JP2880775B2 - Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate - Google Patents

Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate

Info

Publication number
JP2880775B2
JP2880775B2 JP20243490A JP20243490A JP2880775B2 JP 2880775 B2 JP2880775 B2 JP 2880775B2 JP 20243490 A JP20243490 A JP 20243490A JP 20243490 A JP20243490 A JP 20243490A JP 2880775 B2 JP2880775 B2 JP 2880775B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photopolymerizable
weight
layer
laminate
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP20243490A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0488345A (en
Inventor
勉 五十嵐
次郎 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei Corp
Original Assignee
Asahi Kasei Kogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kasei Kogyo KK filed Critical Asahi Kasei Kogyo KK
Priority to JP20243490A priority Critical patent/JP2880775B2/en
Publication of JPH0488345A publication Critical patent/JPH0488345A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2880775B2 publication Critical patent/JP2880775B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光重合性組成物および光重合性積層体に関
し、更に詳しくは印刷回路板作成に適したアルカリ現像
可能な光重合性組成物および該組成物を用いた光重合性
積層体に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photopolymerizable composition and a photopolymerizable laminate, and more particularly to an alkali-developable photopolymerizable composition suitable for making a printed circuit board. And a photopolymerizable laminate using the composition.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、印刷回路板作成用のレジストとして支持層と光
重合層から成る、いわゆるドライフィルムレジスト(以
下DFRと略称)が用いられている。DFRは、一般に支持層
上に光重合性組成物から光重合層を積層し、多くの場
合、さらに該組成物上に保護用のフィルムを積層するこ
とにより調製される。
Conventionally, a so-called dry film resist (hereinafter abbreviated as DFR) comprising a support layer and a photopolymerization layer has been used as a resist for producing a printed circuit board. DFR is generally prepared by laminating a photopolymerizable layer from a photopolymerizable composition on a support layer, and often further laminating a protective film on the composition.

DFRを用いてプリント回路板を作成するには、まず保
護フィルムを剥離した後、銅張積層板等の永久回路作成
用基板上に、DFRを積層する。次に、必要により支持層
を剥離し、配線パターンマスクフィルム等を通し露光を
行う。露光後に支持層がある場合は必要に応じて支持層
を剥離し、現像液により未露光部分の光重合層を溶解、
もしくは分散除去し、基板上に硬化レジスト画像を形成
せしめる。光重合層としては、現像液としてアルカリ水
溶液を用いるアルカリ現像型と、有機溶剤を用いる溶剤
現像型が知られているが、近年環境問題ないし費用の点
からアルカリ現像型DFRの需要が伸びている。
To produce a printed circuit board using DFR, first, the protective film is peeled off, and then DFR is laminated on a permanent circuit producing substrate such as a copper-clad laminate. Next, if necessary, the support layer is peeled off, and exposure is performed through a wiring pattern mask film or the like. If there is a support layer after exposure, peel the support layer if necessary, dissolve the unexposed portion of the photopolymer layer with a developer,
Alternatively, they are dispersed and removed to form a cured resist image on the substrate. As the photopolymerization layer, an alkali developing type using an alkali aqueous solution as a developing solution and a solvent developing type using an organic solvent are known, but in recent years, demand for the alkali developing type DFR is increasing in terms of environmental problems or costs. .

回路を形成させるプロセスとしては現像後は両型とも
同一であり、大きく二つの方法に分かれる。第一の方法
は、硬化レジストによって覆われていない銅面をエッチ
ング除去した後、レジストをさらに除去するものであ
り、第二の方法は、同上の銅面に銅及び半田等のメッキ
処理を行った後、レジストの除去、さらに現れた銅面を
エッチングするものである。
The process for forming a circuit is the same for both types after development, and is roughly divided into two methods. The first method is to further remove the resist after etching and removing the copper surface that is not covered with the cured resist, and the second method is to perform a plating treatment of copper and solder on the copper surface. After that, the resist is removed, and the exposed copper surface is etched.

また、DFRを用いて作製される印刷回路板の中で、ス
ルーホールの内周面に付設した導電性回路形成物質層、
例えば銅薄膜層によって恒久的画像形成用基板の一方の
面と他方の面とを電気的に接続した形式のものがほとん
どである。この種の印刷回路基板の製造方法としては、
銅スルーホール法と半田スルーホール法が一般的であっ
て、銅スルーホール法の中ではテンティング法が広く採
用されるようになってきている。
Also, in a printed circuit board manufactured using DFR, a conductive circuit forming material layer attached to the inner peripheral surface of the through hole,
For example, in most cases, one side of the permanent image forming substrate is electrically connected to the other side by a copper thin film layer. As a method of manufacturing this type of printed circuit board,
The copper through-hole method and the solder through-hole method are common, and the tenting method is widely used among the copper through-hole methods.

半田スルーホール法はスルーホールの内周面の導電性
回路構成物質、例えば銅薄膜層を保護する耐エッチング
金属、例えば半田メッキで被覆し、次いで基板表面の不
要箇所をエッチングするものである。上述の銅メッキや
半田メッキ等の各種メッキ工程に於いて、レジストと基
材との間にメッキ液がしみ込み、メッキがもぐるとショ
ートの原因となる。従って耐メッキ性の優れたDFRが要
求される。
In the solder through-hole method, an inner peripheral surface of the through-hole is coated with a conductive circuit constituent material, for example, an etching-resistant metal for protecting a copper thin film layer, for example, solder plating, and then unnecessary portions on the substrate surface are etched. In various plating processes such as the above-described copper plating and solder plating, a plating solution permeates between the resist and the base material, and if the plating gets loose, it causes a short circuit. Therefore, DFR with excellent plating resistance is required.

また、露光、現像により形成された硬化レジストはエ
ッチング、あるいはメッキ後に水酸化ナトリウム等のア
ルカリ水溶液の剥離液により剥離される。剥離速度は生
産性の観点から速い事が好ましい。また、レジスト硬化
膜の剥離液に対する溶解性が高いと、剥離液の粘度の上
昇をきたし、発泡が著しくなる。そのため剥離液の処理
能力は低下する。さらに剥離液のBOD(生物化学的酸素
要求量)やCOD(化学的酸素要求量)が増大するため、
廃液処理に要する費用が高価になる。以上の点からレジ
スト硬化膜は剥離液に対して難溶である事が望ましい。
Further, the cured resist formed by the exposure and the development is stripped by a stripping solution of an aqueous alkali solution such as sodium hydroxide after etching or plating. The peeling speed is preferably high from the viewpoint of productivity. In addition, when the solubility of the resist cured film in the stripping solution is high, the viscosity of the stripping solution increases, and foaming becomes remarkable. Therefore, the processing ability of the stripping solution is reduced. Furthermore, since the BOD (biochemical oxygen demand) and COD (chemical oxygen demand) of the stripper increase,
The cost required for waste liquid treatment becomes high. From the above points, it is desirable that the resist cured film is hardly soluble in the stripping solution.

現在広く用いられているDFRの光重合層は、(1)少
なくとも1個のエチレン性基を有し、光重合開始剤によ
って重合体を形成できる不飽和化合物、(2)熱可塑性
有機重合体結合剤、(3)光重合開始剤および(4)そ
の他の添加剤から成っている(特公昭50−9177号公報、
特公昭57−21697号公報)。
DFR photopolymerization layers widely used at present include (1) unsaturated compounds having at least one ethylenic group and capable of forming a polymer with a photopolymerization initiator, (2) thermoplastic organic polymer bonding (3) photopolymerization initiator and (4) other additives (Japanese Patent Publication No. 50-9177,
Japanese Patent Publication No. 57-21697).

前記不飽和化合物としては脂肪族系多価アルコールの
アクリル酸及びメタクリル酸エステルが最も一般的で、
トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、ポリエチレングリコール
ジアクリレート等が知られている。また、芳香族系2価
アルコールとしてビスフェノールAにポリエチレングリ
コールもしくはポリプロピレングリコールを付加させて
アクリル酸またはメタクリル酸エステルとして用いる例
が知られている。
The most common unsaturated compounds are acrylic acid and methacrylic acid esters of aliphatic polyhydric alcohols,
Trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, polyethylene glycol diacrylate and the like are known. In addition, there is known an example in which polyethylene glycol or polypropylene glycol is added to bisphenol A as an aromatic dihydric alcohol to use as acrylic acid or methacrylic acid ester.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、前者の脂肪族エステルに於いては十分な耐メ
ッキ性が得られない。また後者のビスフェノール系モノ
マーを用いた場合、良好な耐メッキ性を有するが、側鎖
を長くすると耐メッキ性が低下するか、または前記結合
剤との相溶性が損なわれる。さらに、アルカリ現像可能
なDFRに於いては近年ますますファインパターン化が進
むなかで特にメッキ工程に於いて十分な耐性を有すると
ともに剥離工程に於いては速やかに剥離され、剥離液中
で難溶性であるという特性を同時に満足する性能が求め
られてきた。
However, in the former aliphatic ester, sufficient plating resistance cannot be obtained. When the latter bisphenol-based monomer is used, the plating resistance is good, but if the side chain is long, the plating resistance is reduced or the compatibility with the binder is impaired. In addition, DFRs that can be alkali-developed have sufficient resistance especially in the plating process as fine patterning progresses in recent years, and they are quickly peeled off in the peeling process, and are hardly soluble in the peeling solution. There has been a demand for a performance that simultaneously satisfies the characteristic of.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記の課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、ビス
フェノールA系アクリル酸エステルモノマー又はメタク
リル酸エステルモノマーの分子中に、エチレングリコー
ル鎖とプロピレングリコール鎖の双方を含有する化合物
を光重合可能な不飽和化合物として用いると、上記のレ
ジスト特性を同時に満足し、また硬化膜が良好な剥離性
を有している事を見い出し、本発明に至った。
As a result of intensive studies to solve the above problems, it has been found that a compound containing both ethylene glycol and propylene glycol chains in the molecule of a bisphenol A-based acrylate monomer or methacrylate monomer cannot be photopolymerized. When the compound is used as a saturated compound, it has been found that the above-mentioned resist properties are satisfied at the same time, and that the cured film has a good peeling property.

即ち、本発明は、以下の第1項に示す発明(第1発明
という)〜第4項に示す発明(第4発明という)のとお
りである。
That is, the present invention is as described below in the first item (referred to as the first invention) to the fourth item (referred to as the fourth invention).

1.(a) カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、
重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体 5〜93重量
%、 (b) ビスフェノールA系アクリル酸エステルモノマ
ー又はメタクリル酸エステルモノマーの分子中に、エチ
レングリコール鎖とプロピレングリコール鎖の双方を含
有する光重合可能な不飽和化合物 5〜93重量%、 (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有して成ることを特徴とする光重合性組成物。
1. (a) The carboxyl group content is 100 to 600 in acid equivalent,
5 to 93% by weight of a linear polymer having a weight average molecular weight of 20,000 to 500,000. (B) Both ethylene glycol and propylene glycol chains are contained in the molecule of the bisphenol A-based acrylate or methacrylate monomer. A photopolymerizable composition comprising: 5 to 93% by weight of a photopolymerizable unsaturated compound, and (c) 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.

2.(a) カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、
重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体 5〜93重量
%、 (b) 下記式(I)で示される光重合可能な不飽和化
合物 5〜93重量%、 (式中、R1、R2はHまたはCH3であり、これらは同一で
あっても相違してもよい。また、A、Bは、−CH(C
H3)CH2−または−CH2CH2−であり、これらは相異な
る。m1+m2は6〜12、n1+n2は6〜12であり、m1、m2
n1、n2は正の整数である。) 及び (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有して成ることを特徴とする光重合性組成物。
2. (a) The carboxyl group content is 100 to 600 in acid equivalent,
5 to 93% by weight of a linear polymer having a weight average molecular weight of 20,000 to 500,000; (b) 5 to 93% by weight of a photopolymerizable unsaturated compound represented by the following formula (I); (Wherein, R 1 and R 2 are H or CH 3 , which may be the same or different. A and B are each represented by —CH (C
H 3 ) CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, which are different. m 1 + m 2 is 6 to 12, n 1 + n 2 is 6 to 12, and m 1 , m 2 ,
n 1 and n 2 are positive integers. ) And (c) a photopolymerizable composition comprising 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.

3. 光重合層と支持層とからなる光重合性積層体におい
て、該光重合層が、 (a) カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、重
量平均分子量が2万〜50万の線状重合体 5〜93重量
%、 (b) ビスフェノールA系アクリル酸エステルモノマ
ー又はメタクリル酸エステルモノマーの分子中に、エチ
レングリコール鎖とプロピレングリコール鎖の双方を含
有する光重合可能な不飽和化合物 5〜93重量%、 (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有した組成物からなることを特徴とする光重合性積
層体。
3. In a photopolymerizable laminate comprising a photopolymerizable layer and a support layer, the photopolymerizable layer is composed of: (a) a line having a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent and a weight average molecular weight of 20,000 to 500,000. (B) a photopolymerizable unsaturated compound containing both an ethylene glycol chain and a propylene glycol chain in the molecule of the bisphenol A-based acrylate monomer or methacrylate monomer A photopolymerizable laminate comprising a composition containing 93% by weight and (c) 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.

4. 光重合層と支持層とからなる光重合性積層体におい
て、該光重合層が、 (a) カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、重
量平均分子量が2万〜50万の線状重合体 5〜93重量
%、 (b) 下記式(I)で示される光重合可能な不飽和化
合物 5〜93重量%、 (式中、R1、R2はHまたはCH3であり、これらは同一で
あっても相違してもよい。また、A、Bは、−CH(C
H3)CH2−または−CH2CH2−であり、これらは相異な
る。m1+m2は6〜12、n1+n2は6〜12であり、m1、m2
n1、n2は正の整数である。) 及び (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有した組成物からなることを特徴とする光重合性積
層体。
4. In a photopolymerizable laminate comprising a photopolymerization layer and a support layer, the photopolymerization layer is composed of: (a) a line having a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent and a weight average molecular weight of 20,000 to 500,000. (B) 5 to 93% by weight of a photopolymerizable unsaturated compound represented by the following formula (I): (Wherein, R 1 and R 2 are H or CH 3 , which may be the same or different. A and B are each represented by —CH (C
H 3 ) CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, which are different. m 1 + m 2 is 6 to 12, n 1 + n 2 is 6 to 12, and m 1 , m 2 ,
n 1 and n 2 are positive integers. And (c) a photopolymerizable laminate comprising a composition containing 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.

特に、上記一般式(I)で示される化合物を光重合可
能な不飽和化合物として用いると、硬化後のレジストが
特にメッキ工程に於いて十分な耐性を示すとともに剥離
工程に於いて良好な剥離性を示し、硬化膜が柔軟性に富
んでいるという特性を示す。
In particular, when the compound represented by the general formula (I) is used as a photopolymerizable unsaturated compound, the cured resist shows sufficient resistance especially in the plating step and has good peelability in the peeling step. And the characteristic that the cured film is rich in flexibility.

本発明に用いる(I)式で示される光重合可能な不飽
和化合物において、エチレングリコール鎖のみである場
合、剥離性をよくするために側鎖を長くすると親水性が
増し膨潤が起こりやすく耐メッキ性が損なわれる。また
プロピレングリコール鎖のみである場合は、同様に剥離
性をよくするために側鎖を長くするとバインダーとの相
溶性が悪くなり、均一な組成物とならず、相分離を起こ
してしまう。
In the photopolymerizable unsaturated compound represented by the formula (I) used in the present invention, when only an ethylene glycol chain is used, if the side chain is lengthened to improve releasability, hydrophilicity increases, swelling is likely to occur, and plating resistance is increased. Sex is impaired. When only a propylene glycol chain is used, similarly, if the side chain is lengthened in order to improve the releasability, the compatibility with the binder is deteriorated, so that a uniform composition is not obtained and phase separation occurs.

本発明の光重合性組成物には、前記第1発明の(b)
成分の光重合可能な不飽和化合物が5〜93重量%含まれ
る必要があり、20〜60重量%の範囲がより好ましい。
The photopolymerizable composition of the present invention includes (b) the first invention.
It is necessary that the content of the photopolymerizable unsaturated compound is 5 to 93% by weight, more preferably 20 to 60% by weight.

光重合可能な不飽和化合物が93重量%以上ではフィル
ム付与性やタック性が悪化し、また、5重量%未満では
露光によって十分な硬化画像が形成されず、レジストと
しての特性、例えばテンティング、エッチング、各種メ
ッキ工程に対する耐性を有し得ない。
When the amount of the photopolymerizable unsaturated compound is 93% by weight or more, the film imparting property and tackiness are deteriorated, and when the amount is less than 5% by weight, a sufficiently cured image is not formed by exposure, and properties as a resist, such as tenting, It cannot have resistance to etching and various plating steps.

本発明においては、前記の光重合可能な不飽和化合物
以外の光重合可能な不飽和化合物も1種類以上同時に使
用しても良い。同時に用いられる前記(I)式以外の光
重合可能な不飽和化合物としては、2−ヒドロキシ−3
−フェノキシプロピルアクリレート、フェノキシテトラ
エチレングリコールアクリレート、β−ヒドロキシプロ
ピル−β′−(アクリロイルオキシ)プロピルフタレー
ト、1,4−テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリ
レート(これはメタクリレート及びアクリレートを表
す。以下同様)、1,6−ヘキサンジオール(メタ)アク
リレート、1,4−シクロヘキサンジオール(メタ)アク
リレート、オクタプロピレングリコールジ(メタ)アク
リレート、グリセロール(メタ)アクリレート、2−ジ
(P−ヒドロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリ
レート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオ
キシプロピルトリメチロールプロパントリ(メタ)アク
リレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパント
リ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
グリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、ビスフ
ェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレー
ト、ジアリルフタレート等がある。
In the present invention, one or more photopolymerizable unsaturated compounds other than the aforementioned photopolymerizable unsaturated compounds may be used simultaneously. Examples of the photopolymerizable unsaturated compound other than the formula (I) used simultaneously include 2-hydroxy-3
-Phenoxypropyl acrylate, phenoxytetraethylene glycol acrylate, β-hydroxypropyl-β ′-(acryloyloxy) propyl phthalate, 1,4-tetramethylene glycol di (meth) acrylate (this represents methacrylate and acrylate; the same applies hereinafter). , 1,6-hexanediol (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol (meth) acrylate, octapropylene glycol di (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, 2-di (P-hydroxyphenyl) propanedi (meth) ) Acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxypropyltrimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxyethyl Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, And diallyl phthalate.

本発明に用いる線状重合体中に含まれるカルボキシル
基の量は酸当量で100〜600である必要があり、300〜400
が好ましい。又分子量は2万〜50万である必要があり、
好ましくは5万〜20万である。ここで酸当量とは、その
中に1当量のカルボキシル基を有するポリマーの重量を
いう。重合体中のカルボキシル基はアルカリ水溶液に対
し現像性や剥離性を有するために必要である。酸当量が
100以下では、塗工溶媒または他の組成物、例えばモノ
マーとの相溶性が低下し、600以上では現像性や剥離性
が低下する。又、分子量が50万以上であると現像性が低
下し、2万以下では光重合性積層体に用いたとき光重合
層の厚みを均一に維持する事が困難になる。なお、酸当
量の測定は、平沼レポーティングタイトレータCONTITE
−7を用い0.1N水酸化ナトリウムで電位差滴定法により
行われる。また、分子量は日本分光製ゲルパーメーショ
ンクロマトグラフィー(ポンプ;TRIROTAR−V、カラム;
Shodex A−80M×2本直列、移動相溶媒;THF、ポリス
チレン標準サンプルによる検量線使用)により重量平均
分子量として求められる。
The amount of the carboxyl group contained in the linear polymer used in the present invention must be 100 to 600 in acid equivalent, 300 to 400
Is preferred. The molecular weight must be 20,000 to 500,000,
Preferably it is 50,000 to 200,000. Here, the acid equivalent refers to the weight of a polymer having one equivalent of a carboxyl group therein. The carboxyl group in the polymer is necessary for having developability and releasability in an aqueous alkali solution. Acid equivalent
If it is less than 100, the compatibility with the coating solvent or another composition such as a monomer will be reduced, and if it is more than 600, the developability and the releasability will be reduced. On the other hand, if the molecular weight is 500,000 or more, the developability is reduced. In addition, the measurement of the acid equivalent was performed using Hiranuma Reporting Titrator CONTITE
Performed by potentiometric titration with 0.1N sodium hydroxide using -7. The molecular weight is determined by gel permeation chromatography (Pump; TRIROTAR-V, column;
Shodex A-80M x 2 in series, mobile phase solvent; using a calibration curve with THF and polystyrene standard sample).

該線状重合体は、下記の2種類の単量体の中より各々
1種またはそれ以上の単量体を共重合させる事により得
られる。第1の単量体は分子中に重合性不飽和基を1個
有するカルボン酸または酸無水物である。例えば(メ
タ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イ
タコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等
である。第2の単量体は光重合層の現像性、エッチング
及びメッキ工程での耐性、硬化膜の可とう性等の種々の
特性を保持するように選ばれる。例えば、メチル(メ
タ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−
エチルヘキシル(メタ)アクリレート等のアルキル(メ
タ)アクリレート類がある。又酢酸ビニル等のビニルア
ルコールのエステル類や、スチレンまたは重合可能なス
チレン誘導体等がある。又上記の重合性不飽和基を分子
中に1個有するカルボン酸または酸無水物のみの重合に
よっても得る事ができる。
The linear polymer is obtained by copolymerizing one or more of the following two types of monomers. The first monomer is a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule. For example, (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride, maleic acid half ester and the like. The second monomer is selected so as to maintain various properties such as developability of the photopolymerized layer, resistance in etching and plating steps, and flexibility of the cured film. For example, methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-
There are alkyl (meth) acrylates such as ethylhexyl (meth) acrylate. Further, there are esters of vinyl alcohol such as vinyl acetate, and styrene or a polymerizable styrene derivative. It can also be obtained by polymerization of only a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule.

光重合性組成物に含有される線状重合体の量は、5〜
93重量%の範囲でなければならず、好ましくは30〜70重
量%である。線状重合体の量が93重量%以上または5重
量%未満では、露光によって形成される硬化画像が十分
にレジストとしての特性、例えばテンティング、エッチ
ング、各種メッキ工程に於いて十分な耐性を有し得な
い。
The amount of the linear polymer contained in the photopolymerizable composition is 5 to 5.
It must be in the range of 93% by weight, preferably 30-70% by weight. When the amount of the linear polymer is 93% by weight or more or less than 5% by weight, the cured image formed by exposure has sufficient resist properties, for example, sufficient resistance in tenting, etching, and various plating steps. I can't.

本発明の光重合性組成物には光重合開始剤を必須成分
として含んでいる。本発明に用いる光重合開始剤は各種
の活性光線、例えば紫外線などにより活性化され重合を
開始する公知のあらゆる化合物である。例えば、2−エ
チルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,
2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノ
ン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルア
ントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−クロロ
アントラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナ
フトキノン、9,10−フェナントラキノン、2−メチル、
1,4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン、3
−クロロ−2−メチルアントラキノンなどのキノン類、
ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン[4,4′−ビス(ジ
メチルアミノ)ベンゾフェノン]、4,4′−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノンなどの芳香族ケトン類、ベ
ンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェ
ニルエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾインな
どのベンゾインエーテル類、ジメチルチオキサントンと
ジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのようにチオキサ
ントン系化合物と三級アミン化合物との組み合わせ等が
ある。
The photopolymerizable composition of the present invention contains a photopolymerization initiator as an essential component. The photopolymerization initiator used in the present invention is any known compound that is activated by various kinds of actinic rays, for example, ultraviolet rays, and starts polymerization. For example, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,
2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-fe Nantraquinone, 2-methyl,
1,4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, 3
Quinones such as -chloro-2-methylanthraquinone;
Benzophenone, Michler's ketone [4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone], aromatic ketones such as 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, methyl benzoin, ethyl benzoin, etc. Benzoin ethers, such as a combination of dimethylthioxanthone and dimethylaminobenzoic acid, and a combination of a thioxanthone compound and a tertiary amine compound.

本発明の光重合性組成物に含有される光重合開始剤の
量は、0.01〜30重量%であり、好ましくは、0.05〜10重
量%である。光重合開始剤が30重量%以上では光重合性
組成物の活性線吸収率が高くなり、光重合積層体として
用いた時光重合層の底の部分の重合による硬化が不充分
になる。また、0.01重量%未満では充分な感度が出なく
なる。
The amount of the photopolymerization initiator contained in the photopolymerizable composition of the present invention is 0.01 to 30% by weight, preferably 0.05 to 10% by weight. When the amount of the photopolymerization initiator is 30% by weight or more, the active ray absorption of the photopolymerizable composition becomes high, and when the photopolymerizable composition is used as a photopolymerization laminate, curing at the bottom portion of the photopolymerization layer becomes insufficient. If the content is less than 0.01% by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained.

本発明の光重合性組成物の熱安定性、保存安定性を向
上させるため、光重合性組成物にラジカル重合禁止剤を
含有させることは好ましいことである。例えば、p−メ
トキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナ
フチルアミン、tert−ブチルカテコール、塩化第一銅、
2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール、2,2′−メチ
レンビス(4−エチル−6−tert−ブチルフェノー
ル)、2,2′−メチレンビス(4−メチル−6−tert−
ブチルフェノール)等が挙げられる。
In order to improve the thermal stability and storage stability of the photopolymerizable composition of the present invention, it is preferable that the photopolymerizable composition contains a radical polymerization inhibitor. For example, p-methoxyphenol, hydroquinone, pyrogallol, naphthylamine, tert-butylcatechol, cuprous chloride,
2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 2,2'-methylenebis (4-ethyl-6-tert-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-tert-
Butylphenol) and the like.

本発明の光重合性組成物には、染料、顔料等の着色物
質を含有してもよい。例えばフクシン、フタロシアニン
グリーン、オーラミン塩基、カルコキシドグリーンS、
パラマジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレ
ンジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイト
グリーン、ベイシックブルー20、ダイヤモンドグリーン
等が挙げられる。
The photopolymerizable composition of the present invention may contain coloring substances such as dyes and pigments. For example, fuchsin, phthalocyanine green, auramine base, chalcoxide green S,
Paramagenta, crystal violet, methyl orange, Nile Blue 2B, Victoria Blue, Malachite Green, Basic Blue 20, Diamond Green and the like.

また、光照射により発色する発色系染料を含有しても
よい。発色系染料としては、ロイコ染料とハロゲン化合
物の組み合わせが良く知られている。ロイコ染料として
は、例えば、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチル
フェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオレット]、
トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)メ
タン[ロイコマラカイトグリーン]等が挙げられる。一
方、ハロゲン化合物としては、臭化アミル、臭化イソア
ミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニ
ルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメ
チルフェニルスルフォン、四臭化炭素、トリス(2,3−
ジブロモプロピル)ホスヘート、トリクロロアセトアミ
ド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1−トリク
ロロ−2,2−ビス(P−クロロフェニル)エタン、ヘキ
サクロロエタン等が挙げられる。
Further, a coloring dye which develops color by light irradiation may be contained. As a color-forming dye, a combination of a leuco dye and a halogen compound is well known. Examples of the leuco dye include tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leuco crystal violet],
Tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leucomalachite green] and the like. On the other hand, examples of the halogen compound include amyl bromide, isoamyl bromide, isobutylene bromide, ethylene bromide, diphenylmethyl bromide, benzal bromide, methylene bromide, tribromomethylphenylsulfone, carbon tetrabromide, tris (2 , 3−
Dibromopropyl) phosphate, trichloroacetamide, amyl iodide, isobutyl iodide, 1,1,1-trichloro-2,2-bis (P-chlorophenyl) ethane, hexachloroethane and the like.

さらに、該光重合性組成物には、必要に応じて可塑剤
等の添加剤を含有してもよい。例えばジエチルフタレー
ト等のフタル酸エステル類が例示できる。
Further, the photopolymerizable composition may contain an additive such as a plasticizer, if necessary. For example, phthalic esters such as diethyl phthalate can be exemplified.

本発明の第2発明は、上記光重合性組成物を含有した
光重合層と、該光重合層を支持する支持層とからなる。
A second invention of the present invention comprises a photopolymerizable layer containing the above photopolymerizable composition, and a support layer supporting the photopolymerizable layer.

光重合層の支持層としては、活性光を透過する透明な
ものが望ましい。
The support layer of the photopolymerization layer is desirably a transparent layer that transmits active light.

活性光を透過する支持層としては、ポリエチレンテレ
フタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、
ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィル
ム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重
合体フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィル
ム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィ
ルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィル
ム、セルロース誘導体フィルムなどが挙げられる。これ
らのフィルムは必要に応じ延伸されたものも使用可能で
ある。
As a support layer that transmits active light, polyethylene terephthalate film, polyvinyl alcohol film,
Polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyvinylidene chloride film, vinylidene chloride copolymer film, polymethyl methacrylate copolymer film, polystyrene film, polyacrylonitrile film, styrene copolymer film, polyamide film, cellulose Derivative films and the like. These films may be stretched if necessary.

支持層と積層した光重合層の他、光重合層表面に必要
に応じて保護層を積層する。この保護層の重要な特性は
光重合層との密着力について、支持層よりも保護層の方
が、充分小さく容易に剥離できることである。たとえば
ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等があ
る。また、特開昭59−202457号公報に示された剥離性の
優れたフィルムを用いることもできる。
In addition to the photopolymerized layer laminated on the support layer, a protective layer is laminated on the photopolymerized layer surface as needed. An important property of this protective layer is that the protective layer is sufficiently small and easily peelable as compared with the support layer in terms of adhesion to the photopolymerizable layer. For example, there are a polyethylene film and a polypropylene film. Further, a film having excellent releasability as disclosed in JP-A-59-202457 can be used.

光重合層の厚みは用途において異なるが、印刷回路板
作製用には5〜100μm、好ましくは5〜70μmであ
り、薄いほど解像力は向上する。また、厚いほど膜強度
が向上する。
Although the thickness of the photopolymerized layer varies depending on the application, it is 5 to 100 μm, preferably 5 to 70 μm for producing a printed circuit board, and the thinner the film, the higher the resolution. Further, the film strength increases as the thickness increases.

次に、本発明の光重合性積層体を用いた印刷回路板の
作成工程は、従来技術に準ずるものであるが簡単に述べ
る。まず、保護層がある場合は、保護層を剥離した後、
光重合層を印刷回路板用基板の金属表面に加熱圧着し積
層する。この時の加熱温度は一般的に40〜160℃であ
る。次に必要ならば支持層を剥離しマスクフィルムを通
して活性光により画像露光する。次に、露光後光重合層
上に支持層がある場合には必要に応じてこれを除き、続
いてアルカリ水溶液を用いて未露光部を現像除去する。
アルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウ
ム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の水溶液を用
いる。これらは光重合層の特性に合わせて選択される
が、0.5%〜3%の炭酸ナトリウム水溶液が一般的であ
る。次に現像により、露出した金属面をエッチング法、
またはメッキ法のいずれか既知の方法を用い金属の画像
パターンを形成する。その後、硬化レジスト画像は一般
的に現像で用いたアルカリ水溶液よりも更に強いアルカ
リ性の水溶液により剥離される。剥離用のアルカリ水溶
液についても特に制限はないが1%〜5%の水酸化ナト
リウム、水酸化カリウムの水溶液が一般的に用いられ
る。更に現像液や剥離液に少量の水溶性有機溶媒を加え
る事は可能である。
Next, the process of producing a printed circuit board using the photopolymerizable laminate of the present invention is based on the prior art, but will be briefly described. First, if there is a protective layer, after peeling off the protective layer,
The photopolymerized layer is laminated on the metal surface of the printed circuit board substrate by heating and pressing. The heating temperature at this time is generally 40 to 160 ° C. Next, if necessary, the support layer is peeled off, and image exposure is performed with actinic light through a mask film. Next, if a support layer is present on the photopolymerized layer after exposure, the support layer is removed if necessary, and then the unexposed portion is developed and removed using an aqueous alkali solution.
As the alkaline aqueous solution, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide or the like is used. These are selected according to the characteristics of the photopolymerization layer, and a 0.5% to 3% aqueous solution of sodium carbonate is generally used. Next, by development, the exposed metal surface is etched,
Alternatively, an image pattern of a metal is formed by using any known method such as a plating method. Thereafter, the cured resist image is generally stripped off with an aqueous alkaline solution that is stronger than the aqueous alkaline solution used for development. The alkaline aqueous solution for peeling is not particularly limited, but an aqueous solution of 1% to 5% of sodium hydroxide or potassium hydroxide is generally used. Further, it is possible to add a small amount of a water-soluble organic solvent to a developer or a stripper.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例により具体的実施態様を示すが、これに
より本発明を制限するものではない。
Hereinafter, specific embodiments will be described with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

合成例1 かきまぜ器、還流冷却器、温度計を備えた5容のセ
パラブルフラスコに、イオン交換水2000gを入れ、メチ
ルセルロース〔信越化学(株)製、商品名:メトローズ
SH−100〕10g、塩化ナトリウム5gを溶解し、75℃でか
きまぜながら重合性単量体としてメチルメタクリレート
365g、n−ブチルアクリレート25g、メタクリル酸110
g、その他の成分としてアゾビスイソブチロニトリル2.5
g、ドデシルメルカプタン1gの均一混合物を投入した。
約1時間後に内温が上昇し始め90℃まで達した。80℃ま
で内温が下がった時点で、水浴を80℃にあげ2時間、さ
らに90℃で1時間かきまぜた後、内容物を200メッシュ
の金ブルイにあけ十分量の水で洗浄した。その結果、10
0〜400ミクロンの粒径のビーズ状ポリマーが得られ乾燥
した。このポリマーをゲルパーメーションクロマトグラ
フィーで分析したところ、重量平均分子量は12万であっ
た。また電位差滴定法で求めた酸当量は390であった。
Synthesis Example 1 A 5-volume separable flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a thermometer was charged with 2000 g of ion-exchanged water, and methylcellulose [Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: Metroose
SH-100] Dissolve 10 g and sodium chloride 5 g, and stir at 75 ° C while mixing methyl methacrylate as a polymerizable monomer.
365 g, n-butyl acrylate 25 g, methacrylic acid 110
g, azobisisobutyronitrile 2.5 as other ingredient
g and dodecyl mercaptan (1 g).
After about one hour, the internal temperature began to rise and reached 90 ° C. When the internal temperature was lowered to 80 ° C., the water bath was raised to 80 ° C., and the mixture was stirred for 2 hours and further at 90 ° C. for 1 hour. As a result, 10
A beaded polymer with a particle size of 0-400 microns was obtained and dried. This polymer was analyzed by gel permeation chromatography to find that the weight average molecular weight was 120,000. The acid equivalent determined by potentiometric titration was 390.

合成例2 合成例1と同様の方法で重合性単量体だけを次の原料
に変えて共重合体を合成した。
Synthesis Example 2 A copolymer was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that only the polymerizable monomer was changed to the following raw materials.

メチルメタクリレート200g、スチレン150g、n−ブチ
ルアクリレート25g、メタクリル酸125g。この共重合体
のゲルパーメーションクロマトグラフで測定した重量平
均分子量は6万であった。また、酸当量は346であっ
た。
200 g of methyl methacrylate, 150 g of styrene, 25 g of n-butyl acrylate, 125 g of methacrylic acid. The weight average molecular weight of this copolymer measured by gel permeation chromatography was 60,000. Further, the acid equivalent was 346.

実施例1 かきまぜ器、還流冷却器を備えた500ml容のセパラブ
ルフラスコに、メチルエチルケトン150gと合成例1で作
製した共重合体50gを仕込み、かきまぜながら50℃で3
時間加熱溶解した。この溶液を室温まで冷却した後、第
1表に示すモノマー、その他の成分を投入し,室温で15
時間かきまぜた。
Example 1 In a 500 ml separable flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, 150 g of methyl ethyl ketone and 50 g of the copolymer prepared in Synthesis Example 1 were charged, and stirred at 50 ° C. for 3 hours.
The mixture was heated and dissolved for hours. After the solution was cooled to room temperature, the monomers and other components shown in Table 1 were added, and the solution was cooled to room temperature.
Stir for hours.

次にこの混合溶液を、厚さ25μmのポリエチレンテレ
フタレートフィルムにバーコーターを用いて均一に塗布
し、90℃の乾燥機中で5分乾燥して光重合層の厚さ50μ
mの光重合性積層体を製造した。その後、光重合層のポ
リエチレンテレフタレートフィルムを積層していない表
面上に35μmのポリエチレンフィルムを張り合わせて積
層フィルムを得た。一方、35μm圧延銅箔を積層した銅
張積層板を湿式バフロール〔スリーエム社製、商品名:
スコッチブライトHD#600、2回通し)研磨した表面に
この積層フィルムのポリエチレンフィルムを剥しながら
光重合層をホットロールラミネーターにより105℃でラ
ミネートして積層体を得た。この積層体にマスクフィル
ムを通して、超高圧水銀ランプ(オーク製作所HMW−201
KB)により80mJ/cm2で光重合層を露光した。続いてポリ
エチレンテレフタレートフィルムを剥離した後、30℃の
1%炭酸ナトリウム水溶液を約70秒スプレーし、未露光
部分を溶解除去したところ良好な硬化画像を得た。
Next, this mixed solution was uniformly applied to a 25 μm-thick polyethylene terephthalate film using a bar coater, and dried in a drier at 90 ° C. for 5 minutes to obtain a photopolymer layer having a thickness of 50 μm.
m of the photopolymerizable laminate was produced. Thereafter, a 35 μm polyethylene film was laminated on the surface of the photopolymerization layer on which the polyethylene terephthalate film was not laminated to obtain a laminated film. On the other hand, a copper-clad laminate obtained by laminating rolled copper foil of 35 μm was wet-type baffle [trade name, manufactured by 3M, Inc.
The photopolymerized layer was laminated at 105 ° C. with a hot roll laminator while peeling off the polyethylene film of the laminated film on the polished surface of Scotch Bright HD # 600 (twice passed) to obtain a laminate. An ultra-high pressure mercury lamp (Oak Works HMW-201) is passed through a mask film through this laminate.
The photopolymer layer was exposed to light at 80 mJ / cm 2 according to KB). Subsequently, after peeling off the polyethylene terephthalate film, a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. was sprayed for about 70 seconds, and the unexposed portions were dissolved and removed to obtain a good cured image.

次に、上記の方法で銅張積層基板に光重合層を積層し
た後、ステップタブレット(KODAK社製、21段ステップ
タブレット)を通し、上記の超高圧水銀ランプにより80
mJ/cm2露光した。次いでポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを剥離した後、30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液
を約70秒スプレーし、未露光部分を溶解除去し、水洗し
乾燥した。この時ステップタブレットの完全に膜が残っ
ている最大段数を読むと6段であった。(以下、この試
験を感度試験と称す。ステップタブレットは段数は大き
い程光の透過率が低い。従って感度の高いレジストほど
上記判定段数は高くなる。) また、上述の方法で銅張り積層基板にラミネートした
積層体に、超高圧水銀灯により60mJ/cm2で露光した。次
いでポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した
後、1%炭酸ナトリウム水溶液を約70秒スプレーして現
像した。この現像後の基板を用いて次の二つの試験を行
った。
Next, after laminating the photopolymerization layer on the copper-clad laminated substrate by the above method, it is passed through a step tablet (manufactured by KODAK, 21-step step tablet), and the above-mentioned ultrahigh-pressure mercury lamp is used for 80 μm.
mJ / cm 2 was exposed. Next, after peeling off the polyethylene terephthalate film, a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. was sprayed for about 70 seconds to dissolve and remove unexposed portions, washed with water and dried. At this time, the maximum number of steps on the step tablet where the film was completely left was 6 steps. (Hereinafter, this test is referred to as a sensitivity test. The greater the number of steps in a step tablet, the lower the light transmittance. Therefore, the higher the sensitivity of the resist, the higher the number of determination steps.) The laminated body was exposed at 60 mJ / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp. Next, after the polyethylene terephthalate film was peeled off, it was developed by spraying a 1% aqueous solution of sodium carbonate for about 70 seconds. The following two tests were performed using the developed substrate.

第一の試験:この基板上の硬化膜に1mm間隔にタテ及び
ヨコに10本づつ切れ目をいれ、100個の基盤目をつく
り、セロテープを強く押しつけて引きはがしたところ、
完全に剥がれたものは100個中0個であった(以下、こ
の試験をクロスカット試験と称す)。判定評価基準は、
以下の通りである。
The first test: The cured film on this substrate was cut in length and width at intervals of 1 mm, and 10 cuts were made, and 100 base lines were made.
One out of 100 completely peeled off (hereinafter, this test is referred to as a cross cut test). The evaluation criteria are
It is as follows.

○:全ての測定点で全く剥離が認められない。:: No peeling was observed at all measurement points.

△:100の測定点中1〜20の点で剥離が認められた。C: Peeling was observed at 1 to 20 points out of 100 measurement points.

×:100の測定点中21以上の点で剥離が認められた。X: Peeling was observed at 21 or more points out of 100 measurement points.

第二の試験:上述の現像後の基板を50℃に加熱した3%
水酸化ナトリウム水溶液に浸し、硬化レジストが銅面か
ら剥離する時間を測定したところ50秒であった(以下、
この試験を剥離製試験と称す)。
Second test: 3% of the above-mentioned developed substrate heated to 50 ° C.
The resist was immersed in an aqueous solution of sodium hydroxide, and the time required for the cured resist to peel off from the copper surface was measured.
This test is called a peeling test).

一方、クロスカット試験を行った後の基板を50℃に加
熱した3%水酸化ナトリウム水溶液に浸し、硬化レジス
トが銅面から剥離する時間を測定したところ50秒であっ
た(以下、この試験を剥離性試験と称す)。
On the other hand, the substrate after performing the cross-cut test was immersed in a 3% aqueous solution of sodium hydroxide heated to 50 ° C., and the time required for the cured resist to peel off from the copper surface was measured to be 50 seconds. This is referred to as a peelability test).

又、上述の方法で銅張り積層基板にラミネートした積
層体に、ポジパターンマスクフィルムを通して超高圧水
銀灯により80mJ/cm2の紫外線を照射した。次いでポリエ
チレンテレフタレートフィルムを剥離した後1%炭酸ナ
トリウム水溶液で現像を行い下記条件で前処理、硫酸銅
メッキ及び半田メッキを行った。得られた画像の細線部
分にセロテープを張り、十分圧着した後テープを剥離し
たが、レジストの剥離は皆無であった(以下、この試験
を耐メッキ性試験と称する)。
Further, the laminated body laminated on the copper-clad laminated substrate by the above-mentioned method was irradiated with ultraviolet rays of 80 mJ / cm 2 by a super high pressure mercury lamp through a positive pattern mask film. Next, after peeling off the polyethylene terephthalate film, development was carried out with a 1% aqueous solution of sodium carbonate, and pretreatment, copper sulfate plating and solder plating were performed under the following conditions. A cellophane tape was applied to the fine line portion of the obtained image, and the tape was peeled off after sufficient pressure bonding. However, there was no peeling of the resist (hereinafter, this test is referred to as a plating resistance test).

<前処理条件> 50℃ PC−455(メルテック社製)25% 3分 浸漬
→水洗→20%過硫酸アンモニウム水溶液1分浸漬→10%
硫酸水溶液→水洗 <硫酸銅メッキ条件> メルテックス社製、商品名「硫酸銅コンク」を19%硫
酸で3.6倍に希釈したメッキ液中で2.5A/dm2の電流密度
で室温下30分メッキを行う。
<Pretreatment conditions> 50 ° C PC-455 (Meltec) 25% 3 minutes immersion → water washing → 20% ammonium persulfate aqueous solution 1 minute immersion → 10%
Aqueous solution of sulfuric acid → water washing <copper sulfate plating conditions> Meltex Co., Ltd., trade name "Copper sulfate Conc" 19% at room temperature for 30 minutes plating at a current density of 2.5A / dm 2 in a plating solution diluted to 3.6 times with sulfuric acid I do.

<半田メッキ条件> マクダーミッド社製の半田メッキ液(錫/鉛=6/4)
を用い、2.0A/dm2の電流密度で室温下10分間メッキを行
う。
<Solder plating conditions> Solder plating solution manufactured by McDermid (Tin / Lead = 6/4)
And plating at a current density of 2.0 A / dm 2 at room temperature for 10 minutes.

<テープ剥離判定基準> a レジストのはがれが全くない。<Criterion for tape peeling> a There is no peeling of the resist.

b 画像の両側に100μm以下の幅で1mm以下の長さの部
分が処々剥離した。
(b) On both sides of the image, portions having a width of 100 μm or less and a length of 1 mm or less peeled off gradually.

c 画像の両側に100μm以上の幅で1mm以上の長さの部
分が処々剥離した。
c On both sides of the image, portions having a width of 100 μm or more and a length of 1 mm or more peeled off gradually.

d ほぼ全部のレジストが剥離した。d Almost all resist was peeled off.

実施例2〜3 第1表に示す組成に代える以外は、実施例1と同様の
方法で評価を行った。その結果を第2表に示す。
Examples 2 to 3 Evaluations were performed in the same manner as in Example 1 except that the compositions shown in Table 1 were used. Table 2 shows the results.

比較例1〜3 第1表に示す組成に代える以外は、実施例1と同様の
方法で評価を行った。その結果を第2表に示す。
Comparative Examples 1-3 Evaluations were made in the same manner as in Example 1 except that the compositions shown in Table 1 were used. Table 2 shows the results.

〔発明の効果〕 本発明の光重合性組成物および光重合性積層体は、エ
ッチング、テンティング、メッキの各工程に於いて十分
な耐久性を有し、特にメッキ工程に於いて優れた耐性を
示す。剥離性も良好で、硬化膜が柔軟性に富んでいる。
また、本発明の光重合性組成物及び光重合性積層体は、
アルカリ現像に必要な特性を備えており、印刷回路板作
製用レジストとして有用である。
[Effects of the Invention] The photopolymerizable composition and the photopolymerizable laminate of the present invention have sufficient durability in each of the steps of etching, tenting, and plating, and particularly have excellent resistance in the plating step. Is shown. The peelability is good, and the cured film is rich in flexibility.
Further, the photopolymerizable composition and the photopolymerizable laminate of the present invention,
It has the characteristics required for alkali development and is useful as a resist for producing printed circuit boards.

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03F 7/027 G03F 7/033 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G03F 7/027 G03F 7/033

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(a) カルボキシル基含有量が酸当量で
100〜600、重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体
5〜93重量%、 (b) ビスフェノールA系アクリル酸エステルモノマ
ー又はメタクリル酸エステルモノマーの分子中に、エチ
レングリコール鎖とプロピレングリコール鎖の双方を含
有する光重合可能な不飽和化合物 5〜93重量%、 (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有して成ることを特徴とする光重合性組成物。
(1) The carboxyl group content is determined by acid equivalent.
Linear polymer with 100-600, weight average molecular weight of 20,000-500,000
(B) a photopolymerizable unsaturated compound containing both an ethylene glycol chain and a propylene glycol chain in a molecule of a bisphenol A-based acrylate monomer or a methacrylate ester monomer; (C) a photopolymerizable composition comprising 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.
【請求項2】(a) カルボキシル基含有量が酸当量で
100〜600、重量平均分子量が2万〜50万の線状重合体
5〜93重量%、 (b) 下記式(I)で示される光重合可能な不飽和化
合物 5〜93重量%、 (式中、R1、R2はHまたはCH3であり、これらは同一で
あっても相違してもよい。また、A、Bは、−CH(C
H3)CH2−または−CH2CH2−であり、これらは相異な
る。m1+m2は6〜12、n1+n2は6〜12であり、m1、m2
n1、n2は正の整数である。) 及び (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有して成ることを特徴とする光重合性組成物。
(2) The carboxyl group content is determined by acid equivalent.
Linear polymer with 100-600, weight average molecular weight of 20,000-500,000
(B) 5 to 93% by weight of a photopolymerizable unsaturated compound represented by the following formula (I): (Wherein, R 1 and R 2 are H or CH 3 , which may be the same or different. A and B are each represented by —CH (C
H 3 ) CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, which are different. m 1 + m 2 is 6 to 12, n 1 + n 2 is 6 to 12, and m 1 , m 2 ,
n 1 and n 2 are positive integers. ) And (c) a photopolymerizable composition comprising 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.
【請求項3】光重合層と支持層とからなる光重合性積層
体において、該光重合層が、 (a) カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、重
量平均分子量が2万〜50万の線状重合体 5〜93重量
%、 (b) ビスフェノールA系アクリル酸エステルモノマ
ー又はメタクリル酸エステルモノマーの分子中に、エチ
レングリコール鎖とプロピレングリコール鎖の双方を含
有する光重合可能な不飽和化合物 5〜93重量%、 (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有した組成物からなることを特徴とする光重合性積
層体。
3. A photopolymerizable laminate comprising a photopolymerizable layer and a support layer, wherein the photopolymerizable layer comprises: (a) a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent and a weight average molecular weight of 20,000 to 50; (B) a photopolymerizable unsaturated polymer containing both ethylene glycol and propylene glycol chains in the molecule of a bisphenol A-based acrylate or methacrylate monomer A photopolymerizable laminate comprising a composition containing 5 to 93% by weight of a compound and (c) 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.
【請求項4】光重合層と支持層とからなる光重合性積層
体において、該光重合層が、 (a) カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600、重
量平均分子量が2万〜50万の線状重合体 5〜93重量
%、 (b) 下記式(I)で示される光重合可能な不飽和化
合物 5〜93重量%、 (式中、R1、R2はHまたはCH3であり、これらは同一で
あっても相違してもよい。また、A、Bは、−CH(C
H3)CH2−または−CH2CH2−であり、これらは相異な
る。m1+m2は6〜12、n1+n2は6〜12であり、m1、m2
n1、n2は正の整数である。) 及び (c) 光重合開始剤 0.01〜30重量% を含有した組成物からなることを特徴とする光重合性積
層体。
4. A photopolymerizable laminate comprising a photopolymerizable layer and a support layer, wherein the photopolymerizable layer comprises: (a) a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent, and a weight average molecular weight of 20,000 to 50. (B) 5 to 93% by weight of a photopolymerizable unsaturated compound represented by the following formula (I): (Wherein, R 1 and R 2 are H or CH 3 , which may be the same or different. A and B are each represented by —CH (C
H 3 ) CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, which are different. m 1 + m 2 is 6 to 12, n 1 + n 2 is 6 to 12, and m 1 , m 2 ,
n 1 and n 2 are positive integers. And (c) a photopolymerizable laminate comprising a composition containing 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator.
JP20243490A 1990-08-01 1990-08-01 Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate Expired - Lifetime JP2880775B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20243490A JP2880775B2 (en) 1990-08-01 1990-08-01 Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20243490A JP2880775B2 (en) 1990-08-01 1990-08-01 Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0488345A JPH0488345A (en) 1992-03-23
JP2880775B2 true JP2880775B2 (en) 1999-04-12

Family

ID=16457459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20243490A Expired - Lifetime JP2880775B2 (en) 1990-08-01 1990-08-01 Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2880775B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2001266324A1 (en) * 2000-06-22 2002-01-02 Hitachi Chemical Co. Ltd. Photosensitive resin composition, photosensitive element comprising the same, process for producing resist pattern, and process for producing printed circuit board

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0488345A (en) 1992-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5707420B2 (en) Photosensitive resin composition
JP3549015B2 (en) Photopolymerizable composition
JPH11167203A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using same
JP2001201851A (en) Photopolymerizable resin composition
JP3508819B2 (en) Photopolymerizable composition
JP2009128419A (en) Photosensitive resin composition and laminate
JP4230227B2 (en) Photopolymerizable resin composition
JP2548016B2 (en) Photopolymerizable laminate
JP3267703B2 (en) New photopolymerizable resin laminate
JP2982398B2 (en) New photosensitive resin composition
JP2002053621A (en) Photopolymerizable resin composition and laminate
JP2880775B2 (en) Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate
JP3469066B2 (en) Photopolymerizable composition and photopolymerizable laminate
JP3458000B2 (en) Photopolymerizable resin composition
JP2690494B2 (en) Photoresist composition
JP4033571B2 (en) Novel photopolymerizable composition
JP3638772B2 (en) Photopolymerizable composition
JP3529237B2 (en) Photopolymerizable resin composition
JP3957364B2 (en) Photopolymerizable composition
JP4201555B2 (en) Photosensitive resin composition
JP3980132B2 (en) Photopolymerizable resin composition
JP2002040646A (en) Photopolymerizable composition
JPH11174667A (en) Photopolymerized resin composition and layered product
JP4393145B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive resin laminate using the same
JP3846953B2 (en) Photopolymerizable composition and use thereof

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080129

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129

Year of fee payment: 11

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129