JP2863930B2 - プラズマエッチング用電極及びその製造方法 - Google Patents
プラズマエッチング用電極及びその製造方法Info
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- JP2863930B2 JP2863930B2 JP22379089A JP22379089A JP2863930B2 JP 2863930 B2 JP2863930 B2 JP 2863930B2 JP 22379089 A JP22379089 A JP 22379089A JP 22379089 A JP22379089 A JP 22379089A JP 2863930 B2 JP2863930 B2 JP 2863930B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体素子を製造するための装置に使用さ
れるプラズマエッチング用電極及びその製造方法に関
し、特にICやLSI等を製造する場合のプラズマエッチン
グ処理装置に使用される耐摩耗性の優れたプラズマエッ
チング用電極及びその製造方法に関するものである。
れるプラズマエッチング用電極及びその製造方法に関
し、特にICやLSI等を製造する場合のプラズマエッチン
グ処理装置に使用される耐摩耗性の優れたプラズマエッ
チング用電極及びその製造方法に関するものである。
（従来の技術） 従来、プラズマエッチングに用いられる電極には高密
度黒鉛よりなる円板が使用されている。高密度黒鉛は優
れた導電性と化学的安定性を備え高純度化も容易である
ことから特性的には極めて好適な電極材料である。しか
しながら、この電極材料は、コークスあるいはカーボン
の微粉をタールピッチなどのバインダー成分と共に高密
度に成型したのち焼成、黒鉛化した巨視的に粒体集合体
の組織構造を有するため、プラズマ発生中に組織を構成
する微細な粒体が脱落して消耗を早めたり、ウエハの上
面を汚損して所定パターンの形成を阻害する等の欠点を
招く不都合があった。
度黒鉛よりなる円板が使用されている。高密度黒鉛は優
れた導電性と化学的安定性を備え高純度化も容易である
ことから特性的には極めて好適な電極材料である。しか
しながら、この電極材料は、コークスあるいはカーボン
の微粉をタールピッチなどのバインダー成分と共に高密
度に成型したのち焼成、黒鉛化した巨視的に粒体集合体
の組織構造を有するため、プラズマ発生中に組織を構成
する微細な粒体が脱落して消耗を早めたり、ウエハの上
面を汚損して所定パターンの形成を阻害する等の欠点を
招く不都合があった。
上記不都合を解消したものとして特開昭62−252942号
公報に提案されたものがある。
公報に提案されたものがある。
このプラズマエッチング用電極は、高純度のガラス状
カーボンからなるものである。この電極はフラン系樹
脂、フェノール樹脂またはこれらの混合樹脂を炭化して
得られる組織的に極めて緻密かつ均質な三次元網目構造
を有しているため、流体脱落などの組織崩壊や消耗現象
を効果的に消去することができるという優れた効果を奏
するものである。
カーボンからなるものである。この電極はフラン系樹
脂、フェノール樹脂またはこれらの混合樹脂を炭化して
得られる組織的に極めて緻密かつ均質な三次元網目構造
を有しているため、流体脱落などの組織崩壊や消耗現象
を効果的に消去することができるという優れた効果を奏
するものである。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このプラズマエッチング用電極は、フ
ラン系樹脂、フェノール樹脂またはこれらの混合樹脂を
炭化することによりガラス状カーボンを得ているため、
炭化収率、寸法安定性等の点から所定の寸法、導電性を
有する電極を得るためには高度の技術を必要とし、その
分コスト高となっていた。
ラン系樹脂、フェノール樹脂またはこれらの混合樹脂を
炭化することによりガラス状カーボンを得ているため、
炭化収率、寸法安定性等の点から所定の寸法、導電性を
有する電極を得るためには高度の技術を必要とし、その
分コスト高となっていた。
本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであり、
粒体脱落などの組織崩壊を防いで該プラズマエッチング
用電極の寿命を長くするとともに、組織崩壊に起因する
ウエハ上面の汚損を防止することができ、しかも低コス
トで簡単に得ることができるプラズマエッチング用電極
及びその製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
粒体脱落などの組織崩壊を防いで該プラズマエッチング
用電極の寿命を長くするとともに、組織崩壊に起因する
ウエハ上面の汚損を防止することができ、しかも低コス
トで簡単に得ることができるプラズマエッチング用電極
及びその製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
（課題を解決するための手段及び作用） 上記目的を構成するために、本発明のプラズマエッチ
ング用電極においては、炭素繊維よりなるシート状物の
気孔中に主として二環以上の縮合多環芳香族化合物と、
ヒドロキシメチル基、ハロメチル基のいずれか少なくと
も一種の基を二個以上有する一環または二環以上の芳香
族からなる芳香族架橋剤と、酸触媒とが反応して成る熱
硬化性樹脂組成物由来の炭素が充填されている。
ング用電極においては、炭素繊維よりなるシート状物の
気孔中に主として二環以上の縮合多環芳香族化合物と、
ヒドロキシメチル基、ハロメチル基のいずれか少なくと
も一種の基を二個以上有する一環または二環以上の芳香
族からなる芳香族架橋剤と、酸触媒とが反応して成る熱
硬化性樹脂組成物由来の炭素が充填されている。
炭素繊維よりなるシート状物は、有機質繊維材料より
なる骨材にバインダーを加えてシート状に成形し、これ
を炭素化することにより得られるもの、炭素繊維にバイ
ンダーを加えてシート化したもの、更にこれを加熱炭素
化したものを含む。
なる骨材にバインダーを加えてシート状に成形し、これ
を炭素化することにより得られるもの、炭素繊維にバイ
ンダーを加えてシート化したもの、更にこれを加熱炭素
化したものを含む。
上記の如く構成されたプラズマエッチング用電極にあ
っては、シート状物の気孔中に高い炭素収率を有し寸法
収縮が小さい熱硬化性樹脂組成物由来の炭素が充填され
ていることにより、寸法安定性に優れ、割れ、歪等が生
じにくく、しかも導電性に優れたものとなっている。
っては、シート状物の気孔中に高い炭素収率を有し寸法
収縮が小さい熱硬化性樹脂組成物由来の炭素が充填され
ていることにより、寸法安定性に優れ、割れ、歪等が生
じにくく、しかも導電性に優れたものとなっている。
また、熱硬化性樹脂組成物由来の炭素がシート状物を
構成する炭素繊維との間で極めて強固に結合しているこ
とから、シート状物から炭素が脱落することがなく、該
プラズマエッチング用電極の寿命を長くすることができ
るようになっている。
構成する炭素繊維との間で極めて強固に結合しているこ
とから、シート状物から炭素が脱落することがなく、該
プラズマエッチング用電極の寿命を長くすることができ
るようになっている。
なお、プラズマエッチング用電極はシート状物が複数
積層されたものであっても良く、この場合厚みのあるも
のを得ることができ、該プラズマエッチング用電極の寿
命を一層長くすることができるようになっている。
積層されたものであっても良く、この場合厚みのあるも
のを得ることができ、該プラズマエッチング用電極の寿
命を一層長くすることができるようになっている。
次に、本発明のプラズマエッチング用電極の製造方法
について説明する。
について説明する。
この方法は、主として二環以上の縮合多環芳香族化合
物と、ヒドロキシメチル基、ハロメチル基のいずれか少
なくとも一種の基を二個以上有する一環または二環以上
の芳香族からなる芳香族架橋剤と、酸触媒とが反応して
成る熱硬化性樹脂組成物を炭素繊維よりなるシート状物
の気孔中に含浸し乾燥後、これを加熱プレスするように
したことを特徴としている。
物と、ヒドロキシメチル基、ハロメチル基のいずれか少
なくとも一種の基を二個以上有する一環または二環以上
の芳香族からなる芳香族架橋剤と、酸触媒とが反応して
成る熱硬化性樹脂組成物を炭素繊維よりなるシート状物
の気孔中に含浸し乾燥後、これを加熱プレスするように
したことを特徴としている。
以下、本発明のプラズマエッチング用電極の製造方法
をシート状物に熱硬化性樹脂組成物を含浸する工程及び
加熱プレスする工程とに分けて詳細に説明する。
をシート状物に熱硬化性樹脂組成物を含浸する工程及び
加熱プレスする工程とに分けて詳細に説明する。
まず、シート状物に熱硬化性樹脂組成物を含浸する工
程について説明する。
程について説明する。
シート状物としては、有機質繊維材料よりなる骨材に
バインダーを加えてシート状に成形し、これを炭素化す
ることにより得られるもの、炭素繊維にバインダーを加
えてシート化したもの、更にこれを加熱炭素化したもの
等、炭素繊維より構成されるものを使用する。
バインダーを加えてシート状に成形し、これを炭素化す
ることにより得られるもの、炭素繊維にバインダーを加
えてシート化したもの、更にこれを加熱炭素化したもの
等、炭素繊維より構成されるものを使用する。
シート状物に含浸する熱硬化性樹脂組成物の構成要素
として、縮合多環芳香族化合物には、石炭系もしくは石
油系の重質油、タール、ピッチ、あるいはナフタレン、
アトラセン、フェナントレン、ピレン、クリセン、ナフ
タセン、アセナフテン、アセナフチレン、ペリレン、コ
ロネン及びこれら主骨材とする誘導体の中から選ばれる
一種又は二種以上の混合物等を使用する。
として、縮合多環芳香族化合物には、石炭系もしくは石
油系の重質油、タール、ピッチ、あるいはナフタレン、
アトラセン、フェナントレン、ピレン、クリセン、ナフ
タセン、アセナフテン、アセナフチレン、ペリレン、コ
ロネン及びこれら主骨材とする誘導体の中から選ばれる
一種又は二種以上の混合物等を使用する。
芳香族架橋剤には、ヒドロキシメチル基、ハロメチル
基のいずれか少なくとも一種の基を二個以上有する一環
または二環以上の芳香族からなる芳香族化合物、例えば
Ｐ−キシリレンジクロライド、Ｐ−キシリレングリコー
ル（1,4−ベンゼンジメタノール）、ジメチル−Ｐ−キ
シリレングリコール、ジメチル−ｍ−キシリレングリコ
ール等を使用する。
基のいずれか少なくとも一種の基を二個以上有する一環
または二環以上の芳香族からなる芳香族化合物、例えば
Ｐ−キシリレンジクロライド、Ｐ−キシリレングリコー
ル（1,4−ベンゼンジメタノール）、ジメチル−Ｐ−キ
シリレングリコール、ジメチル−ｍ−キシリレングリコ
ール等を使用する。
酸触媒には、塩化アルミニウム、弗化ホウ素等のルイ
ス酸或いは硫酸、リン酸、有機スルホン酸、カルボン酸
等のプロトン酸、及びこれらの誘導体の中から選ばれる
一種又は二種以上の混合物を使用する。
ス酸或いは硫酸、リン酸、有機スルホン酸、カルボン酸
等のプロトン酸、及びこれらの誘導体の中から選ばれる
一種又は二種以上の混合物を使用する。
縮合多環芳香族化合物、芳香族架橋剤及び酸触媒を反
応させて成る熱硬化性樹脂組成物とするための混合比率
は、芳香族架橋剤／縮合多環芳香族化合物＝0.5〜4.0
（モル比）の範囲、酸触媒添加量については、芳香族架
橋剤／縮合多環芳香族化合物の混合物に対して0.5〜10w
t％が好適な範囲である。
応させて成る熱硬化性樹脂組成物とするための混合比率
は、芳香族架橋剤／縮合多環芳香族化合物＝0.5〜4.0
（モル比）の範囲、酸触媒添加量については、芳香族架
橋剤／縮合多環芳香族化合物の混合物に対して0.5〜10w
t％が好適な範囲である。
上記混合比率により各構成要素を混合し、この混合物
を60〜300℃の範囲で加熱反応させて、実質的に熱可塑
性を有する熱硬化性中間反応生成物（以下Ｂステージ樹
脂という）を得る。このＢステージ樹脂を60〜160℃の
温度で加熱溶融させて液状とし、或いはＢステージ樹脂
をテトラヒドロフラン等の溶剤に溶解させて液状とし、
前記シート状物に含浸されるべき含浸剤とする。
を60〜300℃の範囲で加熱反応させて、実質的に熱可塑
性を有する熱硬化性中間反応生成物（以下Ｂステージ樹
脂という）を得る。このＢステージ樹脂を60〜160℃の
温度で加熱溶融させて液状とし、或いはＢステージ樹脂
をテトラヒドロフラン等の溶剤に溶解させて液状とし、
前記シート状物に含浸されるべき含浸剤とする。
シート状物への含浸は、樹脂を加熱溶融して液状とし
て浸漬する方法、溶剤に溶解させて液状とし浸漬する方
法、反応含浸する方法等により行う。含浸後、シート状
物を120〜180℃の温度で乾燥させる。
て浸漬する方法、溶剤に溶解させて液状とし浸漬する方
法、反応含浸する方法等により行う。含浸後、シート状
物を120〜180℃の温度で乾燥させる。
次に、これを加熱プレスする。
加熱プレスは、熱硬化性樹脂組成物が含浸されたシー
ト状物に必要な厚さ、形状、気孔率、孔径を付与するた
めに行ない、その際、加熱処理を併用することによりシ
ート状物中の樹脂を硬化させる。この硬化処理によりシ
ートの厚みを一定に保持すると共に、平坦なシートを得
ることができる。なお、プレス処理の際、薄手のシート
状物を必要に枚数、好ましくは３枚以上重ね合わせて積
層し、同様にプレス処理を行なうと、容易に厚手のもの
を得ることができる。加熱プレスの条件としては、10kg
/cm2〜200kg/cm2の圧力のもと、150℃〜600℃の温度で
加熱するのが好ましい。また、必要に応じて、600〜300
℃の温度で、不活性ガス雰囲気中で加熱炭化を行う。
ト状物に必要な厚さ、形状、気孔率、孔径を付与するた
めに行ない、その際、加熱処理を併用することによりシ
ート状物中の樹脂を硬化させる。この硬化処理によりシ
ートの厚みを一定に保持すると共に、平坦なシートを得
ることができる。なお、プレス処理の際、薄手のシート
状物を必要に枚数、好ましくは３枚以上重ね合わせて積
層し、同様にプレス処理を行なうと、容易に厚手のもの
を得ることができる。加熱プレスの条件としては、10kg
/cm2〜200kg/cm2の圧力のもと、150℃〜600℃の温度で
加熱するのが好ましい。また、必要に応じて、600〜300
℃の温度で、不活性ガス雰囲気中で加熱炭化を行う。
以上の乾燥により本発明のプラズマエッチング用電極
を得ることができる。
を得ることができる。
（実施例） 実施例１ 縮合多環方向族化合物、コール系等方性ピッチ（軟化
点85℃）200gと芳香族架橋剤、Ｐ−キシレングリコール
138gとを混合し、これに酸触媒Ｐ−トルエンスルホン酸
38gを添加した後、120℃で30分反応させることにより、
Ｂステージ樹脂を得、これを加熱溶解して含浸剤とし
た。この含浸剤を目付300g/m3の有機質繊維材料シート
状物に含浸させた。含浸後150℃で乾燥させたシートを1
00kg/cm2の圧力のもと、200℃で１時間プレスした後、
常温５℃/hr、900℃で不活性ガス雰囲気にて、加熱炭化
することにより、プラズマエッチング用電極を得た。
点85℃）200gと芳香族架橋剤、Ｐ−キシレングリコール
138gとを混合し、これに酸触媒Ｐ−トルエンスルホン酸
38gを添加した後、120℃で30分反応させることにより、
Ｂステージ樹脂を得、これを加熱溶解して含浸剤とし
た。この含浸剤を目付300g/m3の有機質繊維材料シート
状物に含浸させた。含浸後150℃で乾燥させたシートを1
00kg/cm2の圧力のもと、200℃で１時間プレスした後、
常温５℃/hr、900℃で不活性ガス雰囲気にて、加熱炭化
することにより、プラズマエッチング用電極を得た。
実施例２ 実施例１により作成された電極板をプラズマエッチン
グ装置にセットし、反応ガスにCF4を用い、反応チャン
バー中のガス圧を1.0towとし、高周波電力を印加してシ
リコンウェハのエッチングを行った。
グ装置にセットし、反応ガスにCF4を用い、反応チャン
バー中のガス圧を1.0towとし、高周波電力を印加してシ
リコンウェハのエッチングを行った。
その結果、電極の組織の崩壊は認められず、また消耗
の度合は高密度黒鉛の1/10程度であった。
の度合は高密度黒鉛の1/10程度であった。
（発明の効果） 本発明のプラズマエッチング用電極にあっては、上記
の構成を備えたことにより以下の効果を奏する。
の構成を備えたことにより以下の効果を奏する。
１）炭素繊維よりなるシート状物の気孔中に熱硬化性樹
脂組成物由来の炭素が充填されているため、強度が高く
粒体の脱落などの組織崩壊を防いで該プラズマエッチン
グ用電極の寿命を長くすることができる。
脂組成物由来の炭素が充填されているため、強度が高く
粒体の脱落などの組織崩壊を防いで該プラズマエッチン
グ用電極の寿命を長くすることができる。
２）組織崩壊に由来するウエハ上面の汚損を防止するこ
とができる。
とができる。
３）炭素繊維よりなるシート状物の気孔中に熱硬化性樹
脂組成物由来の炭素が充填されているため、優れた導電
性を確保することができる。
脂組成物由来の炭素が充填されているため、優れた導電
性を確保することができる。
４）シート状物の気孔中に充填される熱硬化性樹脂組成
物は安価に得ることができる為、低コスト化を実現する
ことができる。
物は安価に得ることができる為、低コスト化を実現する
ことができる。
本発明のプラズマエッチング用電極の製造方法にあっ
ては、上記の構成を備えたことにより以下の効果を奏す
る。
ては、上記の構成を備えたことにより以下の効果を奏す
る。
１）シート状物の気孔中に熱硬化性樹脂組成物を含浸さ
せて加熱プレスする為、寸法安定性が良い。
せて加熱プレスする為、寸法安定性が良い。
２）製造時に割れが生じにくいことから、製品の収率を
一層高めることができ、低コスト化を実現することがで
きる。
一層高めることができ、低コスト化を実現することがで
きる。
Claims (6)
- 【請求項１】主として二環以上の縮合多環芳香族化合物
と、ヒドロキシメチル基、ハロメチル基のいずれか少な
くとも一種の基を二個以上有する一環または二環以上の
芳香族からなる芳香族架橋剤と、酸触媒とが反応して成
る熱硬化性樹脂組成物由来の炭素が、炭素繊維よりなる
シート状物の気孔中に充填されていることを特徴とする
プラズマエッチング用電極。 - 【請求項２】炭素繊維よりなるシート状物が複数積層さ
れてなること特徴とする請求項１記載のプラズマエッチ
ング用電極。 - 【請求項３】主として二環以上の縮合多環芳香族化合物
と、ヒドロキシメチル基、ハロメチル基のいずれか少な
くとも一種の基を二個以上有する一環または二環以上の
芳香族からなる芳香族架橋剤と、酸触媒とが反応して成
る熱硬化性樹脂組成物を炭素繊維よりなるシート状物の
気孔中に含浸し乾燥後、これを加熱プレスするようにし
たことを特徴とするプラズマエッチング用電極の製造方
法。 - 【請求項４】含浸後の乾燥を120〜180℃の温度で行なう
ようにしたことを特徴とする請求項３記載のプラズマエ
ッチング用電極の製造方法。 - 【請求項５】加熱プレスを〜の圧力のもと、150〜600℃
の温度で行なうようにしたことを特徴とする請求項３記
載のプラズマエッチング用電極の製造方法。 - 【請求項６】主として二環以上の縮合多環芳香族化合物
と、ヒドロキシメチル基、ハロメチル基のいずれか少な
くとも一種の基を二個以上有する一環または二環以上の
芳香族からなる芳香族架橋剤と、酸触媒とが反応して成
る熱硬化性樹脂組成物を炭素繊維よりなるシート状物の
気孔中に含浸し乾燥後、これを複数積層して加熱プレス
するようにしたことを特徴とする請求項３記載のプラズ
マエッチング用電極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22379089A JP2863930B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | プラズマエッチング用電極及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22379089A JP2863930B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | プラズマエッチング用電極及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0387389A JPH0387389A (ja) | 1991-04-12 |
| JP2863930B2 true JP2863930B2 (ja) | 1999-03-03 |
Family
ID=16803754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22379089A Expired - Lifetime JP2863930B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | プラズマエッチング用電極及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2863930B2 (ja) |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP22379089A patent/JP2863930B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0387389A (ja) | 1991-04-12 |
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