JP2888275B2 - 石英粉の連続精製方法 - Google Patents
石英粉の連続精製方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、改良された石英粉の精
製方法、さらに詳しくは半導体工業で使用するシリカガ
ラス容器や治具の原料として、またプラスチックパケー
ジ用シリカフィラーとして用いられる石英粉を連続的に
高純度に精製する方法に関する。
製方法、さらに詳しくは半導体工業で使用するシリカガ
ラス容器や治具の原料として、またプラスチックパケー
ジ用シリカフィラーとして用いられる石英粉を連続的に
高純度に精製する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、石英粉、特に天然石英粉は、シリ
カガラス容器または治具を形成する石英ガラス原料とし
て、或はＩＣ、ＬＳＩ等のプラスチックパッケージ用シ
リカフィラーの原料として使用されてきた。ところが、
前記石英粉には各種不純物が含まれ、それが半導体製品
に悪影響を及ぼすところからその純化が図られ、例えば
米国特許第４，９５６，０５９号明細書では電圧のかけ
られた反応管内で原料石英粉を塩素含有雰囲気ガスと７
００〜１３００℃の温度で接触させて精製する方法が、
また特開昭４８ー６９７９４号公報には水晶粉を塩素ま
たは塩素を含む雰囲気中で、７００〜１３００℃の温度
で接触させて精製する方法が開示されている。
カガラス容器または治具を形成する石英ガラス原料とし
て、或はＩＣ、ＬＳＩ等のプラスチックパッケージ用シ
リカフィラーの原料として使用されてきた。ところが、
前記石英粉には各種不純物が含まれ、それが半導体製品
に悪影響を及ぼすところからその純化が図られ、例えば
米国特許第４，９５６，０５９号明細書では電圧のかけ
られた反応管内で原料石英粉を塩素含有雰囲気ガスと７
００〜１３００℃の温度で接触させて精製する方法が、
また特開昭４８ー６９７９４号公報には水晶粉を塩素ま
たは塩素を含む雰囲気中で、７００〜１３００℃の温度
で接触させて精製する方法が開示されている。
【０００３】上記米国特許第４，９５６，０５９号明細
書の精製方法は、確かに天然石英を高純度に精製する精
製方法ではあるが、精製工程がバッチ式である上に、精
製装置の反応管に電圧がかけられているところから生産
コストが高く、安価に高純度の石英粉を製造できなかっ
た。また特開昭４８ー６９７９４号公報の精製方法で
は、天然石英粉に含有されるアルカリ金属元素、アルカ
リ土類元素、遷移金属元素、および放射性元素等の純
化、特にアルカリ土類金属元素や遷移金属元素の純化が
十分に行われず、最近の半導体工業で要求する純度を満
たすものではなかった。
書の精製方法は、確かに天然石英を高純度に精製する精
製方法ではあるが、精製工程がバッチ式である上に、精
製装置の反応管に電圧がかけられているところから生産
コストが高く、安価に高純度の石英粉を製造できなかっ
た。また特開昭４８ー６９７９４号公報の精製方法で
は、天然石英粉に含有されるアルカリ金属元素、アルカ
リ土類元素、遷移金属元素、および放射性元素等の純
化、特にアルカリ土類金属元素や遷移金属元素の純化が
十分に行われず、最近の半導体工業で要求する純度を満
たすものではなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】こうした現状に鑑み、
本発明者等は鋭意研究を続けた結果、回転する円筒形石
英ガラス管内に少なくとも３室設け、予備加熱室、反応
室、およびガス離脱室とし、原料の石英粉を前記各室に
転動されることで高純度の石英粉、特にアルカリ金属元
素、アルカリ土類金属元素、遷移金属元素が高度に純化
された石英粉が安価に製造できることを見出し、本発明
を完成したものである。すなわち
本発明者等は鋭意研究を続けた結果、回転する円筒形石
英ガラス管内に少なくとも３室設け、予備加熱室、反応
室、およびガス離脱室とし、原料の石英粉を前記各室に
転動されることで高純度の石英粉、特にアルカリ金属元
素、アルカリ土類金属元素、遷移金属元素が高度に純化
された石英粉が安価に製造できることを見出し、本発明
を完成したものである。すなわち
【０００５】本発明は、シリコンウエハー等に悪影響を
及ぼす不純物を高度に純化する石英粉の連続精製方法を
提供することを目的とする。
及ぼす不純物を高度に純化する石英粉の連続精製方法を
提供することを目的とする。
【０００６】また、本発明は、高純度の石英粉を安価に
製造する精製方法を提供することを目的とする。
製造する精製方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、回転する円筒形石英ガラス管内で石英粉を連続精
製する方法において、回転する円筒形石英ガラス管内を
少なくとも３室に区分し、予備加熱室、反応室、および
ガス離脱室とし、原料の石英粉を予備加熱室に連続的に
供給し予備加熱した後、反応室に転動し塩素含有雰囲気
ガスと接触させ純化し、次いでガス離脱室に転動するこ
とを特徴とする石英粉の連続精製方法に係る。
明は、回転する円筒形石英ガラス管内で石英粉を連続精
製する方法において、回転する円筒形石英ガラス管内を
少なくとも３室に区分し、予備加熱室、反応室、および
ガス離脱室とし、原料の石英粉を予備加熱室に連続的に
供給し予備加熱した後、反応室に転動し塩素含有雰囲気
ガスと接触させ純化し、次いでガス離脱室に転動するこ
とを特徴とする石英粉の連続精製方法に係る。
【０００８】上記石英粉とは、天然石英、水晶、珪石、
および合成された石英を常法により粉砕・分級し粒径を
約２５０〜１０６μｍの範囲に調整した石英粉をいう。
前記石英の粉砕において粉砕を容易にするため加熱して
もよい。石英粉の粒径が前記範囲未満では微細過ぎシリ
カガラスの製造に不適当であり、また前記範囲を超える
と純化処理が充分行われず不都合である。
および合成された石英を常法により粉砕・分級し粒径を
約２５０〜１０６μｍの範囲に調整した石英粉をいう。
前記石英の粉砕において粉砕を容易にするため加熱して
もよい。石英粉の粒径が前記範囲未満では微細過ぎシリ
カガラスの製造に不適当であり、また前記範囲を超える
と純化処理が充分行われず不都合である。
【０００９】本発明の精製方法にあっては、回転する円
筒形石英ガラス管（以下ロータリーキルンという）内に
石英粉を連続的に供給、転動して精製するが、ロータリ
ーキルンの内部は少なくとも３室に区分され、各室を予
備加熱室、反応室、およびガス離脱室とし、原料の石英
粉を前記各室に転動する。前記ロータリーキルン内部に
形成される室、すなわち予備加熱室、反応室、およびガ
ス離脱室を開口部を有する仕切板で仕切るのがよい。前
記仕切板は石英ガラス製とし、それに設けられる開口部
は開口率１０〜４０％の範囲内で、原料石英粉の粒度、
品質等に基づい選定される。特に反応室とガス離脱室と
の仕切板の開口部の開口率の選定に当っては、精製処理
中に転動する石英粉で開口部が実質的に閉塞状態となる
範囲を選ぶのがよい。前記実質的に閉塞状態とは開口部
の自由空間から塩素含有雰囲気ガスがガス離脱室に流入
しない状態をいう。かかる閉塞状態を維持することによ
り純化された石英粉に塩素含有雰囲気ガスの再付着が防
止でき、精製効率が向上する。
筒形石英ガラス管（以下ロータリーキルンという）内に
石英粉を連続的に供給、転動して精製するが、ロータリ
ーキルンの内部は少なくとも３室に区分され、各室を予
備加熱室、反応室、およびガス離脱室とし、原料の石英
粉を前記各室に転動する。前記ロータリーキルン内部に
形成される室、すなわち予備加熱室、反応室、およびガ
ス離脱室を開口部を有する仕切板で仕切るのがよい。前
記仕切板は石英ガラス製とし、それに設けられる開口部
は開口率１０〜４０％の範囲内で、原料石英粉の粒度、
品質等に基づい選定される。特に反応室とガス離脱室と
の仕切板の開口部の開口率の選定に当っては、精製処理
中に転動する石英粉で開口部が実質的に閉塞状態となる
範囲を選ぶのがよい。前記実質的に閉塞状態とは開口部
の自由空間から塩素含有雰囲気ガスがガス離脱室に流入
しない状態をいう。かかる閉塞状態を維持することによ
り純化された石英粉に塩素含有雰囲気ガスの再付着が防
止でき、精製効率が向上する。
【００１０】原料の石英粉は上記室内をロータリーキル
ンが傾斜をもって回転することで順次転動される。ロー
タリーキルンの回転速度は１〜５ｒｐｍ、好ましくは２
〜４ｒｐｍであり、また傾斜角度は石英粉の処理量、品
質等に基づいてその角度が選ばれる。
ンが傾斜をもって回転することで順次転動される。ロー
タリーキルンの回転速度は１〜５ｒｐｍ、好ましくは２
〜４ｒｐｍであり、また傾斜角度は石英粉の処理量、品
質等に基づいてその角度が選ばれる。
【００１１】上記ロータリーキルン内の予備加熱室には
原料投入口が設けられ、そこに原料粉供給管および反応
後の塩素含有雰囲気ガスを排気するための反応ガス排気
管が開口する。また反応室には反応ガス供給管が開口
し、塩素含有雰囲気ガスの供給を行う。さらにガス離脱
室には離脱ガス排気口および石英粉排出口が開口し、離
脱ガスを排気するとともに、精製した石英粉を排出す
る。前記離脱ガス排気管にはガスの脱離を促進するため
換気手段を接続するのがよい。
原料投入口が設けられ、そこに原料粉供給管および反応
後の塩素含有雰囲気ガスを排気するための反応ガス排気
管が開口する。また反応室には反応ガス供給管が開口
し、塩素含有雰囲気ガスの供給を行う。さらにガス離脱
室には離脱ガス排気口および石英粉排出口が開口し、離
脱ガスを排気するとともに、精製した石英粉を排出す
る。前記離脱ガス排気管にはガスの脱離を促進するため
換気手段を接続するのがよい。
【００１２】ロータリーキルンの原料粉供給管から導入
された石英粉は予備加熱室で少なくとも８００℃に加熱
された後、反応室に転動され、そこで反応ガス供給管か
ら供給された塩素含有雰囲気ガスと１０００〜１３００
℃の温度範囲で接触し、純化される。純化された石英粉
は、好ましくは８００℃以上、反応温度未満に加熱され
たガス離脱室に転動され、石英粉の表面から吸着ガスが
脱離されるとともに、徐冷される。
された石英粉は予備加熱室で少なくとも８００℃に加熱
された後、反応室に転動され、そこで反応ガス供給管か
ら供給された塩素含有雰囲気ガスと１０００〜１３００
℃の温度範囲で接触し、純化される。純化された石英粉
は、好ましくは８００℃以上、反応温度未満に加熱され
たガス離脱室に転動され、石英粉の表面から吸着ガスが
脱離されるとともに、徐冷される。
【００１３】上記精製方法において、予備加熱室の温度
が８００℃未満では、反応室での純化処理が好適に行わ
れず、反応室の温度が１０００℃未満では純化効率が悪
く、目的の純度を達成することができない。また反応室
の温度が１３００℃を超えると装置の耐久性に問題が生
じる。さらに反応室に導入する塩素含有雰囲気ガスは予
め反応温度付近に加熱されて導入されるのがよい。これ
により石英粉が冷却されることがなく純化効率の低下が
起らない。塩素含有雰囲気ガスの導入方法としてはロー
タリーキルンの外部で加熱した塩素含有雰囲気ガスを直
接導入する方法、あるいは反応ガス供給管をガス離脱室
中を通過させ、該ガス離脱室で加熱してのちに導入する
方法等が採用される。
が８００℃未満では、反応室での純化処理が好適に行わ
れず、反応室の温度が１０００℃未満では純化効率が悪
く、目的の純度を達成することができない。また反応室
の温度が１３００℃を超えると装置の耐久性に問題が生
じる。さらに反応室に導入する塩素含有雰囲気ガスは予
め反応温度付近に加熱されて導入されるのがよい。これ
により石英粉が冷却されることがなく純化効率の低下が
起らない。塩素含有雰囲気ガスの導入方法としてはロー
タリーキルンの外部で加熱した塩素含有雰囲気ガスを直
接導入する方法、あるいは反応ガス供給管をガス離脱室
中を通過させ、該ガス離脱室で加熱してのちに導入する
方法等が採用される。
【００１４】本発明の精製方法で使用される塩素含有雰
囲気ガスとしては塩化水素ガスと塩素ガスとの混合ガ
ス、および前記混合ガスにさらに窒素ガス等の不活性ガ
スを配合した混合ガスが使用される。特に塩化水素ガス
と塩素ガスとからなる混合ガスがよく、その混合比は塩
化水素ガス：塩素ガス＝２：１〜２０：１、好ましくは
４：１〜１３：１の範囲である。混合ガスの混合比が前
記範囲を逸脱するとアルカリ金属元素および遷移金属元
素の純化不足が起こる。
囲気ガスとしては塩化水素ガスと塩素ガスとの混合ガ
ス、および前記混合ガスにさらに窒素ガス等の不活性ガ
スを配合した混合ガスが使用される。特に塩化水素ガス
と塩素ガスとからなる混合ガスがよく、その混合比は塩
化水素ガス：塩素ガス＝２：１〜２０：１、好ましくは
４：１〜１３：１の範囲である。混合ガスの混合比が前
記範囲を逸脱するとアルカリ金属元素および遷移金属元
素の純化不足が起こる。
【００１５】本発明の精製方法による処理量は１〜２０
ｋｇ／時、好ましくは１〜１０ｋｇ／時を最適とする。
前記範囲未満では生産性が劣り、また前記範囲を超える
とアルカリ金属元素の純化が鈍る。
ｋｇ／時、好ましくは１〜１０ｋｇ／時を最適とする。
前記範囲未満では生産性が劣り、また前記範囲を超える
とアルカリ金属元素の純化が鈍る。
【００１６】本発明の精製方法によって得られた石英粉
中の不純物は、ナトリウム元素濃度が１０ｐｐｂ以下、
カリウム元素濃度が１５０ｐｐｂ以下、鉄元素濃度が７
０ｐｐｂ以下、銅元素濃度が０．３ｐｐｂ以下、ニッケ
ル元素濃度が０．３ｐｐｂ以下、クロム元素濃度が０．
５ｐｐｂ以下となる。
中の不純物は、ナトリウム元素濃度が１０ｐｐｂ以下、
カリウム元素濃度が１５０ｐｐｂ以下、鉄元素濃度が７
０ｐｐｂ以下、銅元素濃度が０．３ｐｐｂ以下、ニッケ
ル元素濃度が０．３ｐｐｂ以下、クロム元素濃度が０．
５ｐｐｂ以下となる。
【００１７】上記本発明の精製方法において、純化効率
の向上、特に遷移金属元素の純化効率の向上のため精製
工程を複数回繰り返してもよい。このようにして精製さ
れた石英粉は、アルカリ金属元素、遷移金属元素の純化
が好適に行われるとともに、従来の精製方法では純化が
困難であったアルカリ土類金属元素の純化も十分に行な
うことができる。
の向上、特に遷移金属元素の純化効率の向上のため精製
工程を複数回繰り返してもよい。このようにして精製さ
れた石英粉は、アルカリ金属元素、遷移金属元素の純化
が好適に行われるとともに、従来の精製方法では純化が
困難であったアルカリ土類金属元素の純化も十分に行な
うことができる。
【００１８】以下に本発明を具体的に示すため実施例を
示すが、これによって本発明は何ら制限されるものでは
ない。
示すが、これによって本発明は何ら制限されるものでは
ない。
【００１９】
実施例１ 内径１００ｍｍ、長さ２０００ｍｍの石英ガラス製ロー
タリキルン内部に石英ガラス製の仕切板で予備加熱室、
反応室室およびガス離脱室を形成し、該仕切板のうち予
備加熱室と反応室室との仕切板には開口率１５％の開口
部を、また反応室室とガス離脱室との仕切板には開口率
３５％の開口部を設けた。そして前記石英ガラス製ロー
タリキルンを約４°の傾斜をもって設置した。このロー
タリーキルン内に粒径２５０〜１０６μｍの天然石英粉
を連続的に毎時約１．５ｋｇで供給し、ロータリーキル
ンの外周に設けたヒーターで前記天然石英粉を約１００
０℃に加熱し、それを反応室に転動し、約１２７０℃に
加熱するとともに、塩化水素ガスと塩素ガスとの混合ガ
スであって混合比が１：０．０７５ｌ／ｍｉｎ（１３：
１）のガスと接触させ、純化処理を行った。純化された
石英粉は８００℃に保持されたガス離脱室に転動され、
徐冷されるとともに石英粉の表面に付着したハロゲン元
素含有雰囲気ガスが脱離した。前記石英ガラス製ロータ
リキルンのガス離脱室に開口する離脱ガス排気管にはガ
スの脱離を促進するため換気手段を接続した。
タリキルン内部に石英ガラス製の仕切板で予備加熱室、
反応室室およびガス離脱室を形成し、該仕切板のうち予
備加熱室と反応室室との仕切板には開口率１５％の開口
部を、また反応室室とガス離脱室との仕切板には開口率
３５％の開口部を設けた。そして前記石英ガラス製ロー
タリキルンを約４°の傾斜をもって設置した。このロー
タリーキルン内に粒径２５０〜１０６μｍの天然石英粉
を連続的に毎時約１．５ｋｇで供給し、ロータリーキル
ンの外周に設けたヒーターで前記天然石英粉を約１００
０℃に加熱し、それを反応室に転動し、約１２７０℃に
加熱するとともに、塩化水素ガスと塩素ガスとの混合ガ
スであって混合比が１：０．０７５ｌ／ｍｉｎ（１３：
１）のガスと接触させ、純化処理を行った。純化された
石英粉は８００℃に保持されたガス離脱室に転動され、
徐冷されるとともに石英粉の表面に付着したハロゲン元
素含有雰囲気ガスが脱離した。前記石英ガラス製ロータ
リキルンのガス離脱室に開口する離脱ガス排気管にはガ
スの脱離を促進するため換気手段を接続した。
【００２０】上記精製処理を連続的に２時間行い高純度
の石英粉を約１０ｋｇ得た。得られた石英粉中の不純物
分析を行ったところ、表１に示すとおりであった。
の石英粉を約１０ｋｇ得た。得られた石英粉中の不純物
分析を行ったところ、表１に示すとおりであった。
【００２１】実施例２ 塩化水素ガスと塩素ガスの比を１：０．２５ｌ／ｍｉｎ
（混合比４：１）とした以外は実施例１と同様にして天
然石英粉を精製した。得られた天然石英粉中の不純物量
は表１に示すとおりであった。
（混合比４：１）とした以外は実施例１と同様にして天
然石英粉を精製した。得られた天然石英粉中の不純物量
は表１に示すとおりであった。
【００２１】比較例１ 予備加熱室の温度を５００℃とした以外は実施例１と同
様にして天然石英粉の精製を行った。得られた天然石英
粉中の不純物分析を行ったところ、表１に示すとおりで
あった。
様にして天然石英粉の精製を行った。得られた天然石英
粉中の不純物分析を行ったところ、表１に示すとおりで
あった。
【００２２】比較例２ 反応室の加熱温度を９００℃とした以外は実施例１と同
様にして天然石英粉の精製を行った。得られた天然石英
粉中の不純物分析を行ったところ、表１に示すとおりで
あった。
様にして天然石英粉の精製を行った。得られた天然石英
粉中の不純物分析を行ったところ、表１に示すとおりで
あった。
【００２３】比較例３ 塩化水素ガスと塩素ガスを容量比で２３：１とした以外
は実施例１と同様にして天然石英粉の精製を行った。得
られた天然石英粉中の不純物分析を行ったところ、表１
に示すとおりであった。
は実施例１と同様にして天然石英粉の精製を行った。得
られた天然石英粉中の不純物分析を行ったところ、表１
に示すとおりであった。
【００２４】
【表１】
【００２５】上記表１にみられるように本発明の精製方
法ではナトリウム、カリウムおよび遷移金属元素が好適
に純化される。さらにマグネシウム、カルシウム等のア
ルカリ土類金属元素の純化も行なわれている。
法ではナトリウム、カリウムおよび遷移金属元素が好適
に純化される。さらにマグネシウム、カルシウム等のア
ルカリ土類金属元素の純化も行なわれている。
【００２６】
【発明の効果】本発明の精製方法では、石英粉中の不純
物、特に天然石英粉中のナトリウム、カリウム等のアル
カリ金属元素および鉄、銅、クロム、ニッケル等の遷移
金属元素が好適に純化されるとともに、マグネシウム、
カルシウム等のアルカリ土類金属元素も充分に純化され
る。その上、精製方法が連続的であるところから、生産
性が良く、安価に高純度の石英粉が得られ、工業的に有
利な精製方法である。
物、特に天然石英粉中のナトリウム、カリウム等のアル
カリ金属元素および鉄、銅、クロム、ニッケル等の遷移
金属元素が好適に純化されるとともに、マグネシウム、
カルシウム等のアルカリ土類金属元素も充分に純化され
る。その上、精製方法が連続的であるところから、生産
性が良く、安価に高純度の石英粉が得られ、工業的に有
利な精製方法である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 龍弘 福井県武生市北府２丁目13番60号 信越 石英株式会社 武生工場内 (72)発明者 渡辺 博行 福井県武生市北府２丁目13番60号 信越 石英株式会社 武生工場内 (56)参考文献 特開 昭48−69794（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−50132（ＪＰ，Ａ)
Claims (9)
- 【請求項１】回転する円筒形石英ガラス管内で石英粉を
連続的に精製する方法において、回転する円筒形石英ガ
ラス管内を少なくとも３室に区分し、予備加熱室、反応
室、およびガス離脱室とし、原料の石英粉を予備加熱室
に連続的に供給し予備加熱した後、反応室に転動し塩素
含有雰囲気ガスと接触させ純化し、次いでガス離脱室に
転動することを特徴とする石英粉の連続精製方法。 - 【請求項２】予備加熱室、反応室、およびガス離脱室が
開口部を有する仕切板で仕切られた室であることを特徴
とする請求項１記載の石英粉の連続精製方法。 - 【請求項３】仕切板の開口部が開口率１０〜４０％の範
囲で選ばれることを特徴とする請求項２記載の石英粉の
連続精製方法。 - 【請求項４】予備加熱温度が少なくとも８００℃、反応
温度が１０００〜１３００℃であることを特徴とする請
求項１記載の石英粉の連続精製方法。 - 【請求項５】反応室に供給される塩素含有雰囲気ガスが
予備加熱されることを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれか１記載の石英粉の連続精製方法。 - 【請求項６】ガス離脱室の温度を８００℃以上、反応温
度未満とすることを特徴とする請求項１記載の石英粉の
連続精製方法。 - 【請求項７】純化された石英粉が反応室とガス離脱室と
の仕切板の開口部を実質的に閉塞状態とすることを特徴
とする請求項２記載の石英粉の連続精製方法。 - 【請求項８】ガス離脱室に開口する離脱ガス排気管に換
気手段が接続されていることを特徴とする請求項１ない
し７のいずれか１記載の石英粉の連続精製方法。 - 【請求項９】塩素含有雰囲気ガスが塩化水素ガス：塩素
ガスの比で２：１〜２０：１からなる混合ガスであるこ
とを特徴とする請求項１記載の石英粉の精製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11373595A JP2888275B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 石英粉の連続精製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11373595A JP2888275B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 石英粉の連続精製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08290911A JPH08290911A (ja) | 1996-11-05 |
| JP2888275B2 true JP2888275B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=14619816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11373595A Expired - Fee Related JP2888275B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 石英粉の連続精製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2888275B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4557441B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2010-10-06 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 石英粉末の精製方法と装置およびその石英ガラス製品 |
| TWI370801B (en) | 2005-10-28 | 2012-08-21 | Japan Super Quartz Corp | Purification method of silica powder, purification apparatus thereof, and purified silica powder |
| DE102013112396B3 (de) * | 2013-11-12 | 2014-11-13 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Rohlings aus Titan- und Fluor-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas |
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