JP2849974B2

JP2849974B2 - 圧力センサ

Info

Publication number: JP2849974B2
Application number: JP24753793A
Authority: JP
Inventors: 和夫的場; 重男大隈; 誠男石谷; 祥一堺
Original assignee: Unisia Jecs Corp
Current assignee: Hitachi Unisia Automotive Ltd
Priority date: 1993-09-08
Filing date: 1993-09-08
Publication date: 1999-01-27
Anticipated expiration: 2014-01-27
Also published as: JPH0777475A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば自動車用エンジ
ン等の燃焼圧を検出する燃焼圧センサに用いて好適な圧
力センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ケーシングと、該ケーシングの
先端側に設けられ、該ケーシングの先端側に外部から作
用する圧力に応じて軸方向に変位するダイヤフラムと、
該ダイヤフラムに当接するように、前記ケーシング内に
設けられた受圧ロッドと、該受圧ロッドを介して伝達さ
れるダイヤフラムの変位を圧力に応じた電圧信号として
出力する圧電素子とからなる圧力センサとしての燃焼圧
センサは、例えば実開昭６０−５３５号公報等によって
知られている。

【０００３】そこで、この種の燃焼圧センサに用いられ
る圧電素子１を図１０ないし図１３に基づいて説明す
る。

【０００４】図中、１は従来技術による圧電素子で、該
圧電素子１はチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電材料からな
る素子本体２と、該素子本体２の上下面に導電性ペース
ト等から形成された一対の電極３，３とから構成されて
いる。そして、該圧電素子１は燃焼圧によるダイヤフラ
ムの変位を受圧ロッドを介して受承し、この燃焼圧に応
じた電圧信号をコントロールユニット（いずれも図示せ
ず）に向けて出力するようになっている。また、圧電素
子１は製造時に該各電極３を介して高電界が加えられる
ことにより、自発分極の向きがある程度揃えられて分極
軸Ｐが上下方向（軸方向）に形成される。そして、使用
時において、分極軸Ｐに対して平行な応力軸Ｆから圧力
（応力）が作用すると、素子本体２の内部に歪みが生
じ、この圧力に応じた電荷（電圧信号）を各電極３を介
して信号軸Ｖの方向に出力するようになっている。

【０００５】この種の従来技術による圧電素子１は、例
えばエンジンの燃焼室に取付けられる燃焼圧センサとし
て用いられ、圧電素子１は燃焼圧センサのダイヤフラム
付きケーシング内に組込まれる。そして、燃焼圧センサ
は燃焼室内で燃料が燃焼する時の高い圧力（燃焼圧）を
ダイヤフラムで受承し、該ダイヤフラムの軸方向の変位
を受圧ロッドを介して圧電素子１に伝えることにより、
該圧電素子１は燃焼圧に応じた電圧信号をコントロール
ユニット等に出力し、コントロールユニットはこの電圧
信号に基づいて燃焼圧の大小を判定し、エンジンへの燃
料噴射時期や点火タイミング等を制御するようになって
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術による圧電素子１は図１１に示すような等価回路
で表すことができる。即ち、素子本体２を構成する微細
な粒子（図示せず）のひとつひとつが、三次元的に配列
されるため、内部容量Ｃ0 ，Ｃ１および内部抵抗Ｒ１、
自己インダクタンスＬ１の成分を有している。

【０００７】ここで、圧電素子１に作用する圧力と検出
（電圧）信号との関係を示す圧電ｄ33定数および圧電ｇ
33定数を考えると、圧電素子１の内部容量Ｃ0 ，Ｃ１、
内部抵抗Ｒ１、自己インダクタンスＬ１との間に、次の
ような関係が成り立つ。

【０００８】

【数１】

【０００９】

【数２】

【００１０】然るに、内部容量Ｃ0 ，Ｃ１、自己インダ
クタンスＬ１の値は圧電素子１の温度変化に伴って大き
く変化するため、燃焼室内の高温がケーシング等を介し
て圧電素子１に伝わると、圧電ｄ33定数，圧電ｇ33定数
が図１２，図１３に示す特性線４，５の如く大きく変動
してしまい、圧力センサの出力から温度変化分を補正し
ない限り、ダイヤフラムに作用した燃焼圧を正確に検出
することができないという問題がある。

【００１１】このため、従来技術では、圧電素子１の近
傍に熱電対やサーミスタ等の温度センサを設け、該温度
センサによって圧電素子１の周囲温度を検出し、コント
ロールユニットはこの検出温度に基づいて該圧電素子１
の検出信号を補正するようになっている。しかし、温度
センサと圧電素子１からの異なる信号を処理する必要か
ら、コントロールユニットの電子回路や補正プログラム
等が複雑化してコストが大幅に増大するばかりか、温度
センサを取付ける分だけ燃焼圧センサ全体が大型化して
取付け自由度が低下する上に、温度センサが経年劣化し
た場合は正確に補正することが出来ないという問題があ
る。

【００１２】本発明は上述した従来技術による問題に鑑
みなされたもので、本発明は圧電素子の温度が変化した
場合でも、温度依存性の小さい安定した電圧信号を出力
できるようにした圧力センサを提供することを目的とし
ている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明による圧力センサはケーシングと、該ケ
ーシングの先端側に設けられ、該ケーシングの先端側に
外部から作用する圧力に応じて軸方向に変位するダイヤ
フラムと、該ダイヤフラムに当接するように前記ケーシ
ング内に設けられた受圧ロッドと、該受圧ロッドを介し
て伝達される前記ダイヤフラムの変位を圧力に応じた電
圧信号として出力する圧電素子とを備えている。

【００１４】そして、本発明が採用する構成の特徴は、
前記圧電素子を、温度変化に対して静電容量が一方の温
度特性をもって変化する圧電体材料と、該圧電体材料と
は逆の温度特性をもって静電容量が変化する誘電体材料
とを混合して成型したことにある。

【００１５】

【作用】上記構成により、ダイヤフラムが外部の圧力を
受圧し、該ダイヤフラムの軸方向の変位を受圧ロッドを
介して圧電素子に伝えることにより、該圧電素子が検出
した外部圧力に応じた電圧信号を出力する。

【００１６】この際、圧電素子を構成する圧電体材料の
静電容量が温度変化によって、正または負の温度特性の
うち一方の特性をもって変化しても、圧電体材料に混合
した誘電体材料の静電容量が圧電体材料の静電容量とは
逆の特性をもって変化するため、圧電体材料の静電容量
の変化分を誘電体材料の静電容量の変化分で相殺でき、
外部圧力を検出するときに圧力センサの出力が温度変化
の影響を受けるのを防止する。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例による圧力センサを、
燃焼圧センサとして用いた場合を例に挙げ、図１ないし
図９に基づき説明する。

【００１８】図中、１１はケーシング、１２は後述する
ダイヤフラム１３、上カバー１４と共に該ケーシング１
１を構成するケーシング本体を示し、該ケーシング本体
１２は、その上端側が上カバー１４によって施蓋され、
後述のコンタクトプレート１７、圧電素子２０等を収容
した大径筒部１２Ａと、該大径筒部１２Ａの下端側から
下向きに縮径するテーパ状の肩部１２Ｂとから構成さ
れ、該肩部１２Ｂの下端側には下向きに伸長し後述の受
圧ロッド１５を収容する小径筒状のダイヤフラム１３が
一体的に設けられている。そして、該ケーシング本体１
２はダイヤフラム１３がエンジン本体の燃焼室内に臨む
ように、エンジン本体のシリンダヘッドに設けられた段
付穴の段部（いずれも図示せず）に肩部１２Ｂを当接さ
せて取付けられる。

【００１９】１３はケーシング本体１２の肩部１２Ｂの
下端側に一体形成されたダイヤフラムを示し、該ダイヤ
フラム１３は薄肉な円筒状に形成された小径部１３Ａ
と、該小径部１３Ａの先端部に形成され、燃焼室内に臨
む厚肉円板状の受圧部１３Ｂとからなり、燃焼室内の圧
力（燃焼圧）を受圧すると、この圧力に応じて小径部１
３Ａが軸方向（上，下方向）に撓み、受圧ロッド１５を
軸方向に変位させるものである。

【００２０】１４はケーシング本体１２の大径筒部１２
Ａの上端側にレーザ溶接等の手段を用いて固着された段
付円筒状の上カバーを示し、該上カバー１４の上側には
シリンダヘッド外へと上向きに突出する縮径部１４Ａが
形成され、該上カバー１４内には後述のリード線１９が
上向きに伸長して設けられている。

【００２１】１５はケーシング本体１２のダイヤフラム
１３内に位置して軸方向に変位可能に設けられたステン
レス鋼等からなる受圧ロッドを示し、該受圧ロッド１５
は、小径部１５Ａと、該小径部１５Ａの先端側に形成さ
れ、ダイヤフラム１３の上面側に当接する半球面状の球
面部１５Ｂと、前記小径部１５Ａの基端側にテーパ部１
５Ｃを介して形成された大径の押圧部１５Ｄとから構成
されている。そして、該受圧ロッド１５は、燃焼圧によ
ってダイヤフラム１３が軸方向に撓むと、ケーシング本
体１２内を軸方向に変位し、このダイヤフラム１３の変
位を後述のロアプレート１６等を介して後述の圧電素子
２０に伝達するようになっている。

【００２２】１６は前記受圧ロッド１５と圧電素子２０
との間に設けられたロアプレートを示し、該ロアプレー
ト１６は硬質のセラミック材料等から厚肉の円板状に形
成され、受圧ロッド１５の押圧部１５Ｄ上に配設されて
いる。そして、該ロアプレート１６は前記受圧ロッド１
５と一体的に変位して燃焼圧を圧電素子２０に伝達する
と共に、ケーシング１１，受圧ロッド１５と後述のコン
タクトプレート１７とが短絡しないように電気的に絶縁
し、エンジンの燃焼室内の高温が受圧ロッド１５を介し
て直接圧電素子２０に伝わらないようにしている。

【００２３】１７はケーシング本体１２の大径筒部１２
Ａ内に設けられた導電性材料からなるコンタクトプレー
トを示し、該コンタクトプレート１７は圧電素子２０の
下側電極２２Ｂと組立時に接触する円板状のコンタクト
部１７Ａと、該コンタクト部１７Ａの上側面中央から上
向きに伸長する軸部１７Ｂとによって構成されている。
ここで、軸部１７Ｂはその外周が絶縁チューブ１８によ
って被覆され、該絶縁チューブ１８はコンタクトプレー
ト１７と後述する止めねじ２４，上カバー１４との間等
を絶縁している。また、軸部１７Ｂの上端側は上カバー
１４の縮径部１４Ａ内に伸長して図示しないコントロー
ルユニット側に接続されるリード線１９にカシメ固定さ
れている。

【００２４】２０はケーシング本体１２の大径筒部１２
Ａ内に位置して、コンタクトプレート１７のコンタクト
部１７Ａ上に設けられた本実施例による圧電素子を示
し、該圧電素子２０は従来技術で述べた圧電素子１とほ
ぼ同様に、チタン酸ジルコン酸鉛等から環状に形成され
た素子本体２１と、該素子本体２１の上，下両端面に形
成された上側電極２２Ａ，下側電極２２Ｂとから構成さ
れている。

【００２５】ここで、前記圧電素子２０はコンタクトプ
レート１７の軸部１７Ｂの外側に絶縁チューブ１８を介
して挿通される形で、コンタクト部１７Ａと後述のアッ
パープレート２３との間に止めねじ２４によって挟持さ
れ、該圧電素子２０の上側電極２２Ａは後述のアッパー
プレート２３，止めねじ２４を介してケーシング本体１
２側にアースされている。また、下側電極２２Ｂはコン
タクトプレート１７のコンタクト部１７Ａの上面に当接
し、軸部１７Ｂを介してリード線１９に接続されてい
る。

【００２６】そして、該圧電素子２０は受圧ロッド１
５，ロアプレート１６を介して上下方向に圧力が伝達さ
れると圧縮歪によって分極を生じ、圧力に対応した電圧
を各電極２２Ａ，２２Ｂから発生するようになってい
る。

【００２７】２３は圧電素子２０の上側電極２２Ａに当
接するアッパープレートを示し、該アッパープレート２
３は薄肉の金属から環状に形成され、止めねじ２４によ
って圧電素子２０を押圧して固定し、止めねじ２４で圧
電素子２０等が損傷するのを防止し、該圧電素子２０の
上側電極２２Ａとケーシング本体１２とを止めねじ２４
を介して電気的に接続するものである。

【００２８】２４はケーシング本体１２の大径筒部１２
Ａ内に螺着され、先端部がアッパープレート２３の上面
側に当接した止めねじを示し、該止めねじ２４は、アッ
パープレート２３，コンタクトプレート１７を介して圧
電素子２０を上下から所定の荷重で押圧して初期荷重を
加えると共に、該圧電素子２０、受圧ロッド１５等をダ
イヤフラム１３との間に挟持して固定するものである。

【００２９】本実施例による圧力センサは上述の如き構
成を有するもので、次に圧電素子２０の製造方法につい
て図４に基づいて説明する。ここで、圧電素子２０の素
子本体２１は、圧電体材料としての圧電体粉と、誘電体
材料としての誘電体粉とを混合して形成されるもので、
圧電体粉製造工程、誘電体粉製造工程、混合工程、成型
工程、焼結工程、電極形成工程および分極工程からなる
製造方法によって製造されるものである。

【００３０】まず、圧電体粉製造工程では、仮焼成す
ることによって、４１．５mol%のPbZrO₃ 、４８．５mol
%のPbTiO₃ 、１０mol%のPb(Mn_1/3 ,Sb_2/3)O₃をもった成
分となるように、PbO ， ZrO₂ ， TiO₂ ，MnCO₃ ，Sb₂O
₃ の基本原料１０１を秤量し、この基本原料１０１全体
に対して０．１wt% の NiOを添加し、アセトンを加えて
ボールミルにて２０時間の湿式混合を行い、加熱炉１０
２によって大気雰囲気中で８５０℃，２〜５時間の仮焼
成を行って圧電体粉を得る。

【００３１】そして、この圧電体粉を自動乳鉢１０３お
よびボールミルで粉砕し、平均粒径５μｍの粒子からな
る粉体を得る。ここで、上記成分からなる圧電体粉は、
温度の上昇に伴ってその静電容量が増加する正の温度特
性を有するものである。

【００３２】次に、誘電体粉製造工程では、仮焼成す
ることによって、８１〜８７mol%のPb(Mg_1/3 ,Nb_2/3)O₃
，９〜１４mol%のBaTiO₃ ，４〜６mol%のPb(Co_1/3 ,Nb
_2/3)O₃をもった成分となるように、PbO , TiO₂ ，MgO
，Nb₂O₅ ,BaCO₃ , CoO ,SrCO₃ の基本原料１０４を秤
量し、この基本原料１０４全体に対して２wt% の SrTiO
₃ を添加し、アセトンを加えてボールミルにて２０時間
の湿式混合を行い、加熱炉１０５によって大気雰囲気中
で８５０〜９５０℃，２〜５時間の焼成を行って誘電体
粉を得る。

【００３３】そして、この誘電体粉を自動乳鉢１０６お
よびボールミルで粉砕し、平均粒径５μｍの粒子からな
る粉体を得る。ここで、上記成分からなる誘電体粉は、
温度の上昇に伴ってその静電容量が減少する負の温度特
性を有するものである。

【００３４】次に、混合工程では、前記圧電体粉が２
０〜８０wt% 、残りの２０〜８０wt% が誘電体粉となる
ように、自動乳鉢１０７にて圧電体粉と誘電体粉とを均
一に混合し、この混合物にさらにバインダーとしてポリ
ビニルアルコール（ＰＶＡ）を加える。

【００３５】ここで、最良な形態として図５に示す如
く、圧電体粉粒子２５と誘電体粉粒子２６の双方の粒径
を０．５〜５０μｍとし、両者を５０wt% ずつの割合で
混合した場合、後の焼結工程では図６に示す状態で結合
し、これらの粒子２５，２６が緻密に焼結し、素子本体
２１に十分な強度をもたせると共に、良好な電気特性を
もたせることができる。

【００３６】次に、成型工程では、均一に混合された
混合物をプレス成型機１０８によって厚さ１〜５ｍｍの
ペレット状体１０９に加圧成型する。

【００３７】次に、焼結工程では、ペレット状体１０
９に成型された圧電体粉と誘電体粉との混合物をMgO 製
の坩堝に密閉し、加熱炉１１０により１２００〜１２５
０℃で４時間焼成して焼結体１１１を形成する。

【００３８】次に、電極形成工程（図示せず）では、焼
結工程で得られた焼結体１１１の両端面を８００番の
SiC 研磨剤で研磨し、円周側面を１２００番の紙やすり
を用いて研磨した後、該焼結体１１１の両端面に例えば
金薄膜等からなる電極を形成する。

【００３９】さらに、分極工程（図示せず）では、前記
焼結体１１１をシリコンオイル中で１１０℃に保ちなが
ら各電極２２Ａ，２２Ｂに２０KV/cm の直流電界を加え
て分極処理を行い、図３中に示す如く上下方向に分極軸
Ｐを形成する。

【００４０】本実施例による圧力センサは以上に述べた
構成を有するもので、エンジンの燃焼圧を検出する燃焼
圧センサとして用いる場合、エンジンの燃焼室内の混合
気が点火されて燃焼圧が発生し、この燃焼圧によりダイ
ヤフラム１３が軸方向に撓むと受圧ロッド１５が軸方向
に変位し、この変位は押圧部１５Ｄおよびロアプレート
１６を介してコンタクトプレート１７のコンタクト部１
７Ａに上向きに伝達される。

【００４１】これにより、コンタクト部１７Ａと止めね
じ２４との間で圧電素子２０が圧縮され、圧電素子２０
の素子本体２１に図３中に示す応力軸Ｆ方向の圧力が作
用することにより、該素子本体２１の内部にひずみが生
じて圧力に対応した電荷が発生し、この電荷は信号軸Ｖ
方向両端の各電極２２Ａ，２２Ｂからコンタクトプレー
ト１７，リード線１９を介して外部に導出され、図示し
ないコントロールユニットに向けて出力されるようにな
っている。

【００４２】而して、本実施例では圧電素子２０を温度
の上昇に伴ってその静電容量が増加する圧電体粉と、温
度の上昇に伴ってその静電容量が減少する誘電体粉とを
混合した素子本体２１に電極２２Ａ，２２Ｂを設けて構
成している。

【００４３】この結果、圧電体粉の各粒子に対し、直列
かつ並列に該各圧電体粉の粒子とは逆の温度特性をもっ
たコンデンサを接続したのと同じ作用を与えることがで
きる。

【００４４】即ち、周囲の温度が上昇し、素子本体２１
を構成する圧電体粉の静電容量が上昇した場合には、該
素子本体２１に混合された誘電体粉の静電容量が減少
し、素子本体２１全体として圧電ｄ33定数を一定に保持
することができる。また、圧電素子２０の温度が低下
し、素子本体２１を構成する圧電体粉の静電容量が低下
した場合には、該素子本体２１に混合された誘電体粉の
静電容量が増加し、素子本体２１全体として圧電ｄ33定
数を一定に保持することができる。

【００４５】従って、圧電素子２０は図７中の特性線２
７，図８中の特性線２８としてそれぞれ示す如く、従来
技術による圧電素子１の特性線４，５に比し、温度依存
性の小さな安定した圧電ｄ33定数と圧電ｇ33定数を示す
ようになる。この結果、圧電素子２０からは温度依存性
の小さい検出信号を出力でき、温度変化の激しい環境下
でも正確に圧力を検出することができる。

【００４６】さらに、本実施例と同様な作用を得るため
に、コンタクトプレート１７とアッパープレート２３と
の間に例えば従来技術と同様な圧電素子と、該圧電素子
とは別個に製造され、温度の上昇に伴ってその静電容量
が減少する誘電素子とを軸方向に重ねて設けることも考
えられる。

【００４７】しかし、この場合には、該誘電素子や圧電
素子の電極面と、コンタクトプレート１７やアッパープ
レート２３の接触面との間に隙間が生じやすく、この隙
間が圧力伝達の障害、電気的接触不良の原因となった
り、さらにはこの隙間による浮動容量が問題となる。こ
のため、圧電素子、誘電素子、コンタクトプレート１
７、アッパープレート２３等は、各部材が互いに接触す
る面が平行、平面をなすように形成する必要が生じ、表
面加工等の手間が大幅にかかる。

【００４８】然るに、本実施例によれば、圧電体粉と誘
電体粉を混合して単一の圧電素子２０を成型したから、
部品点数を削減でき、圧力センサの組立作業を大幅に簡
略化することができる。

【００４９】かくして、本実施例によれば、燃焼室内の
燃焼圧を長期に亘り高精度に検出できると共に、温度補
正機能を有する燃焼圧センサをコンパクトに構成できる
から、従来技術で用いた温度センサや補正用の電子回路
等を不要にでき、コントロールユニットの回路構成を大
幅に簡略化できる。

【００５０】なお、前記実施例ではケーシング本体１２
と一体に設けられるダイヤフラム１３を薄肉円筒状の小
径部１３Ａと該小径部１３Ａの先端側に形成される厚肉
の受圧部１３Ｂとから構成するものとして述べたが、図
９に示す変形例の如く、ダイヤフラム１３′はケーシン
グ本体１２の肩部１２Ｂの下端側から下向きに伸長する
小径部１３Ａ′と、該小径部１３Ａ′の下端側を閉塞す
る薄肉円板状の受圧部１３Ｂ′とから構成し、受圧ロッ
ド１５の球面部１５Ｂを該受圧部１３Ｂ′の中央に当接
させるように配設してもよい。

【００５１】さらに、前記実施例では、圧力センサを燃
焼圧センサに用いた場合を例に挙げて説明したが、本発
明はこれに限らず、例えば空気、工業用ガス等の気体や
燃料、水等の液体の圧力を検出する圧力センサにも適用
することができる。一方、車輌のノッキングを検出する
ノッキングセンサに用いてもよい。

【００５２】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の圧力センサ
は、ケーシング内にダイヤフラムの変位を受圧ロッドを
介して変位し、圧力に応じた電圧信号を出力する圧電素
子を設け、この圧電素子は、温度上昇と共に正の温度特
性をもって静電容量が増加する圧電体粉と、温度上昇と
共に負の温度特性をもって静電容量が減少する誘電体粉
とを混合してなる構成としたから、温度変化によって圧
電体粉の静電容量が変化しても、圧電体粉に混合した誘
電体粉の静電容量が圧電体粉の静電容量とは逆の特性を
もって変化するため、圧電体粉の静電容量の変化分を誘
電体粉の静電容量の変化分で相殺でき、圧電素子全体の
静電容量を広い温度範囲に亘ってほぼ一定にすることが
できる。

【００５３】従って、温度センサや補正用の電子回路等
を用いなくても、構造を複雑にすることなく温度補正機
能を有する圧力センサとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による圧力センサを示す縦断面
図である。

【図２】図１中の圧電素子を示す拡大斜視図である。

【図３】図２中の矢示III −III 方向の拡大断面図であ
る。

【図４】圧電素子の製造方法を示す説明図である。

【図５】圧電体粉の粒径と誘電体粉の粒径が共に平均５
μｍで、両者を５０wt% ずつの割合で混合した状態を示
す説明図である。

【図６】図５に示す圧電体粉と誘電体粉を焼結した後の
状態を示す説明図である。

【図７】実施例の圧電素子の温度と圧電ｄ33定数との関
係を従来技術による圧電素子との対比で示す特性線図で
ある。

【図８】実施例の圧電素子の温度と圧電ｇ33定数との関
係を従来技術による圧電素子との対比でを示す特性線図
である。

【図９】変形例によるダイヤフラムおよび受圧ロッドを
示す要部拡大図である。

【図１０】従来技術による圧電素子を示す縦断面図であ
る。

【図１１】圧電素子の電気的な等価回路図である。

【図１２】従来技術による圧電素子の温度と圧電ｄ33定
数との関係を示す特性線図である。

【図１３】従来技術による圧電素子の温度と圧電ｇ33定
数との関係を示す特性線図である。

【符号の説明】

１１ケーシング１２ケーシング本体１３ダイヤフラム１５受圧ロッド２０圧電素子２１素子本体２２Ａ上側電極（電極）２２Ｂ下側電極（電極）２５圧電体粉粒子（圧電体材料）２６誘電体粉粒子（誘電体材料）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者堺祥一神奈川県厚木市恩名1370番地株式会社ユニシアジェックス内 (56)参考文献特開昭62−140038（ＪＰ，Ａ) 特開平７−79023（ＪＰ，Ａ) 特開平７−77474（ＪＰ，Ａ) 実開平４−115042（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01L 23/10 G01L 9/08 G01L 1/16

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ケーシングと、該ケーシングの先端側に
設けられ、該ケーシングの先端側に外部から作用する圧
力に応じて軸方向に変位するダイヤフラムと、該ダイヤ
フラムに当接するように前記ケーシング内に設けられた
受圧ロッドと、該受圧ロッドを介して伝達される前記ダ
イヤフラムの変位を圧力に応じた電圧信号として出力す
る圧電素子とからなる圧力センサにおいて、前記圧電素
子は、一方の温度特性をもって静電容量が変化する圧電
材料と、該圧電体材料と逆の温度特性をもって静電容量
が変化する誘電体材料とを混合して成型したことを特徴
とする圧力センサ。