JP2877557B2 - 金属蒸気レーザ装置 - Google Patents

金属蒸気レーザ装置

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JP2877557B2
JP2877557B2 JP13683691A JP13683691A JP2877557B2 JP 2877557 B2 JP2877557 B2 JP 2877557B2 JP 13683691 A JP13683691 A JP 13683691A JP 13683691 A JP13683691 A JP 13683691A JP 2877557 B2 JP2877557 B2 JP 2877557B2
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徳康 小林
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Toshiba Corp
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は金属蒸気レーザ装置に係
り、特に電気伝送回路における電力損失を低減し、高い
エネルギー変換効率でレーザ光を出力することができる
金属蒸気レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】金属蒸気レーザ装置は、立ち上がりの速
いパルス放電によりレーザ媒質である金属蒸気を励起す
るので回路設計の制限が厳しく、特に電気回路内に分布
する誘導成分を極力低減するために、レーザ外筒管に電
流帰還ループを設けると共に、電流立ち上がり補償用キ
ャパシタをレーザ管と並列に接続し、レーザ管に流れる
電流の立ち上がりを補償している。
【0003】図2(a)および(b)は、従来のこの種
の金属蒸気レーザ装置を示すもので、図中、符号1はレ
ーザ管であり、このレーザ管1は、レーザ外筒管2の内
部に置かれ、その両端に放電電極3,4を持っている。
レーザ外筒管2は、レーザ管1内の電流と逆方向電流が
流れるように金属でできていて、途中に高電圧側5と低
電圧側6との絶縁をとるため絶縁物7で仕切られてお
り、その両端は、電流立ち上がり補償用キャパシタ8に
接続されている。
【0004】以上の構成において、パルス供給電源9よ
り供給された電流は、一旦電流立ち上がり補償用キャパ
シタ8に充電され、より速い立ち上がりの電流となり、
レーザ管1内に供給され矢印10,11に沿って流れ、
電流帰還ループにより電源9へと帰還する。このとき、
レーザ管1内を流れる電流とレーザ外筒管2を流れる電
流とは逆方向であるため、レーザ管1の誘導成分を低減
することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の金属蒸気レーザ
装置においては、電流立ち上がり補償用キャパシタ8
を、レーザ管1とは別位置に直線状に並べて配置する方
式を採っているため、図2(a)に示す斜線部12のつ
くる面積が大きくなり、ここに電気回路に分布する誘導
成分が生じ、レーザ管1に流れ込む電流の立上がりが制
限されるという問題がある。
【0006】そして、この構造では、電気回路内の絶縁
距離を考えると、電気回路の誘導成分をこれ以上減少さ
せることは困難であり、装置の小型化も厳しく、レーザ
装置としてエネルギー変換効率および信頼性の面から不
利となる場合がある。
【0007】本発明は、上述した事情を考慮してなされ
たもので、装置の絶縁性等の安全性を失うことなく、電
気回路内の誘導成分を減少させ、高エネルギー変換効率
でレーザ発振を行わせることができる金属蒸気レーザ装
置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する手段として、パルス放電管としてのレーザ管の両
端部に、放電電極をそれぞれ設けるとともに、このレー
ザ管の外周部に、電流帰還ループが設けられたレーザ外
筒管を配置し、かつこのレーザ外筒管の途中に、高電圧
側と低電圧側とを絶縁する絶縁部分を設けた金属蒸気レ
ーザ装置において、前記絶縁部分の外側近傍に、レーザ
管と軸線が平行な複数の電流立ち上がり補償用キャパシ
タを、周方向に間隔を置いて直接配置するようにしたこ
とを特徴とする。
【0009】
【作用】本発明に係る金属蒸気レーザ装置においては、
高電圧側と低電圧側とを絶縁する絶縁部分の外側近傍
に、レーザ管と軸線が平行な複数の電流立ち上がり補償
用キャパシタが、周方向に間隔を置いて直接配置され
る。このため、電流立ち上がり補償用キャパシタに充電
された電流が、他の電気回路ループを流れることなく均
一にレーザ管に供給され、誘導成分が減少し電流立ち上
がりがより補償される。このため、高エネルギー変換効
率でレーザ発振を行わせることが可能となる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1を参照して説
明する。
【0011】図1(a)において、符号21はレーザ管
であり、このレーザ管21は、レーザ外筒管22の内部
に配置されているとともに、その両端部には、放電電極
23,24がそれぞれ設けられている。
【0012】前記レーザ外筒管22は、レーザ管21内
の電流と逆方向電流が流れるよう金属で形成されてお
り、レーザ外筒管22の途中が高電圧側と低電圧側とを
絶縁する絶縁部分27で仕切られている。レーザ外筒管
22の高電圧部分25と低電圧部分26とは、図1
(a),(b)に示すように、軸線をレーザ管21と平
行にして周方向に間隔を置いて複数配設された電流立ち
上がり補償用キャパシタ(ピーキングキャパシタ)28
により仕切られている。そして、電流立ち上がり補償用
キャパシタ28の両端は、直接パルス供給電源29に接
続されている。そして、パルス供給電源29から供給さ
れた電流は、一旦電流立ち上がり補償用キャパシタ28
に充電された後、他の電流ループを流れることなく直接
均一にレーザ管21内に供給されるようになっている。
【0013】次に、本実施例の作用について説明する。
【0014】本実施例においては、レーザ外筒管22と
電流立ち上がり補償用キャパシタ28とが一体化されて
いる。このため、パルス供給電源29から供給された電
流は、一旦電流立ち上がり補償用キャパシタ28に充電
された後、他の電流ループを流れることなく、直接均一
にレーザ管21内に供給される。これにより、レーザ外
筒管22と電流立ち上がり補償用キャパシタ28との間
の斜線部32の面積が著しく減少し、絶縁できる範囲で
誘導成分をできるだけ小さく、余分な電流ループによる
誘導成分がなくなるとともに、電流が均一にレーザ管2
1に流れ込むことになる。このため、速い立ち上がり速
度を持った電流がレーザ管21内を通過し、高いエネル
ギー変換効率でレーザ発振を行なわせることができる。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、レーザ外
筒管の高電圧側と低電圧側との絶縁部分の外側近傍に、
レーザ管と軸線が平行な複数の電流立ち上がり補償用キ
ャパシタを、周方向に間隔を置いて直接配置するように
しているので、レーザ装置の電気回路内の余分な誘導成
分を減少させ、レーザ管内に速い立ち上がりを持つ電流
を均一に流し込むことができる。このため、高エネルギ
ー変換効率でレーザ発振を行なわせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の一実施例に係る金属蒸気レー
ザ装置を示す概略平面図、(b)は図1(a)の側面
図。
【図2】(a)は従来の金属蒸気レーザ装置を示す概略
平面図、(b)は図2(a)の側面図。
【符号の説明】
21 レーザ管 22 レーザ外筒管 23,24 放電電極 25 高電圧部分 26 低電圧部分 28 電流立ち上がり補償用キャパシタ 29 パルス供給電源

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パルス放電管としてのレーザ管の両端部
    に、放電電極をそれぞれ設けるとともに、このレーザ管
    の外周部に、電流帰還ループが設けられたレーザ外筒管
    を配置し、かつこのレーザ外筒管の途中に、高電圧側と
    低電圧側とを絶縁する絶縁部分を設けた金属蒸気レーザ
    装置において、前記絶縁部分の外側近傍に、レーザ管と
    軸線が平行な複数の電流立ち上がり補償用キャパシタ
    を、周方向に間隔を置いて直接配置したことを特徴とす
    る金属蒸気レーザ装置。
JP13683691A 1991-06-07 1991-06-07 金属蒸気レーザ装置 Expired - Lifetime JP2877557B2 (ja)

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JPH04360590A JPH04360590A (ja) 1992-12-14
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