽量で熱伝
導率の低いものが挙げられる。

【００３８】ここで、上記充填剤（63）を設けた理由
は、真空槽（12）を横置きに設置すると、シャフト（6
2）も横向きに配置されることになる。一方、ヘリウム
ガスは、バルブ室（44）からバルブステム（42）のネジ
部分からケーシング（61）に流入すると共に、シャフト
（62）に通気孔が形成されていることから、シャフト
（62）の内部に流入することになる。

【００３９】したがって、上記充填剤（63）を設けない
とすると、図３において、シャフト（62）の内部で反時
計回り方向の楕円上の対流が生じることになり（図３矢
符参照）、調節手段（50）の常温部から冷却器（36）の
方向に熱侵入が生じることになる。

【００４０】そこで、上述したようにシャフト（62）に
充填剤（63）を設けることによって、ヘリウムガスの対
流を防止して熱侵入を阻止するようにしている。

【００４１】−冷凍動作− 次に、上記実施形態の極低温冷凍機（10）の作動につい
て説明する。

【００４２】先ず、予冷冷凍回路（20）の圧縮機（21）
とＪＴ冷凍回路（30）との各圧縮機（31，32）とを起動
した後、定常運転状態になると、予冷冷凍回路（20）に
おける予冷冷凍機（2A）で圧縮機（21）から供給された
高圧のヘリウムガスが膨張し、このガスの膨張作用によ
り各ヒートステーション（2S-1，2S-2）が順に温度下降
する。

【００４３】一方、これと同時に、ＪＴ冷凍回路（30）
において、冷凍機ユニット（11）からＪＴ圧縮機ユニッ
ト（3B）にリターンするヘリウムガスが低段圧縮機（3
1）により圧縮され、圧縮機周りの冷却水コイルの冷却
水により常温３００Ｋまで冷却され。このヘリウムガス
は高段圧縮機（32）でさらに圧縮される。その後、上記
ヘリウムガスは圧縮機周りの冷却水コイルで冷却水によ
り常温３００Ｋまで冷却されて油分離器（33）で油分離
された後、吸着器（34）で不純物が吸着され、クリーン
な高圧ヘリウムガスがＪＴ冷凍機（3A）に供給される。

【００４４】この冷凍機ユニット（11）のＪＴ冷凍機
（3A）に供給された高圧ヘリウムガスは、第１ＪＴ熱交
換器（3X-1）の１次側に入り、ＪＴ圧縮機ユニット（3
B）へ戻る２次側の低圧ヘリウムガスと熱交換されて常
温３００Ｋから約７０Ｋまで冷却され、その後、予冷冷
凍機（2A）の５０〜６０Ｋに冷却されている第１ヒート
ステーション（2S-1）の外周の第１予冷器（3C-1）に入
って該第１ヒートステーション（2S-1）により約５５Ｋ
まで冷却される。

【００４５】この冷却されたガスは、第２ＪＴ熱交換器
（3X-2）の１次側に入って、ＪＴ圧縮機ユニット（3B）
へ戻る２次側の低圧ヘリウムガスとの熱交換により約２
０Ｋまで冷却された後、予冷冷凍機（2A）の１５〜２０
Ｋに冷却されている第２ヒートステーション（2S-2）の
外周の第２予冷機に入って、該ヒートステーション（2S
-2）により約１５Ｋまで冷却される。

【００４６】更に、ガスは第３ＪＴ熱交換器（3X-2）の
１次側に入って、ＪＴ圧縮機ユニット（3B）へ亘る２次
側の低圧ヘリウムガスとの熱交換により約５Ｋまで冷却
され、ＪＴ弁（40）に至る。このＪＴ弁（40）で高圧ヘ
リウムガスは絞られてジュール・トムソン膨張し、１気
圧、４．２Ｋの気液混合状態のヘリウムとなって冷却器
（36）へ供給される。この冷却器（36）では、上記気液
混合状態のヘリウムにおける液部分の蒸発潜熱が他のヘ
リウムガスの液化や再凝縮あるいは被冷却体の冷却に利
用される。

【００４７】しかる後、上記冷却器（36）から第３ＪＴ
熱交換器（3X-3）の２次側に戻る低圧ヘリウムガスは、
約４．２Ｋの飽和ガスとなり、第２ＪＴ熱交換器（3X-
2）及び第１ＪＴ熱交換器（3X-1）において１次側の高
圧ヘリウムガスを冷却して、約３００Ｋに温度上昇した
後、ＪＴ圧縮機ユニット（3B）へ戻る。以後、同様なサ
イクルが繰り返されて冷凍運転が行われる。

【００４８】一方、上記ＪＴ弁（40）は調節手段（50）
によって開度が調節され、つまり、操作片（52）を操作
するとシャフト（62）が回転してバルブステム（42）が
回転し、ニードル弁（43）が移動して開度が調節され
る。

【００４９】また、上記冷凍運転時において、本発明の
特徴として、ＪＴ弁（40）と調節手段（50）との連結手
段（60）におけるシャフト（62）の内部には充填剤（6
3）が設けられているので、このシャフト（62）の内部
にヘリウムガスが侵入しても対流が生じないことから、
調節手段（50）の常温部から極低温の冷却器（36）への
方向に熱侵入が生じることはない。

【００５０】−実施形態１の効果− 以上のように、上記ＪＴ弁（40）と調節手段（50）との
連結手段（60）におけるシャフト（62）の内部にグラス
ウール等の充填剤（63）を設けるようにしたために、こ
のシャフト（62）の内部でヘリウムガスの対流を確実に
防止することができる。この結果、調節手段（50）の常
温部から極低温の冷却器（36）への方向の熱侵入を確実
に阻止することができるので、冷凍効率の向上を図るこ
とができる。

【００５１】また、上記シャフト（62）の断面積は従来
と同様であるので、熱伝導を従来と同様に小さく保持す
ることができるので、該熱伝導による熱侵入が増大する
ことはなく、充填剤（63）による効果を確実に発揮させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のヘリウム冷凍機を示す構成図である。

【図２】実施形態のＪＴ弁と調節手段との連結構造を示
す断面図である。

【図３】実施形態のシャフトを示す拡大断面図である。

【符号の説明】

10 極低温冷凍機 11 冷凍機ユニット 12 真空槽（ハウジング） 20 予冷冷凍回路 2A 予冷冷凍機 3B 予冷圧縮機ユニット 21 圧縮機 2H-1，2H-2 ヒートステーション（低温部） 30 ＪＴ冷凍回路 3A ＪＴ冷凍機 3B ＪＴ圧縮機ユニット 31，32 圧縮機 36 冷却器（冷却部） 3C-1，3C-2 予冷器（予冷部） 40 ＪＴ弁 41 バルブケース 45 弁体 50 調節手段 60 連結手段 61 ケーシング 62 シャフト 63 充填剤

フロントページの続き (56)参考文献特開平６−257870（ＪＰ，Ａ) 実開平３−118476（ＪＰ，Ｕ) 実公昭46−5736（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) F25B 9/02 F25B 9/00 395

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】冷媒を圧縮する圧縮機（21）と、圧縮機
（21）からの高圧ガス冷媒を膨張させて寒冷を発生させ
る低温部（2S-1，2S-2）とを有する予冷冷凍回路（20）
と、冷媒を圧縮する圧縮機（31，32）と、圧縮機（31，32）
からの高圧ガス冷媒を予冷冷凍回路（20）の低温部（2S
-1，2S-2）で予冷する予冷部（3C-1，3C-2）と、該予冷
部（3C-1，3C-2）で予冷されたガス冷媒を膨脹させるＪ
Ｔ弁（40）と、該ＪＴ弁（40）で膨張した冷媒によって
寒冷となる冷却部（36）とを有するＪＴ冷凍回路（30）
とを備えた極低温冷凍機において、上記予冷冷凍回路（20）の低温部（2S-1，2S-2）とＪＴ
冷凍回路（30）の予冷部（3C-1，3C-2）、ＪＴ弁（40）
及び冷却部（36）とを内蔵して構成される冷凍機ユニッ
ト（11）のハウジング（12）の外部に設けられて、ＪＴ
弁（40）の開度を調節するための調節手段（50）と、該調節手段（50）とＪＴ弁（40）とを連結する熱移動の
小さい連結手段（60）とを備える一方、該連結手段（60）は、ＪＴ弁（40）の弁体（45）と調節
手段（50）とに連結されて調節手段（50）の調整動作を
弁体（45）に伝達するシャフト（62）と、該シャフト
（62）が貫挿されてシャフト（62）を覆い且つＪＴ弁
（40）のバルブケース（41）に連続する中空のケーシン
グ（61）とより形成され、上記シャフト（62）が中空シャフトで形成されて該シャ
フト（62）の中空部に熱伝導率の低い充填剤（63）が設
けられていることを特徴とする極低温冷凍機。