JP3529237B2 - Photopolymerizable resin composition - Google Patents

Photopolymerizable resin composition

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JP3529237B2
JP3529237B2 JP02545797A JP2545797A JP3529237B2 JP 3529237 B2 JP3529237 B2 JP 3529237B2 JP 02545797 A JP02545797 A JP 02545797A JP 2545797 A JP2545797 A JP 2545797A JP 3529237 B2 JP3529237 B2 JP 3529237B2
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meth
acrylate
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勉 五十嵐
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光重合性組成物およ
び光重合性樹脂積層体に関し、更に詳しくは印刷回路板
作成に適したアルカリ現像可能な光重合性組成物および
光重合性樹脂積層体に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photopolymerizable composition and a photopolymerizable resin laminate, and more specifically to an alkali developable photopolymerizable composition and a photopolymerizable resin laminate suitable for making a printed circuit board. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、印刷回路作成用のレジストとして
支持層と光重合性層から成る、いわゆるドライフィルム
レジスト(以下DFRと略称)が用いられている。DF
Rは、一般に支持フィルム上に光重合性組成物を積層
し、多くの場合、さらに該組成物上に保護用のフィルム
を積層することにより調製される。光重合性層の材料と
しては、現像液として弱アルカリ水溶液を用いるアルカ
リ現像型の材料が一般的である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a so-called dry film resist (hereinafter abbreviated as DFR) composed of a support layer and a photopolymerizable layer has been used as a resist for producing a printed circuit. DF
R is generally prepared by laminating a photopolymerizable composition on a support film, and in many cases further laminating a protective film on the composition. As a material for the photopolymerizable layer, an alkali developing type material using a weak alkaline aqueous solution as a developing solution is generally used.

【0003】DFRを用いてプリント回路板を作成する
には、まず保護フィルムを剥離した後、ラミネーター等
を用い銅張積層板等の永久回路作成用基板上にDFRを
積層し、配線パターンマスクフィルム等を通し露光を行
う。次に、必要に応じて支持フィルムを剥離し、現像液
により未露光部分の光重合性組成物を溶解、もしくは分
散除去し、基板上に硬化レジスト画像を形成させる。そ
の後、形成されたレジスト画像をマスクとして基板の金
属表面をエッチング、またはめっきによる処理を行い、
次いでレジスト画像を現像液よりも強いアルカリ水溶液
を用いて剥離して、プリント配線板等を形成する。特に
最近は、工程の簡便さから貫通孔(スルーホール)を硬
化膜で覆い、その後エッチングするいわゆるテンティン
グ法が多用されている。ここで用いられるエッチング液
としては、塩化第二銅、塩化第二鉄、銅アンモニア錯体
溶液などが用いられる。
In order to produce a printed circuit board using DFR, first the protective film is peeled off, and then the DFR is laminated on a permanent circuit-forming substrate such as a copper clad laminate using a laminator or the like to form a wiring pattern mask film. And the like to expose. Next, if necessary, the supporting film is peeled off, and the photopolymerizable composition in the unexposed portion is dissolved or dispersed by a developing solution to form a cured resist image on the substrate. After that, using the formed resist image as a mask, the metal surface of the substrate is etched or treated by plating,
Then, the resist image is peeled off using an alkaline aqueous solution stronger than the developing solution to form a printed wiring board or the like. Particularly in recent years, a so-called tenting method in which a through hole is covered with a cured film and then etched is often used because of the simplicity of the process. As the etching liquid used here, cupric chloride, ferric chloride, copper ammonia complex solution, or the like is used.

【0004】最近では、プリント基板の高密度化に伴い
ファインパターン化が進むにつれて、高解像度のDFR
が要求されている。また、現像やエッチングの工程でス
プレー等の圧力により、ファインに形成されたレジスト
画像が密着していないと、断線になり不良につながる。
そのためレジスト画像の細線密着性が良好なことが要求
されている。また、生産性向上のため現像時間及び剥離
時間が早いこともしばしば要求されている。
Recently, as finer patterns have been made with the increase in density of printed circuit boards, high resolution DFRs have been developed.
Is required. Also, if the finely formed resist image is not in close contact with the pressure of the spray or the like in the developing or etching process, the wire will be broken and lead to a defect.
Therefore, it is required that the fine line adhesion of the resist image is good. Further, in order to improve productivity, it is often required that the development time and the peeling time are fast.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】解像度、細線密着性の
向上は、プロピレングリコール鎖のような疎水性基を有
する化合物のみを含有するレジスト成分を用いて現像時
の膨潤性を押さえることにより達成されるが、このよう
なレジスト成分を用いた場合、ベースポリマーとの相溶
性が悪化したり、現像時のスカム発生の原因となり、さ
らに、現像時間も遅くなる。一方、現像時間を早くする
ためレジスト成分中にエチレングリコール鎖のような親
水性基を持つ化合物のみを含有させると、現像時の膨潤
性が増加し解像性が悪化する。このため、プリント配線
板の高密度化及び高生産性に対応する高解像度、高速現
像の特性を同時に満足する光重合性組成物が望まれてい
た。
The improvement of resolution and adhesion to fine lines is achieved by suppressing the swelling property during development by using a resist component containing only a compound having a hydrophobic group such as propylene glycol chain. However, when such a resist component is used, the compatibility with the base polymer is deteriorated, scum is generated during development, and the development time is delayed. On the other hand, if only a compound having a hydrophilic group such as ethylene glycol chain is contained in the resist component in order to shorten the development time, the swelling property at the time of development is increased and the resolution is deteriorated. Therefore, there has been a demand for a photopolymerizable composition that simultaneously satisfies the characteristics of high resolution and high speed development corresponding to high density and high productivity of printed wiring boards.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決すべく
鋭意検討を重ねた結果、特定の線状重合体と特定の光重
合可能な不飽和化合物の組み合わせにより、高解像性及
び高速現像処理が可能な特性を得られることを見いだ
し、本発明を完成するに至った。すなわち、本願の第一
発明は、 (a)(i)非酸性で、分子中に重合性不飽和基を一個有
し、フェニル基を有するビニル化合物、(ii)分子中に重
合性不飽和基を1個有するカルボン酸または酸無水物、
および、(iii)アルキル基1〜6個の炭素原子を有する
アルキル(メタ)アクリレート、およびヒドロキシルア
ルキル基が2〜6個の炭素原子を有するヒドロキシル
(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる1種類以
上の化合物、を共重合してなり、かつ、重量平均分子量
が3万以上6万未満である線状重合体、20〜90重量
%、(b)下記式(I)で示される光重合可能な不飽和
化合物、5〜60重量%、
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to solve the above problems, as a result of a combination of a specific linear polymer and a specific photopolymerizable unsaturated compound, high resolution and high speed development are achieved. It was found that a processable property was obtained, and the present invention was completed. That is, the first invention of the present application is (a) (i) a non-acidic vinyl compound having one polymerizable unsaturated group in the molecule and having a phenyl group, (ii) a polymerizable unsaturated group in the molecule. A carboxylic acid or acid anhydride having one
And (iii) one or more selected from the group consisting of an alkyl (meth) acrylate having 1 to 6 carbon atoms of an alkyl group, and a hydroxyl (meth) acrylate having a hydroxyl alkyl group of 2 to 6 carbon atoms. A linear polymer having a weight average molecular weight of 30,000 or more and less than 60,000, 20 to 90% by weight, and (b) a photopolymerizable compound represented by the following formula (I): Unsaturated compounds, 5-60% by weight,

【0007】[0007]

【化2】 [Chemical 2]

【0008】(式中、R1、R2はHまたはCH3であ
り、これらは同一であっても相違してもよい。また、
A、Bは−CH(CH3)CH2−または−CH2CH2−
であり、これらは相異なる。m1+m2は2〜16、n1
+n2は2〜16の正の整数である。)、および (c)4、4ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン
または4、4ービス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
と2ー(Oークロロフェニル)ー4、5ージフェニルイ
ミダゾリル二量体の組み合わせを含む光重合開始剤、
0.01〜30重量%を含有することを特徴とする光重
合性組成物である。
(In the formula, R 1 and R 2 are H or CH 3, and they may be the same or different.
A and B are -CH (CH3) CH2- or -CH2CH2-
And these are different. m1 + m2 is 2-16, n1
+ N2 is a positive integer of 2-16. ), And (c) 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone
Or 4,4-bis (diethylamino) benzophenone
And 2- (O-chlorophenyl) -4,5-diphenyl
A photopolymerization initiator comprising a combination of midazolyl dimers ,
It is a photopolymerizable composition containing 0.01 to 30% by weight.

【0009】本願の第二発明は、(iv)分子中に重合性不
飽和基を1個有するカルボン酸または酸無水物、(v)ア
ルキル基1〜6個の炭素原子を有するアルキル(メタ)
アクリレート、ヒドロキシルアルキル基が2〜6個の炭
素原子を有するヒドロキシル(メタ)アクリレート、お
よびフェニル基を有するビニル化合物からなる群から選
ばれる1種類以上の化合物を共重合してなる、重量平均
分子量が1万以上3万未満である線状重合体を、(a)
の線状重合体に対し95/5〜40/60の重量比率で
さらに含有することを特徴とする上記(1)記載の光重
合性組成物である。
The second invention of the present application is (iv) a carboxylic acid or an acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule, (v) an alkyl group (meth) having 1 to 6 carbon atoms.
A weight average molecular weight obtained by copolymerizing one or more compounds selected from the group consisting of an acrylate, a hydroxyl (meth) acrylate having a hydroxylalkyl group having 2 to 6 carbon atoms, and a vinyl compound having a phenyl group, The linear polymer having a molecular weight of 10,000 or more and less than 30,000 is (a)
The photopolymerizable composition according to (1) above, which further comprises a weight ratio of 95/5 to 40/60 with respect to the linear polymer.

【0010】本願の第三発明は、支持体上に上記第一発
明または第二発明の光重合性組成物からなる層を設けた
光重合性樹脂積層体である。また、上記第一〜第三発明
において、光重合開始剤(c)として、4、4 ービス
(ジメチルアミノ)ベンゾフェノンまたは4、4 ービ
ス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンと2ー(Oークロ
ロフェニル)ー4、5ージフェニルイミダゾリル二量体
の組み合わせを用いることは好ましい態様である。
The third invention of the present application is a photopolymerizable resin laminate in which a layer comprising the photopolymerizable composition of the first invention or the second invention is provided on a support. In the first to third inventions, as the photopolymerization initiator (c), 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone or 4,4-bis (diethylamino) benzophenone and 2- (O-chlorophenyl) -4,5 are used. The use of a combination of diphenyl imidazolyl dimers is a preferred embodiment.

【0011】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
(a)成分の線状重合体(以下、Pという)に含まれる
カルボキシル基の量は、酸当量で100〜600である
必要があり、好ましくは、300〜400である。線状
共重合体P中のカルボキシル基は、DFRにアルカリ水
溶液に対する現像性や剥離性を与えるために必要であ
る。酸当量が100未満では、塗工溶媒または他の組成
物、例えば、光重合性不飽和化合物(モノマー)との相
溶性が低下し、600を超えると現像性や剥離性が低下
する。
The present invention will be described in detail below. The amount of the carboxyl group contained in the linear polymer of the component (a) of the present invention (hereinafter referred to as P) needs to be 100 to 600 in terms of acid equivalent, and preferably 300 to 400. The carboxyl group in the linear copolymer P is necessary to give the DFR developability and releasability to an aqueous alkaline solution. When the acid equivalent is less than 100, the compatibility with the coating solvent or other composition, for example, the photopolymerizable unsaturated compound (monomer) is lowered, and when it exceeds 600, the developability and the peelability are lowered.

【0012】ここで酸当量とはその中に1当量のカルボ
キシル基を有するポリマーの重量を言う。なお、酸当量
の測定は電位差滴定法により行われる。また分子量はゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によ
り重量平均分子量(ポリスチレン換算)として求められ
る。また、本発明で用いられる線状重合体Pの重量平均
分子量は、3万以上6万未満である必要がある。線状重
合体Pの分子量が6万以上になると、現像性、解像性が
低下し、3万未満では感光層の粘度が低下しロール端面
から感光層がはみ出すエッジフューズが発生し易くな
る。
Here, the acid equivalent means the weight of the polymer having 1 equivalent of a carboxyl group therein. The acid equivalent is measured by potentiometric titration. The molecular weight is determined as a weight average molecular weight (converted to polystyrene) by gel permeation chromatography (GPC). The weight average molecular weight of the linear polymer P used in the present invention needs to be 30,000 or more and less than 60,000. When the molecular weight of the linear polymer P is 60,000 or more, developability and resolution are deteriorated, and when it is less than 30,000, the viscosity of the photosensitive layer is decreased and edge fuses protruding from the end surface of the roll are apt to occur.

【0013】本発明で用いられる線状共重合体Pの共重
合成分(i)は、非酸性で、分子中に重合性不飽和基を一
個有し、フェニル基を有するビニル化合物を必須成分と
する。これらの化合物としては、例えば、スチレン、メ
チルスチレン、及びスチレン誘導体等が挙げられる。フ
ェニル基を有するビニル化合物としては、特にスチレン
が好ましい。
The copolymerization component (i) of the linear copolymer P used in the present invention is a non-acidic vinyl compound having one polymerizable unsaturated group in the molecule and a phenyl group as an essential component. To do. Examples of these compounds include styrene, methylstyrene, and styrene derivatives. Styrene is particularly preferable as the vinyl compound having a phenyl group.

【0014】本発明で用いられる線状共重合体Pの共重
合成分(ii)は、分子中に重合性不飽和基を一個有するカ
ルボン酸または酸無水物である。これらの化合物として
は、例えば、(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮
酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレ
イン酸半エステル等が挙げられる。本発明で用いられる
線状共重合体Pの共重合成分(iii)は、アルキル基1〜
6個の炭素原子を有するアルキル(メタ)アクリレー
ト、およびヒドロキシルアルキル基が2〜6個の炭素原
子を有するヒドロキシル(メタ)アクリレートからなる
群から選ばれる1種類以上の化合物である。これらの化
合物としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、
エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)ア
クリレート、iso−プロピル(メタ)アクリレート、
n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メ
タ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレ
ート、2−ヒドロキシルエチル(メタ)アクリレート、
2−ヒドロキシルプロピル(メタ)アクリレート、2ー
エチルヘキシル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
The copolymerization component (ii) of the linear copolymer P used in the present invention is a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule. Examples of these compounds include (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride, and maleic acid half ester. The copolymerization component (iii) of the linear copolymer P used in the present invention includes an alkyl group 1 to
One or more compounds selected from the group consisting of an alkyl (meth) acrylate having 6 carbon atoms and a hydroxyl (meth) acrylate having a hydroxylalkyl group of 2 to 6 carbon atoms. Examples of these compounds include methyl (meth) acrylate,
Ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, iso-propyl (meth) acrylate,
n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyl ethyl (meth) acrylate,
2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate and the like can be mentioned.

【0015】本発明で用いられる線状共重合体Pは、単
独で用いても解像性、高速現像性は良好であるが、(iv)
分子中に重合性不飽和基を1個有するカルボン酸または
酸無水物、および(v)アルキル基1〜6個の炭素原子を
有するアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシルア
ルキル基が2〜6個の炭素原子を有するヒドロキシル
(メタ)アクリレート、およびフェニル基を有するビニ
ル化合物からなる群から選ばれる1種類以上の化合物、
を共重合してなる、重量平均分子量が1万〜3万未満で
ある線状重合体(以下、Qという)と併用することによ
り、より迅速な現像処理が可能となる。ここで、併用す
る場合のP/Q(重量比)は95/5〜40/60であ
る。線状重合体Qの重量比が5%未満であるとより迅速
な現像処理の効果がなく、60%を越えるとエッジフュ
ーズが発生しやすくなる。
The linear copolymer P used in the present invention has good resolution and high-speed developability when used alone, but (iv)
Carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule, and (v) alkyl group (meth) acrylate having 1 to 6 carbon atoms, hydroxyl alkyl group having 2 to 6 carbon atoms One or more compounds selected from the group consisting of a hydroxyl (meth) acrylate having an atom and a vinyl compound having a phenyl group,
When used in combination with a linear polymer (hereinafter referred to as Q) having a weight average molecular weight of 10,000 to less than 30,000, which is obtained by copolymerizing the above, a more rapid development process is possible. Here, P / Q (weight ratio) when used in combination is 95/5 to 40/60. If the weight ratio of the linear polymer Q is less than 5%, the effect of more rapid development processing is not obtained, and if it exceeds 60%, edge fuses are likely to occur.

【0016】本発明で用いられる線状共重合体Qに含ま
れるカルボキシル基の量は酸当量で100〜600であ
る必要があり、200〜400が好ましい。また、線状
共重合体Bの分子量は1万以上3万未満である必要があ
る。線状共重合体Qの分子量が3万以上であると、より
迅速な現像処理の効果が低下し、1万未満ではエッジフ
ューズ性が著しく悪化する。
The amount of the carboxyl group contained in the linear copolymer Q used in the present invention must be 100 to 600 in terms of acid equivalent, preferably 200 to 400. The molecular weight of the linear copolymer B needs to be 10,000 or more and less than 30,000. When the molecular weight of the linear copolymer Q is 30,000 or more, the effect of more rapid development processing is reduced, and when it is less than 10,000, the edge fuse property is significantly deteriorated.

【0017】ここで酸当量とはその中に1当量のカルボ
キシル基を有するポリマーの重量を言う。なお、酸当量
の測定は電位差滴定法により行われる。また分子量はゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によ
り重量平均分子量(ポリスチレン換算)として求められ
る。また、本発明で用いられる線状共重合体中のカルボ
キシル基はDFRにアルカリ水溶液に対する現像性や剥
離性を与えるために必要である。酸当量が100未満で
は、塗工溶媒または他の組成物、例えばモノマーとの相
溶性が低下し、600を超えると現像性や剥離性が低下
する。
Here, the acid equivalent means the weight of the polymer having 1 equivalent of a carboxyl group therein. The acid equivalent is measured by potentiometric titration. The molecular weight is determined as a weight average molecular weight (converted to polystyrene) by gel permeation chromatography (GPC). Further, the carboxyl group in the linear copolymer used in the present invention is necessary for giving DFR developability and releasability to an alkaline aqueous solution. When the acid equivalent is less than 100, the compatibility with the coating solvent or other composition such as a monomer is lowered, and when it exceeds 600, the developability and the peelability are lowered.

【0018】線状共重合体Qの共重合成分(iv)は、分子
中に重合性不飽和基を一個有するカルボン酸または酸無
水物である。これらの化合物としては、例えば、(メ
タ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イ
タコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等
が挙げられる。線状共重合体Qの共重合成分(v)は、ア
ルキル基1〜6個の炭素原子を有するアルキル(メタ)
アクリレート、ヒドロキシルアルキル基が2〜6個の炭
素原子を有するヒドロキシル(メタ)アクリレート、お
よびフェニル基を有するビニル化合物からなる群から選
ばれる1種類以上の化合物である。これらの化合物とし
ては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル
(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレ
ート、iso−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブ
チル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)ア
クリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、
2−ヒドロキシルエチル(メタ)アクリレート、2−ヒ
ドロキシルプロピル(メタ)アクリレート、2ーエチル
ヘキシル(メタ)アクリレート、スチレン、メチルスチ
レン等が挙げられる。
The copolymerization component (iv) of the linear copolymer Q is a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule. Examples of these compounds include (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride, and maleic acid half ester. The copolymerization component (v) of the linear copolymer Q is an alkyl (meth) having an alkyl group of 1 to 6 carbon atoms.
One or more compounds selected from the group consisting of acrylates, hydroxyl (meth) acrylates having a hydroxylalkyl group of 2 to 6 carbon atoms, and vinyl compounds having a phenyl group. Examples of these compounds include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, iso-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth). Acrylate, tert-butyl (meth) acrylate,
2-hydroxyl ethyl (meth) acrylate, 2-hydroxyl propyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, styrene, methyl styrene, etc. are mentioned.

【0019】本発明の光重合性組成物に含有されるバイ
ンダー用樹脂(a)の量は20〜90重量%の範囲であ
り、好ましくは、30〜70重量%である。バインダー
用樹脂(a)の量が20重量%未満または90重量%を
超えると、露光によって形成される硬化画像がレジスト
としての十分な特性(例えば、テンティング、エッチン
グ、各種めっき工程における十分な耐性)を有しない。
The amount of the binder resin (a) contained in the photopolymerizable composition of the present invention is in the range of 20 to 90% by weight, preferably 30 to 70% by weight. When the amount of the binder resin (a) is less than 20% by weight or more than 90% by weight, the cured image formed by exposure has sufficient characteristics as a resist (for example, sufficient resistance in tenting, etching, various plating steps). ) Is not included.

【0020】本発明の光重合性組成物を構成する光重合
可能な不飽和化合物(b)としては、下記式(I)で示
される光重合可能な不飽和化合物が好ましい。
The photopolymerizable unsaturated compound (b) constituting the photopolymerizable composition of the present invention is preferably a photopolymerizable unsaturated compound represented by the following formula (I).

【0021】[0021]

【化3】 [Chemical 3]

【0022】(式中、R1、R2はHまたはCH3であ
り、これらは同一であっても相違してもよい。また、
A、Bは−CH(CH3)CH2−または−CH2CH2−
であり、これらは相異なる。m1+m2は2〜16、n1
+n2は2〜16の正の正数である。) A及びBがプロピレングリコール鎖のような疎水性基を
持つ化合物のみであると、ベースポリマーとの相溶性が
悪化したり、現像時のスカム発生の原因となる。また、
現像時間も遅くなる。一方、A及びBがエチレングリコ
ール鎖のような親水性基を持つ化合物のみであると、現
像時の膨潤性が増加し解像性が悪化する。現像性と解像
性を両立させるにはエチレングリコール鎖とプロピレン
グリコール鎖の双方を分子中に有することが有効であ
る。また、m1+m2及びn1+n2が16を越えると二重
結合濃度が減少し、十分な感度がでなくなる。m1+m2
及びn1+n2は4〜12である場合はさらに好ましい。
(I)式で示される光重合可能な不飽和化合物以外の光
重合可能な不飽和化合物も1種類以上併用しても良い。
併用される(I)式以外の光重合可能な不飽和化合物と
しては、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアク
リレート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレ
ート、1、6ーヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、1、4ーシクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリ
レート、またポリプロピレングリコールジ(メタ)アク
リレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート等のポリオキシアルキレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、2ージ(pーヒド
ロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリレート、グ
リセロールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロール
プロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシプロピ
ルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、
ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレ
ート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシ
ジルエーテルジ(メタ)アクリレート、2、2ービス
(4ーメタクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパ
ン、及びウレタン基を含有する多官能(メタ)アクリレ
ート等が挙げあれる。また、高速現像処理にはエチレン
グリコール鎖のような親水性基を有する化合物を用いる
ことが好ましい。
(In the formula, R 1 and R 2 are H or CH 3, and they may be the same or different.
A and B are -CH (CH3) CH2- or -CH2CH2-
And these are different. m1 + m2 is 2-16, n1
+ N2 is a positive positive number of 2 to 16. When A and B are only compounds having a hydrophobic group such as a propylene glycol chain, compatibility with the base polymer is deteriorated and scum is generated during development. Also,
The development time also becomes slow. On the other hand, when A and B are only compounds having a hydrophilic group such as ethylene glycol chain, the swelling property at the time of development is increased and the resolution is deteriorated. In order to achieve both developability and resolution, it is effective to have both ethylene glycol chains and propylene glycol chains in the molecule. When m1 + m2 and n1 + n2 exceed 16, the double bond concentration decreases and sufficient sensitivity cannot be obtained. m1 + m2
And n1 + n2 is more preferably 4-12.
One or more kinds of photopolymerizable unsaturated compounds other than the photopolymerizable unsaturated compound represented by the formula (I) may be used in combination.
Examples of the photopolymerizable unsaturated compound other than the formula (I) used in combination include 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, phenoxypolyethylene glycol acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,4- Cyclohexanediol di (meth) acrylate, polyoxyalkylene glycol di (meth) acrylate such as polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polyoxyethylene polyoxypropylene glycol di (meth) acrylate, 2 (P-hydroxyphenyl) propane di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxypropyl trimethylol Lopantri (meth) acrylate,
Polyoxyethyl trimethylolpropane triacrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, 2,2-bis (4-methacryloxy) Mention may be made of pentaethoxyphenyl) propane, polyfunctional (meth) acrylates containing a urethane group, and the like. Further, it is preferable to use a compound having a hydrophilic group such as an ethylene glycol chain for the high speed development processing.

【0023】このような光重合可能な不飽和化合物の使
用量は、5〜60重量%の範囲から選ばれ、5重量%未
満では、感度、膜強度の点で十分ではなく、60重量%
を越えるとDFRに用いた場合に保存時の光重合性層の
はみ出しが著しくなるため好ましくない。また、光重合
可能な不飽和化合物の全量に対し、(I)式の化合物は
30%以上含まれることが好ましい。
The amount of such a photopolymerizable unsaturated compound used is selected from the range of 5 to 60% by weight. If it is less than 5% by weight, the sensitivity and the film strength are not sufficient, and the amount is 60% by weight.
If it exceeds the above range, the photopolymerizable layer may significantly protrude during storage when used for DFR, which is not preferable. Further, the compound of the formula (I) is preferably contained in an amount of 30% or more based on the total amount of the photopolymerizable unsaturated compound.

【0024】本発明に用いることのできる光重合開始剤
(c)としては、各種の活性光線、例えば紫外線などに
より活性化され重合を開始する公知の開始剤が挙げられ
る。このような光重合開始剤としては、例えば、2ーエ
チルアントラキノン、オクタエチルアントラキノン、
1、2ーベンズアントラキノン、2、3ーベンズアント
ラキノン、2ーフェニルアントラキノン、2、3ージフ
ェニルアントラキノン、1ークロロアントラキノン、2
ークロロアントラキノン、2ーメチルアントラキノン、
1、4ーナフトキノン、9、10ーフェナントラキノ
ン、2ーメチル1、4ーナフトキノン、2、3ージメチ
ルアントラキノン、3ークロロー2ーメチルアントラキ
ノンなどのキノン類、ベンゾフェノン、ミヒラーズケト
ン[4、4ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノ
ン]、4、4 ービス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ンなどの芳香族ケトン類、ベンゾイン、ベンゾインエチ
ルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、メチルベン
ゾイン、エチルベンゾインなどのベンゾインエーテル
類、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタ
ール、2ー(Oークロロフェニル)ー4、5ージフェニ
ルイミダゾリル二量体等のビイミダゾール化合物、チオ
キサントン類とアルキルアミノ安息香酸の組み合わせ、
例えばエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸
エチル、2ークロルチオキサントンとジメチルアミノ安
息香酸エチル、イソプロピルチオキサントンとジメチル
アミノ安息香酸エチルとの組み合わせ、また、2ー(O
ークロロフェニル)ー4、5ージフェニルイミダゾリル
二量体とミヒラーズケトンとの組み合わせ、9ーフェニ
ルアクリジン等のアクリジン類、1ーフェニルー1、2
ープロパンジオンー2ーOーベンゾイルオキシム、1ー
フェニルー1、2ープロパンジオンー2ー(Oーエトキ
シカルボニル)オキシム等のオキシムエステル類等が挙
げられる。これらの開始剤の好ましい例としては、ジエ
チルチオキサントン、クロルチオキサントン等のチオキ
サントン類、ジメチルアミノ安息香酸エチル等のジアル
キルアミノ安息香酸エステル類、ベンゾフェノン、4、
4 ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、4
ービス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2ー(O
ークロロフェニル)ー4、5ージフェニルイミダゾリル
二量体、及びこれらの組み合わせを挙げることができ
る。特に、高解像性には4、4 ービス(ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノンまたは4、4 ービス(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノンと2ー(Oークロロフェニル)ー
4、5ージフェニルイミダゾリル二量体の組み合わせが
有効である。
Examples of the photopolymerization initiator (c) that can be used in the present invention include known initiators that are activated by various actinic rays such as ultraviolet rays to initiate polymerization. Examples of such a photopolymerization initiator include 2-ethylanthraquinone, octaethylanthraquinone,
1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2
-Chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone,
Quinones such as 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl 1,4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, 3-chloro-2-methylanthraquinone, benzophenone, Michler's ketone [4,4-bis (dimethylamino) ) Benzophenone], 4,4-bis (diethylamino) benzophenone and other aromatic ketones, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, methylbenzoin, ethylbenzoin and other benzoin ethers, benzyl dimethyl ketal, benzyl diethyl ketal, 2- A biimidazole compound such as (O-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, a combination of thioxanthones and alkylaminobenzoic acid,
For example, a combination of ethylthioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, 2-chlorothioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, a combination of isopropylthioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, and 2- (O
-Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer in combination with Michler's ketone, acridines such as 9-phenylacridine, 1-phenyl-1,2
Examples include oxime esters such as -propanedione-2-O-benzoyloxime, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime and the like. Preferred examples of these initiators include thioxanthones such as diethylthioxanthone and chlorothioxanthone, dialkylaminobenzoic acid esters such as ethyl dimethylaminobenzoate, benzophenone and 4,
4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4
-Bis (diethylamino) benzophenone, 2- (O
-Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, and combinations thereof. Particularly, for high resolution, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone or a combination of 4,4-bis (diethylamino) benzophenone and 2- (O-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer is effective. .

【0025】本発明の光重合性組成物に含有される光重
合開始剤(c)の量は、0.01重量〜30重量%であ
り、好ましくは、0.05重量〜10重量%である。光
重合開始剤が30重量%を超えると光重合性組成物の活
性吸収率が高くなり、光重合性樹脂積層体として用いた
場合、光重合性層の底の部分の重合による硬化が不十分
になる。また、光重合開始剤が0.01重量%未満では
充分な感度がでなくなる。
The amount of the photopolymerization initiator (c) contained in the photopolymerizable composition of the present invention is 0.01 to 30% by weight, preferably 0.05 to 10% by weight. . When the photopolymerization initiator exceeds 30% by weight, the active absorptivity of the photopolymerizable composition becomes high, and when used as a photopolymerizable resin laminate, curing by polymerization of the bottom portion of the photopolymerizable layer is insufficient. become. Further, if the photopolymerization initiator is less than 0.01% by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained.

【0026】本発明の光重合性組成物の熱安定性、保存
安定性を向上させるために、光重合性組成物にラジカル
重合禁止剤を含有させることは好ましいことである。こ
のようなラジカル重合禁止剤としては、例えば、p−メ
トキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナ
フチルアミン、tertーブチルカテコール、塩化第一
銅、2、6ージ−tertーブチルーpークレゾール、
2、2 ーメチレンビス(4ーエチルー6ーtertー
ブチルフェノール)、2、2 ーメチレンビス(4ーメ
チルー6ーtertーブチルフェノール)、ニトロソフ
ェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェニルニ
トロソアミン等が挙げられる。
In order to improve the thermal stability and storage stability of the photopolymerizable composition of the present invention, it is preferable to add a radical polymerization inhibitor to the photopolymerizable composition. Examples of such radical polymerization inhibitors include p-methoxyphenol, hydroquinone, pyrogallol, naphthylamine, tert-butylcatechol, cuprous chloride, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol,
2,2-methylenebis (4-ethyl-6-tert-butylphenol), 2,2-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), nitrosophenylhydroxyamine aluminum salt, diphenylnitrosamine and the like can be mentioned.

【0027】本発明の光重合性組成物は、染料、顔料等
の着色物質を含有させることもできる。このような着色
物質としては、例えば、フクシン、フタロシアニングリ
ーン、オーラミン塩基、カルコキシドグリーンS,パラ
マジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレン
ジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイト
グリーン、ベイシックブルー20、ダイヤモンドグリー
ン等が挙げられる。
The photopolymerizable composition of the present invention may contain a coloring substance such as a dye or a pigment. Examples of such coloring substances include fuchsin, phthalocyanine green, auramine base, chalcoxide green S, paramagenta, crystal violet, methyl orange, Nile blue 2B, Victoria blue, malachite green, basic blue 20, diamond green and the like. To be

【0028】また光照射により発色する発色系染料を本
発明の光重合性組成物に含有させることもできる。発色
系染料としては、ロイコ染料またはフルオラン染料と、
ハロゲン化合物の組み合わせが挙げられる。ロイコ染料
としては、例えば、トリス(4ージメチルアミノー2ー
メチルフェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオレッ
ト]、トリス(4ージメチルアミノー2ーメチルフェニ
ル)メタン[ロイコマラカイトグリーン]等が挙げられ
る。一方ハロゲン化合物としては臭化アミル、臭化イソ
アミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェ
ニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモ
メチルフェニルスルフォン、4臭化炭素、トリス(2、
3ージブロモプロピル)ホスフェート、トリクロロアセ
トアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1、1、
1ートリクロロー2、2ービス(p−クロロフェニル)
エタン、ヘキサクロロエタン、トリアジン化合物等が挙
げられる。
Further, a color-forming dye that develops color upon irradiation with light may be incorporated in the photopolymerizable composition of the present invention. As a coloring dye, a leuco dye or a fluoran dye,
A combination of halogen compounds may be mentioned. Examples of leuco dyes include tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leuco crystal violet] and tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leucomalachite green]. On the other hand, as the halogen compound, amyl bromide, isoamyl bromide, isobutylene bromide, ethylene bromide, diphenylmethyl bromide, benzal bromide, methylene bromide, tribromomethylphenyl sulfone, carbon bromide, tris (2,
3-dibromopropyl) phosphate, trichloroacetamide, amyl iodide, isobutyl iodide, 1,1,
1-trichloro-2,2-bis (p-chlorophenyl)
Examples thereof include ethane, hexachloroethane, and triazine compounds.

【0029】トリアジン化合物としては、2、4、6ー
トリス(トリクロロメチル)ーs−トリアジン、2ー
(4ーメトキシフェニル)ー4、6ービス(トリクロロ
メチル)ーs−トリアジンが挙げられる。また、このよ
うな発色系染料の中でもトリブロモメチルフェニルスル
フォンとロイコ染料との組み合わせや、トリアジン化合
物とロイコ染料との組み合わせが有用である。
Examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine. Further, among such color-forming dyes, a combination of tribromomethylphenyl sulfone and a leuco dye or a combination of a triazine compound and a leuco dye is useful.

【0030】さらに、本発明の光重合性組成物に熱発色
防止剤として、グリシジルエーテル化合物を少量添加し
ても良い。具体例としては、ポリプロピレングリコール
ジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテ
ル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビス
フェノールAーPO2モル付加ジグリシジルエーテル等
が挙げられる。
Further, a small amount of a glycidyl ether compound may be added to the photopolymerizable composition of the present invention as a thermal color-developing agent. Specific examples thereof include polypropylene glycol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, and bisphenol A-PO2 mol-added diglycidyl ether.

【0031】また、本発明の光重合性組成物に必要に応
じて可塑剤等の添加剤を含有させることもできる。その
ような添加剤としては、例えば、ジエチルフタレート等
のフタル酸エステル類が挙げられる。DFR用の光重合
性樹脂積層体とする場合には、上記光重合性組成物を含
有した光重合性層に、該光重合性層を支持する支持層を
積層する。支持層の材料としては、活性光を透過する透
明なものが望ましい。活性光を透過する支持層の材料と
しては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィル
ム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフ
ィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリ
デンフィルム、塩化ビニリデン共重合体フィルム、ポリ
メタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフ
ィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重
合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体
フィルム、等が挙げられる。これらのフルムが必要に応
じ延伸されたものも使用可能である。画像形成性、経済
性の面でフィルムの厚みは薄い方が有利であるが、強度
を維持する必要から10〜30μmのものが一般的であ
る。
If desired, the photopolymerizable composition of the present invention may contain additives such as a plasticizer. Examples of such additives include phthalic acid esters such as diethyl phthalate. In the case of a photopolymerizable resin laminate for DFR, a support layer supporting the photopolymerizable layer is laminated on the photopolymerizable layer containing the photopolymerizable composition. As a material for the support layer, a transparent material that transmits active light is desirable. Examples of the material for the support layer that transmits active light include a polyethylene terephthalate film, a polyvinyl alcohol film, a polyvinyl chloride film, a vinyl chloride copolymer film, a polyvinylidene chloride film, a vinylidene chloride copolymer film, and polymethyl methacrylate. Examples thereof include a copolymer film, a polystyrene film, a polyacrylonitrile film, a styrene copolymer film, a polyamide film and a cellulose derivative film. Those obtained by stretching these flumes as necessary can also be used. From the viewpoint of image forming property and economy, it is advantageous that the film has a small thickness, but it is generally 10 to 30 μm in order to maintain strength.

【0032】支持層とは反対側の光重合性層の表面に、
必要に応じて保護層を積層する。支持層よりも保護層の
方が光重合性層との密着力が小さいことがこの保護層と
しての重要な特性であり、これにより容易に剥離できる
こと。このような保護層の材料としては、例えば、ポリ
エチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等が挙げら
れる。
On the surface of the photopolymerizable layer opposite to the support layer,
A protective layer is laminated as needed. It is an important characteristic of the protective layer that the protective layer has a smaller adhesion to the photopolymerizable layer than the supporting layer, and thus the protective layer can be easily peeled off. Examples of the material for such a protective layer include a polyethylene film and a polypropylene film.

【0033】光重合性層の厚みは用途において異なる
が、印刷回路板作製用には5〜100m、好ましくは、
5〜90μmであり、光重合層が薄いほど解像力は向上
する。また、光重合層が厚いほど膜強度が向上する。こ
の光重合性樹脂積層体を用いた印刷回路板の作成工程は
公知の技術により行われるが、以下にその工程を簡単に
述べる。
The thickness of the photopolymerizable layer varies depending on the use, but it is 5 to 100 m, preferably, for making a printed circuit board.
5 to 90 μm , and the thinner the photopolymerization layer, the higher the resolution. Further, the thicker the photopolymerization layer, the higher the film strength. The process for producing a printed circuit board using this photopolymerizable resin laminate is performed by a known technique, and the process will be briefly described below.

【0034】保護層がある場合は、まず保護層を剥離し
た後、光重合性層を印刷回路板用基板の金属表面に加熱
圧着し積層する。この時の加熱温度は一般的に40〜1
60℃である。次に、必要ならば支持層を剥離しマスク
フィルムを通して活性光により画像露光する。次に、光
重合性層上に支持フィルムがある場合には、必要に応じ
てこれを除き、続いてアルカリ水溶液を用いて光重合性
層の未露光部を現像除去する。アルカリ水溶液として
は、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム等の水溶液を用いる。これらのアル
カリ水溶液は光重合性層の特性に合わせて選択される
が、一般的に0.5〜3%の炭酸ナトリウム水溶液が用
いられる。次に、現像により露出した金属面に既知のエ
ッチング法、またはめっき法のいずれかの方法を用い
て、金属の画像パターンを形成する。その後、一般的に
現像で用いたアルカリ水溶液よりも更に強いアルカリ性
の水溶液により硬化レジスト画像を剥離する。剥離用の
アルカリ水溶液についても特に制限はないが、1%〜5
%の水酸化ナトリウム、水酸化カリウムの水溶液が一般
的に用いられる。また、現像液や剥離液に少量の水溶性
有機溶媒を加える事も可能である。
When there is a protective layer, the protective layer is first peeled off, and then the photopolymerizable layer is laminated on the metal surface of the printed circuit board substrate by thermocompression bonding. The heating temperature at this time is generally 40 to 1
It is 60 ° C. Then, if necessary, the support layer is peeled off and imagewise exposed to actinic light through a mask film. Next, if there is a support film on the photopolymerizable layer, it is removed if necessary, and subsequently, the unexposed portion of the photopolymerizable layer is removed by development using an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide or the like is used. These alkaline aqueous solutions are selected according to the characteristics of the photopolymerizable layer, but generally 0.5 to 3% sodium carbonate aqueous solution is used. Next, a metal image pattern is formed on the metal surface exposed by the development by using a known etching method or plating method. After that, the cured resist image is peeled off with an alkaline aqueous solution which is generally stronger than the alkaline aqueous solution used in the development. The alkaline aqueous solution for peeling is also not particularly limited, but is 1% to 5
% Aqueous solutions of sodium hydroxide and potassium hydroxide are generally used. It is also possible to add a small amount of a water-soluble organic solvent to the developing solution or the stripping solution.

【0035】[0035]

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的実施例を説
明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Specific embodiments of the present invention will be described below.

【0036】[0036]

【実施例1】表1に示された組成(実施例1の欄)の化
合物を均一に溶解した。次に、この混合溶液を厚さ20
μmのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコー
ターを用いて均一に塗布し、95℃の乾燥機中で3分間
乾燥した。この時の光重合性層の厚さは30μmであっ
た。光重合性層のポリエチレンテレフタレートフィルム
を積層していない表面上に23μmのポリエチレンフィ
ルムを張り合わせ積層フィルムを得た。一方、35μ
圧延銅箔を積層した銅張積層板表面を湿式バフロール研
磨(スリーエム(株)製、スコッチブライト(登録商
標)#600、2連)し、この積層フィルムのポリエチ
レンフィルムを剥しながら光重合性層をホットロールラ
ミネーターにより105℃でラミネートした。
Example 1 A compound having the composition shown in Table 1 (column of Example 1) was uniformly dissolved. Next, this mixed solution is made to have a thickness of 20.
A polyethylene terephthalate film having a thickness of μm was uniformly applied using a bar coater and dried in a dryer at 95 ° C. for 3 minutes. At this time, the thickness of the photopolymerizable layer was 30 μm . A 23 μm polyethylene film was laminated on the surface of the photopolymerizable layer on which no polyethylene terephthalate film was laminated to obtain a laminated film. On the other hand, 35 μm
Wet buff roll polishing the surface of a copper clad laminate laminated with rolled copper foil ( manufactured by 3M Ltd. , Scotch Bright (registered trademark )
(Standard) # 600, 2), and the photopolymerizable layer was laminated with a hot roll laminator at 105 ° C. while peeling off the polyethylene film of this laminated film.

【0037】この積層体にマスクフィルムを通して、超
高圧水銀ランプ((株)オーク製作所HMW−201K
B)により50mJ/c 2 で光重合性層を露光した。続
いてポリエチレンテレフタレート支持フィルムを剥離し
た後、30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を約25秒間
スプレーし、未露光部分を溶解除去したところ、良好な
硬化画像を得た。
An ultra-high pressure mercury lamp (HMW-201K, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) is passed through this laminated body through a mask film.
B) exposed the photopolymerizable layer at 50 mJ / cm 2 . Subsequently, the polyethylene terephthalate support film was peeled off, and then a 1% aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. was sprayed for about 25 seconds to dissolve and remove the unexposed portion, whereby a good cured image was obtained.

【0038】また、本発明の光重合性組成物を用いた積
層体について以下の評価を行った。 (1)最小現像時間の測定 35μm圧延銅箔を積層した銅張り積層板にDFRのポ
リエチレンフィルムを剥がしながら光重合性層をホット
ロールラミネーターにより、105℃でラミネートし
た。続いて、この積層体のポリエチレンテレフタレート
支持フィルムを剥離した後、30℃の1%炭酸ナトリウ
ム水溶液をスプレーし、未露光の光重合性層が溶解する
最小現像時間を測定し、その時間を最小現像時間とし
た。実際の現像はこの最小現像時間の1.5倍の時間で
行った。 (2)最小剥離時間の測定 35μm圧延銅箔を積層した銅張り積層板にドライフィ
ルムレジストのポリエチレンフィルムを剥がしながら光
重合性層をホットロールラミネーターにより、105℃
でラミネートした。この積層体に超高圧水銀ランプ
(株)オーク製作所HMW−201KB)により50
mJ/cm 2 で光重合性層を露光した。続いてポリエチレ
ンテレフタレート支持フィルムを剥離した後、30℃の
1%炭酸ナトリウム水溶液を約25秒間スプレーした。
続いて、この積層体を40℃の2.5%苛性ソーダ水溶
液に浸せきし、硬化膜が積層板から剥がれる時間を測定
し、その時間を最小剥離時間とした。実際の剥離工程は
この剥離時間の1.5倍の時間で行った。 (3)解像度 銅張積層板にラミネートされた積層体にラインとスペー
スが1:1であるマスクフィルムを通して超高圧水銀ラ
ンプ((株)オーク製作所HMW−201KB)により
50mJ/cm2で露光した。続いて、ポリエチレンテレ
フタレート支持フィルムを剥離した後、30℃の1%炭
酸ナトリウム水溶液を約25秒間スプレーした。得られ
た画像の分離し得る最小線幅を解像度とした。 (4)細線密着性 銅張積層板にラミネートされた積層体に一本の硬化レジ
ストラインが形成し得るマスクフィルムを通して超高圧
水銀ランプ((株)オーク製作所HMW−201KB)
により50mJ/c 2 で露光した。続いて、ポリエチレ
ンテレフタレート支持フィルムを剥離した後、30℃の
1%炭酸ナトリウム水溶液を約25秒間スプレーした。
得られた一本の硬化レジストラインが流れや欠けのない
最小の線幅を細線密着性とした。
Further, the following evaluation was made on the laminate using the photopolymerizable composition of the present invention. (1) Measurement of minimum development time A photopolymerizable layer was laminated at 105 ° C. by a hot roll laminator while peeling off a polyethylene film of DFR from a copper clad laminate laminated with 35 μm rolled copper foil. Subsequently, after peeling off the polyethylene terephthalate support film of this laminate, spraying a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C., measuring the minimum development time for dissolving the unexposed photopolymerizable layer, and measuring the minimum development time. As time
It was The actual development was performed for 1.5 times the minimum development time. (2) Measurement of minimum peeling time While peeling the polyethylene film of the dry film resist from the copper-clad laminate laminated with 35 μm rolled copper foil, the photopolymerizable layer was heated to 105 ° C. with a hot roll laminator.
It was laminated with. This laminate an ultra-high pressure mercury lamp (Corporation of Oak Seisakusho HMW-201KB) 50
The photopolymerizable layer was exposed at mJ / cm 2 . Subsequently, the polyethylene terephthalate support film was peeled off, and then a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. was sprayed for about 25 seconds.
Subsequently, this laminate was immersed in a 2.5% caustic soda aqueous solution at 40 ° C., and the time for the cured film to peel from the laminate was measured, and this time was taken as the minimum peel time. The actual peeling process was performed for 1.5 times the peeling time. (3) Resolution The laminate laminated on the copper clad laminate was exposed at 50 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp (HMW-201KB, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) through a mask film having a line and space of 1: 1. Then, after peeling off the polyethylene terephthalate support film, a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. was sprayed for about 25 seconds. The minimum separable line width of the obtained image was defined as the resolution. (4) fine line adhesion clad in laminate laminated to the laminate through a mask film capable of single curing resist line formed ultra-high pressure mercury lamp (Corporation of Oak Seisakusho HMW-201KB)
It exposed with 50 mJ / c m 2 by. Then, after peeling off the polyethylene terephthalate support film, a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. was sprayed for about 25 seconds.
The thin line adhesion was defined as the minimum line width at which one obtained cured resist line did not flow or chip.

【0039】[0039]

【実施例2〜3、比較例1〜2】実施例1と同様の方法
により、表1記載の組成の光重合性樹脂積層体を得、最
小現像時間、最小剥離時間の測定、解像度、細線密着性
の評価を行った。結果を表1に示す。 <記号説明> P−1:メタクリル酸メチル70重量%、メタクリル酸
23重量%、アクリル酸ブチル7重量%の三元共重合体
のメチルエチルケトン溶液(固形分濃度32%、重量平
均分子量8.5万) P−2:メタクリル酸メチル47重量%、メタクリル酸
23重量%、スチレン30重量%の三元共重合体のメチ
ルチルケトン溶液(固形分濃度32%、重量平均分子量
4.5万) P−3:スチレン55重量%、アクリル酸35重量%、
α−メチルスチレン10重量%の三元共重合体(重量平
均分子量1.5万) M−1:トリメチロールプロパントリアクリレート M−2:フェノキシヘキサエチレングリコールアクリレ
ート M−3:テトラエチレングリコールジアクリレート M−4:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均3モル
のプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリ
コールと平均5モルのエチレンオキサイドを付加したポ
リエチレングリコールのジメタクリレート M−5:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均4モル
のエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコー
ルのジメタクリレート M−6:ビスフェノールAの両端にそれぞれ平均2モル
のプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリ
コールと平均6モルのエチレンオキサイドを付加したポ
リエチレングリコールのジメタクリレート A−1:ベンゾフェノン A−2:4、4 ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン A−3:2ー(Oークロロフェニル)ー4、5ージフェ
ニルイミダゾリル二量体 B−1:マラカイトグリーン B−2:ロイコクリスタルバイオレット
Examples 2-3, Comparative Examples 1-2 By the same method as in Example 1, photopolymerizable resin laminates having the compositions shown in Table 1 were obtained, and the minimum development time and minimum peeling time were measured, resolution, and fine line. The adhesion was evaluated. The results are shown in Table 1. <Description of Symbols> P-1: Methyl ethyl ketone solution of a terpolymer of 70% by weight of methyl methacrylate, 23% by weight of methacrylic acid and 7% by weight of butyl acrylate (solid content concentration 32%, weight average molecular weight 85,000). ) P-2: Methyl tylketone solution of terpolymer of methyl methacrylate 47% by weight, methacrylic acid 23% by weight, and styrene 30% by weight (solid content concentration 32%, weight average molecular weight 45,000) P- 3: 55% by weight of styrene, 35% by weight of acrylic acid,
Terpolymer of 10% by weight of α-methylstyrene (weight average molecular weight 15,000) M-1: trimethylolpropane triacrylate M-2: phenoxyhexaethylene glycol acrylate M-3: tetraethylene glycol diacrylate M -4: Polyethylene glycol dimethacrylate in which propylene oxide having an average of 3 moles of propylene oxide added to both ends of bisphenol A and ethylene glycol having an average of 5 moles of ethylene oxide M-5: 4 moles of ethylene in average at both ends of bisphenol A Oxidized polyethylene glycol dimethacrylate M-6: Bisphenol A: polypropylene glycol with an average of 2 moles of propylene oxide added to each end and 6 moles of ethylene oxide with an average Polymethacrylate glycol dimethacrylate A-1: benzophenone A-2: 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone A-3: 2- (O-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer B-1: malachite Green B-2: Leuco Crystal Violet

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明の光重合性樹脂組成物を用いたD
FRは、高速現像処理が可能で剥離性が良好であり、フ
ァインライン形成に対応した高解像度を有しておりアル
カリ現像型回路板作製用DFRとして有用である。
EFFECT OF THE INVENTION D using the photopolymerizable resin composition of the present invention
FR is capable of high-speed development processing, has good releasability, has a high resolution corresponding to fine line formation, and is useful as a DFR for producing an alkali development type circuit board.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H05K 3/06 H05K 3/06 H J (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08F 2/00 - 2/60 C08F 299/00 - 299/08 G03F 7/004 - 7/033 H05K 3/06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 identification code FI H05K 3/06 H05K 3/06 H J (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) C08F 2/00-2 / 60 C08F 299/00-299/08 G03F 7/004-7/033 H05K 3/06

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(a)(i)非酸性で、分子中に重合性不飽
和基を一個有し、フェニル基を有するビニル化合物、 (ii)分子中に重合性不飽和基を1個有するカルボン酸ま
たは酸無水物、および、 (iii)アルキル基1〜6個の炭素原子を有するアルキル
(メタ)アクリレート、およびヒドロキシルアルキル基
が2〜6個の炭素原子を有するヒドロキシル(メタ)ア
クリレートからなる群から選ばれる1種類以上の化合
物、 を共重合してなり、かつ、重量平均分子量が3万以上6
万未満である線状重合体、20〜90重量%、 (b)下記式(I)で示される光重合可能な不飽和化合
物、5〜60重量%、 【化1】 (式中、R1、R2はHまたはCH3であり、これらは同
一であっても相違してもよい。また、A、Bは−CH
(CH3)CH2−または−CH2CH2−であり、これら
は相異なる。m1+m2は2〜16、n1+n2は2〜16
の正の整数である。)、および (c)4、4ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン
または4、4ービス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
と2ー(Oークロロフェニル)ー4、5ージフェニルイ
ミダゾリル二量体の組み合わせを含む光重合開始剤、
0.01〜30重量%を含有することを特徴とする光重
合性組成物。
1. (a) (i) a non-acidic vinyl compound having one polymerizable unsaturated group in the molecule and a phenyl group, (ii) one polymerizable unsaturated group in the molecule Carboxylic acid or acid anhydride, and (iii) alkyl group consisting of alkyl (meth) acrylate having 1 to 6 carbon atoms, and hydroxylalkyl group consisting of hydroxyl (meth) acrylate having 2 to 6 carbon atoms One or more compounds selected from the group, and having a weight average molecular weight of 30,000 or more 6
Less than 10,000 linear polymer, 20 to 90% by weight, (b) 5 to 60% by weight of a photopolymerizable unsaturated compound represented by the following formula (I), (In the formula, R1 and R2 are H or CH3, and these may be the same or different. A and B are -CH.
(CH3) CH2- or -CH2CH2-, which are different. m1 + m2 is 2-16, n1 + n2 is 2-16
Is a positive integer. ), And (c) 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone
Or 4,4-bis (diethylamino) benzophenone
And 2- (O-chlorophenyl) -4,5-diphenyl
A photopolymerization initiator comprising a combination of midazolyl dimers ,
A photopolymerizable composition comprising 0.01 to 30% by weight.
【請求項2】 (iv)分子中に重合性不飽和基を1個有す
るカルボン酸または酸無水物、(v)アルキル基1〜6個
の炭素原子を有するアルキル(メタ)アクリレート、ヒ
ドロキシルアルキル基が2〜6個の炭素原子を有するヒ
ドロキシル(メタ)アクリレート、およびフェニル基を
有するビニル化合物からなる群から選ばれる1種類以上
の化合物、を共重合してなる、重量平均分子量が1万以
上3万未満である線状重合体を、(a)の線状重合体に
対し95/5〜40/60の重量比率でさらに含有する
ことを特徴とする請求項1記載の光重合性組成物。
2. (iv) Carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule, (v) Alkyl group Alkyl (meth) acrylate having 1 to 6 carbon atoms, Hydroxylalkyl group Having a weight average molecular weight of 10,000 or more 3 which is obtained by copolymerizing hydroxyl (meth) acrylate having 2 to 6 carbon atoms, and one or more compounds selected from the group consisting of vinyl compounds having a phenyl group. The photopolymerizable composition according to claim 1, further comprising a linear polymer of less than 10,000 in a weight ratio of 95/5 to 40/60 with respect to the linear polymer of (a).
【請求項3】 支持体上に請求項1または2の光重合性
組成物からなる層を設けた光重合性樹脂積層体
3. A photopolymerizable resin laminate in which a layer comprising the photopolymerizable composition according to claim 1 is provided on a support.
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