JP2864973B2 - ジメチルクロロシランとトリオルガノクロロシランの併産方法 - Google Patents

ジメチルクロロシランとトリオルガノクロロシランの併産方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ジメチルクロロシラン
とトリオルガノクロロシランを併産、製造する方法に関
する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ジメチ
ルクロロシランは、シリコーン工業界において重要な位
置を占めるモノマー原料であり、例えば、片末端又は主
鎖中にSi−H結合を有するシリコーン油やシリコーン
樹脂の原料として用いられたり、或いは各種のシリル化
剤等の有機ケイ素化合物の合成中間体として用いられる
重要な化合物として知られている。
【0003】一方、トリオルガノクロロシラン、例えば
トリメチルクロロシラン及びその誘導体はシリル化剤と
して広い分野で使われているほか、無機物質の疎水化や
オルガノポリシロキサン鎖への末端ブロック単位の導入
に使用することができる。また、t−ブチルジメチルク
ロロシランは抗生物質などの医薬品合成や有機合成のた
めのシリル化剤として重要な化合物である。
【0004】従来、ジメチルクロロシランの製造方法と
しては、例えば、直接法によってジメチルジクロロシラ
ンを得る際、低沸点成分中に炭化水素などと共に得られ
る副生物の中から精留によって単離する方法が知られて
いるが、この方法では工程時間が長い割にジメチルクロ
ロシランを少量しか得ることができないという欠点があ
る。また、テトラメチルジシロキサンを原料として製造
される場合もあるが、このテトラメチルジシロキサンは
Si−H結合を含むオイルをクラッキングして得るた
め、工程が長く、またクラッキング時にSi−H結合の
開裂の危険がある。
【0005】更に、ペンタメチルクロロジシランと乾燥
塩化水素とを高温で反応させて合成するという方法が工
業科学雑誌60,1395(1957)に報告されてお
り、その他にはポリジメチルシランに紫外線を照射しな
がら塩化水素を通じ、ポリジメチルシランと塩化水素と
を反応させて合成する方法がChem.Comm.,5
07(1970)に報告されている。しかしながら、こ
れらの方法は原料が高価な上、工業的に一般的な方法で
はない。
【0006】また更に、特開昭53−95922号公報
には、N,N,N’,N’,N”,N”−ヘキサメチル
ホスホルトリアミド中で、ジアルキルジクロロシランを
ナトリウムボロハイドライド又はナトリウムボロハイド
ライドとナトリウムハイドライドとで還元し、ジアルキ
ルモノクロロシランを得る方法が開示されている。しか
しながら、近年、上記N,N,N’,N’,N”,N”
−ヘキサメチルホスホルトリアミドが強力な発ガン性物
質であることが明らかになったため、この方法を採用す
ることは工業的に不可能となった。
【0007】その他の方法としては、リチウムアルミニ
ウムハイドライドの水素化分解試薬によってクロロシラ
ンのケイ素−塩素結合の塩素を水素分解する方法が考え
られるが、このような還元剤を用いてジアルキルジクロ
ロシランを還元しても、2個の塩素原子すべてが水素化
分解されてジアルキルシランとなってしまい、ジアルキ
ルモノクロロシランを得ることができない。
【0008】一方、従来、直接法以外の方法でトリメチ
ルクロロシランを得る方法としては、グリニャール試薬
を用いてジメチルジクロロシランやメチルトリクロロシ
ラン、テトラクロロシランとの反応により合成する方法
が一般的であるが、この方法はテトラメチルシランの副
生が大きく、トリメチルクロロシランのみをほぼ選択的
に得ることは不可能であり、反応終了後に各種メチルシ
ラン類から分離精製するという煩雑な操作が必要であっ
た。また、Z,Anorg.Allgem.Chem.
287,273(1956)によれば、メチルアルミニ
ウムセスキクロリドを用いてテトラクロロシランないし
はメチルトリクロロシランのメチル化反応を試みている
が、この方法は各種メチルシラン混合物として得られ、
選択的にトリメチルクロロシランのみがほぼ単一成分と
して得られてはいない。
【0009】また、特公昭57−30114号公報によ
れば、メチルハイドロジェンジクロロシランとメチルク
ロリドを金属アルミニウム中、180〜450℃で通す
ことにより、トリメチルクロロシランを81.7%の組
成比で得ている。しかしながら、この方法は高温度条件
が必要な上に、副生する塩化アルミニウムが流通系中に
詰まり易いという重大な危険があった。更に、テトラメ
チルシランを原料としてフリーデル・クラフツ触媒存在
下塩化水素ガスを通じてトリメチルクロロシランを得る
方法(特開昭56−92895号公報)や、テトラメチ
ルシランとジメチルジクロロシランをフリーデル・クラ
フツ触媒存在下分配反応によって、トリメチルクロロシ
ランを得る方法(特開昭55−61195号公報)が知
られているが、原料のテトラメチルシランを得るために
前段階の合成反応を要することになり、結局二段階の合
成過程の組み合わせが必要で効率が悪かった。
【0010】他方、t−ブチルジメチルクロロシラン
は、t−ブチルジメチルシランを塩素によりクロロ化す
ることにより合成されている。しかし、この場合には、
水素原子は塩化水素となって失われ、有効に活用されて
いなかった。
【0011】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
ジメチルクロロシランとトリオルガノクロロシランとを
同時に安価にかつ簡便に、しかも危険を伴わずに収率よ
く合成することができるジメチルクロロシランとトリオ
ルガノクロロシランの併産方法を提供することを目的と
する。
【0012】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は、上
記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、一般式R
SiH(R,R,Rは互いに同一又は
異種の1価炭化水素基を示すが、R,R,Rは同
時にメチル基になることはない。)で示されるSi−H
基含有のシラン化合物を、ルイス酸触媒存在下、ジメチ
ルジクロロシランと液相で反応させることにより、ジメ
チルジクロロシランの一方のみのSi−Cl結合がSi
−H結合に変換されてジメチルクロロシランを得ること
ができると共に、RSiCl(R,R
は上記と同様の意味を示す。)で示されるトリオル
ガノクロロシランを良好な収率で、しかも安価で簡便か
つ安全に得ることができるものであることを知見し、特
にこの方法がt−ブチルジメチルシランの水素原子を有
効に利用してジメチルクロロシランとt−ブチルジメチ
ルクロロシランとの同時提供を可能にすることを見い出
し、本発明をなすに至ったものである。
【0013】従って、本発明は、ルイス酸触媒の存在下
にジメチルクロロシランと一般式RSiH
(R,R,Rは互いに同一又は異種の1価炭化水
素基を示すが、R,R,Rは同時にメチル基にな
ることはない。)で表されるSiH結合含有シラン化合
物とを反応させることを特徴とするジメチルクロロシラ
ンとRSiClで示されるトリオルガノクロ
ロシランの併産方法を提供する。
【0014】以下、本発明を更に詳述すると、本発明の
方法において用いるSiH結合含有シラン化合物として
は、一般式RSiHで表されるものである。
これらR,R,Rとしては、例えば、メチル基,
エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル
基、t−ブチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル
基、n−オクチル基等のアルキル基、或いはフェニル基
等のアリール基などの炭素数1〜20、より好ましくは
1〜10の一価炭化水素基を挙げることができ、これら
は互いに同一であってもよく、異なっていてもよいが、
,R,Rは同時にメチル基になることはない。
具体的には、トリエチルシラン、t−ブチルジメチルシ
ラン、フェニルジメチルシラン、イソプロピルジメチル
シラン、ジシクロヘキシルメチルシラン、ノルマルオク
チルジメチルシラン、ノルマルブチルジメチルシラン、
シクロペンチルジメチルシランなどが挙げられる。
【0015】一方、ルイス酸触媒としては、具体的に
は、塩化アルミニウム、塩化鉄、三塩化ホウ素、塩化亜
鉛、塩化セシウム、塩化コバルト、塩化ニッケル、四塩
化チタン、塩化スズ、塩化ロジウム、塩化カドミウム、
銅アセチルアセトナートなどが挙げられ、特に塩化アル
ミニウムを用いることが好ましい。
【0016】上記SiH結合含有シラン化合物の使用量
は、ジメチルジクロロシラン1モルに対して0.25〜
1.5モル、特に0.5〜1モルが好ましい。シラン化
合物の使用量が0.25モルより少ないと、未反応の原
料が大量に残存する場合があり、1.5モルより多いと
テトラメチルシランの副生が多くなる場合がある。
【0017】また、上記ルイス酸の使用量は、ジメチル
ジクロロシラン1モルに対して0.001〜0.5モ
ル、特に0.02〜0.1モルとすることが好ましく、
ルイス酸の使用量が0.001モル未満では反応速度が
著しく落ちる場合があり、0.5モルを超えるとSi−
C結合の開裂等の好ましくない不均化反応が生じる場合
がある。
【0018】上記反応は、通常、ジメチルジクロロシラ
ン中にルイス酸触媒を溶解し、次いで一般式R
SiH(R,R,Rは上記と同様の意味を示
す。)で示されるSi−H結合含有シラン化合物を加え
て撹拌することによって行うことができる。この場合の
反応温度は、0℃以上、特に20℃以上で、ジメチルク
ロロシランの沸点(35℃)以下であることが好まし
く、反応は液相で行う。また、反応時間は通常10分〜
2時間である。
【0019】なお、本発明のジメチルクロロシランの製
造方法には溶媒を用いてもよく、使用される溶媒として
は、ジメチルジクロロシラン及び/又はSi−H結合含
有シランと反応しない溶媒を用いることが好ましく、そ
のような溶媒としては、トルエン、酢酸エチル、デカ
ン、o−キシレンなどが例示される。
【0020】ここで、反応液よりのジメチルジクロロシ
ランを蒸留単離する際には、含有するルイス酸を失活さ
せておくことが望ましい。具体的には、用いたルイス酸
のモル数に対して、1〜5倍モルのアニソール、ジフェ
ニルエーテル、o−ジメトキシベンゼン、p−ジメトキ
シベンゼンで表わされるエーテルを加える方法などが挙
げられる。
【0021】
【発明の効果】本発明のジメチルクロロシランとトリオ
ルガノクロロシランの併産方法は、安価でかつ簡便な方
法でしかも高収率で安全性高くジメチルクロロシランと
トリオルガノクロロシランとを同時に得ることができ、
特に本方法はジメチルクロロシランとt−ブチルジメチ
ルクロロシランとを同時提供する方法として非常に有効
である。
【0022】
【実施例】以下、実施例を示して本発明を具体的に説明
するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではな
い。
【0023】[実施例1]4つ口フラスコに冷却管、温
度計、滴下管、撹拌機を備え付け、その冷却管の先端は
ドライアイスによるメタノール捕集装置に接続した。上
記フラスコにジメチルジクロロシラン12.9g(0.
10モル)、AlCl30.27g(0.002モル)
を入れ、撹拌機で撹拌した。次いで、この中に室温下ト
リエチルシラン5.8g(0.05モル)を30分間か
けて滴下し、その後も30℃に保温しながらフラスコを
1時間撹拌した。反応終了後、メタノール捕集装置をポ
ンプ減圧し、反応生成物の低沸点部を捕集したところ、
沸点35℃のジメチルクロロシラン3.78g、トリエ
チルクロロシラン7.37gが得られた。その収率はそ
れぞれ80%、98%であった。
【0024】[実施例2]上記トリエチルシラン5.8
gの代わりに、イソプロピルジメチルシラン10.0g
(0.1モル)を用いた以外は実施例1と同様の操作を
行った。その結果、沸点35℃のジメチルクロロシラン
8.7g、イソプロピルジメチルクロロシラン13.4
gが得られた。その収率はそれぞれ92%、98.5%
であった。
【0025】
【0026】
【0027】
【実施例3】冷却管、温度計、滴下管、撹拌機を備え付
けた4つ口フラスコに、ジメチルジクロロシラン12
9.1g(1.0モル)、AlCl1.3g(0.0
1モル)を入れ、撹拌機で撹拌した。この中に、室温下
t−ブチルジメチルシラン58.2g(0.5モル)を
1時間かけて滴下し、その後も30℃に保温しながらフ
ラスコを1時間撹拌した。この反応液にo−ジメトキシ
ベンゼン2.8g(0.02モル)を加えて1時間撹拌
した後、蒸留によりジメチルクロロシラン及びt−ブチ
ルジメチルクロロシランを単離したところ、ジメチルク
ロロシラン42.8g、t−ブチルジメチルクロロシラ
ン69.0gを得た。収率はそれぞれ91%、92%で
あった。
【0028】[実施例4] 冷却管、温度計、滴下管、撹拌機を備え付けた4つ口フ
ラスコに、ジメチルジクロロシラン129.1g(1.
0モル)、AlCl1.3g(0.01モル)及び7
5.3gのトルエンを入れ、撹拌機で撹拌した。この中
に、室温下t−ブチルジメチルシラン58.2g(0.
5モル)を1時間かけて滴下し、その後も30℃に保温
しながらフラスコを1時間撹拌した。この反応液にジフ
ェニルエーテル3.4g(0.02モル)を加えて1時
間撹拌した後、これにo−ジメトキシベンゼン2.8g
(0.02モル)を加えて1時間撹拌した。反応混合物
を蒸留したところ、ジメチルクロロシランが42.8
g、t−ブチルジメチルクロロシランの50%トルエン
溶液が142.5g得られた。収率はそれぞれ91%、
95%であった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 幹夫 新潟県中頸城郡頸城村大字西福島28−1 信越化学工業株式会社 合成技術研究 所内 (72)発明者 久保田 透 新潟県中頸城郡頸城村大字西福島28−1 信越化学工業株式会社 合成技術研究 所内 (72)発明者 久保田 泰文 新潟県中頸城郡頸城村大字西福島28−1 信越化学工業株式会社 合成技術研究 所内 (56)参考文献 特開 昭57−176992(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C07F 7/12 CA(STN) REGISTRY(STN) WPI(DIALOG)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ルイス酸触媒の存在下にジメチルジクロ
    ロシランと一般式RSiH(R,R,R
    は互いに同一又は異種の1価炭化水素基を示すが、R
    ,R,Rは同時にメチル基になることはない。)
    で表されるSiH結合含有シラン化合物とを液相で反応
    させることを特徴とするジメチルクロロシランとR
    SiCl(R,R,Rは上記と同様の意味
    を示す。)で表されるトリオルガノクロロシランの併産
    方法。
  2. 【請求項2】 ルイス酸触媒の存在下にジメチルジクロ
    ロシランとt−ブチルジメチルシランとを反応させるこ
    とを特徴とするジメチルクロロシランとt−ブチルジメ
    チルクロロシランの併産方法。
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EP94308154A EP0652221B1 (en) 1993-11-05 1994-11-04 Preparations of dimethylchlorosilane and triorganochlorosilanes
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19520737C2 (de) * 1995-06-07 2003-04-24 Degussa Verfahren zur Herstellung von Alkylhydrogenchlorsilanen
FR2761360B1 (fr) * 1997-03-27 1999-05-21 Rhodia Chimie Sa Procede ameliore d'obtention d'organosilanes mettant en oeuvre une reaction de redistribution
US5856548A (en) * 1997-05-17 1999-01-05 Th. Goldschmidt Ag Process for preparing dimethylmonochlorosilane
US6429327B1 (en) 1999-01-21 2002-08-06 Fmc Corporation Organometallic catalysts
EP2386561B1 (en) * 2008-07-08 2016-01-13 Kaneka Corporation Methods for producing alkoxyhydrosilanes
WO2016191441A1 (en) * 2015-05-27 2016-12-01 Dow Global Technologies Llc A process for the preparation of bis(chloromethyl)dichlorosilane and bis(chloromethyl)(aryl)chlorosilane
CN110372740B (zh) * 2019-08-23 2021-10-08 珠海国佳凝胶研究院有限公司 一种二甲基氯硅烷制备三甲基氯硅烷的方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3362977A (en) * 1964-03-27 1968-01-09 Gen Electric Method for making organosilanes
JPS6026396B2 (ja) * 1981-04-25 1985-06-24 信越化学工業株式会社 ジメチルモノクロロシランの製造方法
US4889838A (en) * 1983-12-22 1989-12-26 Union Carbide Corporation And Plastics Company Inc. Redistribution of organohalosilanes utilizing heat treated crystalline alumina catalysts
AU2976784A (en) * 1983-12-22 1985-06-27 Carb-A-Drink International Beverage dispenser
JP2612991B2 (ja) * 1992-02-28 1997-05-21 信越化学工業株式会社 けい素化合物の塩素化方法
DE4208152A1 (de) * 1992-03-13 1993-09-16 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zur herstellung von dimethylchlorsilan
JPH06157554A (ja) * 1992-11-27 1994-06-03 Toray Dow Corning Silicone Co Ltd トリオルガノクロロシランの製造方法

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Publication number Publication date
DE69424503T2 (de) 2001-01-18
EP0652221A1 (en) 1995-05-10
US5440063A (en) 1995-08-08
EP0652221B1 (en) 2000-05-17
JPH07126270A (ja) 1995-05-16
DE69424503D1 (de) 2000-06-21

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