JP2870990B2 - Liquid crystal display panel prober - Google Patents
Liquid crystal display panel proberInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、液晶表示パネル用プローバに関し、目視
による表示検査に用いられるものに利用して有効な技術
に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a prober for a liquid crystal display panel, and relates to a technique which is effective when used for visual display inspection.
液晶表示パネルは、薄型軽量で低消費電力であること
から、ラップトップ型又はノートブック型パーソナルコ
ンピュータ等の表示装置として実用化が図られている。
液晶表示パネル用プローバの例としては、例えば特開昭
61−70579号公報がある。このプローバは、表示パネル
の載置台に対してX軸ステージにより表示パネルのX軸
に沿って平行移動するXプローブヘッドと、Y軸ステー
ジにより表示パネルのY軸に沿って平行移動するYプロ
ーブヘッドとともに、表示パネルのX軸及びY軸に沿っ
て平行移動するXYステージにより表示パネルの任意の位
置に接触する第3のプローブヘッドを設けるものであ
る。2. Description of the Related Art A liquid crystal display panel has been put to practical use as a display device such as a laptop or notebook personal computer because it is thin and lightweight and consumes low power.
As an example of a prober for a liquid crystal display panel, for example,
No. 61-70579. The prober includes an X probe head that moves in parallel along the X axis of the display panel using an X axis stage with respect to a mounting table of the display panel, and a Y probe head that moves in parallel along the Y axis of the display panel using a Y axis stage. In addition, a third probe head that contacts an arbitrary position on the display panel by an XY stage that moves in parallel along the X axis and the Y axis of the display panel is provided.
上記の液晶表示パネル用プローバは、ガラス基板上に
形成されたTFTトランジスタのスイッチング動作を電気
的に測定するためのものであり、完成された液晶表示パ
ネルを目視により表示検査を行うことができない。The above-described prober for a liquid crystal display panel is for electrically measuring a switching operation of a TFT transistor formed on a glass substrate, and cannot perform a visual inspection of a completed liquid crystal display panel.
液晶表示パネルは、静電気の影響を受け易く、上記目
視検査にあたっては人手による搬送は静電気により素子
を破壊させる虞れがあるためタブーとされている。ま
た、液晶表示パネルは視野角が狭く、検査者が所定の視
角をもって検査できるように表示パネルを傾斜させる必
要がある。The liquid crystal display panel is susceptible to the effects of static electricity, and in the above-mentioned visual inspection, it is taboo because there is a risk that the element may be destroyed due to static electricity when transported by hand. Further, the viewing angle of the liquid crystal display panel is narrow, and it is necessary to tilt the display panel so that the inspector can inspect with a predetermined viewing angle.
この発明の目的は、自動搬入/搬出機能と視角調整を
実現した液晶表示パネル用プローバを提供することにあ
る。An object of the present invention is to provide a prober for a liquid crystal display panel which realizes an automatic loading / unloading function and a viewing angle adjustment.
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記の通りである。すなわち、
パネル搬送装置により検査を行うべき複数の液晶表示パ
ネルが水平状態に置かれて収納される収納容器の液晶表
示パネルをその裏面側から支えるとともに真空吸着して
取り出し又は検査が終了した液晶表示ネルを所定の収納
容器に収めるとともに、バックライトが内蔵され、上記
真空吸着するアームの厚みより高い高さを持ち、上記ロ
ーディングの部分を除く液晶表示パネルの周辺部を真空
吸着する吸着部を備えた測定載置台に載せられた液晶表
示パネルの電極に対してプローブアッセンブリにより電
気的接触を行うとともに、表示目視検査を行うときにプ
ローブアッセンブリのプローブと接触された状態で測定
載置台を検査者との視角に対応して所定角度に傾ける角
度調整機構を設ける。The outline of a typical invention disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is,
The liquid crystal display panel of the storage container in which a plurality of liquid crystal display panels to be inspected to be inspected by the panel transport device are placed in a horizontal state is supported from the back side and the liquid crystal display panel which has been taken out by vacuum suction or inspection has been completed. A measurement that is housed in a predetermined storage container, has a built-in backlight, has a height higher than the thickness of the arm for vacuum suction, and has a suction part for vacuum suction on the periphery of the liquid crystal display panel excluding the loading part. The probe assembly makes electrical contact with the electrodes of the liquid crystal display panel mounted on the mounting table, and the viewing angle of the measurement mounting table with the inspector in the state of being in contact with the probe of the probe assembly when performing a visual inspection. An angle adjustment mechanism is provided for tilting to a predetermined angle corresponding to the above.
上記した手段によれば、比較的大型で重量のある液晶
表示パネルの自動搬送が可能となり、目視検査のときに
液晶表示パネルの電極にプローブを当てた状態で測定載
置台を検査者との視角に対応して傾けることができから
検査能率の向上を図ることができる。According to the above-described means, a relatively large and heavy liquid crystal display panel can be automatically conveyed, and the measurement mounting table is placed at a visual angle with the inspector in a state where a probe is applied to an electrode of the liquid crystal display panel during a visual inspection. Inspection efficiency can be improved because it can be tilted in response to the above.
第1図には、この発明に係る液晶表示パネル用プロー
バの一実施例の要部概略斜視図が示されている。FIG. 1 is a schematic perspective view of a main part of an embodiment of a prober for a liquid crystal display panel according to the present invention.
カセットCA1とCA2は、検査を行うべき又は検査が終了
した複数からなる液晶表示パネルを所定の間隔を持って
積み重ねるように収納する収納容器である。すなわち、
内側の左右に液晶表示パネルの周辺上下を挟むような突
起部が設けられる。これらのカセットCA1とCA2は、ベー
スBAS1上にあって、同図のY軸方向にスライドすること
の他、カサットCA1とCA2を載せたまま、上下(U/D)に
移動可能にされる。The cassettes CA1 and CA2 are storage containers for storing a plurality of liquid crystal display panels to be tested or for which testing has been completed so as to be stacked at predetermined intervals. That is,
Protrusions are provided on the inner left and right sides to sandwich the upper and lower periphery of the liquid crystal display panel. These cassettes CA1 and CA2 are on the base BAS1, and can be moved up and down (U / D) while sliding the cassettes CA1 and CA2, in addition to sliding in the Y-axis direction in FIG.
特に制限されないが、上記カセットCA1は、検査を行
うべき液晶表示パネルと、検査の結果により不良とされ
た液晶表示パネルの収納とに併用される。これに対し
て、カセットCA2は、検査の結果、良品と判定された液
晶表示パネルの収納に利用される。これにより、2つの
カセットCA1とCA2を用いて上記のような3通りの使い方
が可能になる。Although not particularly limited, the cassette CA1 is used in combination with a liquid crystal display panel to be inspected and a liquid crystal display panel determined to be defective by the inspection result. On the other hand, the cassette CA2 is used for storing a liquid crystal display panel determined to be non-defective as a result of the inspection. As a result, the three usages described above can be performed using the two cassettes CA1 and CA2.
上記カセットCA1から検査を行うべき液晶表示パネル
を搬出させるためにローディングアームLODが用いられ
る。ローディングアームLODは、そのアームの先端部分
がベースBAS2のX及びY方向の移動制御によりカセット
CA1に収納された検査を行うべき液晶表示パネルの裏面
にまで延び、その裏面から支えるとともに真空吸着を行
うチャックトップCT1を持つ、上記チャックトップCT1と
検査を行うべき液晶表示パネルとの上記のような高さ調
整は、カセットCA1が搭載されたベースBAS1のU/Dコント
ロールにより行われる。A loading arm LOD is used to carry out a liquid crystal display panel to be inspected from the cassette CA1. The loading arm LOD is controlled by the movement of the base BAS2 in the X and Y directions.
As described above, the chuck top CT1 and the liquid crystal display panel to be inspected have a chuck top CT1 that extends to the back surface of the liquid crystal display panel to be inspected housed in CA1 and supports from the back surface and performs vacuum suction. The height adjustment is performed by U / D control of the base BAS1 on which the cassette CA1 is mounted.
上記ローディングアームLODは、ベースBAS2に搭載さ
れ、同図に示すようにX及びY方向の他、θ方向にアー
ムを回転させる機能を持つ。このような位置制御は、ス
テッピングモータ等により電気的にコントロールされ
る。The loading arm LOD is mounted on the base BAS2, and has a function of rotating the arm in the θ direction in addition to the X and Y directions as shown in FIG. Such position control is electrically controlled by a stepping motor or the like.
検査が終了した液晶表示パネルは、アンローディング
ULAによりその判定結果に応じてカセットCA1又はカセッ
トCA2に搬入される。このアンローディングアームULA
は、ベースBAS3に搭載され、特に制限されないが、同図
のX軸方向のみの移動制御が行われる。After the inspection, the LCD panel is unloaded.
The ULA carries the cassette CA1 or CA2 according to the determination result. This unloading arm ULA
Is mounted on the base BAS3, and the movement control is performed only in the X-axis direction in FIG.
箱状のコンタトクユニット(測定載置台)CUは、バッ
クライトを内蔵している。その表面には枠状のパネル吸
着部CPが設けられる。この吸着部CPは、液晶表示パネル
の画素が形成されない周辺部に対応した枠状をしてお
り、その高さがローディングアームLOD又はアンローデ
ィングアームULAの厚み(高さ)より高く形成されてい
る。吸着部CPの表面には、液晶表示パネルの裏面に対し
て真空吸着する小穴又は溝が設けられている。そして、
吸着部CPは、ローディングアームLOD又はアンローディ
ングアームULAを液晶表示パネルの裏面から引き抜き又
は挿入させるための切欠部が設けられている。The box-shaped contact unit (measurement mounting table) CU has a built-in backlight. On its surface, a frame-shaped panel suction section CP is provided. The suction portion CP has a frame shape corresponding to a peripheral portion of the liquid crystal display panel where pixels are not formed, and has a height higher than the thickness (height) of the loading arm LOD or the unloading arm ULA. . Small holes or grooves are provided on the surface of the suction portion CP for vacuum suction on the back surface of the liquid crystal display panel. And
The suction portion CP is provided with a cutout portion for pulling out or inserting the loading arm LOD or the unloading arm ULA from the back surface of the liquid crystal display panel.
なお、同図では省略されているが、上記コンタクトユ
ニットCUの上部には、それに搭載された液晶表示パネル
に対して、その電極に電気的に接触させるプローブアッ
セッブリが設けられている。上記コンタクトユニットCU
に液晶表示パネルが搭載されると、コンタクトユニット
CUがアップし、又は上記プローブアッセンブリがダウン
して上記プローブと電極との電気的接触が行われて、液
晶表示パネルの表示動作が可能にされる。Although not shown in the figure, a probe assembly is provided above the contact unit CU so as to make electrical contact with the electrodes of the liquid crystal display panel mounted thereon. Above contact unit CU
When a liquid crystal display panel is mounted on the
When the CU goes up or the probe assembly goes down to make electrical contact between the probe and the electrode, the display operation of the liquid crystal display panel is enabled.
また、上記プローブと電極との電気的接触が行われて
液晶表示パネルの表示動作が可能にされた状態、コンタ
クトユニットCUは同図に前面に対して傾斜させられ、前
面の検査者による目視検査に好適な角度に調整させられ
る。Also, in a state where the above-mentioned probe and the electrodes are electrically contacted and the display operation of the liquid crystal display panel is enabled, the contact unit CU is inclined with respect to the front surface in FIG. Is adjusted to a suitable angle.
以下、第1図と、第2図に示した概略平面図及び第3
図に示したコンタクトユニットCU部の概略側面図を参照
して、上記液晶表示パネル用プローバの動作の一例を説
明する。第3図に示すように、コンタクトユニットCU
は、ローディングアームLODが液晶パネルをカセットCA1
から取り出す際に障害にならないようにスウィングダウ
ンする。Hereinafter, the schematic plan view shown in FIG. 1, FIG.
An example of the operation of the above-described prober for a liquid crystal display panel will be described with reference to the schematic side view of the contact unit CU shown in FIG. As shown in FIG. 3, the contact unit CU
The loading arm LOD cassette LCD panel CA1
Swing down so you don't get in the way when removing it from.
(1)第1図に示すようにカセットCA1がロードボジシ
ョンの位置に移動され、検査を行うべき液晶表示パネル
が収納されている高さに対応してアップ/ダウンのコン
トロールが行われる。(1) As shown in FIG. 1, the cassette CA1 is moved to the load position, and the up / down control is performed in accordance with the height at which the liquid crystal display panel to be inspected is stored.
(2)ローデンィングアームLODは、所定のホームポジ
ションからスタートして、所定のθ及びX,Y動作を行っ
てアーム先端部分のチャックトップCT1を検査を行うべ
き液晶表示パネルを裏面側に挿入させ、その液晶表示パ
ネルを裏面から支えて真空吸着する。このとき、カセッ
トCA1は、上記チャックトップCT1が検査を行うべき液晶
表示パネルの裏面に挿入されると、カセット内部の突起
に変わってチャックトップCT1がそれを支えるよう微小
高さだけダウンする。(2) The loading arm LOD starts from a predetermined home position, performs predetermined θ, X, and Y operations, and inserts a liquid crystal display panel to be inspected for the chuck top CT1 at the tip of the arm on the back side. Then, the liquid crystal display panel is supported from the back surface and vacuum-sucked. At this time, when the chuck top CT1 is inserted into the back surface of the liquid crystal display panel to be inspected, the cassette CA1 is lowered by a minute height so that the chuck top CT1 supports it instead of a projection inside the cassette.
(3)チャックトップCT1が検査を行うべき液晶表示パ
ネルを裏面で真空吸着すると、ローディングアームLOD
は、第1図及び第2図で左方向に移動して、液晶表示パ
ネルと吸着部CPの関係位置をアライメントマークによっ
て検出すると、そのポイントで停止する。この信号を受
け取ると、コンタクトユニットCUがスウィングダウンを
行い、液晶表示パネルが第1図でいう右方向に移動し、
吸着部CP上で停止する。コンタクトユニットCUが所定距
離だけアップ動作を行う、その吸着部CPが液晶表示パネ
ルの裏面と接触すると、上記チャックトップの真空吸着
が解放され、これに代わって吸着部CPの真空吸着が開始
される。(3) When the chuck top CT1 vacuum-adsorbs the liquid crystal display panel to be inspected on the back side, the loading arm LOD
Moves leftward in FIGS. 1 and 2 and stops at that point when the relative position between the liquid crystal display panel and the suction portion CP is detected by the alignment mark. Upon receiving this signal, the contact unit CU performs a swing-down operation, and the liquid crystal display panel moves rightward in FIG.
Stop on the suction part CP. The contact unit CU performs an up operation by a predetermined distance. When the suction portion CP contacts the back surface of the liquid crystal display panel, the vacuum suction of the chuck top is released, and the vacuum suction of the suction portion CP is started instead. .
(4)ローディングアームLODは、第1図及び第2図の
左方向(X)に移動して上記コンタクトユニットCUの部
分からチャックトップCT1が抜き取られてパネル面から
離れる。そして、コンタクトユニットCUがアップ動作を
行い、それに搭載された液晶表示パネルの電極を第2図
に示すプローブアッセンブリPAのプローブに押し当てて
電気的接触を得る。(4) The loading arm LOD moves to the left (X) in FIGS. 1 and 2, and the chuck top CT1 is pulled out of the contact unit CU and separated from the panel surface. Then, the contact unit CU performs an up operation, and the electrodes of the liquid crystal display panel mounted thereon are pressed against the probes of the probe assembly PA shown in FIG. 2 to obtain electrical contact.
(5)上記(4)の動作に続いてローディングアームLO
Dは、ホームポジションに戻って停止する。(5) Following the operation of (4) above, loading arm LO
D returns to the home position and stops.
(6)ローディングアームLODの停止信号を受けて、第
3図に示すようにコンタクトユニットCUの下部に設けら
れた油圧シリンダーが作動して、液晶表示パネルの電極
にプローブアッセッブリのプローブが接触した状態のま
ま、言い換えるならば、同図では省略されているプロー
ブアッセッブリPAとともに所定傾斜角度までスイング動
作して停止する。このとき、上記スイング動作は、検査
者の背丈等に応じて最適視角が得られるように任意の角
度を持つように調整可能にされる。(6) In response to the stop signal of the loading arm LOD, the hydraulic cylinder provided below the contact unit CU operates as shown in FIG. 3, and the probe of the probe assembly contacts the electrode of the liquid crystal display panel. In other words, with the probe assembly PA omitted in the drawing, the swing operation is performed up to a predetermined inclination angle and the operation is stopped. At this time, the swing operation can be adjusted so as to have an arbitrary angle so as to obtain an optimum viewing angle according to the height of the examiner.
(7)検査者は、上記のような傾斜角度をもって液晶表
示パネルを点灯表示させ、予め決められた表示パターン
の検査基準にしたがって表示品質の良否判定を行う。(7) The inspector turns on and displays the liquid crystal display panel with the above-mentioned inclination angle, and determines the quality of the display quality according to a predetermined display pattern inspection standard.
(8)上記のようにコンタクトユニットCUとプローブア
ッセンブリが傾斜角を持って目視検査が行われるいる
間、次に検査を行うべき液晶表示パネルがある場合に
は、ローディングアームLODが再びホームポジションか
らスタートして、前記(2)の動作を行って次に検査す
べき液晶表示パネルをカセットCA1から取り出すともと
に、それを吸着した状態で第1図の左方向に移動し、液
晶表示パネルと吸着部CPの位置関係をアライメントマー
クによって検出し待機する。(8) While the contact unit CU and the probe assembly are being visually inspected at an inclined angle as described above, if there is a liquid crystal display panel to be inspected next, the loading arm LOD is again moved from the home position. After the start, the operation of (2) is performed, and the liquid crystal display panel to be inspected next is taken out of the cassette CA1, and the liquid crystal display panel is moved to the left in FIG. The position of the suction part CP is detected by the alignment mark, and the apparatus stands by.
(9)検査者が図外の操作パネルを操作して、検査終了
信号を送ると、コンタクトユニットCUが元の水平状態に
戻るととともにプローブアッセンブリに対して所定量だ
けZダウン動作を行って電極とプローブとを解放する。(9) When the inspector operates an operation panel (not shown) to send an inspection end signal, the contact unit CU returns to the original horizontal state, and performs a Z-down operation by a predetermined amount with respect to the probe assembly, thereby causing the electrodes to move. And release the probe.
(10)アンロードヘッドULAは、アームがホームポジシ
ョンからスタートして右方向にX移動して、そのアーム
の先端に設けられたチャックトップCT2を吸着部CPの切
欠部から挿入して液晶表示パネルの裏面に挿入させる。
そして、コンタクトユニットCUを微小量だけダウンさせ
てチャックトップCT2が液晶表示パネルの裏面を支える
と吸着部CPの真空吸着を解除して、それに代わってチェ
ックトップCT2の真空吸着を開始させる。このようにし
て、アンローディングアームULAのチャックトップCT2が
液晶表示パネルを受け取ると、右方向のアンロードポジ
ションまで液晶表示パネルを搬出させる。上記検査終了
信号を送るときに、不良品である旨を指示すると、カセ
ットCA2が第2図の点線で示した位置CA′に、またカセ
ットCA1はアンロードポジションに対応した位置にそれ
ぞれY移動し、その空室が搬出される液晶表示パネルの
位置に合うようアップ/ダウン制御が行われている。こ
れにより、不良品とされた液晶表示パネルはカセットCA
1に搬入される。これに対して、上記検査終了信号を送
るときに、良品である旨を指示すると、カセットCA1及
びCA2はそれぞれ第2図に示した位置にY移動し、その
空室が搬出される液晶表示パネルの位置に合うようアッ
プ/ダウン制御が行われている。これにより、良品とさ
れた液晶表示パネルはカセットCA2に搬入される。この
後、アンローディングアームULAは、ホームポジション
まで戻り停止する。(10) In the unload head ULA, the arm starts moving from the home position and moves rightward X, and the chuck top CT2 provided at the end of the arm is inserted from the notch of the suction part CP, and the liquid crystal display panel To the back of
Then, when the contact unit CU is lowered by a very small amount and the chuck top CT2 supports the back surface of the liquid crystal display panel, the vacuum suction of the suction portion CP is released, and the vacuum suction of the check top CT2 is started instead. Thus, when the chuck top CT2 of the unloading arm ULA receives the liquid crystal display panel, the liquid crystal display panel is carried out to the right unload position. When the inspection end signal is sent, indicating that the product is defective, the cassette CA2 moves to the position CA 'shown by the dotted line in FIG. 2 and the cassette CA1 moves to the position corresponding to the unload position. Up / down control is performed so as to match the position of the liquid crystal display panel from which the empty room is carried out. As a result, the defective LCD panel is replaced with the cassette CA
It is carried into 1. On the other hand, when the inspection end signal is sent, when indicating that the cassettes are non-defective, the cassettes CA1 and CA2 are each moved to the position shown in FIG. 2 by Y, and the empty room is carried out. Up / down control is performed so as to match the position. As a result, the non-defective liquid crystal display panel is carried into the cassette CA2. Thereafter, the unloading arm ULA returns to the home position and stops.
(11)上記アンローディングアームULAによりコンタク
トユニットCU上から液晶表示パネルが取り出されると、
上記(8)において待機していたローディングアームLO
Dが保持していた液晶表示パネルを前記同様にコンタク
トポイントまで搬送して前記(3)以降の動作を繰り返
す。以上の各動作を検査すべき液晶表示パネルが無くな
るまで行うことができる。(11) When the liquid crystal display panel is taken out of the contact unit CU by the unloading arm ULA,
Loading arm LO waiting in (8) above
The liquid crystal display panel held by D is conveyed to the contact point in the same manner as described above, and the operation after (3) is repeated. The above operations can be performed until there is no more liquid crystal display panel to be inspected.
第4図には、上記液晶表示パネル用プローバに用いら
れるプローブアッセンブリの一実施例の平面図が示され
ている。FIG. 4 is a plan view showing an embodiment of a probe assembly used in the above-described prober for a liquid crystal display panel.
この実施例では、液晶表示パネル(以下、単にLCDと
いう)パネルの持つ電極に対して比較的少ない数からな
る複数のプローブが固定的に設けられるプローブアッセ
ンブリユニットを用いる。すなわち、上記LCDパネルの
持つ多数の電極に対して分担させて上記各プローブアッ
センブリユニットを割り当てるようにする。特に制限さ
れないが、この実施例では、LCDパネルを横方向に走る
ように配置される走査線に対応した電極を3分割して、
3つからなるプローブアッセンブリユニットを設ける。
また、LCDパネルを縦方向に走るように配置される信号
線に対応した電極を4分割して、4つからなるプローブ
アッセンブリユニットを設ける。この場合、LCDパネル
の長手方向に配置される4つのプローブアッセンブリユ
ニットは、同一の信号線の両端に対して電気的接触を行
うようにするものである。このようにプローブを配置し
たときには、両端での導通チェックにより、信号線電極
の途中断線を簡単に検出することが可能となる。In this embodiment, a probe assembly unit is used in which a relatively small number of probes are fixedly provided for the electrodes of a liquid crystal display panel (hereinafter simply referred to as LCD). That is, the probe assembly units are assigned to a large number of electrodes of the LCD panel. Although not particularly limited, in this embodiment, the electrodes corresponding to the scanning lines arranged so as to run in the horizontal direction on the LCD panel are divided into three parts.
Three probe assembly units are provided.
Further, an electrode corresponding to a signal line arranged to run in the vertical direction on the LCD panel is divided into four parts, and four probe assembly units are provided. In this case, the four probe assembly units arranged in the longitudinal direction of the LCD panel make electrical contact with both ends of the same signal line. When the probe is arranged in this manner, it is possible to easily detect a break in the signal line electrode by checking the continuity at both ends.
上記のように同一の信号線の両端にプローブを割り当
てるものの他、LCDパネルの信号線電極を奇数番目と偶
数番目のものに分割し、例えば上側のプローブアッセッ
ブリユニットは1つおきに奇数番目の信号線電極に接続
し、下側のプローブアッセンブリユニットは、1つのお
きに偶数番目の信号線電極に接続するようにしてもよ
い。この場合は、プローブの数を半分にでき、かつその
ピッチを信号線電極のピッチの2倍に大きくすることが
できる。その反面、上記信号線に画素信号を供給し、画
素の明点検査や暗点検査により間接的に信号線の断線通
を検出するものとなる。In addition to assigning probes to both ends of the same signal line as described above, the LCD panel signal line electrodes are divided into odd-numbered and even-numbered ones. For example, every other probe assembly unit on the upper side is odd-numbered. , And the lower probe assembly unit may be connected to every other even-numbered signal line electrode. In this case, the number of probes can be halved and the pitch can be twice as large as the pitch of the signal line electrodes. On the other hand, a pixel signal is supplied to the signal line, and disconnection of the signal line is indirectly detected by a bright spot inspection or a dark spot inspection of the pixel.
このことは、LCDパネルの横方向に延長されるよう配
置される走査線電極に対応して、左右に3個ずつ設けら
れるプローブアッセンブリユニットにおいても同様であ
る。This is the same in the probe assembly units provided on the right and left three each corresponding to the scanning line electrodes arranged to extend in the lateral direction of the LCD panel.
LCDパネルの4つの各辺に対応して設けられる各プロ
ーブアッセンブリユニットは、同図に点線で示したタブ
取付基板によりそれぞれ共通に結合され、このタブ取付
基板を取付板に取り付けることによって、LCDパネルの
全電極に同時接触するプローブボードが構成される。The probe assembly units provided corresponding to the four sides of the LCD panel are commonly connected to each other by a tab mounting board indicated by a dotted line in FIG. The probe board which simultaneously contacts all the electrodes is constructed.
第5図には、上記プローブアッセンブリユニットの一
実施例の断面図が示されている。FIG. 5 is a sectional view of one embodiment of the probe assembly unit.
複数のプローブは、その先端が測定すべきLCDパネル
の電極のピッチに対応して位置合わせされ、その状態を
維持するよう支持体とプローブ押さえにより挟まれて固
定される。プローブ押さえは、特に制限されないが、熱
硬化性を持つ接着剤により構成される。半導体ウェハ用
の固定プローブボードと同様な技術を用いて上記プロー
ブの先端を揃えておき、その状態で支持体とプローブ押
さえにより複数のプローブを固定する。このように形成
された複数のプローブは、その先端が正しく位置合わせ
された関係で固定される。The plurality of probes are positioned so that their tips correspond to the pitch of the electrodes of the LCD panel to be measured, and are fixed by being sandwiched between the support and the probe holder so as to maintain the state. The probe holder is not particularly limited, but is made of a thermosetting adhesive. The tips of the probes are aligned using the same technique as the fixed probe board for a semiconductor wafer, and in this state, a plurality of probes are fixed by a support and a probe holder. The plurality of probes formed in this manner are fixed in such a manner that their tips are correctly aligned.
このように複数のプローブを固定する支持体は、プロ
ーブ取付体に接着される。プローブ取付体は、特に制限
されないが、表面が酸化処理されることにより、電気絶
縁性を持つようにされたアルミュニウムから構成され
る。プローブの接続端側は、特に制限されないが、フレ
キシブル配線基板の接続端に接続される。このフレキシ
ブル配線基板は、その一端側が上記プローブ取付体に接
着され、その配線がプローブの接続端側と半田等により
接続される。The support for fixing the plurality of probes in this manner is bonded to the probe mounting body. Although not particularly limited, the probe mounting body is made of aluminum oxide whose surface is oxidized to have electrical insulation. The connection end side of the probe is connected to the connection end of the flexible wiring board, although not particularly limited. One end of the flexible wiring board is bonded to the probe mounting body, and the wiring is connected to the connection end of the probe by soldering or the like.
タブ(TAB;Tape Automated Bonding)は、上記タブ取
付基板に取り付けられる。すなわち、前記実施例のよう
にLCDパネルの信号線に対して4つのプローブアッセン
ブリユニットを設ける場合には、4つのプローブアッセ
ンブリユニットに対応した4つのダブが取り付けられ
る。各タブには、ドライブ用ICが実装される。上記プロ
ーブが一端側に取り付けられたフレキシブル配線基板の
他端側は、上記タブに設けられる配線と半田を用いた熱
圧着又は適当な治具により電気的に接続される。The tab (TAB; Tape Automated Bonding) is attached to the tab attachment board. That is, when four probe assembly units are provided for the signal lines of the LCD panel as in the above embodiment, four dubs corresponding to the four probe assembly units are attached. A drive IC is mounted on each tab. The other end of the flexible wiring board having the probe attached to one end is electrically connected to the wiring provided on the tab by thermocompression bonding using solder or an appropriate jig.
上記タブ取付基板の上面側には、各プローブアッセン
ブリユニットに対応して設けられるアッセンブリ取付板
が設けられる。このアッセンブリ取付板は、上記タブ取
付基板側と各プローブ取付体とを一時的に結合させるた
めに用いられる。例えば、上記タブ取付基板により4個
のプローブ取付体が上記アッセンブリ取付板を介して一
体的に構成される。このとき、タブ取付基板とアッセン
ブリ取付板とは、取付ネジにより固定され、アッセンブ
リ取付板とプローブ取付体とは、プローブ群取付ネジに
より仮止される。例えば、適当な位置合わせ治具を用
い、4個からなるプローブ取付体のプローブの先端が、
LCDパネルの信号線電極に合うようし、上記ローブ群取
付ネジにより仮止する。On the upper surface side of the tab mounting board, an assembly mounting plate provided corresponding to each probe assembly unit is provided. This assembly mounting plate is used for temporarily connecting the tab mounting board side to each probe mounting body. For example, four probe mounting bodies are integrally formed by the tab mounting board via the assembly mounting plate. At this time, the tab mounting board and the assembly mounting plate are fixed by mounting screws, and the assembly mounting plate and the probe mounting body are temporarily fixed by the probe group mounting screws. For example, using an appropriate positioning jig, the tip of the probe of
Temporarily fix with the lobe group mounting screw so that it matches the signal line electrode of the LCD panel.
第6図には、上記プローブアッセンブリユニットが取
付板に取り付けられた状態の一実施例の断面図が示され
ている。FIG. 6 is a sectional view showing an embodiment in which the probe assembly unit is mounted on a mounting plate.
上記のように仮止されたプローブアッセンブリユニッ
トは、ネジAにより取付板に取り付けられる。そして、
取付板の上面側に固定的に搭載されたマニピュレータの
アームが取付板の開口部を通して下側に延び、プローブ
取付体のネジ穴とネジBにより固定される。この後、ア
ームに設けられた貫通穴を通して上記仮止されたプロー
ブ群取付ネジが取り除かれる。このため、プローブ取付
体は、アッセンブリ取付板から解放され、マニピュレー
タのアームの動きに従い、X,Y,Z及びθ方向の微調整さ
れる。これは、上記タブ取付基板により各辺に対応した
プローブ群のプローブ先端は、上記のように位置合わせ
されているが、それを1つの取付体に共通に取り付けた
ときの相互の位置ずれを上記マニピュレータの調整によ
り補正するものである。このプローブ先端の補正は、第
4図に示すように、LCDパネルの各電極に各プローブア
ッセンブリユニットとプローブ先端が合うよう、各プロ
ーブアッセンブリユニット毎に行うものである。このと
き、取付板に対してネジAにより固定的にアッセンブリ
取付板、タブ取付基板及びタブが取り付けられている
が、タブとプローブ取付体とはフレキシブル配線基板に
より接続されている。これにより、上記プローブ取付体
はマニピュレータのアームの動きに応じて自由に位置調
整される。The probe assembly unit temporarily fixed as described above is mounted on the mounting plate with screws A. And
An arm of the manipulator fixedly mounted on the upper surface side of the mounting plate extends downward through the opening of the mounting plate, and is fixed by a screw hole and a screw B of the probe mounting body. Thereafter, the probe group fixing screw temporarily fixed through the through hole provided in the arm is removed. Therefore, the probe mounting body is released from the assembly mounting plate, and is finely adjusted in the X, Y, Z, and θ directions according to the movement of the arm of the manipulator. This is because the tip of the probe of the probe group corresponding to each side by the tab mounting board is aligned as described above, but the mutual displacement when it is commonly mounted on one mounting body is described above. The correction is performed by adjusting the manipulator. The correction of the probe tip is performed for each probe assembly unit so that each probe assembly unit and the probe tip are aligned with each electrode of the LCD panel as shown in FIG. At this time, the assembly mounting plate, the tab mounting substrate, and the tab are fixedly attached to the mounting plate with the screw A, and the tab and the probe mounting body are connected by the flexible wiring substrate. Thereby, the position of the probe mounting body can be freely adjusted according to the movement of the arm of the manipulator.
なお、上記のように4個からなるタブ取付基板を1つ
の取付板に取り付けるとき、専用の調整治具を用いて全
ピンのプローブの先端が基準面に合うように予め調整す
ることにより、取付板に取り付けてからマニピュレータ
による調整を大幅に省略化することができる。When the four tab mounting substrates are mounted on one mounting plate as described above, the mounting is performed by using a special adjustment jig to adjust the tips of the probes of all the pins in advance so as to match the reference surface. Adjustment by the manipulator after attaching to the plate can be largely omitted.
上記第5図及び第6図では省略されているが、プロー
ブは支持体とプローブ押さえにより挟まれて固定支持さ
れる。そして、フレキシブル配線基板は、プローブが設
けられる下面側に接着され、その下面に設けられる配線
パターンと上記プローブの接続端側が半田等により固定
される。プローブ取付体の上面側における段差を設けら
れることにより高くされた先端部に設けられた2つのネ
ジ穴は、上記マニピュレータのアームと結合させるとき
に用いられるものであり、上記段差により低くされ、ア
ッセンブリ取付板に対応した部分に設けられる1つのネ
ジ穴は、アッセンブリ取付板に対して仮止に用いられる
プローブ群取付ネジに用いられる。Although omitted in FIGS. 5 and 6, the probe is fixedly supported by being sandwiched between the support and the probe holder. The flexible wiring board is adhered to the lower surface on which the probe is provided, and the wiring pattern provided on the lower surface and the connection end of the probe are fixed by solder or the like. The two screw holes provided at the distal end raised by the provision of a step on the upper surface side of the probe mounting body are used for coupling with the arm of the manipulator. One screw hole provided in a portion corresponding to the mounting plate is used for a probe group mounting screw used for temporary fixing to the assembly mounting plate.
上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りで
ある。すなわち、 (1)パネル搬送装置により検索を行うべき複数の液晶
表示パネルが水平状態に置かれて収納される収納容器の
液晶表示パネルをその裏面側から支えるとともに真空吸
着して取り出し又は検査が終了した液相表示パネルを所
定の収納容器に収めるとともに、バックライトが内蔵さ
れ、上記真空吸着するアームの厚みより高い高さを持
ち、上記ローディングの部分を除く液晶表示パネルの周
辺部を真空吸着する吸着部を備えた測定載置台に載せら
れた液晶表示パネルの電極に対してプローブアッセンブ
リにより電気的接触を行うとともに、表示目視検査を行
うときにプローブアッセンブリのプローブと接触された
状態で測定載置台を検査者との視角に対して所定角度に
傾ける角度調整機構を設けることにより、比較的大型で
重量のある液晶表示パネルの自動搬送が可能となり、目
視検査のときに液晶表示パネルの電極にプローブを当て
た状態で測定載置台を検査者との視角に対応して傾ける
ことができから検査能率の向上を図ることができるとい
う効果が得られる。The operational effects obtained from the above embodiment are as follows. That is, (1) a plurality of liquid crystal display panels to be searched by the panel transport device are placed in a horizontal state, and the liquid crystal display panels of the storage container in which the liquid crystal display panels are stored are supported from the back side and vacuum suctioned to take out or inspection is completed. A liquid crystal display panel is housed in a predetermined storage container, a backlight is built in, the height is higher than the thickness of the vacuum suction arm, and the liquid crystal display panel peripheral portion excluding the loading portion is vacuum suctioned. The probe assembly makes electrical contact with the electrodes of the liquid crystal display panel mounted on the measurement mounting table provided with the suction section, and the measurement mounting table is in contact with the probe of the probe assembly when performing a display visual inspection. By providing an angle adjustment mechanism that tilts the camera at a predetermined angle with respect to the viewing angle with the inspector, it is relatively large and lightweight. The liquid crystal display panel can be automatically transported, and the inspection table can be tilted according to the viewing angle with the inspector while the probe is in contact with the electrodes of the liquid crystal display panel during visual inspection, improving inspection efficiency. Is obtained.
(2)ローディングアームとアンローディングアームと
を設けるとともに、目視検査によりコンタクトユニット
が所定角度を持って傾斜させられているときに、その裏
面側を通って次に検査を行うべき液晶表示パネルをカセ
ットから搬出させて待機させるようにすることによっ
て、液晶表示パネルの自動搬送を効率よく行うことがで
きるという効果が得られる。(2) A loading arm and an unloading arm are provided, and when the contact unit is inclined at a predetermined angle by visual inspection, the liquid crystal display panel to be inspected next passes through the back surface side of the cassette. The liquid crystal display panel can be efficiently conveyed by carrying it out of the apparatus and making it stand by.
以上本発明者によりなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、カセットCA1
とCA2は、上方向又は下方向に移動させて、そのY方向
の位置関係の入れ替えを行うようにするものであっても
よい。この場合、水平方向のストロークが小さくできる
から、使用するカセットの兼用が利用できることの他、
装置全体の床面積を小さくすることができる。Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention of the present application is not limited to the embodiment, and it is needless to say that various changes can be made without departing from the gist of the invention. Nor. For example, cassette CA1
And CA2 may be moved upward or downward to exchange the positional relationship in the Y direction. In this case, the stroke in the horizontal direction can be reduced, so that the dual use of the cassette to be used can be utilized.
The floor area of the entire apparatus can be reduced.
また、プローブアッセンブリの構成は、液晶表示パネ
ルの電気的接触が行われるものであれば何であってもよ
い。Further, the configuration of the probe assembly may be any as long as electrical contact of the liquid crystal display panel is made.
この発明は、液晶表示パネルの目視による表示検査に
用いられる液晶表示パネル用プローバとして広く利用で
きる。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely used as a prober for a liquid crystal display panel used for visual display inspection of the liquid crystal display panel.
本願において開示される発明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、パネル搬送装置により検査を行うべき複
数の液晶表示パネルが水平状態に置かれて収納される収
納容器の液晶表示パネルをその裏面側から支えるととも
に真空吸着して取り出し又は検査が終了した液晶表示パ
ネルを所定の収納容器に収めるとともに、バックライト
が内蔵され、上記真空吸着するアームの厚みより高い高
さを持ち、上記ローディングの部分を除く液晶表示パネ
ルの周辺部を真空吸着する吸着部を備えた測定載置台に
載せられた液晶表示パネルの電極に対してプローブアッ
センブリにより電気的接触を行うとともに、表示目視検
査を行うときにプローブアッセンブリのプローブと接触
された状態で測定載置台を検査者との視角に対応して所
定角度に傾ける角度調整機構を設けることにより、比較
的大型で重量のある液晶表示パネルの自動搬送が可能と
なり、目視検査のときに液晶表示パネルの電極にプロー
ブを当てた状態で測定載置台を検査者との視角に対応し
て傾けることができから検査能率の向上を図ることがで
きる。The effect obtained by the representative one of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows. That is, a plurality of liquid crystal display panels to be inspected by the panel transport device are placed in a horizontal state, and the liquid crystal display panel of the storage container in which the liquid crystal display panel is held is supported from the back side thereof, and is taken out by vacuum suction or the inspection is completed. Along with holding the panel in a predetermined storage container, a backlight is built in, a height higher than the thickness of the vacuum suction arm is provided, and a suction portion for vacuum suction of a peripheral portion of the liquid crystal display panel excluding the loading portion is provided. The probe assembly makes electrical contact with the electrodes of the liquid crystal display panel mounted on the measurement mounting table, and when the display visual inspection is performed, the measurement mounting table is in contact with the probe of the probe assembly and the inspector. By providing an angle adjustment mechanism that tilts to a predetermined angle corresponding to the viewing angle of a relatively large and heavy liquid Automatic transfer of the display panel is possible, and the inspection stage can be tilted according to the viewing angle with the inspector while the probe is in contact with the electrodes of the liquid crystal display panel during visual inspection, thereby improving inspection efficiency. be able to.
第1図は、この発明に係る液晶表示パネル用プローバの
一実施例を示す要部概略斜視図、 第2図は、この発明に係る液晶表示パネル用プローバの
一実施例を示す概略平面図、 第3図は、コンタクトユニット部の一実施例を示す概略
側面図、 第4図は、この発明に係る表示パネル用プローバに用い
られるプローブアッセンブリの一実施例を示す平面図、 第5図は、そのプローブアッセンブリユニットの一実施
例を示す断面図、 第6図は、上記プローブアッセンブリユニットが取付板
に取り付けられた状態の一実施例を示す断面図である。 BAS1〜BAS3……ベース、CA1,CA2……カセット(収納容
器)、LOD……ローディングアーム、ULA……アンローデ
ィングアーム、CT1,CT2……チャックトップ、CP……吸
着部、CU……コンタクトユニット、PA……プローブアッ
センブリ。FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of a prober for a liquid crystal display panel according to the present invention, FIG. 2 is a schematic plan view showing an embodiment of a prober for a liquid crystal display panel according to the present invention, FIG. 3 is a schematic side view showing an embodiment of a contact unit, FIG. 4 is a plan view showing an embodiment of a probe assembly used in a display panel prober according to the present invention, FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view showing one embodiment of the probe assembly unit. FIG. 6 is a cross-sectional view showing one embodiment in which the probe assembly unit is mounted on a mounting plate. BAS1 to BAS3: Base, CA1, CA2: Cassette (storage container), LOD: Loading arm, ULA: Unloading arm, CT1, CT2: Chuck top, CP: Suction unit, CU: Contact unit , PA …… Probe assembly.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−124740(JP,A) 特開 平1−203945(JP,A) 特開 昭58−63917(JP,A) 特開 平1−254914(JP,A) 特開 平1−144092(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/13 101 G02F 1/1345 Continuation of the front page (56) References JP-A-1-124740 (JP, A) JP-A-1-203945 (JP, A) JP-A-58-63917 (JP, A) JP-A-1-254914 (JP) , A) JP-A-1-140992 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G02F 1/13 101 G02F 1/1345
Claims (3)
平状態に置かれて収納される収納容器と、この収納容器
の液晶表示パネルを水平状態でその裏面側から支えると
ともに真空吸着して取り出し又は検査が終了した液晶表
示パネルを所定の収納容器に収めるパネル搬送装置と、
バックライトが内蔵され、上記真空吸着するアームの厚
みより高い高さを持ち、上記ローディングの部分を除く
液晶表示パネルの周辺部を真空吸着する吸着部を備えた
測定載置台と、この測定載置台に載せられた液晶表示パ
ネルの電極に対して電気的接触を行うプローブアッセン
ブリと、上記液晶表示パネルを搬入又は搬出させるとき
には水平状態とし、表示目視検査を行うときにプローブ
アッセンブリのプローブと接触された状態で測定載置台
を検査者との視角に対応して所定角度に傾ける角度調整
機構とを備えてなることを特徴とする液晶表示パネル用
プローバ。1. A storage container in which a plurality of liquid crystal display panels to be inspected are placed in a horizontal state and stored, and the liquid crystal display panel of the storage container is supported in a horizontal state from the back side and taken out by vacuum suction. Or, a panel transport device that stores the liquid crystal display panel that has been inspected in a predetermined storage container,
A measuring stage having a built-in backlight, having a height higher than the thickness of the arm for vacuum suction, and having a suction portion for vacuum-suctioning the periphery of the liquid crystal display panel except for the loading portion; A probe assembly for making electrical contact with the electrodes of the liquid crystal display panel mounted on the display panel, and a horizontal state when loading or unloading the liquid crystal display panel, and being in contact with the probe of the probe assembly when performing a display visual inspection. A prober for a liquid crystal display panel, comprising: an angle adjustment mechanism for inclining the measurement mounting table to a predetermined angle corresponding to a viewing angle with an inspector in a state.
パネルを収納容器から測定載置台まで搬出させるローデ
ィングアームと、検査が終了した液晶表示パネルを所定
の収納容器まで搬入させるアンローディングアームとか
らなるものであることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の液晶表示パネル用プローバ。2. The transfer device according to claim 1, further comprising: a loading arm for carrying out the liquid crystal display panel to be inspected from the storage container to the measuring table; and an unloading arm for carrying the liquid crystal display panel having been inspected into the predetermined storage container. Claim 1 characterized by the following:
A prober for a liquid crystal display panel according to the item.
の収納容器が上記搬送装置に対応したロードボジション
とアンロードボジションとの間を移動可能とし、その検
査結果に応じて空室に検査が終了した液晶表示パネルが
搬入されるものであることを特徴とする特許請求の範囲
第1又は第2項記載の液晶表示パネル用プローバ。3. The storage container moves up and down and allows the same storage container to move between a load position and an unload position corresponding to the transfer device, and an inspection is performed in an empty room according to the inspection result. 3. The prober for a liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the completed liquid crystal display panel is carried in.
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