JP2857474B2 - 空気軸受型光偏向器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザプリンタやデジタル複写機の光書込装
置に使用され、光に変調された信号を偏向させる空気磁
気軸受型の光偏向器に関する。

〔従来の技術〕

ポリゴンミラーを用いた回転鏡式の光偏向器は、大き
な偏向角が得られるので、レーザプリンタやデジタル複
写機などの光書込装置に広く利用されている。

この種の光偏向器の偏向速度は回転数に依存するの
で、高い分解能を得るためには数万回転、例えば30000r
pmという高回転速度でポリゴンミラーを回転させる必要
がある。このような高回転速度を実現する軸受として
は、軸受摩擦の小さいことが要求され、一般に空気磁気
型軸受が用いられている。

特公昭53−6854号公報には、上部にポリゴンミラーが
固定された回転軸を半径方向に動的空気圧で軸支する動
的空気ラジアル軸受と、回転軸の下部に設けられ、永久
磁石の磁気反発力で回転軸を軸方向に浮上させて軸支さ
せる反発磁気スラスト軸受とを備えた回転鏡光偏向器が
開示されている。

この開示に係る回転鏡光偏向器は、反発磁気スラスト
軸受が、回転軸の下部に設けられた単純反発型の軸受で
あるため剛性が弱いという問題がある。また、反発磁気
スラスト軸受の構成のために、ホルダやダンパ部品など
の専用部品が必要で、部品点数が多くコスト高となると
共に、反発磁気スラスト軸受の占有空間が大きくなり、
装置全体が大型化するという問題がある。

これらの問題の一部を解決するために、本出願人は、
回転体の上部、ケースの上壁内面及び固定軸の上部間に
反発磁気スラスト軸受を設けた空気磁気軸受型光偏向器
を特願昭62−92048として提案した。

第13図は、この提案に係る従来の空気磁気軸受型光偏
向器の構成を示す断面図である。既提案に係る光偏向器
は、台座20に固定軸17の下端部が圧入固着され、固定軸
17の軸方向の周面には上部ヘリングボーン溝17aが、ま
た、軸方向下部の周面には下部ヘリングボーン溝17bが
それぞれ形成されている。固定軸17の上端面にはホルダ
18が固定され、さらにこのホルダ18に第１のマグネット
19が取り付けられている。固定軸17の外側には、筒状の
回転軸（体）11が遊嵌され、この回転軸11の下部にはロ
ータマグネット16が固定されている。回転軸11の上部に
はマグネットホルダ12が固定され、このマグネットホル
ダ12に第２のマグネット13が固着されている。また、ホ
ルダ12の上面には上下振動減衰用の微細孔12aが形成さ
れている。

回転軸11のほぼ中央部にはフランジ11Fが一体に形成
され、このフランジ11F上に固定軸17の上部からポリゴ
ンミラー15が挿入され、さらにミラー押え14によって回
転軸11に固定されている。

一方、台座20にはポリゴンミラー15を囲むようにして
枠体21が固定され、この枠体21の解放面がカバー22で覆
われている。このかバー22の内壁の第２のマグネット13
と対向する位置には第３のマグネット23が固定されてい
る。また、枠体21のロータマグネット16に対向する位置
には、ステータヨーク25が固定されている。

ここで、回転軸11に固定されているロータマグネット
16と、枠体21に固定されているステータヨーク（スロッ
ト鉄心）25と、コイル部24とを主構成要素として、イン
ナーロータ型のモータが構成され、励磁切り換えにより
ポリゴンミラー15が回転軸11と一体に回転するようにな
っている。また、第３のマグネット23、第２のマグネッ
ト13および第１のマグネット19の各対向面の磁極は、同
極性となっていて、これらのマグネット13,19,23によっ
てスラスト磁気軸受が形成され、第１および第３のマグ
ネット19,23から第２のマグネット13が受ける反発力に
より、回転軸11は軸方向に浮遊し、軸支されている。そ
して、上部ヘリングボーン溝17aおよび下部ヘリングボ
ーン溝17bが形成された固定軸17と、これに近接対向し
て回転する回転軸11とによって、動的に空気圧を上昇さ
せて動的空気圧で回転軸11をラジアル方向に軸支する動
的空気ラジアル軸受が構成されている。

さらに、ロータマグネット16の下部には、回転体の釣
合いをとるためのバランスリングＲが装着されている
（これと同様の機能は、ミラー押さえ14も有してい
る）。なお、図中符号Ｈはロータマグネット16の回転を
検出するためのホール素子である。

第14図は第13図の台座と枠体の支持構造を示す断面図
であり、枠体21の内周縁が嵌入可能なように、台座20に
は嵌合段部20aが設けられており、嵌合段部20の外周面
に枠体21の嵌合穴21aの内周面が接するようになってい
る。

また、この従来の空気磁気軸受型光偏向器では、精度
よく仕上げられた中空回転軸11の外周面によりポリゴン
ミラー15の半径方向を位置決めし、フランジ11Fで上下
方向の位置決めを行っている。

ところで、ポリゴンミラー15を超高速回転させる中空
回転軸11の外周面は、内周面との同軸度を高精度に仕上
げる必要があり、内径基準に合わせて研削加工をしてい
る。これは、ポリゴンミラー15各面の半径方向のバラツ
キを小さくするため、およびバランス修正が可能な初期
釣り合い量とするためである。

この従来の空気磁気軸受型光偏向器によると、反発磁
気スラスト軸受は、第２のマグネット13が、第３のマグ
ネット23および第１のマグネット19からそれぞれ反発力
を受ける構成なので、剛性が強くポリゴンミラー15を安
定に、前述のように、30000rpmという高回転速度で回転
することが出来る。

一方、このようなフランジ11Fを中間位置に形成した
従来の中空回転軸11においては、その研削加工は、加工
機の構造上、回転軸固定→研削→回転軸取り外し・向き
変更・回転軸固定→研削→完了のような工程を経てい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように、本出願人が提案している空気磁気軸受型
光偏向器によると、特公昭53−6854号公報に開示されて
いる回転鏡光偏向器の単純反発型の軸受の剛性が弱いと
いう問題は解決される。

しかし既提案に係る空気磁気軸受型光偏向器では、回
転軸の上端部に配置されるスラスト軸受が軸方向に長
く、部品点数も多くなっており、小型化、低コスト化に
ついての配慮は特にされていなかった。

また、前述のような研削加工工程をとると中空の回転
軸11の研削加工工程の途中で、回転軸11を加工機に対し
て着脱する必要があるため、段取りも含めて加工時間が
かかり、フランジの左右の同軸度も出し難いという問題
も指摘されていた。さらには、フランジ部を形成するた
めのブランク加工にも時間がかかり、材料も切粉となる
不要部分が多かった。

加えて、ポリゴンミラー15の取り付け位置が中空回転
軸11の中間部のため、無駄な上方空間が多くなり、小型
化への対応が遅れていた。

本発明は、このような光偏向器の現状に鑑みてなされ
たもので、その第１の目的は軸方向の長さを短縮して全
体を小型化し、部品点数を削減することが出来る空気軸
受型光偏向器を提供することにある。

また、第２の目的は中空回転軸を鍛造加工が可能な形
状として、加工コストの低減を図ることができる空気軸
受型光偏向器を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記第１および第２の目的は、固定軸と、この固定軸
に外挿する中空部が形成された回転軸と、前記回転軸を
軸方向に支承する支承手段と、前記回転軸をラジアル方
向に軸止するラジアル空気軸受と、前記回転軸を回転駆
動する駆動手段と、前記回転軸に固定されたポリゴンミ
ラーとを備え、前記駆動手段を介して前記回転軸を回転
駆動し、前記ポリゴンミラーに照射される光を偏向する
空気軸受型光偏向器であって、前記回転軸の上端部に該
回転軸と一体としてフランジを形成し、前記ポリゴンミ
ラーを該フランジの上面に載置することを特徴とする。

この場合、前記ポリゴンミラーには、前記回転軸に形
成された中空部の径と同径の中空部を形成し、前記ポリ
ゴンミラーの中空部と前記回転軸の中空部とに、ホルダ
をポリゴンミラーの上方から嵌合するようにすればよ
い。

また、支承手段は、固定軸の先端面に直接取り付けた
第１のマグネットと、第１のマグネットに対向して回転
体の中空部に取り付けた第２のマグネットと、第２のマ
グネットに対向してポリゴンミラーを覆うケーシング側
に取り付けた第３のマグネットとを互いに磁気反発力を
発生する磁極が対向するように設けるとよい。

また、支承手段を、固定軸上端に設けられた動圧スラ
スト空気軸受によって構成することもできる。

さらには、支承手段を、回転軸の回転によって発生す
る上昇動圧空気流から浮上力を得、回転軸を固定軸から
離間した状態で支承するように構成することもできる。

〔作用〕

上記手段によれば、中空回転軸に固定されるポリゴン
ミラーを係止するフランジ部は、中空回転軸の先端部に
設けられるポリゴンミラーに続いて一体に形成される。
このフランジ部は中空回転軸の先端部分に形成されるこ
とになり、中空回転軸の加工工程において、加工機に回
転軸を一度セットすればその後取り外して再度段取りを
する必要がなくなるので、効率の良い加工が可能になる
とともに、支承手段の上端部がポリゴンミラーの上端面
より低くなるようにすることによって、上方の無駄な空
間を最小限に抑えることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図および第２図は、それぞれ本発明の第１の実施
例および第２の実施例の構成を示す一部断面図、第３図
および第４図は第１のマグネットの取付部を示す要部断
面図である。なお、以下の説明において前述の従来例と
同等の構成には同一の参照符号を付し、説明は適宜省略
する。

第１の実施例は、第１図および第４図に示すように、
固定軸17Bの上端面に凸部45を一体に形成し、この凸部4
5の外周に第１のマグネット19を固定したものである。
また、この実施例では、枠体21Bのフランジ41Bにリング
状の枠体43が固定され、この枠体43の解放面を覆うよう
にカバー22Bが枠体43に固定され、このカバー22Bの内壁
に第３のマグネット23が取り付けられている。

固定軸17Bに遊嵌される回転軸11Bは、固定軸17Bより
僅かに長く、先端に形成されたフランジ11Gの上面にポ
リゴンミラー15が、また、ホルダ33を介してボルト26に
よって回転軸11Bに固定されている。上記ホルダ33には
第２のマグネット13が固定されている。このホルダ33の
中心位置には、上下振動減衰用の微細孔32が形成されて
いる。なお、第３のマグネット19は第３図に示すように
固定軸17Bの上端面に凹部40を形成し、この凹部40内に
埋め込んで固定してもよい。

第５図は台座部の構造を示す断面図であり、第１図に
示すように、固定軸17Bの台座20の上面が平面に形成さ
れ、この周辺部に枠体21Bの下面が載置される構造をと
っているが、枠体21Bが台座20に対して正確に位置に固
定できるように、第５図に示すように、枠体21Bの下面
に浅い嵌合穴部21bが形成されている。嵌合穴部21bの内
径は、台座20の外径と略同一にされ、この嵌合穴部21b
の上面全体が台座20の上面に接するようにされている。
また、嵌合穴部21bの側部は、台座20の円周面である嵌
合部20dの上縁に接するようになっている。

第６図および第７図はそれぞれ台座部の他の構造例を
示す断面図である。第１の実施例において台座部をこの
ような構造とすることもできる。第６図に示した台座20
では、嵌合部20dの上縁に嵌合穴部21bの深さで、かつ半
径方向へ０〜1mmの範囲内の溝状の嵌合部20eを設けてい
る。また、第７図に示した台座20では、嵌合部20dに対
し、嵌合穴部21bの内周に接する部分を除いて、これよ
り下部を半径方向に０〜1mmの切削除去し、嵌合部20fと
している。このような構成とすることにより、台座20と
枠体21Bの嵌合を、さらに確実にすることができる。

第１の実施例のその他の部分の構成は、すでに第13図
および第14図で説明した従来の空気磁気軸受型光偏向器
と同一である。

この実施例では、第１のマグネット19用の別体ホルダ
が省略され、第２のマグネット13のホルダ33も薄型化さ
れているので、軸方向の長さも短縮され、全体の小型化
かが可能となる。

また、第４図に示した例では凸部45の外径加工が第３
図に示した凹部40の内径加工よりも容易である。

第２の実施例は、第２図に示すように固定軸17Cの上
面に凹部46が形成され、この凹部46の底面に第１のマグ
ネット19を固定し、第２のマグネット13が固定されるホ
ルダ34は、凹部46に挿入される筒状部34aを備えてい
る。また、カバー22Cには中心部に第３のマグネット23
が固定される円柱部48が形成されている。

第２の実施例では、第３のマグネット23、第２のマグ
ネット13および第１のマグネット19からなるスラスト軸
受を、固定軸17Cの凹部46内に設け、ポリゴンミラー15
の上面とカバー22Cの上面間距離を短縮することで、小
型化を実現している。

第２の実施例のその他の部分の構造及び効果は、第１
図を用いて説明した第１の実施例と同等である。

一般に、この種の光偏向器が適用されるレーザプリン
タやデジタル複写機の光書込装置では、ポリゴンミラー
から上方はスペースが狭く、ポリゴンミラーの上面から
装置の上面までの長さが短いことが望まれている。

前述したように、第１の実施例および第２の実施例で
は軸方向の長さを短縮することができるが、ポリゴンミ
ラー15の上面位置y2と下部スラストマグネット19の下面
位置y1との距離は、それぞれ1,l2であり、これは１
＜l2となっている。

第８図は本発明の第３の実施例の構成を示す説明図で
あり、この実施例の場合、回転軸11Aの先端に形成した
フランジ11Fの上面にポリゴンミラー15を載置し、さら
に、その内筒部14aを回転軸11Aの内周部に嵌合させて位
置決めするミラー押え14によりポリゴンミラー15を上方
から押さえ、挾持している。具体的には、ネジ27を、ミ
ラー押さえ14とポリゴンミラー15を挿通してフランジ11
Fに螺合させることにより、ポリゴンミラー15を固定し
ている。

なお、第８図に示す実施例では中空の回転軸11Aの内
径とポリゴンミラー15の内径とが等しくなっているが、
異なる場合であっても、ミラー押さえ14の内筒部14aの
形状を変えて対処できる。

さらに、このミラー押さえ14は第２のマグネット13を
保持しており、マグネットホルダとしての機能も持って
いる。またミラー押さえ14の中央には、オリフィス用微
細穴28が形成されており、スラスト軸受にダンピング特
性を持たせるようにしている。

なお、この第３の実施例のその他の部分の構成は、す
でに第１図を用いて説明した第１の実施例と同等であ
る。

このように、いずれにしてもフランジ11Fを中空の回
転軸11Aの先端部に形成することで、ブランク切削加工
や同軸度を確保するための研削加工において、途中での
加工機への着脱が不要になり、加工工程は回転軸固定→
切削・研削→完了のように短縮できるため、加工コスト
が安くなる。

また鍛造加工によって成形することが可能となり、そ
の結果、ブランク切削加工量も少なくでき、加工時間の
短縮化と材料の無駄を省くことができるため、加工コス
トを安くできる。

また、ポリゴンミラー15の支持位置をより高くするこ
とができるので、より上方空間の少ないところでも使用
できる。

さらに、ミラー押さえ14をポリゴンミラー15と回転軸
11Aの内周部に圧入して固定すると、ポリゴンミラー15
の位置決めおよび係止をさらに正確に且つ簡単に行うこ
とができる。

また、ミラー押さえ14にマグネットホルダの機能も持
たせ、且つオリフィス用微細穴28を形成した場合は、低
コスト化、組立性の向上および磁石の位置決め精度の向
上を図ることができる。

第９図は本発明の第４の実施例の構成を示す説明図、
第10図は第９図の固定軸の上端面の説明図である。これ
らの図で示される第４の実施例は、アキシヤル空気軸受
を形成する反発力発生手段を、マグネットでなく固定軸
の先端部の空気動圧としたもので、固定軸の先端部に動
圧スラスト空気軸受が構成されている。

この実施例では回転軸11Aの先端に形成したフランジ1
1Fの上面にポリゴンミラー15を載置し、回転軸11Aの内
周部に内筒部14aを嵌合して位置決めされるミラー押さ
え14により、ポリゴンミラー15を回転軸の軸心と同軸に
位置決めし、上方より押さえて係止している。具体的に
はネジ27をミラー押さえ14、ポリゴンミラー15、フラン
ジ11Fにまたがって螺合することにより、ポリゴンミラ
ー15を挾み込んで固定している。このミラー押さえ14に
は、回転体釣合修正用のバランス修正溝14bが形成され
ている。

また、回転軸11Aの中央にはロータマグネット16が嵌
装され、さらにロータマグネット16の下方に、バランス
修正溝Raを形成したバランスリングＲが装着されてい
る。このようにして、ポリゴンミラー15、ミラー押さえ
14、ロータマグネット16、バランスリングＲ等が取り付
けられた回転軸11Aが、動圧空気軸受型ポリゴンスキャ
ナの回転体Ｍを構成している。この回転体Ｍは不釣合に
よる回転時の振動を小さくするために、上下のバランス
修正溝14b、Raによって不釣合量が数mg以下になるよう
にバランス修正されている。

モータ部はインナーロータ型といわれる方式のもので
あり、ロータマグネット16、ステータヨーク25、コイル
部25c、ホール素子Ｈ等で構成され、励磁切り換えによ
りポリゴンスキャナの回転体Ｍが回転するようになって
いる。

第４の実施例では、回転軸11Aが嵌合している固定軸1
7Aの下端部は、台座20と圧入固着あるいは焼きばめなど
の方法で堅固に固定されている。前記固定軸17Aの外周
面には、ラジアル軸受を構成するためヘリングボーン溝
17a,17bが、上下二対形成されている。

さらに、固定軸17Aの上端面には、スラスト軸受を構
成するためのスパイラル溝17cが、第10図に示すように
形成されている。前記ラジアル軸受は回転体Ｍを半径方
向に支持し、このスラスト軸受は回転体Ｍを軸方向に支
持している。

そして回転体Ｍが回転を開始すると、回転軸11Aと固
定軸17Aの隙間の圧力が高まり、ラジアル動圧空気軸受
を形成すると共に、固定軸17A上端面とミラー押さえ14
下端面の隙間の圧力が高まり、これにより動圧スラスト
空気軸受となって、半径方向及び軸方向に回転体Ｍを非
接触で支持する。

第11図は本発明の第５の実施例の構成を示す説明図で
あり、回転軸11Aが遊嵌している固定軸17Aの下端部は、
台座20と圧入固着あるいは焼ばめなどの方法で堅固に固
定されている。また、固定軸17Aの円周表面にはラジア
ル軸受を構成するためのヘリングボーン溝17a,17bが形
成されている。そして、回転体Ｍを構成するミラー押さ
え14の下端は球面状に形成され停止時には固定軸17Aの
上端面にこの球面が接触し、支持される。

ここで、前記回転体Ｍが回転を開始すると、回転軸11
Aと固定軸17Aの隙間の圧力が高まり、ラジアル動圧空気
軸受が形成され、半径方向に回転体Ｍを非接触で支持す
る。同時に、上側ヘリングボーン溝17a,17bにより、上
下動圧空気流が発生し、回転体Ｍを軸方向にも浮上さ
せ、非接触で支持する。この第５の実施例のその他の部
分の構成及び動作は、すでに第９図で説明した第４の実
施例と同等である。

第12図は本発明の第６の実施例の構成を示す説明図で
あり、回転軸11Aが遊嵌している固定軸17Aの下端部は、
台座20と圧入固着或は焼きばめなどの方法で堅固に固定
されている。また、固定軸17Aの円周表面にはラジアル
軸受を構成するためのヘリングボーン溝17a,17bが形成
されている。そして、固定軸17Aの上端にはボールＢが
配置され、停止時に回転体Ｍと接触し、支持する。

そこで、回転体Ｍが回転を開始すると、回転軸11Aと
固定軸17Aの隙間の圧力が高まり、ラジアル動圧空気軸
受となって、半径方向に回転体Ｍを非接触で支持すると
共に、上側ヘリングボーン溝17a,17bにより発生する上
昇圧空気流により回転体Ｍを軸方向にも浮上させて非接
触で支持する。

前述の第４の実施例ないし第６の実施例では、回転軸
11Aの先端にフランジ11Fを形成しているので、途中で加
工機へ着脱する必要がなくなり、加工コストを低減する
ことができる。また、ミラー押さえ14によりポリゴンミ
ラー15を回転軸心と同軸に位置決めできるため、ポリゴ
ンミラー15の反射面のバラツキを極めて小さく押さえる
ことができる。

〔発明の効果〕

これまでの説明で明らかなように、上記のように構成
された本発明によれば以下のような効果がある。

請求項１記載の発明によれば、フランジを回転軸の先
端部に一体に形成するので、部品点数を減らすことがで
きるとともに、鍛造加工が可能になり、ブランク加工も
簡単に済ますことが可能で、加工に際してもワークを一
旦段取りした後は付け換える必要もなくなるので、加工
効率が向上し、コストの低減を図ることができる。また
フランジの上部に回転軸部分がなくなるので、軸方向の
長さを短縮して全体を小型化することができる。

請求項２に記載の発明によれば、高精度で加工される
回転軸の内面を基準にポリゴンミラーの内側で位置決め
を行うので、ポリゴンミラーの位置決めが精度良く行え
る。また、回転軸の内面は元々加工されているので位置
決めのための加工を行う必要がなく、低コストで製造す
ることができる。

請求項３記載の発明によれば、第１のマグネットが固
定軸の先端面に取り付けられているので、精密加工が要
求される下部スラストマグネット用ホルダが不要にな
り、部品点数の削減によって製造コストの低減を図るこ
とができる。

支承手段を固定軸上端に設けた動圧スラスト軸受によ
って構成した請求項４記載、および支承手段を回転軸の
回転によって発生する上昇動圧空気流から得るように構
成した請求項５記載の発明によれば、固定軸の上端面に
高さのある部品を取り付ける必要がないので、その分、
ポリゴンミラーの上部側の無駄な空間を最小限に抑える
ことが可能になり、小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第12図は本発明の実施例を説明するための
もので、第１図および第２図はそれぞれ本発明の第１の
実施例および第２の実施例の構成を示す一部断面図、第
３図および第４図はそれぞれ第１のマグネットの取付状
態を示す要部を断面した説明図、第５図は第１図および
第２図の台座部の構造を示す断面図、第６図および第７
図は台座部の他の構造例を示す断面図、第８図は本発明
の第３の実施例の構成を示す説明図、第９図は本発明の
第４の実施例の構成を示す説明図、第10図は第９図の固
定軸の上端面の説明図、第11図および第12図はそれぞれ
本発明の第５の実施例および第６の実施例の構成を示す
説明図、第13図は従来の空気磁気軸受型光偏向器の構成
を示す断面図、第14図は第13図の台座と枠体の支持構造
を示す断面図である。 11A,11B……回転軸、11F,11G……フランジ、13……第２
のマグネット、15……ポリゴンミラー、16……ロータマ
グネット、17A,17B,17C……固定軸、17a……上部ヘリン
グボーン溝、17b……下部ヘリングボーン溝、19……第
１のマグネット、20……台座、21B……枠体、22A,22B,2
2C……カバー、23……第３のマグネット、25……ステー
タヨーク、31……ホルダ、32……微細孔、33,34……ホ
ルダ。

フロントページの続き (72)発明者 大根 輝雄 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (72)発明者 星 健一 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (72)発明者 寒河江 英利 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G02B 26/10

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】固定軸と、 この固定軸に外挿する中空部が形成された回転軸と、 前記回転軸を軸方向に支承する支承手段と、 前記回転軸をラジアル方向に軸止するラジアル空気軸受
   と、 前記回転軸を回転駆動する駆動手段と、 前記回転軸に固定されたポリゴンミラーと、 を備え、 前記駆動手段を介して前記回転軸を回転駆動し、前記ポ
   リゴンミラーに照射される光を偏向する空気軸受型光偏
   向器であって、 前記回転軸の上端部に該回転軸と一体としてフランジを
   形成し、前記ポリゴンミラーを該フランジの上面に載置
   することを特徴とする空気軸受型光偏向器。
2. 【請求項２】前記ポリゴンミラーが、前記回転軸に形成
   された中空部の径と同径の中空部が形成されたポリゴン
   ミラーであって、 前記ポリゴンミラーの中空部と前記回転軸の中空部と
   に、該ポリゴンミラーの上方から嵌合されるホルダを備
   えたことを特徴とする請求項１記載の空気軸受型光偏向
   器。
3. 【請求項３】前記支承手段が、前記固定軸の先端面に直
   接取り付けられた第１のマグネットと、この第１のマグ
   ネットに対向して回転体の中空部に取り付けられた第２
   のマグネットと、この第２のマグネットに対向してポリ
   ゴンミラーを覆うケーシング側に取り付けられた第３の
   マグネットとからなり、これらのマグネットが互いに磁
   気反発力を発生する磁極が対向するように設けられてい
   ることを特徴とする請求項１記載の空気軸受型光偏向
   器。
4. 【請求項４】前記支承手段が、前記固定軸上端に設けら
   れた動圧スラスト空気軸受であることを特徴とする請求
   項１記載の空気軸受型光偏向器。
5. 【請求項５】前記支承手段が、前記回転軸の回転によっ
   て発生する上昇動圧空気流から浮上力を得、前記回転軸
   を前記固定軸から離間した状態で支承する浮上支承手段
   からなることを特徴とする請求項１記載の空気軸受型光
   偏向器。