JP2852291B2 - 半導体ペレットのダイボンディング法 - Google Patents
半導体ペレットのダイボンディング法Info
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- JP2852291B2 JP2852291B2 JP7338497A JP7338497A JP2852291B2 JP 2852291 B2 JP2852291 B2 JP 2852291B2 JP 7338497 A JP7338497 A JP 7338497A JP 7338497 A JP7338497 A JP 7338497A JP 2852291 B2 JP2852291 B2 JP 2852291B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ペレット
（以下、ペレット、と称す）のダイボンディング法に係
わり、特にペレットをセラミックパッケージやリードフ
レームや回路配線層等のペレット搭載部にダイボンディ
ングする際のダイボンダーにおけるスクラブ方法に関す
るものである。
（以下、ペレット、と称す）のダイボンディング法に係
わり、特にペレットをセラミックパッケージやリードフ
レームや回路配線層等のペレット搭載部にダイボンディ
ングする際のダイボンダーにおけるスクラブ方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】ペレットをセラミックパッケージ等のペ
レット搭載部に搭載しダイボンディングする場合におい
て、セラミックパッケージに規定の温度を印加し、金を
主体とした合成材料をペレット搭載部上で溶解させペレ
ットを搭載するこの際、空気の巻き込みと加熱される事
による空気の膨張によってペレットとペレット搭載部と
の間に気泡が発生し、ボンディングに不都合を生じる。
レット搭載部に搭載しダイボンディングする場合におい
て、セラミックパッケージに規定の温度を印加し、金を
主体とした合成材料をペレット搭載部上で溶解させペレ
ットを搭載するこの際、空気の巻き込みと加熱される事
による空気の膨張によってペレットとペレット搭載部と
の間に気泡が発生し、ボンディングに不都合を生じる。
【０００３】このために、コレットに真空吸着されたペ
レットを合金材料が溶解した状態のペレット搭載部に往
復運動等の周期的運動すなわち振動しながら擦り付ける
スクラブ動作を施すことにより、気泡をペレット下部よ
り排出する。
レットを合金材料が溶解した状態のペレット搭載部に往
復運動等の周期的運動すなわち振動しながら擦り付ける
スクラブ動作を施すことにより、気泡をペレット下部よ
り排出する。
【０００４】図３を参照して、特開昭５６−１０３４３
１号公報に開示されているような従来のスクラブ動作を
説明する。
１号公報に開示されているような従来のスクラブ動作を
説明する。
【０００５】図３において、ペレット１のスクラブの振
動動作方向７をＸ方向、Ｙ方向もしくは両方向の組み合
わせで行うもので、（Ａ）に示すＸ方向の単一動作、
（Ｂ）に示すＹ方向の単一動作、（Ｃ）および（Ｄ）に
示すＸ，Ｙ同時動作、（Ｅ）に示す角状動作、（Ｆ）に
示す円状動作がある。
動動作方向７をＸ方向、Ｙ方向もしくは両方向の組み合
わせで行うもので、（Ａ）に示すＸ方向の単一動作、
（Ｂ）に示すＹ方向の単一動作、（Ｃ）および（Ｄ）に
示すＸ，Ｙ同時動作、（Ｅ）に示す角状動作、（Ｆ）に
示す円状動作がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の第１の問題
点は、ペレット直下の気泡の排出が容易にできないこと
である。
点は、ペレット直下の気泡の排出が容易にできないこと
である。
【０００７】その理由は、スクラブによりペレット直下
の気泡をたて長に形成し、その後たて長に形成された気
泡を排出することに対応できるスクラブ動作になってい
ないからである。
の気泡をたて長に形成し、その後たて長に形成された気
泡を排出することに対応できるスクラブ動作になってい
ないからである。
【０００８】第２の問題点は、従来の方法に於いて、気
泡除去を行う為にスクラブ回数を増加させ、スクラブの
時間を長くなければならないことである。
泡除去を行う為にスクラブ回数を増加させ、スクラブの
時間を長くなければならないことである。
【０００９】その理由は、発生した気泡を除去する手段
として従来方法を長く行う事でペレット直下の気泡を徐
々にペレット下部外周へ移動させて排出できるからであ
る。
として従来方法を長く行う事でペレット直下の気泡を徐
々にペレット下部外周へ移動させて排出できるからであ
る。
【００１０】このように従来技術では、ペレットを搭載
する半導体容器等のペレット搭載部とペレットの接着を
行うソルダー内の気泡を十分に除去することが出来ない
から、残存気泡によりペレットから発生する発熱を充分
放散できず電気的特性を悪化させてしまう要因となる。
する半導体容器等のペレット搭載部とペレットの接着を
行うソルダー内の気泡を十分に除去することが出来ない
から、残存気泡によりペレットから発生する発熱を充分
放散できず電気的特性を悪化させてしまう要因となる。
【００１１】また残存気泡を所定値以下にしようとする
と、長いスクラブ時間が必要となり生産性が低下してし
まう。
と、長いスクラブ時間が必要となり生産性が低下してし
まう。
【００１２】したがって本発明の目的は、ペレットと半
導体容器等のペレット搭載部を接着する際に発生する気
泡を効率的に除去することにより、安定した接着強度と
電気的特性を確保する半導体装置を生産性良く製造する
ことが出来るペレットのダイボンディング法を提供する
ことである。
導体容器等のペレット搭載部を接着する際に発生する気
泡を効率的に除去することにより、安定した接着強度と
電気的特性を確保する半導体装置を生産性良く製造する
ことが出来るペレットのダイボンディング法を提供する
ことである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、長方形
状のペレットをペレット搭載部にスクラブ動作を有して
ボンディングするペレットのダイボンディング法におい
て、前記スクラブ動作は、前記ペレットをその長辺方向
に所定回数又は所定時間スクラブする第１のステップ
と、次に前記ペレットをその短辺方向に移動させる第２
のステップと、次に前記ペレットを再度その長辺方向に
所定回数又は所定時間スクラブする第３のステップとを
有するペレットのダイボンディング法にある。
状のペレットをペレット搭載部にスクラブ動作を有して
ボンディングするペレットのダイボンディング法におい
て、前記スクラブ動作は、前記ペレットをその長辺方向
に所定回数又は所定時間スクラブする第１のステップ
と、次に前記ペレットをその短辺方向に移動させる第２
のステップと、次に前記ペレットを再度その長辺方向に
所定回数又は所定時間スクラブする第３のステップとを
有するペレットのダイボンディング法にある。
【００１４】ここで、前記第３のステップの後、前記第
２のステップにおける移動の向きとは反対方向の向きに
前記ペレットをその短辺方向に移動させる第４のステッ
プと、次に前記ペレットを再々度その長辺方向に所定回
数又は所定時間スクラブする第５のステップとを有する
ことができる。
２のステップにおける移動の向きとは反対方向の向きに
前記ペレットをその短辺方向に移動させる第４のステッ
プと、次に前記ペレットを再々度その長辺方向に所定回
数又は所定時間スクラブする第５のステップとを有する
ことができる。
【００１５】また、前記移動の距離は、前記ペレットの
前記短辺の寸法以下でありかつ前記ペレットの前記短辺
の寸法の１／２以上であることが好ましい。
前記短辺の寸法以下でありかつ前記ペレットの前記短辺
の寸法の１／２以上であることが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明を説明
する。
する。
【００１７】図１は本発明の第１の実施の形態における
平面図であり、（Ａ）はスクラブの方向および移動方向
を示し、（Ｂ）は気泡の状態を示している。
平面図であり、（Ａ）はスクラブの方向および移動方向
を示し、（Ｂ）は気泡の状態を示している。
【００１８】長方形状のペレット１を半導体容器等のペ
レット搭載部にダイボンディングする際の第１の実施の
形態のスクラブ動作は、先ず第１のステップ１０におい
て、ペレット１にその長辺が延びる方向すなわち長辺方
向（Ｘ方向）にスクラブ２を、所定回数又は所定時間実
施する。
レット搭載部にダイボンディングする際の第１の実施の
形態のスクラブ動作は、先ず第１のステップ１０におい
て、ペレット１にその長辺が延びる方向すなわち長辺方
向（Ｘ方向）にスクラブ２を、所定回数又は所定時間実
施する。
【００１９】その時のペレット直下の気泡４は、スクラ
ブ開始初期の状態１１から、第１のステップのスクラブ
完了後の状態１２へと、ペレットの短辺方向に、たて長
の状態に変化して行く。
ブ開始初期の状態１１から、第１のステップのスクラブ
完了後の状態１２へと、ペレットの短辺方向に、たて長
の状態に変化して行く。
【００２０】次に第２のステップ２０において、ペレッ
ト１をその短辺が延びる方向すなわち短辺方向（Ｙ方
向）に移動３する。この移動により状態２１に示すよう
に、気泡排出の抜け穴５が形成される。
ト１をその短辺が延びる方向すなわち短辺方向（Ｙ方
向）に移動３する。この移動により状態２１に示すよう
に、気泡排出の抜け穴５が形成される。
【００２１】この移動距離Ｌは、０．２ｍｍ程度で効果
があるが、よりよい効果を得るためには、ペレットの短
辺の寸法の１／４以上にすることが好ましい。さらに良
い結果を得るには、ペレットの短辺の寸法の１／２以上
にするのが良く、ペレット搭載部の大きさをあまり大き
くしないことからペレットの短辺の寸法以下にするのが
実用的である。
があるが、よりよい効果を得るためには、ペレットの短
辺の寸法の１／４以上にすることが好ましい。さらに良
い結果を得るには、ペレットの短辺の寸法の１／２以上
にするのが良く、ペレット搭載部の大きさをあまり大き
くしないことからペレットの短辺の寸法以下にするのが
実用的である。
【００２２】最後に第３のステップ３０において、Ｙ方
向に移動した位置に置いて、ペレット１にその長辺が延
びる方向すなわち長辺方向（Ｘ方向）にスクラブ２を再
度、所定回数又は所定時間実施する。
向に移動した位置に置いて、ペレット１にその長辺が延
びる方向すなわち長辺方向（Ｘ方向）にスクラブ２を再
度、所定回数又は所定時間実施する。
【００２３】その結果状態３１に示すように、気泡排出
の抜け穴５から更に気泡４が排出される。
の抜け穴５から更に気泡４が排出される。
【００２４】本発明は、ペレット長辺方向へはスクラブ
２を行うが、ペレット短辺方向へはスクラブせず移動動
作３を組合せた所に特徴があり、このようなスクラブ動
作は従来技術になかった点である。
２を行うが、ペレット短辺方向へはスクラブせず移動動
作３を組合せた所に特徴があり、このようなスクラブ動
作は従来技術になかった点である。
【００２５】図２を参照して本発明の第２の実施の形態
を説明する。尚、図２において図１と同一もしくは類似
の箇所は同じ符号を付してあるから、重複する説明は省
略する。
を説明する。尚、図２において図１と同一もしくは類似
の箇所は同じ符号を付してあるから、重複する説明は省
略する。
【００２６】この第２の実施の態様では、第３のステッ
プ３０の後に第４のステップ４０を行う。この第４のス
テップでは、第２のステップにおける移動３の向き（図
で下方向）と反対方向の向き（図で上方向）にペレット
１を移動６させて、第１のステップ１０におけるＹ方向
の場所に位置させる。この移動距離Ｌの大きさは第１の
実施の形態と同様である。
プ３０の後に第４のステップ４０を行う。この第４のス
テップでは、第２のステップにおける移動３の向き（図
で下方向）と反対方向の向き（図で上方向）にペレット
１を移動６させて、第１のステップ１０におけるＹ方向
の場所に位置させる。この移動距離Ｌの大きさは第１の
実施の形態と同様である。
【００２７】次に第５のステップ５０において、ペレッ
ト１にその長辺が延びる方向すなわち長辺方向（Ｘ方
向）にスクラブ２を再々度、所定回数又は所定時間実施
する。
ト１にその長辺が延びる方向すなわち長辺方向（Ｘ方
向）にスクラブ２を再々度、所定回数又は所定時間実施
する。
【００２８】この第２の実施の形態では、第１の実施の
形態より２回のステップが追加されるが、反対方向への
動作を付加する事で気泡の排出をより完全に行う事が可
能となり移動距離Ｌも第２および第４のステップで同じ
にすることでペレットの搭載位置の設定を容易にする事
が可能となる。
形態より２回のステップが追加されるが、反対方向への
動作を付加する事で気泡の排出をより完全に行う事が可
能となり移動距離Ｌも第２および第４のステップで同じ
にすることでペレットの搭載位置の設定を容易にする事
が可能となる。
【００２９】
【発明の効果】第１の効果は、ペレットのダイボンディ
ングを行う場合、ペレットと半導体容器の間に生じる気
泡を除去できることによりペレットと半導体容器の密着
性を向上することができ機械的強度の向上と電気的特性
測定に於いて発生するペレットから発熱を効果的に放散
でき、電気的特性が向上することである。
ングを行う場合、ペレットと半導体容器の間に生じる気
泡を除去できることによりペレットと半導体容器の密着
性を向上することができ機械的強度の向上と電気的特性
測定に於いて発生するペレットから発熱を効果的に放散
でき、電気的特性が向上することである。
【００３０】その理由は、従来の方法では単一のスクラ
ブ動作あるいは角状又は円状動作であった方法を変則移
動を付加することで気泡をペレット部外周に寄せて排出
しやすい状況にできるからである。
ブ動作あるいは角状又は円状動作であった方法を変則移
動を付加することで気泡をペレット部外周に寄せて排出
しやすい状況にできるからである。
【００３１】第２の効果は、気泡を除去する為のスクラ
ブ動作を変則的に行うことで気泡除去に関わる時間を短
縮することが出来、生産性が向上することである。
ブ動作を変則的に行うことで気泡除去に関わる時間を短
縮することが出来、生産性が向上することである。
【００３２】その理由は、従来方法の単一のスクラブ動
作あるいは角状又は円状動作では気泡をペレット下部外
周に寄せても再び内側に戻してしまう為に排出に時間を
費やすのに対し、本発明による方法では気泡を内側に戻
す事なく排出できるから時間短縮が可能となるからであ
る。
作あるいは角状又は円状動作では気泡をペレット下部外
周に寄せても再び内側に戻してしまう為に排出に時間を
費やすのに対し、本発明による方法では気泡を内側に戻
す事なく排出できるから時間短縮が可能となるからであ
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す図である。
【図３】従来技術を示す図である。
１ ペレット ２ ペレット長辺方向スクラブ ３ ペレット短辺方向の移動 ４ ペレット直下の気泡 ５ 気泡排出の抜け穴 ６ ペレット短辺方向の移動 ７ 従来技術のスクラブ動作 １０ 第１のステップ（長辺方向のスクラブ） １１ 第１のステップの初期の気泡の状態 １２ 第１のステップ後の気泡の状態 ２０ 第２ステップ（短辺方向への移動） ２１ 第２のステップ後の気泡の状態 ３０ 第３ステップ（長辺方向のスクラブ） ３１ 第３のステップ後の気泡の状態 ４０ 第４ステップ（短辺方向への移動） ５０ 第５ステップ（長辺方向のスクラブ）
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/52 H01L 21/58
Claims (3)
- 【請求項１】 長方形状の半導体ペレットをペレット搭
載部にスクラブ動作を有してボンディングする半導体ペ
レットのダイボンディング法において、前記スクラブ動
作は、前記半導体ペレットをその長辺方向に所定回数又
は所定時間スクラブする第１のステップと、次に前記半
導体ペレットをその短辺方向に移動させる第２のステッ
プと、次に前記半導体ペレットを再度その長辺方向に所
定回数又は所定時間スクラブする第３のステップとを有
することを特徴とする半導体ペレットのダイボンディン
グ法。 - 【請求項２】 前記第３のステップの後、前記第２のス
テップにおける移動の向きとは反対方向の向きに前記半
導体ペレットをその短辺方向に移動させる第４のステッ
プと、次に前記半導体ペレットを再々度その長辺方向に
所定回数又は所定時間スクラブする第５のステップとを
有することを特徴とする請求項１記載の半導体ペレット
のダイボンディング法。 - 【請求項３】 前記移動の距離は、前記半導体ペレット
の前記短辺の寸法以下であり、かつ前記半導体ペレット
の前記短辺の寸法の１／２以上であることを特徴とする
請求項１もしくは請求項２記載の半導体ペレットのダイ
ボンディング法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7338497A JP2852291B2 (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | 半導体ペレットのダイボンディング法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7338497A JP2852291B2 (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | 半導体ペレットのダイボンディング法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10270474A JPH10270474A (ja) | 1998-10-09 |
| JP2852291B2 true JP2852291B2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=13516653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7338497A Expired - Fee Related JP2852291B2 (ja) | 1997-03-26 | 1997-03-26 | 半導体ペレットのダイボンディング法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2852291B2 (ja) |
-
1997
- 1997-03-26 JP JP7338497A patent/JP2852291B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10270474A (ja) | 1998-10-09 |
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