JP2874667B2 - 浮動ヘッドスライダ - Google Patents
浮動ヘッドスライダInfo
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置に
係り、特にこの磁気ディスク装置に用いる浮動ヘッドス
ライダに関する。
係り、特にこの磁気ディスク装置に用いる浮動ヘッドス
ライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気ディスク装置において、記録
密度を向上させるために、主には磁気ヘッドおよび記録
媒体（磁気ディスク）の磁気的特性の向上と磁気ヘッド
のギャップ先端と記録媒体面間の距離、いわゆる磁気ス
ペーシングの短縮によって行われていた。
密度を向上させるために、主には磁気ヘッドおよび記録
媒体（磁気ディスク）の磁気的特性の向上と磁気ヘッド
のギャップ先端と記録媒体面間の距離、いわゆる磁気ス
ペーシングの短縮によって行われていた。
【０００３】しかし、現在の一般的な磁気ディスク装置
は、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間の物理的な最小距
離が３０ｎｍ程度に達しており、これは記録媒体面の表
面粗さとほぼ一致するレベルにある。このため、浮動ヘ
ッドスライダの浮上量の低下は、磁気記録媒体上の目標
とする位置への高速移動、いわゆるトラックシーク時の
空気軸受作用の変動、浮動ヘッドスライダ支持系の振動
や、磁気記録媒体の上下方向のうねりに対する浮動ヘッ
ドスライダの追従特性の限界から生じるスライダ、磁気
記録媒体間の高速摺動という現象をもたらす可能性が非
常に高い。
は、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間の物理的な最小距
離が３０ｎｍ程度に達しており、これは記録媒体面の表
面粗さとほぼ一致するレベルにある。このため、浮動ヘ
ッドスライダの浮上量の低下は、磁気記録媒体上の目標
とする位置への高速移動、いわゆるトラックシーク時の
空気軸受作用の変動、浮動ヘッドスライダ支持系の振動
や、磁気記録媒体の上下方向のうねりに対する浮動ヘッ
ドスライダの追従特性の限界から生じるスライダ、磁気
記録媒体間の高速摺動という現象をもたらす可能性が非
常に高い。
【０００４】このような浮上量の変動要因については、
浮動ヘッドスライダの流体軸受けに負圧を利用し、空気
軸受けの剛性を高め、媒体追従性を向上させることによ
って格段に減少させることが可能となっている。また、
流体軸受け効果による十分な剛性確保によって、サスペ
ンションによる浮動ヘッドスライダへの押圧荷重を減じ
ることが可能となっている。さらに、空気軸受け面の拡
大によって、浮動ヘッドスライダの浮上速度が向上した
ためにＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）時の
摺動に対する耐久性を大幅に向上させることもできる。
浮動ヘッドスライダの流体軸受けに負圧を利用し、空気
軸受けの剛性を高め、媒体追従性を向上させることによ
って格段に減少させることが可能となっている。また、
流体軸受け効果による十分な剛性確保によって、サスペ
ンションによる浮動ヘッドスライダへの押圧荷重を減じ
ることが可能となっている。さらに、空気軸受け面の拡
大によって、浮動ヘッドスライダの浮上速度が向上した
ためにＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）時の
摺動に対する耐久性を大幅に向上させることもできる。
【０００５】しかし、高記録密度化の鍵を握るデバイス
である、再生信号Ｓ／Ｎに優れた磁気抵抗効果を利用し
た再生専用ヘッド（いわゆるＭＲヘッド）を採用するた
めには、従来の磁気記録媒体（磁気ディスク）の回転速
度に依存した再生出力特性をもつ薄膜ヘッドのみで記録
再生する場合よりもディスクの内、外周間の浮上均一性
が必要とされる。これは、再生出力の回転速度に対して
の依存性がないからであり、そのために高速摺動による
磁気記録媒体上での損傷確率の高い領域が増えている。
である、再生信号Ｓ／Ｎに優れた磁気抵抗効果を利用し
た再生専用ヘッド（いわゆるＭＲヘッド）を採用するた
めには、従来の磁気記録媒体（磁気ディスク）の回転速
度に依存した再生出力特性をもつ薄膜ヘッドのみで記録
再生する場合よりもディスクの内、外周間の浮上均一性
が必要とされる。これは、再生出力の回転速度に対して
の依存性がないからであり、そのために高速摺動による
磁気記録媒体上での損傷確率の高い領域が増えている。
【０００６】従来の負圧を利用した浮動ヘッドスライダ
の代表例を、図１５、図１６、図１７に示す。図１５は
２レーン型、図１６はセンタレール型、図１７はセンタ
パッド型とそれぞれ呼ばれている浮動ヘッドスライダ１
を示す。
の代表例を、図１５、図１６、図１７に示す。図１５は
２レーン型、図１６はセンタレール型、図１７はセンタ
パッド型とそれぞれ呼ばれている浮動ヘッドスライダ１
を示す。
【０００７】これらの図において、符号２はメインリセ
ス部、３，４はスライダ１上でメインリセス部２を形成
する一対のサイドレール、５はこれらのサイドレール
３，４間を接続するように設けたクロスレールで、６は
このクロスレール５の外側寄りの上方部分に設けたチャ
ンファ部である。また、図１６において、７はメインリ
セス部２を分断するように設けたセンタレールで、これ
によりメインリセス部２は２ａ，２ｂで示すように分断
して形成されている。さらに、図１７において、８はメ
インリセス部２の中央部分下方に配設したセンタパッド
である。
ス部、３，４はスライダ１上でメインリセス部２を形成
する一対のサイドレール、５はこれらのサイドレール
３，４間を接続するように設けたクロスレールで、６は
このクロスレール５の外側寄りの上方部分に設けたチャ
ンファ部である。また、図１６において、７はメインリ
セス部２を分断するように設けたセンタレールで、これ
によりメインリセス部２は２ａ，２ｂで示すように分断
して形成されている。さらに、図１７において、８はメ
インリセス部２の中央部分下方に配設したセンタパッド
である。
【０００８】図１５における２レーン型の浮動ヘッドス
ライダ１は、磁気ヘッドを磁気記録媒体（図示せず）よ
りも外周側に配置させることが可能であるため、記録容
量的に有利であり、負圧量も十分確保できるため、高速
回転に対して有利となる。しかし、浮上均一性と浮上姿
勢（ロール）に対する設計上の制約が大きいことと、外
乱に対する最小浮上量変動がやや大きくなるという欠点
がある。
ライダ１は、磁気ヘッドを磁気記録媒体（図示せず）よ
りも外周側に配置させることが可能であるため、記録容
量的に有利であり、負圧量も十分確保できるため、高速
回転に対して有利となる。しかし、浮上均一性と浮上姿
勢（ロール）に対する設計上の制約が大きいことと、外
乱に対する最小浮上量変動がやや大きくなるという欠点
がある。
【０００９】これに対して、図１６におけるセンタレー
ル型、図１７におけるセンタパッド型の浮動ヘッドスラ
イダ１は、外乱に対する浮上量の変動を抑制することが
容易であること、浮上姿勢に対する制限が緩いために、
浮上均一性をより一層追求することが容易である。
ル型、図１７におけるセンタパッド型の浮動ヘッドスラ
イダ１は、外乱に対する浮上量の変動を抑制することが
容易であること、浮上姿勢に対する制限が緩いために、
浮上均一性をより一層追求することが容易である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、図１６
のセンタレール型あるいは図１７のセンタパッド型の浮
動ヘッドスライダ１は良好な特性をもっているが、サイ
ドレール３，４がスライダ１の全長よりも短いため、サ
イドレール３，４の空気流出端部分に発生する正圧は、
図１５の２レーン型に比べてかなり低くなっている。
のセンタレール型あるいは図１７のセンタパッド型の浮
動ヘッドスライダ１は良好な特性をもっているが、サイ
ドレール３，４がスライダ１の全長よりも短いため、サ
イドレール３，４の空気流出端部分に発生する正圧は、
図１５の２レーン型に比べてかなり低くなっている。
【００１１】特に、面積が小さく浮上量が低い領域に配
されるセンタパッド８の部分に発生する正圧は、２レー
ン型の空気流出端部分の倍以上となることが多いため、
空気流出端での圧力差は４〜５気圧にも達する場合があ
る。しかも、空気流速は１０〜３０ｍ／Ｓに達するた
め、圧力変動に伴う空気中の水分や気化した記録媒体保
護用の潤滑剤が液化する場合がある。
されるセンタパッド８の部分に発生する正圧は、２レー
ン型の空気流出端部分の倍以上となることが多いため、
空気流出端での圧力差は４〜５気圧にも達する場合があ
る。しかも、空気流速は１０〜３０ｍ／Ｓに達するた
め、圧力変動に伴う空気中の水分や気化した記録媒体保
護用の潤滑剤が液化する場合がある。
【００１２】また、前述したＣＳＳ時や磁気記録媒体と
の高速摺動時に浮動ヘッドスライダ１の空気軸受け面に
記録媒体保護用の潤滑剤が付着し、空気流によって空気
軸受け面上を移動して空気流出端に溜まる可能性も高
い。
の高速摺動時に浮動ヘッドスライダ１の空気軸受け面に
記録媒体保護用の潤滑剤が付着し、空気流によって空気
軸受け面上を移動して空気流出端に溜まる可能性も高
い。
【００１３】以上述べた現象は、負圧を発生するクロス
レール５の空気流出端においても同様に発生する危険性
をもっている。特に、この空気流出端部分は、正圧力は
それほど高くないが、クロスレール５直後の負圧力は最
も大きくなるために圧力差は大きく、さらに空気流がか
なり遅くなる領域があり、流入するダストが滞留する可
能性が非常に高くなるという問題がある。
レール５の空気流出端においても同様に発生する危険性
をもっている。特に、この空気流出端部分は、正圧力は
それほど高くないが、クロスレール５直後の負圧力は最
も大きくなるために圧力差は大きく、さらに空気流がか
なり遅くなる領域があり、流入するダストが滞留する可
能性が非常に高くなるという問題がある。
【００１４】すなわち、現在の浮動ヘッドスライダは負
圧を利用したものが中心となっているが、負圧発生領域
の圧力は周囲圧力よりも低いために、磁気ディスク装置
内で発生する超微粒子のダストを吸込み易くなり、しか
も上述したニアコンタクト領域でのヘッド・ディスク・
インタフェースは、スライダと媒体表面との潤滑剤が常
に接触していると考えられるから、接触領域およびその
付近できわめて浮上量の低い空気軸受け面にダストが堆
積しない浮上ヘッドスライダの出現が要望されている。
圧を利用したものが中心となっているが、負圧発生領域
の圧力は周囲圧力よりも低いために、磁気ディスク装置
内で発生する超微粒子のダストを吸込み易くなり、しか
も上述したニアコンタクト領域でのヘッド・ディスク・
インタフェースは、スライダと媒体表面との潤滑剤が常
に接触していると考えられるから、接触領域およびその
付近できわめて浮上量の低い空気軸受け面にダストが堆
積しない浮上ヘッドスライダの出現が要望されている。
【００１５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、センタパッド型あるいはセンタレール型の
負圧利用の浮動ヘッドスライダにおいて、センタパッ
ド、センタレールおよびクロスレールの空気流出端付近
の圧力を低減して液状ダストの発生を抑制し、さらに負
圧によって引き込んだダストが空気軸受け面の低浮上領
域に付着する確率が低く、結果として浮上量変動が小さ
く、信頼性の高いヘッド・ディスク・インタフェースを
実現することができる浮動ヘッドスライダを得ることを
目的とする。
ものであり、センタパッド型あるいはセンタレール型の
負圧利用の浮動ヘッドスライダにおいて、センタパッ
ド、センタレールおよびクロスレールの空気流出端付近
の圧力を低減して液状ダストの発生を抑制し、さらに負
圧によって引き込んだダストが空気軸受け面の低浮上領
域に付着する確率が低く、結果として浮上量変動が小さ
く、信頼性の高いヘッド・ディスク・インタフェースを
実現することができる浮動ヘッドスライダを得ることを
目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】このような目的に応える
ために本発明に係る浮動ヘッドスライダは、磁気記録媒
体の回転によって励起される空気流によって正圧と負圧
の空気軸受作用を発生させるレールを備え、情報の記録
再生を行う電磁変換素子を磁気記録媒体表面より一定の
間隔を保って支持するにあたって、浮動ヘッドスライダ
の全長よりも短く、空気流入部にチャンファ部を有する
少なくとも一対のサイドレールと、前記浮動ヘッドスラ
イダの全長に対して空気流入側に位置し前記サイドレー
ルと一本以上の本数によって所定の間隔をもって分断さ
れかつその一部分に前記チャンファ部を有するクロスレ
ールと、空気流出端側の中央部に位置し電磁変換素子を
含むセンタパッドと、前記クロスレールと前記センタパ
ッドの少なくとも一方と接続されるセンタレールを有し
前記センタレールを有し前記各レール、センタパッド以
外の部分と各レールおよびセンタパッド表面の段差が１
５ミクロンメータ以内であるメインリセス部を有する構
成としたものである。また、本発明に係る浮動ヘッドス
ライダは、磁気記録媒体の回転によって励起 される空気
流によって正圧と負圧の空気軸受作用を発生させるレー
ルを備え、情報の記録再生を行う電磁変換素子を磁気記
録媒体表面より一定の間隔を保って支持するにあたっ
て、前記浮動ヘッドスライダの全長よりも短く、空気流
入部にチャンファ部を有する少なくとも一対のサイドレ
ールと、前記浮動ヘッドスライダの全長に対して空気流
入側に位置し前記サイドレールと一本以上の本数によっ
て所定の間隔をもって分断されかつその一部分に前記チ
ャンファ部を有するクロスレールと、空気流出端側の中
央部に位置し電磁変換素子を含むセンタパッドと、前記
クロスレールと前記センタパッドの両方と分断されてい
るセンタレールを有し前記センタレールを有し前記各レ
ール、センタパッド以外の部分と各レールおよびセンタ
パッド表面の段差が１５ミクロンメータ以内であるメイ
ンリセス部を有する構成としたものである。
ために本発明に係る浮動ヘッドスライダは、磁気記録媒
体の回転によって励起される空気流によって正圧と負圧
の空気軸受作用を発生させるレールを備え、情報の記録
再生を行う電磁変換素子を磁気記録媒体表面より一定の
間隔を保って支持するにあたって、浮動ヘッドスライダ
の全長よりも短く、空気流入部にチャンファ部を有する
少なくとも一対のサイドレールと、前記浮動ヘッドスラ
イダの全長に対して空気流入側に位置し前記サイドレー
ルと一本以上の本数によって所定の間隔をもって分断さ
れかつその一部分に前記チャンファ部を有するクロスレ
ールと、空気流出端側の中央部に位置し電磁変換素子を
含むセンタパッドと、前記クロスレールと前記センタパ
ッドの少なくとも一方と接続されるセンタレールを有し
前記センタレールを有し前記各レール、センタパッド以
外の部分と各レールおよびセンタパッド表面の段差が１
５ミクロンメータ以内であるメインリセス部を有する構
成としたものである。また、本発明に係る浮動ヘッドス
ライダは、磁気記録媒体の回転によって励起 される空気
流によって正圧と負圧の空気軸受作用を発生させるレー
ルを備え、情報の記録再生を行う電磁変換素子を磁気記
録媒体表面より一定の間隔を保って支持するにあたっ
て、前記浮動ヘッドスライダの全長よりも短く、空気流
入部にチャンファ部を有する少なくとも一対のサイドレ
ールと、前記浮動ヘッドスライダの全長に対して空気流
入側に位置し前記サイドレールと一本以上の本数によっ
て所定の間隔をもって分断されかつその一部分に前記チ
ャンファ部を有するクロスレールと、空気流出端側の中
央部に位置し電磁変換素子を含むセンタパッドと、前記
クロスレールと前記センタパッドの両方と分断されてい
るセンタレールを有し前記センタレールを有し前記各レ
ール、センタパッド以外の部分と各レールおよびセンタ
パッド表面の段差が１５ミクロンメータ以内であるメイ
ンリセス部を有する構成としたものである。
【００１７】また、本発明に係る浮動ヘッドスライダ
は、センタレールがなく、しかもクロスレールとサイド
レールにおいて少なくともセンタパッドから浮動ヘッド
スライダのヨー角配置に相当する角度にて見込む部分
を、レール表面に対して一定の段差をもって形成したも
のである。
は、センタレールがなく、しかもクロスレールとサイド
レールにおいて少なくともセンタパッドから浮動ヘッド
スライダのヨー角配置に相当する角度にて見込む部分
を、レール表面に対して一定の段差をもって形成したも
のである。
【００１８】さらに、本発明に係る浮動ヘッドスライダ
は、センタパッドを、各レールに施される一定の曲面加
工の仮想曲線よりも深く加工するか、センタパッド表面
に溝部（穴または溝、あるいはその両方）が一個以上存
在するように構成する。このとき、溝部の密度が一定で
ないようにするとよい。
は、センタパッドを、各レールに施される一定の曲面加
工の仮想曲線よりも深く加工するか、センタパッド表面
に溝部（穴または溝、あるいはその両方）が一個以上存
在するように構成する。このとき、溝部の密度が一定で
ないようにするとよい。
【００１９】また、本発明に係る浮動ヘッドスライダ
は、センタパッドの側断面の角度がセンタパッド表面に
対して６０度以下となるように構成している。さらに、
本発明に係る浮動ヘッドスライダは、クロスレールの空
気流出端側の全てあるいはその一部をテーパ形状となる
ように構成している。
は、センタパッドの側断面の角度がセンタパッド表面に
対して６０度以下となるように構成している。さらに、
本発明に係る浮動ヘッドスライダは、クロスレールの空
気流出端側の全てあるいはその一部をテーパ形状となる
ように構成している。
【００２０】また、本発明に係る浮動ヘッドスライダ
は、センタレールと、クロスレールおよびサイドレール
とを備えている場合において、センタレールがクロスレ
ールおよびサイドレールに設けた段差と同一またはそれ
以上の段差を有するように構成している。ここで、セン
タレールの段差を、その全長にわたって均一でないよう
に構成する。
は、センタレールと、クロスレールおよびサイドレール
とを備えている場合において、センタレールがクロスレ
ールおよびサイドレールに設けた段差と同一またはそれ
以上の段差を有するように構成している。ここで、セン
タレールの段差を、その全長にわたって均一でないよう
に構成する。
【００２１】本発明によれば、上述したような空気軸受
け面形状を用いることにより、浮動ヘッドスライダにお
いて空気流出端部分などでの液状ダストの発生を抑制
し、液状、その他のダスト付着確率を低減することがで
きる。換言すれば、本発明によれば、クロスレールにお
けるスライダの長さ方向での幅の差を利用してスライダ
の幅方向の圧力差を発生させ、負圧発生領域での比較的
流速が遅くダストが集中し易い流れを制御し、磁気記録
媒体の表面に最も近いセンタパッドへのダストの流入を
制御する。
け面形状を用いることにより、浮動ヘッドスライダにお
いて空気流出端部分などでの液状ダストの発生を抑制
し、液状、その他のダスト付着確率を低減することがで
きる。換言すれば、本発明によれば、クロスレールにお
けるスライダの長さ方向での幅の差を利用してスライダ
の幅方向の圧力差を発生させ、負圧発生領域での比較的
流速が遅くダストが集中し易い流れを制御し、磁気記録
媒体の表面に最も近いセンタパッドへのダストの流入を
制御する。
【００２２】また、本発明によれば、クロスレールの中
央部とセンタパッドを浅いリセス部で接続し、より明確
な空気流路を確保し、さらにセンタパッド部分の空気流
入端に空気流の滞留点が発生しないように空気流入端形
状を曲線とし、加えて深さ方向に鏡面等による段差を設
けることにより、ダスト付着を抑制する。ここで、「チ
ャンファ部」とは、テーパあるいは２マクロメータ以下
の段差によるリセス部をいう。 「少なくとも一対のサイ
ドレール」とは、一対のサイドレール、あるいはそれ以
上（複数対）のサイドレールをいう。 「一本以上の本
数」とは、少なくとも一本であって、それ以上の本数に
よるものも含む。 「クロスレールとセンタパッドとの少
なくとも一方」とは、クロスレールとセンタパッドとの
両方、あるいは少なくともいずれか一方のものをいう。
「溝部」とは、穴または溝の少なくとも一方、あるいは
その両方をいう。
央部とセンタパッドを浅いリセス部で接続し、より明確
な空気流路を確保し、さらにセンタパッド部分の空気流
入端に空気流の滞留点が発生しないように空気流入端形
状を曲線とし、加えて深さ方向に鏡面等による段差を設
けることにより、ダスト付着を抑制する。ここで、「チ
ャンファ部」とは、テーパあるいは２マクロメータ以下
の段差によるリセス部をいう。 「少なくとも一対のサイ
ドレール」とは、一対のサイドレール、あるいはそれ以
上（複数対）のサイドレールをいう。 「一本以上の本
数」とは、少なくとも一本であって、それ以上の本数に
よるものも含む。 「クロスレールとセンタパッドとの少
なくとも一方」とは、クロスレールとセンタパッドとの
両方、あるいは少なくともいずれか一方のものをいう。
「溝部」とは、穴または溝の少なくとも一方、あるいは
その両方をいう。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る浮動ヘッドス
ライダの第１の実施の形態を示し、この図１は本発明に
おいて請求項１、請求項２に記載した発明の具体例に相
当する。同図において、符号１０は浮動ヘッドスライダ
で、この浮動ヘッドスライダ１０上には、一対のリセス
部（チャンファ部）１２，１３を有するサイドレール１
４，１５が設けられている。
ライダの第１の実施の形態を示し、この図１は本発明に
おいて請求項１、請求項２に記載した発明の具体例に相
当する。同図において、符号１０は浮動ヘッドスライダ
で、この浮動ヘッドスライダ１０上には、一対のリセス
部（チャンファ部）１２，１３を有するサイドレール１
４，１５が設けられている。
【００２４】また、これらのサイドレール１４，１５間
を接続するためのクロスレールが図中１６，１７，１
８，１９で示すように分断した状態で形成されている。
図中２０，２１，２２，２３はこれら分断されたクロス
レール１６，１７，１８，１９のリセス部（チャンファ
部）である。２４はセンタレールで、リセス部（チャン
ファ部）２５を有し、またこのセンタレール２４にはセ
ンタパッド２６が接続された状態で配設されている。
を接続するためのクロスレールが図中１６，１７，１
８，１９で示すように分断した状態で形成されている。
図中２０，２１，２２，２３はこれら分断されたクロス
レール１６，１７，１８，１９のリセス部（チャンファ
部）である。２４はセンタレールで、リセス部（チャン
ファ部）２５を有し、またこのセンタレール２４にはセ
ンタパッド２６が接続された状態で配設されている。
【００２５】図２は上述した図１の変形例を示し、この
図ではセンタレール２４とセンタパッド２６とを分離し
た形状とした場合である。図３は上述した図１、図２の
さらに変形例を示し、サイドレール１４，１５をサイド
レール１４ａ，１４ｂ；１５ａ，１５ｂに分離した形状
とした場合である。図４は上述した図１〜図３のさらに
別の変形例を示し、クロスレール１６，１７，１８，１
９の分断間隔および分断形状を異なるような形状とした
場合を示す。
図ではセンタレール２４とセンタパッド２６とを分離し
た形状とした場合である。図３は上述した図１、図２の
さらに変形例を示し、サイドレール１４，１５をサイド
レール１４ａ，１４ｂ；１５ａ，１５ｂに分離した形状
とした場合である。図４は上述した図１〜図３のさらに
別の変形例を示し、クロスレール１６，１７，１８，１
９の分断間隔および分断形状を異なるような形状とした
場合を示す。
【００２６】以上の図１ないし図４は本発明において請
求項１、請求項２に記載した発明の具体例を示すもので
あって、この浮動ヘッドスライダ１は、以下の構成とな
っている。すなわち、浮動ヘッドスライダ１の全長より
も短く、空気流入部（図中上方）にチャンファ部として
テーパあるいは２マクロメータ以下の段差によるリセス
部１２，１３を有する少なくとも一対（一対あるいはそ
れ以上）のサイドレール１４，１５と、浮動ヘッドスラ
イダ１の全長に対して空気流入側に位置し前記サイドレ
ール１４，１５（または１４ａ，１４ｂ；１５ａ，１５
ｂ）とを備える。さらに、一本によって接続されるか、
あるいはそれ以上の本数によって所定の間隔をもって分
断され、その一部分に前記チャンファ部としてテーパあ
るいは２マイクロメータ以下の段差によるリセス部２
０，２１，２２，２３を有するクロスレール１６，１
７，１８，１９を備える。
求項１、請求項２に記載した発明の具体例を示すもので
あって、この浮動ヘッドスライダ１は、以下の構成とな
っている。すなわち、浮動ヘッドスライダ１の全長より
も短く、空気流入部（図中上方）にチャンファ部として
テーパあるいは２マクロメータ以下の段差によるリセス
部１２，１３を有する少なくとも一対（一対あるいはそ
れ以上）のサイドレール１４，１５と、浮動ヘッドスラ
イダ１の全長に対して空気流入側に位置し前記サイドレ
ール１４，１５（または１４ａ，１４ｂ；１５ａ，１５
ｂ）とを備える。さらに、一本によって接続されるか、
あるいはそれ以上の本数によって所定の間隔をもって分
断され、その一部分に前記チャンファ部としてテーパあ
るいは２マイクロメータ以下の段差によるリセス部２
０，２１，２２，２３を有するクロスレール１６，１
７，１８，１９を備える。
【００２７】また、空気流出端側（図中下方）の中央部
に位置し電磁変換素子を含むセンタパッド２６と、前記
クロスレール１６〜１９と前記センタパッド２６の両方
あるいは片方と接続されるか、あるいは両方と分断され
ているセンタレール２４を有し前記各レール１４，１
５，１６〜１９，２４、センタパッド２６以外の部分と
各レール１４，１５，１６〜１９，２４およびセンタパ
ッド２６表面の段差が１５ミクロンメータ以内であるメ
インリセス部２８，２９を有している。
に位置し電磁変換素子を含むセンタパッド２６と、前記
クロスレール１６〜１９と前記センタパッド２６の両方
あるいは片方と接続されるか、あるいは両方と分断され
ているセンタレール２４を有し前記各レール１４，１
５，１６〜１９，２４、センタパッド２６以外の部分と
各レール１４，１５，１６〜１９，２４およびセンタパ
ッド２６表面の段差が１５ミクロンメータ以内であるメ
インリセス部２８，２９を有している。
【００２８】そして、以上の図１〜図４に示す各実施の
形態では、クロスレール１６〜１９の分断領域で空気流
の圧縮、膨張がなく、均一な空気流を実現できるため、
センタパッド２６付近の低浮上領域に液状ダストを付着
させる確率を低減することができる。
形態では、クロスレール１６〜１９の分断領域で空気流
の圧縮、膨張がなく、均一な空気流を実現できるため、
センタパッド２６付近の低浮上領域に液状ダストを付着
させる確率を低減することができる。
【００２９】図５（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は本
発明に係る浮動ヘッドスライダ１０の第２の実施の形態
を示し、この図５は本発明において請求項４に記載した
発明の具体例に相当する。ここで、この図５の（ａ）は
浮動ヘッドスライダ１０を側面から見た図、（ｂ）は空
気流出端を側面から見た図、（ｃ）は浮動ヘッドスライ
ダ１０の浮上状態の概略図、（ｄ）はサイドレール１
４，１５およびセンタパッド２６の空気流出端部分の圧
力分布を示した図である。なお、図６（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ）は従来のセンタパッド型の負圧式浮動ヘ
ッドスライダ１０と同等の形状で形成した例を示す。こ
こで、図中２６ａは従来のセンタパッドの形状を示す。
発明に係る浮動ヘッドスライダ１０の第２の実施の形態
を示し、この図５は本発明において請求項４に記載した
発明の具体例に相当する。ここで、この図５の（ａ）は
浮動ヘッドスライダ１０を側面から見た図、（ｂ）は空
気流出端を側面から見た図、（ｃ）は浮動ヘッドスライ
ダ１０の浮上状態の概略図、（ｄ）はサイドレール１
４，１５およびセンタパッド２６の空気流出端部分の圧
力分布を示した図である。なお、図６（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ）は従来のセンタパッド型の負圧式浮動ヘ
ッドスライダ１０と同等の形状で形成した例を示す。こ
こで、図中２６ａは従来のセンタパッドの形状を示す。
【００３０】本発明によれば、曲面加工したセンタパッ
ド２６、サイドレール１４，１５において、センタパッ
ド２６を仮想曲面以下に（仮想曲面よりも深くなるよう
に）加工することによって、浮上中のセンタパッド２６
とサイドレール１４，１５の最小浮上量差を低減し、図
５（ｄ）に示すように発生圧力を分散させることができ
るため、液状ダストの発生を抑制することが可能とな
る。これは図６（ａ）〜（ｃ）および図６（ｄ）との比
較から容易に理解されるところである。ここで、図中３
０は空気流出端の電磁変換素子を示す。
ド２６、サイドレール１４，１５において、センタパッ
ド２６を仮想曲面以下に（仮想曲面よりも深くなるよう
に）加工することによって、浮上中のセンタパッド２６
とサイドレール１４，１５の最小浮上量差を低減し、図
５（ｄ）に示すように発生圧力を分散させることができ
るため、液状ダストの発生を抑制することが可能とな
る。これは図６（ａ）〜（ｃ）および図６（ｄ）との比
較から容易に理解されるところである。ここで、図中３
０は空気流出端の電磁変換素子を示す。
【００３１】図７（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明にお
ける請求項５記載の内容による実施の形態を示す。同図
（ａ）はセンタパッド２６に、空気流方向に垂直に等間
隔に溝３１を設けた形状を示しており、（ｂ）はその断
面ＶＩＩ−ＶＩＩを示し、（ｃ）は溝３１がある場合
（溝あり）とない場合（平面型）との発生圧力の差を示
している。この図（ｃ）から明らかなように、センタパ
ッド２６上に溝３１を取ることによって、発生する最高
圧力を低減することが可能となる。
ける請求項５記載の内容による実施の形態を示す。同図
（ａ）はセンタパッド２６に、空気流方向に垂直に等間
隔に溝３１を設けた形状を示しており、（ｂ）はその断
面ＶＩＩ−ＶＩＩを示し、（ｃ）は溝３１がある場合
（溝あり）とない場合（平面型）との発生圧力の差を示
している。この図（ｃ）から明らかなように、センタパ
ッド２６上に溝３１を取ることによって、発生する最高
圧力を低減することが可能となる。
【００３２】図８（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明にお
ける請求項６記載の内容による実施の形態を示す。同図
（ａ）はセンタパッド２６に、空気流と垂直に空気流出
端に向って溝３１の密度が高くなるように設けた形状を
示し、（ｂ）はその断面ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩを示し、
（ｃ）は溝３１が図７の場合のように均一幅である場合
と不均一幅である場合との発生圧力の差を示しており、
その効果は前述した図７による場合に比べて優れてい
る。
ける請求項６記載の内容による実施の形態を示す。同図
（ａ）はセンタパッド２６に、空気流と垂直に空気流出
端に向って溝３１の密度が高くなるように設けた形状を
示し、（ｂ）はその断面ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩを示し、
（ｃ）は溝３１が図７の場合のように均一幅である場合
と不均一幅である場合との発生圧力の差を示しており、
その効果は前述した図７による場合に比べて優れてい
る。
【００３３】図９（ａ），（ｂ）は本発明における請求
項７記載の内容による実施の形態を示す。同図（ａ）は
浮動ヘッドスライダ１０全体の外観図、（ｂ）はセンタ
パッド２６のＩＸ−ＩＸ線での断面図である。これらの
図において、たとえばセンタパッド２６の空気流入側の
面の断面形状が垂直である場合には、断面部分での圧力
が低く、空気流速も遅いため、液状ダストが体積しやす
いが、この実施の形態のようにセンタパッド２６の段差
に比較的大きなテーパ（６０度以下）を設けることによ
って、圧力、流速変化を穏やかにすることにより液状ダ
ストの滞留を防ぐことが可能となる。
項７記載の内容による実施の形態を示す。同図（ａ）は
浮動ヘッドスライダ１０全体の外観図、（ｂ）はセンタ
パッド２６のＩＸ−ＩＸ線での断面図である。これらの
図において、たとえばセンタパッド２６の空気流入側の
面の断面形状が垂直である場合には、断面部分での圧力
が低く、空気流速も遅いため、液状ダストが体積しやす
いが、この実施の形態のようにセンタパッド２６の段差
に比較的大きなテーパ（６０度以下）を設けることによ
って、圧力、流速変化を穏やかにすることにより液状ダ
ストの滞留を防ぐことが可能となる。
【００３４】図１０（ａ），（ｂ）は本発明に係る浮動
ヘッドスライダにおいて、請求項３に記載の内容による
実施の形態を示す。すなわち、現行の磁気ディスク装置
では、同図（ａ）に示すようにロータリ型アクチュエー
タを採用しているため、磁気記録媒体４０の内周側と外
周側で浮動ヘッドスライダ１０の長手方向と磁気記録媒
体４０の円周接線方向とのなす角は一定ではなく、内周
側のヨー角θ１で約１０度、外周側のヨー角θ２で約−
２０度となっている。
ヘッドスライダにおいて、請求項３に記載の内容による
実施の形態を示す。すなわち、現行の磁気ディスク装置
では、同図（ａ）に示すようにロータリ型アクチュエー
タを採用しているため、磁気記録媒体４０の内周側と外
周側で浮動ヘッドスライダ１０の長手方向と磁気記録媒
体４０の円周接線方向とのなす角は一定ではなく、内周
側のヨー角θ１で約１０度、外周側のヨー角θ２で約−
２０度となっている。
【００３５】したがって、同図（ｂ）に示すように、ク
ロスレール４１およびサイドレール１４，１５におい
て、センタパッド２６から上記角度θ１，θ２にて見込
む領域に段差４２を設けることにより、負圧発生効率を
それほど落とすことがなく、センタパッド２５に流入す
る空気流を磁気記録媒体４０全面にわたってそれほど落
とすことがない。このため、液状ダストの発生およびそ
の付着確率を低減することができる。なお、図中斜線で
示した部分は実質的に同一曲面上にある空気軸受け面を
示している。また、図中４３，４４はチャンファ部であ
る。
ロスレール４１およびサイドレール１４，１５におい
て、センタパッド２６から上記角度θ１，θ２にて見込
む領域に段差４２を設けることにより、負圧発生効率を
それほど落とすことがなく、センタパッド２５に流入す
る空気流を磁気記録媒体４０全面にわたってそれほど落
とすことがない。このため、液状ダストの発生およびそ
の付着確率を低減することができる。なお、図中斜線で
示した部分は実質的に同一曲面上にある空気軸受け面を
示している。また、図中４３，４４はチャンファ部であ
る。
【００３６】図１１は本発明における請求項３記載の内
容を示す別の実施の形態を示す。これは、クロスレール
段差部分４６の左右対称性を確保するために、センタパ
ッド２６を浮動ヘッドスライダ１０の幅方向の中心より
オフセットすなわち位置をずらして設けている。
容を示す別の実施の形態を示す。これは、クロスレール
段差部分４６の左右対称性を確保するために、センタパ
ッド２６を浮動ヘッドスライダ１０の幅方向の中心より
オフセットすなわち位置をずらして設けている。
【００３７】図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明に
おける請求項８記載の内容による実施の形態を示す。同
図（ａ）は浮動ヘッドスライダ１０の外観を示し、
（ｂ）はクロスレール４１の断面ＸＩＩ−ＸＩＩでの形
状を示し、（ｃ）は段差が垂直である場合と（ｂ）のＰ
−Ｐ’で示すような断面形状である場合での圧力分布を
示している。上述した図１２の（ｂ）に示すような断面
形状とすることにより、同図（ｃ）中実線で示すような
圧力分布を実現することができる。したがって、空気流
の圧力変動差を緩和することが可能となるから、液状ダ
ストの発生を抑制することができる。
おける請求項８記載の内容による実施の形態を示す。同
図（ａ）は浮動ヘッドスライダ１０の外観を示し、
（ｂ）はクロスレール４１の断面ＸＩＩ−ＸＩＩでの形
状を示し、（ｃ）は段差が垂直である場合と（ｂ）のＰ
−Ｐ’で示すような断面形状である場合での圧力分布を
示している。上述した図１２の（ｂ）に示すような断面
形状とすることにより、同図（ｃ）中実線で示すような
圧力分布を実現することができる。したがって、空気流
の圧力変動差を緩和することが可能となるから、液状ダ
ストの発生を抑制することができる。
【００３８】図１３（ａ），（ｂ）は本発明の請求項９
記載の内容を示す実施の形態である。同図（ａ）は浮動
ヘッドスライダ１０の概念図、同図（ｂ）はＸＩＩＩ−
ＸＩＩＩ線での断面図である。ここでは全面段差となっ
ているクロスレール４１に接続され、さらにクロスレー
ル４１と同一の段差を有するセンタレール２４を設けた
場合を示している。このように全面段差加工されている
センタレール２４を設けることにより、深いリセス領域
を流れる遅い空気流が、センタパッド２６に流入するこ
とを防ぎ、センタパッド２６の段差面へのダスト付着確
率を低減することができる。
記載の内容を示す実施の形態である。同図（ａ）は浮動
ヘッドスライダ１０の概念図、同図（ｂ）はＸＩＩＩ−
ＸＩＩＩ線での断面図である。ここでは全面段差となっ
ているクロスレール４１に接続され、さらにクロスレー
ル４１と同一の段差を有するセンタレール２４を設けた
場合を示している。このように全面段差加工されている
センタレール２４を設けることにより、深いリセス領域
を流れる遅い空気流が、センタパッド２６に流入するこ
とを防ぎ、センタパッド２６の段差面へのダスト付着確
率を低減することができる。
【００３９】図１４（ａ），（ｂ）は本発明における請
求項１０記載の内容を示す実施の形態である。同図
（ａ）は浮動ヘッドスライダ１０の概観図、同図（ｂ）
はセンタレール２４の断面ＸＩＶ−ＸＩＶ線での断面図
である。この場合も、圧力変動および空気流変動を緩和
することが可能となるため、液状ダストの発生および付
着確率を低減することが可能となる。
求項１０記載の内容を示す実施の形態である。同図
（ａ）は浮動ヘッドスライダ１０の概観図、同図（ｂ）
はセンタレール２４の断面ＸＩＶ−ＸＩＶ線での断面図
である。この場合も、圧力変動および空気流変動を緩和
することが可能となるため、液状ダストの発生および付
着確率を低減することが可能となる。
【００４０】なお、本発明は上述した実施の形態で説明
した構造には限定されず、各部の形状、構造等を適宜変
形、変更し得ることはいうまでもない。たとえば本発明
は浮動ヘッドスライダ１０の各レールの形状に関するも
のであって、その材質を特定するものではなく、浮動ヘ
ッドスライダ１０の材料および磁気記録媒体保護膜の材
料および磁気記録媒体４０上の潤滑剤との関係によって
最適とされるものであれば、どのようなものでもよい。
した構造には限定されず、各部の形状、構造等を適宜変
形、変更し得ることはいうまでもない。たとえば本発明
は浮動ヘッドスライダ１０の各レールの形状に関するも
のであって、その材質を特定するものではなく、浮動ヘ
ッドスライダ１０の材料および磁気記録媒体保護膜の材
料および磁気記録媒体４０上の潤滑剤との関係によって
最適とされるものであれば、どのようなものでもよい。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る浮動ヘ
ッドスライダによれば、浮動ヘッドスライダの空気軸受
け面を所要の形状とすることにより、簡単な構成である
にもかかわらず、液状ダストの発生を抑制し、液状ある
いはその他のダスト付着確率を低減し、磁気ヘッドの動
作上での信頼性を高くし、さらに記録密度の向上が可能
となる磁気ディスク装置を得ることができる。
ッドスライダによれば、浮動ヘッドスライダの空気軸受
け面を所要の形状とすることにより、簡単な構成である
にもかかわらず、液状ダストの発生を抑制し、液状ある
いはその他のダスト付着確率を低減し、磁気ヘッドの動
作上での信頼性を高くし、さらに記録密度の向上が可能
となる磁気ディスク装置を得ることができる。
【図１】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの第１の実
施の形態を示す図である。
施の形態を示す図である。
【図２】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの第１の実
施の形態の変形例を示す図である。
施の形態の変形例を示す図である。
【図３】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの第１の実
施の形態の他の変形例を示す図である。
施の形態の他の変形例を示す図である。
【図４】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの第１の実
施の形態のさらに別の変形例を示す図である。
施の形態のさらに別の変形例を示す図である。
【図５】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの第２の実
施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダを側面か
ら見た図、（ｂ）は空気流出端を側面から見た図、
（ｃ）は浮動ヘッドスライダの浮上状態の概略図、
（ｄ）はサイドレールおよびセンタパッドの空気流出端
部分の圧力分布を示した図である。
施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダを側面か
ら見た図、（ｂ）は空気流出端を側面から見た図、
（ｃ）は浮動ヘッドスライダの浮上状態の概略図、
（ｄ）はサイドレールおよびセンタパッドの空気流出端
部分の圧力分布を示した図である。
【図６】 図５（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）の浮動
ヘッドスライダの対応する従来例を説明するための図で
ある。
ヘッドスライダの対応する従来例を説明するための図で
ある。
【図７】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの別の実施
の形態を示し、（ａ）はセンタパッドに空気流方向に垂
直に等間隔の溝を設けた形状を示す図、（ｂ）はその断
面ＶＩＩ−ＶＩＩを示す図、（ｃ）は溝がある場合（溝
あり）とない場合（平面型）との発生圧力の差を示す特
性図である。
の形態を示し、（ａ）はセンタパッドに空気流方向に垂
直に等間隔の溝を設けた形状を示す図、（ｂ）はその断
面ＶＩＩ−ＶＩＩを示す図、（ｃ）は溝がある場合（溝
あり）とない場合（平面型）との発生圧力の差を示す特
性図である。
【図８】 本発明に係る浮動ヘッドスライダのさらに別
の実施の形態を示し、（ａ）はセンタパッドに空気流と
垂直に空気流出端に向って溝の密度が高くなるように設
けた形状を示す図、（ｂ）はその断面ＶＩＩＩ−ＶＩＩ
Ｉを示す図、（ｃ）は溝が図７の場合のように均一幅で
ある場合と不均一幅である場合との発生圧力の差を示す
特性図である。
の実施の形態を示し、（ａ）はセンタパッドに空気流と
垂直に空気流出端に向って溝の密度が高くなるように設
けた形状を示す図、（ｂ）はその断面ＶＩＩＩ−ＶＩＩ
Ｉを示す図、（ｃ）は溝が図７の場合のように均一幅で
ある場合と不均一幅である場合との発生圧力の差を示す
特性図である。
【図９】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの他の実施
の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダ全体の外観
図、（ｂ）はセンタパッドのＩＸ−ＩＸ線での断面図で
ある。
の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダ全体の外観
図、（ｂ）はセンタパッドのＩＸ−ＩＸ線での断面図で
ある。
【図１０】 本発明に係る浮動ヘッドスライダのさらに
別の実施の形態を示し、（ａ）は磁気記録媒体との関係
を示す図、（ｂ）は要部の側面図である。
別の実施の形態を示し、（ａ）は磁気記録媒体との関係
を示す図、（ｂ）は要部の側面図である。
【図１１】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの他の実
施の形態を示す図である。
施の形態を示す図である。
【図１２】 本発明に係る浮動ヘッドスライダの別の実
施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダの外観
図、（ｂ）はクロスレールの断面ＸＩＩ−ＸＩＩでの形
状を示す図、（ｃ）は段差が垂直である場合と（ｂ）の
Ｐ−Ｐ’で示すような断面形状である場合での圧力分布
の特性図である。
施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダの外観
図、（ｂ）はクロスレールの断面ＸＩＩ−ＸＩＩでの形
状を示す図、（ｃ）は段差が垂直である場合と（ｂ）の
Ｐ−Ｐ’で示すような断面形状である場合での圧力分布
の特性図である。
【図１３】 本発明に係る浮動ヘッドスライダのさらに
他の実施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダの
概念図、（ｂ）はＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線での断面図であ
る。
他の実施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダの
概念図、（ｂ）はＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線での断面図であ
る。
【図１４】 本発明に係る浮動ヘッドスライダのさらに
別の実施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダの
概観図、（ｂ）はセンタレールの断面ＸＩＶ−ＸＩＶ線
での断面図である。
別の実施の形態を示し、（ａ）は浮動ヘッドスライダの
概観図、（ｂ）はセンタレールの断面ＸＩＶ−ＸＩＶ線
での断面図である。
【図１５】 従来の２レーン型負圧スライダの代表的な
空気軸受け面形状を示す図である。
空気軸受け面形状を示す図である。
【図１６】 従来のセンタレール型負圧スライダの代表
的な空気軸受け面形状を示す図である。
的な空気軸受け面形状を示す図である。
【図１７】 従来のセンタパッド型負圧スライダの代表
的な空気軸受け面形状を示す図である。
的な空気軸受け面形状を示す図である。
１０…浮動ヘッドスライダ、１２，１３…リセス部（チ
ャンファ部）、１４，１５…サイドレール、１６，１
７，１８，１９…クロスレール、２０，２１，２２，２
３…リセス部（チャンファ部）、２４…センタレール、
２６…センタパッド、２８，２９…メインリセス部、３
０…電磁変換素子、３１…溝、４０…磁気記録媒体（磁
気ディスク）、４１…クロスレール、４２…段差、４
３，４４…チャンファ部、４６…段差部分。
ャンファ部）、１４，１５…サイドレール、１６，１
７，１８，１９…クロスレール、２０，２１，２２，２
３…リセス部（チャンファ部）、２４…センタレール、
２６…センタパッド、２８，２９…メインリセス部、３
０…電磁変換素子、３１…溝、４０…磁気記録媒体（磁
気ディスク）、４１…クロスレール、４２…段差、４
３，４４…チャンファ部、４６…段差部分。
Claims (10)
- 【請求項１】 磁気記録媒体の回転によって励起される
空気流によって正圧と負圧の空気軸受作用を発生させる
レールを備え、情報の記録再生を行う電磁変換素子を磁
気記録媒体表面より一定の間隔を保って支持する浮動ヘ
ッドスライダであって、 前記浮動ヘッドスライダの全長よりも短く、空気流入部
にチャンファ部を有する少なくとも一対のサイドレール
と、前記浮動ヘッドスライダの全長に対して空気流入側
に位置し前記サイドレールと一本以上の本数によって所
定の間隔をもって分断されかつその一部分に前記チャン
ファ部を有するクロスレールと、空気流出端側の中央部
に位置し電磁変換素子を含むセンタパッドと、前記クロ
スレールと前記センタパッドの少なくとも一方と接続さ
れるセンタレールを有し前記センタレールを有し前記各
レール、センタパッド以外の部分と各レールおよびセン
タパッド表面の段差が１５ミクロンメータ以内であるメ
インリセス部を有することを特徴とする浮動ヘッドスラ
イダ。 - 【請求項２】 磁気記録媒体の回転によって励起される
空気流によって正圧と負圧の空気軸受作用を発生させる
レールを備え、情報の記録再生を行う電磁変換素子を磁
気記録媒体表面より一定の間隔を保って支持する浮動ヘ
ッドスライダであって、 前記浮動ヘッドスライダの全長よりも短く、空気流入部
にチャンファ部を有する少なくとも一対のサイドレール
と、前記浮動ヘッドスライダの全長に対して空気流入側
に位置し前記サイドレールと一本以上の本数によって所
定の間隔をもって分断されかつその一部分に前記チャン
ファ部を有するクロスレールと、空気流出端側の中央部
に位置し電磁変換素子を含むセンタパッドと、前記クロ
スレールと前記センタパッドの両方と分断されているセ
ンタレールを有し前記センタレールを有し前記各レー
ル、センタパッド以外の部分と各レールおよびセンタパ
ッド表面の段差が１５ミクロンメータ以内であるメイン
リセス部を有することを特徴とする浮動ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の浮動ヘッ
ドスライダにおいてセンタレールがなく、しかもクロス
レールとサイドレールにおいて少なくともセンタパッド
から浮動ヘッドスライダのヨー角配置に相当する角度に
て見込む部分が前記レール表面に対して一定の段差をも
って形成されていることを特徴とする浮動ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項４】 請求項１、請求項２または請求項３記載
の浮動ヘッドスライダにおいて、 センタパッドが、各レールに施される一定の曲面加工の
仮想曲線よりも深く加工されていることを特徴とする浮
動ヘッドスライダ。 - 【請求項５】 請求項１、請求項２または請求項３記載
の浮動ヘッドスライダにおいて、 センタパッドの表面に溝部が一個以上存在することを特
徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項６】 請求項５記載の浮動ヘッドスライダにお
いて、溝部が センタパッドの表面上に密度が一定でない状態で
設けられていることを特徴とする浮動ヘッドスライダ。 - 【請求項７】 請求項１、請求項２または請求項３記載
の浮動ヘッドスライダにおいて、 センタパッドの側断面の角度を、センタパッドの表面に
対して６０度以下に構成したことを特徴とする浮動ヘッ
ドスライダ。 - 【請求項８】 請求項３、請求項４、請求項５、請求項
６または請求項７記載の浮動ヘッドスライダにおいて、 クロスレールの空気流出端側の全てあるいはその一部が
テーパ形状となっていることを特徴とする浮動ヘッドス
ライダ。 - 【請求項９】 請求項３、請求項４、請求項５、請求項
６、請求項７または請求項８記載の浮動ヘッドスライダ
において、 センタレール、クロスレールおよびサイドレールを備
え、このセンタレールを前記クロスレールおよびサイド
レールに設けた段差と同一またはそれ以上の段差を有す
るように構成したことを特徴とする浮動ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項１０】 請求項９記載の浮動ヘッドスライダに
おいて、 センタレールの段差をその全長にわたって均一ではない
ように構成したことを特徴とする浮動ヘッドスライダ。
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