JP2866060B2 - 少なくとも１つの測定管を有するコリオリ質量流量計 - Google Patents

少なくとも１つの測定管を有するコリオリ質量流量計

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定流体に対す
る少なくとも１つの測定管を有する、コリオリ方式によ
る質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】同一出願人のＷＯ−Ａ９５／０３５２８
に記載された質量流量計は、被測定流体の通流する、所
定の直径の管路の経路中に、軸方向にこの管路と一直線
にフランジを介して挿入することができ、流体が通流
し、フランジ間に延在する直線状の測定管を有し、測定
管に平行に配置され、通流しない直線状の盲管を有し、
入口側および出口側ノード板を有し、該ノード板の一方
は、測定管の入口側端部を盲管の相応の端部で固定し、
前記ノード板の他方は、測定管の出口側端部を盲管の相
応する端部で固定し、支持管を有し、該支持管のそれぞ
れの端部は、それぞれフランジに固定されており、測定
管に共振振動を励振するため盲管にのみ係合する手段を
有し、支持管に取り付けられ、信号を出力するための加
速度センサとを有し、前記信号によって支持管の振動が
最小にされるよう構成されている。
【０００３】同一出願人のＵＳ−Ａ４９４９５８３には
さらに、ただ１つの直線状測定管を有する質量流量計が
記載されている。この質量流量計は、その横断面の蠕動
振動に励振される。
【０００４】実際には、冒頭に述べた形式の質量流量計
は振動に対する不感度の点で最適ではない。この振動は
管路から発生するものであり、この管路は例えば質量流
量検出器に挿入されていて、例えば振動しているポンプ
に戻る。このポンプが管路内の質量流に作用する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、管路
から発生する振動に対する不感度をさらに改善し最適化
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によ
り、所定の直径を有し、被測定流体の通流する管路の経
路中に、当該管路と一直線に、フランジを介して挿入可
能であるコリオリ質量流量計であって、該コリオリ質量
流量計は、流体の通流する少なくとも１つの測定管と、
少なくとも１つの支持管と、測定管を共振振動させるた
めの手段と、第１および第２の速度センサと、第１およ
び第２の加速度センサとを有し、前記測定管は前記フラ
ンジ間に延在し、かつ当該フランジに固定されており、
前記支持管のそれぞれの端部は、それぞれフランジに固
定されており、前記測定管と支持管とは相互に平行にフ
ランジ間に延在しており、前記第１および第２の速度セ
ンサは測定管の振動を検出するものであり、かつ当該速
度センサは測定管に沿ってずらして配置されており、前
記第１および第２の加速度センサは、質量流量計の動作
中にコリオリの力が発生する面との交線に沿って、支持
管にずらして固定されており、速度センサの信号、およ
び加速度センサの信号から質量流量信号が形成されるよ
うに構成されたコリオリ質量流量計よって解決される。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の有利な実施例では、ただ
１つの測定管が設けられる。本発明の別の有利な実施例
では、ただ１つの測定管が設けられ、この測定管が１つ
の平面上に曲がられて延在する。
【０００８】本発明のさらに別の有利な実施例では、速
度センサの信号および、加速度センサの信号から質量流
量に対する信号を形成する手段は、部分回路を有し、該
部分回路は、第１の減算器と、第２の減算器と、第１の
加算器と、第１の乗算器と、第２の乗算器と、積分器
と、第２の加算器と、第１のインバータと、第１のスイ
ッチと、第２のインバータと、第２のスイッチと、閾値
スイッチと、第１のローパスフィルタと、第２のローパ
スフィルタと、分配器とからなり、前記第１の減算器の
マイナス入力側には第１の加速度センサが接続されてお
り、プラス入力側には第２の加速度センサが接続されて
おり、前記第２の減算器のマイナス入力側には第１の速
度センサが接続されており、プラス入力側には第２の速
度センサが接続されており、前記第１の加算器の第１の
入力側には第１の速度センサが、第２の入力側には第２
の速度センサが接続されており、前記第１の乗算器の第
１の入力側には第１の減算器の出力側が接続されてお
り、第２の入力側には第１の較正係数が供給され、該第
１の較正係数は、管路に作用する振動が存在するときに
較正によって求められたものであり、前記第２の乗算器
の第１の入力側には第１の加算器の出力側が接続されて
おり、第２の入力側には第２の較正係数が供給され、該
第２の較正係数は、管路に作用する振動が存在しないと
きに較正によって求められたものであり、前記積分器の
入力側には第２の減算器の出力側が接続されており、前
記第２の加算器の第１の入力側には第１の乗算器の出力
側が、第２の入力側には積分器の出力側が接続されてお
り、前記第１のインバータは第２の加算器の出力側に接
続されており、前記第１のスイッチの第１の入力側は第
２の加算器の出力側に、第２の入力側は第１のインバー
タの出力側に接続されており、前記第２のインバータは
第２の乗算器の出力側に接続されており、前記第２のス
イッチの第１の入力側は第２の乗算器の出力側に、第２
の入力側は第２のインバータの出力側に接続されてお
り、前記閾値スイッチの信号入力側は第２の乗算器の出
力側に接続されており、閾値入力側は回路ゼロ点に接続
されており、出力側は第１ないし第２のスイッチのそれ
ぞれ制御入力側に接続されており、前記第１のローパス
フィルタは第１のスイッチの出力側に後置接続されてお
り、前記第２のローパスフィルタは第２のスイッチの出
力側に後置接続されており、当該ローパスフィルタは上
側遮断周波数を有し、該遮断周波数は入力信号に発生す
る最高周波数より約１オーダーだけ低い周波数であり、
前記分配器の被分配入力側には第１のローパスフィルタ
の出力側が、分配入力側には第２のローパスフィルタの
出力側が接続されており、さらに出力側は質量流量信号
を送出するように構成される。
【０００９】前記の構成でも、本発明の実施例では第１
の減算器と加速度センサを、回転振動を検出するただ１
つの加速度センサにより置換することができる。
【００１０】
【実施例】図１には、質量流量計の機械部分の垂直一部
断面図が示されている。この質量流量計の質量流量検出
器１は、被測定流体の通流する、所定の直径の管路（た
だし見やすくするため図示していない）の経路中に、フ
ランジ２、３を介して挿入される。
【００１１】実施例の質量流量検出器１はただ１つの直
線状測定管４を有し、この測定管はそれぞれ端部がそれ
ぞれフランジ２、３のところで、例えば端板１３、１４
を介して固定されている。端板にはそれぞれ測定管４の
端部が密に、特に気密に接合されており、例えば溶接、
ろう付けまたは圧延されている。未公開の欧州出願９５
８１０１９９．０参照。
【００１２】ただ１つの直線状測定管の代わりに本発明
の構成では、１平面に曲げられて延在するただ１つの測
定管、例えば円形セクタ状の測定管を使用することがで
きる。しかし複数の、例えば２つの測定管を使用するこ
とも可能であり、また本発明では冒頭に述べたＷＯ−Ａ
９５／０３５２８に相応する、測定管と盲管とを有する
質量流量検出器を使用することもできる。
【００１３】フランジ２、３と端板１３、１４は支持管
１５に、または支持管内に固定されている。図１では、
フランジ２、３はねじにより支持管１５に固定されてい
る。これらねじ５の１つが右上部分の断面に完全に示さ
れている。端板１３、１４は支持管１５の内壁と密に、
特に気密に溶接またはろう付けすることができる。しか
し支持管１５と端板１３、１４を一体に構成することも
できる。
【００１４】測定管４を共振振動、有利には共振撓み振
動に励振するための手段として、例えば電動駆動装置１
６が用いられる。この電動駆動装置は、フランジ２、３
と端板１３、１４の間の中央に配置され、また支持管１
５と測定管４との間の中間室に配置されている。この電
動駆動装置はまた、測定管４に固定された永久磁石１６
１と、支持管１５に固定されたコイル１６２とを有し、
コイルには永久磁石１６１が入り込み、この中を往復運
動する。測定管を共振振動に励振させる手段にはその他
に、ＵＳ−Ａ４８０１８９７に記載されたような駆動回
路がある。
【００１５】支持管１５と測定管４との間の中間室には
さらに、測定管の振動に対する第１と第２の速度センサ
１７、１８が配置されている。これらの速度センサは、
有利には駆動装置１６から等距離に、すなわち測定管４
の中央から等距離に測定管に沿ってずらして配置されて
いる。
【００１６】測定管４の中央からの速度センサ１７、１
８の間隔が異なる場合、または相互に異なる感度を有す
る場合は、これに起因する非対称性を後置接続された増
幅器の増幅係数によって補償しなければならない。
【００１７】速度センサ１７、１８は例えば前記のＵＳ
−Ａ４８０１８９７に記載された形式の光学的速度セン
サとすることができる。しかし有利には、速度センサ１
７、１８は測定管４に固定されたそれぞれ１つの永久磁
石１７１ないし１８１と、支持管１５に固定されたそれ
ぞれ１つのコイル１７２ないし１８２を有する。それぞ
れの速度センサ１７ないし１８にはそれぞれ信号ｘ１
７，ｘ１８が発生する。
【００１８】支持管１５には第１および第２の加速度セ
ンサ１９、２０が、質量流量計の動作中にコリオリの力
が発生する平面との交線の沿ってずらして配置されてい
る。それぞれの加速度センサ１９ないし２０にはそれぞ
れ信号ｘ１９，ｘ２０が発生する。
【００１９】前記の平面は図１では図平面である。なぜ
なら、駆動装置１６は測定管４を図平面で撓み振動さ
せ、従ってこの平面にコリオリの力が発生するからであ
る。従って前記の交線は図１で見ると支持管１５の境界
線１５１である。有利には２つの加速度センサ１９、２
０は支持管１５から同じ間隔を有する。この間隔は上に
述べた速度センサ１７、１８の間隔と同じである必要は
ない。
【００２０】できるだけ大きなＳ／Ｎ比を得るために、
間隔は有利にはできるだけ大きく選択する。間隔が相互
に異なる場合には速度センサについて上に述べた相応に
当てはまる。
【００２１】有利には前記の信号ｘ１７…ｘ２０をでき
るだけセンサの近傍で次のようにノイズ信号の影響を受
けないようにする。すなわち狭帯域ろ波し、このフィル
タの中央周波数が測定管４の振動周波数であるようにす
る。このために設けられたバンドパスフィルタの中央周
波数はしたがってそれぞれ調整可能でなければならな
い。
【００２２】図１にはさらに、支持管１５に固定された
ケーシング２１が示されている。このケーシングは線路
の保護に用いる。線路は駆動装置１６、速度センサ１
７、１８および加速度センサ１９、２０に接続されてい
るが、見やすくするため図示されていない。
【００２３】ケーシング２１には首状の連結部材２２が
設けられている。この連結部材には部分的に図示された
電子部品ケーシング２３が取り付け固定されている。こ
の電子部品ケーシングは質量流量計の駆動および評価電
子回路全体を収容するためのものである。
【００２４】連結部材２２と電子回路ケーシング２３が
支持管１５の振動特性に不利な影響を与える場合には、
これらを質量流量計１とは別個に配置することもでき
る。この場合は電子回路と質量流量計１との間を線路で
接続すればよいだけである。
【００２５】図２には、速度センサ１７、１８の信号ｘ
１７，ｘ１８と加速度センサ１９、２０の信号ｘ１９，
ｘ２０からノイズをほぼ除去した質量流量信号を形成す
るための手段が示されている。この手段は図２に含まれ
る部分回路を有する。
【００２６】第１の加速度センサ１９は第１の減算器３
１のマイナス入力側に接続されており、第２の加速度セ
ンサ２０はこの減算器３１のプラス入力側に接続されて
いる。さらに第１の速度センサ１７は第２の減算器３２
のマイナス入力側に、第２の速度センサはこの減算器３
２のプラス入力側に接続されている。第１の速度センサ
１７はまた第１の加算器３３のプラス入力側と、第２の
速度センサ１８はこの加算器の第２のプラス入力側と接
続されている。
【００２７】第１の減算器３１の出力側は第１の乗算器
３５の第１の入力側と接続されている。この乗算器の第
２の入力側には、管路に振動が作用する際に較正によっ
て求められた第１の較正係数Ｋ１が供給される。さらに
第１の加算器３３の出力側は第２の乗算器３６の第１の
入力側に接続されており、これの第２の入力側には管路
に振動が作用しないときに較正によって求められた第２
の較正係数Ｋ２が供給される。
【００２８】両方の較正係数Ｋ１，Ｋ２は通常のよう
に、質量流量計の作製後の較正によって、すなわち既知
の質量流を、当該質量流量計がこの既知の質量流に対し
て測定した質量流値と比較することによって求められ、
引き続き質量流量計に備わっている記憶装置、例えばＥ
ＥＰＲＯＭ（電気的消去および書き込み可能な読み出し
専用メモリ）または類似の半導体メモリにファイルされ
る。
【００２９】さらに積分器３７の入力側には第２の減算
器３２の出力側が接続されている。第１の乗算器３５の
出力側は第２の加算器３４のプラス入力側と接続されて
おり、その第２のプラス入力側には積分器３７の出力側
が接続されている。
【００３０】第２の加算器３４の出力側は第１のインバ
ータ３８の入力側と接続されている。第１のインバータ
は、加算器３４の出力側にアナログ信号が発生する場合
には例えば−１乗算段により、加算器３４の出力側にデ
ジタル信号が発生する場合には例えばデジタルインバー
タにより実現することができる。
【００３１】第２の加算器３４と第１のインバータ３８
の出力側はそれぞれ第１のスイッチ３９の第１および第
２の入力側にそれぞれ接続されている。
【００３２】第２の乗算器３６の出力側は第２のインバ
ータ４０の入力側に接続されている。第２のインバータ
は、第２の乗算器３６の出力側にアナログ信号が発生す
る場合は例えば−１による乗算段により、第２の乗算器
３６の出力側にデジタル信号が発生する場合には例えば
デジタルインバータにより実現することができる。
【００３３】閾値回路４２の信号入力側には第２の乗算
器３６の出力側が接続されており、閾値入力側は回路ゼ
ロ点である。閾値回路４２の出力信号はスイッチ３９な
いし４１をそれぞれ制御する。
【００３４】第１のインバータ、第１のスイッチ３９お
よび閾値スイッチ４０ないし第２のインバータ４０、第
２のスイッチ３９および閾値スイッチ４０はそれぞれ第
１ないし第２の同期整流器の機能を有している。
【００３５】第２の同期整流器の代わりにはピーク値整
流器を設けることもできる。このピーク値整流器の入力
側は第２の乗算器３６の出力側に接続され、半波整流器
または全波整流器とすることができる。
【００３６】スイッチ３９ないし４１の出力側には第１
ないし第２のローパスフィルタ４３、４４が後置接続さ
れる。両方のローパスフィルタはそれぞれ上側遮断周波
数を有し、この周波数は入力信号中の、すなわちそれぞ
れのスイッチ３９ないし４１の出力信号中の最高周波数
より約１オーダーだけ小さい。
【００３７】さらに第１のローパスフィルタ４３の出力
側は分配器４５の被分配入力側に接続され、分配器の分
配入力側は第２のローパスフィルタ４４の出力側と接続
されている。分配器４５の出力側は質量流量信号ｑを送
出する。
【００３８】図３には部分的に、図２の回路の変形が示
されている。図３では、図２の第１の減算器３１、およ
び図１の２つの加速度センサ１９、２９の代わりに、回
転振動を検出するただ１つの加速度センサ１９’が設け
られている。この回転振動を検出する加速度センサは有
利には支持管１５の中央に配置され、、図１には破線で
示してある。このセンサはさらに第１の乗算器３５の第
１の入力側と接続されている。
【００３９】図２および図３の回路は、この中に含まれ
る部分回路が、加速度センサおよび速度センサにより形
成されたアナログ信号をアナログで処理する回路である
ことを前提としている。しかし本発明の枠内で、このよ
うなアナログ回路の代わりに相応のデジタル回路を使用
することもできる。これは上ですでにインバータ３８に
ついて述べたとおりである。
【００４０】しかしこの場合、加速度センサと速度セン
サはデジタル信号を出力するものに置換される。または
加速センサと速度センサの出力側にＡ／Ｄ変換器を後置
接続する。
【００４１】図２と図３の回路およびその機能を以下説
明する。質量流量計１の動作状態に対しては、３つの異
なる振動モードが定義される。これらのモードにはそれ
ぞれ１つの（数学的意味での）複素振動振幅を割り当て
ることができる。
【００４２】この複素振動振幅はそれぞれ大文字で、例
えば一般的にＹにより示されている。このうち、測定さ
れた（実数）信号のそれぞれの振幅は相応の小文字、例
えばｙにより示す。したがってこの一般的関連に対して
は、
【００４３】
【数１】
【００４４】が当てはまる。式（１）（２）中、 ｊ＝√（−１） Ω＝２πｆ；ｆは測定管４の振動周波数、 ｔ；時間変数、 Ｒｅ；複素振幅の実数部を送出する演算子、 ｜ ｜；複素振幅の絶対値を送出する演算子、 ａｒｃ；複素振幅の位相を送出する演算子、 である。
【００４５】質量流量計の上記の振動モードに戻るため
には、測定管４は（複素）振れ振幅ＡＡによる駆動モー
ドと、（複素）振れ振幅ＡＣによるコリオリモードとを
有する。一方、支持管１５は（複素）振れ振幅ＡＲによ
る回転モードを有する。
【００４６】コリオリモードの振れ振幅ＡＣに対しては
次の励振式を立てることができる。
【００４７】
【数２】 ここから（複素）質量流量Ｑが次のように得られる。
【００４９】
【数３】
【００５０】式（３）と（４）では次式が当てはまる。
【００５１】ＫＡ：測定管４の励起された振動の（実
数）伝達係数、この係数は前記の較正によって求めら
れ、したがって上記の係数Ｋ２と等しい、 ＫＣ：測定管４のコリオリモードの（実数）伝達係数、 ＫＲ：支持管１５の障害により励振された回転振動の
（実数）伝達係数、この係数は前記の較正によって求め
られ、したがって上記の較正係数Ｋ１と等しい、 ＫＣＡ：測定管４の駆動モードとコリオリモードとの間
の（実数）結合係数、 ＫＣＲ：支持管１５の回転モードと測定管４のコリオリ
モードとの間の（実数）結合係数、 ＶＡ：駆動モードにある測定管４の速度の（複素）振
幅、 ＶＣ：コリオリモードにある測定管４の速度の（複素）
振幅、 ＢＲ：回転モードにある支持管１５の回転加速度の（複
素）振幅、 ＡＣ’：コリオリモードにある測定管４の補正された
（複素）振れ振幅。
【００５２】複素量ＶＡ，ＶＣ，ＢＲは速度センサ１
７、１８の信号ｘ１７，ｘ１８の（複素）振幅Ｘ１７，
Ｘ１８、および加速度センサ１９、２０の信号ｘ１９，
ｘ２０の（複素）振幅Ｘ１９，Ｘ２０から次式を用いて
導出することができる。
【００５３】
【数４】
【００５４】（複素）質量流量Ｑの実数部分Ｒｅ｛Ｑ｝
により（実数）質量流量ｑが得られる。
【００５５】 ｑ＝Ｒｅ｛Ｑ｝＝｜ＡＣ’｜／（ＫＡ｜ＶＡ｜） （８） 一般化された系統的関連は、理想的でない対称性質量流
量検出器の振動励振に対する次式から得られる。
【００５６】
【数５】
【００５７】について解けば、
【００５８】
【数６】
【００５９】式（９）、（１０）において、 ＢＴ：伝達モードにおける支持体１５の加速度の（複
素）振幅、 Ｍ：測定管４の質量、 Ｄ：振動系の減衰度、 Ｓ：測定管４の剛性 Ｌ：コリオリモードの減衰度である。
【００６０】さらに小文字のインデクスは次のことを意
味する。
【００６１】 第１のインデクスとしてのｃ：コリオリモードに該当、 第１のインデクスとしてのｒ：測定管４に該当、 第２のインデクスとしてのｓ：対称性成分、 第２のインデクスとしてのｄ：非対称性成分。
【００６２】同期復調器により、ＶＡと位相の合わない
信号成分は抑圧される。すなわち、式（１０）の第３
項、第５項および第７項である。従ってｑに対しては：
【００６３】
【数７】
【００６４】である。
【００６５】ここで、 第１の項：所望の測定作用、 第２の項：測定管４の対称性質量成分と回転モードによ
るノイズ成分、 第３の項：測定管４の非対称性減衰成分によるノイズ成
分、 第４の項：測定管４の非対称性質量成分と伝達モードに
よるノイズ成分。
【００６６】式（１）から（１１）に基づいて説明した
関連から、本発明の枠内で速度センサ１７、１８は距離
センサまたは加速度センサにより置換できることがわか
る。その際これらのそれぞれの信号は部分回路によって
速度信号に形成される。部分回路は、距離センサを使用
する場合には時間的に一度微分し、加速度センサを使用
する場合には時間的に一度積分する。
【００６７】さらに本発明の枠内で、加速度センサ１
９、２０を距離センサまたは速度センサにより置換する
ことができる。その際これらのそれぞれの信号は部分回
路によって加速度信号に形成される。部分回路は、距離
センサを使用する場合には時間的に一度微分し、速度セ
ンサを使用する場合にも時間的に一度微分する。
【００６８】さらに図２、図３の個々の部分回路の機能
を適切にプログラミングされたマイクロプロセッサを用
いて実現することも本発明の枠内である。
【図面の簡単な説明】
【図１】ただ１つの直線状測定管を有する質量流量計の
機械的部分の一部断面図である。
【図２】質量流量信号を形成するための部分回路の回路
図である。
【図３】図２の部分回路の変形実施例の回路図である。
【符号の説明】
１ 質量流量検出器 ２、３ フランジ ４ 測定管 １３、１４ 端板 １５ 支持管 １６ 駆動装置 １７、１８ 速度センサ １９、２０ 加速度センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−248911（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−25011（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 1/84

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定の直径を有し、被測定流体の通流す
    る管路の経路中に、当該管路と一直線に、フランジを介
    して挿入可能であるコリオリ質量流量計であって、 該コリオリ質量流量計は、流体の通流する少なくとも１
    つの測定管（４）と、少なくとも１つの支持管（１５）
    と、測定管（４）を共振振動させるための手段と、第１
    （１７）および第２（１９）の速度センサと、第１（１
    ９）および第２（２０）の加速度センサとを有し、 前記測定管（４）は前記フランジ（２、３）間に延在
    し、かつ当該フランジに固定されており、 前記支持管（１５）のそれぞれの端部は、それぞれフラ
    ンジ（２、３）に固定されており、 前記測定管（４）と支持管（１５）とは相互に平行にフ
    ランジ（２，３）間に延在しており、 前記第１（１７）および第２（１８）の速度センサは測
    定管の振動を検出するものであり、かつ当該速度センサ
    は測定管に沿ってずらして配置されており、 前記第１（１９）および第２（２０）の 加速度センサ
    は、質量流量計の動作中にコリオリの力が発生する面と
    の交線に沿って、支持管（１５）にずらして固定されて
    おり、 速度センサ（１７、１８）の信号（ｘ１７，ｘ１８）、
    および加速度センサ（１９、２０）の信号（ｘ１９，ｘ
    ２０）から質量流量信号（ｑ）が形成される、ことを特
    徴とする質量流量計。
  2. 【請求項２】 ただ１つの測定管を有する請求項１記載
    の質量流量計。
  3. 【請求項３】 平面内に曲げられて延在するただ１つの
    測定管を有する請求項１記載の質量流量計。
  4. 【請求項４】 速度センサ（１７、１８）の信号（ｘ１
    ７，ｘ１８）および、加速度センサ（１９、２０）の信
    号（ｘ１９，ｘ２０）から質量流量に対する信号を形成
    する手段は、部分回路を有し、 該部分回路は、第１の減算器（３１）と、第２の減算器
    （３２）と、第１の加算器（３３）と、第１の乗算器
    （３５）と、第２の乗算器（３６）と、積分器（３７）
    と、第２の加算器（３４）と、第１のインバータ（３
    ８）と、第１のスイッチ（３９）と、第２のインバータ
    （４０）と、第２のスイッチ（４１）と、閾値スイッチ
    （４２）と、第１のローパスフィルタ（４３）と、第２
    のローパスフィルタ（４４）と、分配器（４５）とから
    なり、 前記第１の減算器（３１）のマイナス入力側には第１の
    加速度センサ（１９）が接続されており、プラス入力側
    には第２の加速度センサ（２０）が接続されており、 前記第２の減算器（３２）のマイナス入力側には第１の
    速度センサ（１７）が接続されており、プラス入力側に
    は第２の速度センサ（１８）が接続されており、 前記第１の加算器（３３）の第１の入力側には第１の速
    度センサ（１７）が、第２の入力側には第２の速度セン
    サ（１８）が接続されており、 前記第１の乗算器（３５）の第１の入力側には第１の減
    算器（３１）の出力側が接続されており、第２の入力側
    には第１の較正係数（Ｋ１）が供給され、 該第１の較正係数は、管路に作用する振動が存在すると
    きに較正によって求められたものであり、 前記第２の乗算器（３６）の第１の入力側には第１の加
    算器（３３）の出力側が接続されており、第２の入力側
    には第２の較正係数（Ｋ２）が供給され、 該第２の較正係数は、管路に作用する振動が存在しない
    ときに較正によって求められたものであり、 前記積分器の入力側には第２の減算器（３２）の出力側
    が接続されており、 前記第２の加算器（３４）の第１の入力側には第１の乗
    算器（３５）の出力側が、第２の入力側には積分器（３
    ７）の出力側が接続されており、 前記第１のインバータ（３８）は第２の加算器（３４）
    の出力側に接続されており、 前記第１のスイッチ（３９）の第１の入力側は第２の加
    算器（３４）の出力側に、第２の入力側は第１のインバ
    ータ（３８）の出力側に接続されており、 前記第２のインバータは第２の乗算器（３６）の出力側
    に接続されており、 前記第２のスイッチ（４１）の第１の入力側は第２の乗
    算器（３６）の出力側に、第２の入力側は第２のインバ
    ータ（４０）の出力側に接続されており、 前記閾値スイッチ（４２）の信号入力側は第２の乗算器
    （３６）の出力側に接続されており、閾値入力側は回路
    ゼロ点に接続されており、出力側は第１ないし第２のス
    イッチ（４１）のそれぞれ制御入力側に接続されてお
    り、 前記第１のローパスフィルタ（４３）は第１のスイッチ
    （３９）の出力側に後置接続されており、 前記第２のローパスフィルタ（４４）は第２のスイッチ
    （４１）の出力側に後置接続されており、 当該ローパスフィルタは上側遮断周波数を有し、該遮断
    周波数は入力信号に発生する最高周波数より約１オーダ
    ーだけ低い周波数であり、 前記分配器（４５）の被分配入力側には第１のローパス
    フィルタ（４３）の出力側が、分配入力側には第２のロ
    ーパスフィルタ（４４）の出力側が接続されており、さ
    らに出力側は質量流量信号（ｑ）を送出するように構成
    されている、請求項１記載の質量流量計。
  5. 【請求項５】 第１の減算器（３１）と加速度センサ
    （１９、２０）とは、回転振動を検出するただ１つの加
    速度センサ（１９’）により置換される、請求項４記載
    の質量流量計。
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