JP2839189B2 - 水平コンバーゼンスずれ測定装置 - Google Patents
水平コンバーゼンスずれ測定装置Info
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- JP2839189B2 JP2839189B2 JP63063235A JP6323588A JP2839189B2 JP 2839189 B2 JP2839189 B2 JP 2839189B2 JP 63063235 A JP63063235 A JP 63063235A JP 6323588 A JP6323588 A JP 6323588A JP 2839189 B2 JP2839189 B2 JP 2839189B2
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- Japan
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- horizontal
- deflection
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラーブラウン管の製造時あるいはカラー
ブラウン管を用いたカラー表示装置の製造時において、
コンバーゼンス調整の自動化を図るのに好適な水平コン
バーゼンスずれ測定装置に関する。
ブラウン管を用いたカラー表示装置の製造時において、
コンバーゼンス調整の自動化を図るのに好適な水平コン
バーゼンスずれ測定装置に関する。
カラーブラウン管の製造工程あるいはカラーブラウン
管を用いたカラー表示装置の製造工程においては、カラ
ーブラウン管で本来の色彩を再現するために、表示面全
域について３原色用のそれぞれの電子ビームが一点に集
中するように調整しており、この調整を通常コンバーゼ
ンス調整と呼んでいる。
管を用いたカラー表示装置の製造工程においては、カラ
ーブラウン管で本来の色彩を再現するために、表示面全
域について３原色用のそれぞれの電子ビームが一点に集
中するように調整しており、この調整を通常コンバーゼ
ンス調整と呼んでいる。
このようなコンバーゼンス調整は、以前、調整技術者
の目視によりコンバーゼンスのずれを検出し、その検出
結果に基づいてコンバーゼンス調整を行っていたが、最
近になってコンバーゼンス調整作業を自動化したコンバ
ーゼンス自動調整装置が開発されている。なお、このコ
ンバーゼンス自動調整装置については、例えば、「カラ
ーブラウン管ピュリティ・コンバーゼンス自動調整装置
の開発」（電子通信学会技術報告IE77−72、1978）等に
示されている。
の目視によりコンバーゼンスのずれを検出し、その検出
結果に基づいてコンバーゼンス調整を行っていたが、最
近になってコンバーゼンス調整作業を自動化したコンバ
ーゼンス自動調整装置が開発されている。なお、このコ
ンバーゼンス自動調整装置については、例えば、「カラ
ーブラウン管ピュリティ・コンバーゼンス自動調整装置
の開発」（電子通信学会技術報告IE77−72、1978）等に
示されている。
前記コンバーゼンス自動調整装置は、自動的にコンバ
ーゼンス調整を行うことが可能であるものの、装置自体
が大規模なものであり、非常に高価になるため、現在に
おいても、依然として、調整技術者の目視によってコン
バーゼンスのずれを検出し、その検出結果に基づいてコ
ンバーゼンス調整を行っているのが実状である。
ーゼンス調整を行うことが可能であるものの、装置自体
が大規模なものであり、非常に高価になるため、現在に
おいても、依然として、調整技術者の目視によってコン
バーゼンスのずれを検出し、その検出結果に基づいてコ
ンバーゼンス調整を行っているのが実状である。
このように、従来のコンバーゼンス調整は、コンバー
ゼンス自動調整装置を用いて自動的に行う場合、コンバ
ーゼンス自動調整装置が大規模なもので、高価であるた
め、広い設置スペースを必要としたり、カラーブラウン
管の製造コストが上昇したりする等の問題があり、一
方、調整技術者の目視によって行う場合、熟練した調整
技術者を必要とし、しかも、調整時に調整技術者の疲労
が大きい等の問題がある。
ゼンス自動調整装置を用いて自動的に行う場合、コンバ
ーゼンス自動調整装置が大規模なもので、高価であるた
め、広い設置スペースを必要としたり、カラーブラウン
管の製造コストが上昇したりする等の問題があり、一
方、調整技術者の目視によって行う場合、熟練した調整
技術者を必要とし、しかも、調整時に調整技術者の疲労
が大きい等の問題がある。
本発明は、このような問題点を解決するもので、その
目的は、簡単で、安価なコンバーゼンスずれ測定装置を
用い、測定の自動化が図れる水平コンバーゼンスずれ測
定装置を提供することにある。
目的は、簡単で、安価なコンバーゼンスずれ測定装置を
用い、測定の自動化が図れる水平コンバーゼンスずれ測
定装置を提供することにある。
前記目的は、偏向ヨークが装着された被測定カラーブ
ラウン管のフェースプレート前面側に配置され、螢光面
の水平方向に配列された３個の螢光体ドットの発光を検
出して変換出力を発生する光電変換素子と、被測定カラ
ーブラウン管の３本の電子ビームを順に１本づつ発生さ
せる駆動電源と、それぞれの電子ビームを垂直走査する
段階的に値が変化する垂直偏向電流と水平走査する前記
垂直偏向電流値の各変化段階ごとに数万段階に値が変化
する水平偏向電流とを前記偏向ヨークに供給する偏向電
源と、駆動電源及び偏向電源を制御し、光電変換素子の
変換出力が最大となる３本の電子ビーム位置を水平偏向
電流値としてそれぞれ検出する処理装置とを備え、処理
装置は、検出した３つの水平偏向電流値の差をそれぞれ
求め、求めた値と３個の螢光体ドットピッチとを比較す
ることにより、３本の電子ビームの水平コンバーゼンス
のずれを測定することにより達成される。
ラウン管のフェースプレート前面側に配置され、螢光面
の水平方向に配列された３個の螢光体ドットの発光を検
出して変換出力を発生する光電変換素子と、被測定カラ
ーブラウン管の３本の電子ビームを順に１本づつ発生さ
せる駆動電源と、それぞれの電子ビームを垂直走査する
段階的に値が変化する垂直偏向電流と水平走査する前記
垂直偏向電流値の各変化段階ごとに数万段階に値が変化
する水平偏向電流とを前記偏向ヨークに供給する偏向電
源と、駆動電源及び偏向電源を制御し、光電変換素子の
変換出力が最大となる３本の電子ビーム位置を水平偏向
電流値としてそれぞれ検出する処理装置とを備え、処理
装置は、検出した３つの水平偏向電流値の差をそれぞれ
求め、求めた値と３個の螢光体ドットピッチとを比較す
ることにより、３本の電子ビームの水平コンバーゼンス
のずれを測定することにより達成される。
被測定カラーブラウン管のフェースプレート前面側に
配置された光電変換素子の出力は、受光面に対して入射
光が直角方向から入射したときに最大になる。つまり、
３本の電子ビームが螢光面の一点に集中した状態にな
る、いわゆるコンバーゼンスが合っていれば、光電変換
素子の出力は、螢光面の同一位置で最大になるが、ミス
コンバーゼンスであると、コンバーゼンスのずれ量に応
じて、異なる位置にそれぞれの電子ビームが達したとき
に最大になる。
配置された光電変換素子の出力は、受光面に対して入射
光が直角方向から入射したときに最大になる。つまり、
３本の電子ビームが螢光面の一点に集中した状態にな
る、いわゆるコンバーゼンスが合っていれば、光電変換
素子の出力は、螢光面の同一位置で最大になるが、ミス
コンバーゼンスであると、コンバーゼンスのずれ量に応
じて、異なる位置にそれぞれの電子ビームが達したとき
に最大になる。
このため、３本の電子ビームの位置を正確に、かつ、
容易に求めるために、電子ビームを多段階にステップ状
に水平方向に移動させることにより、簡単に水平コンバ
ーゼンスのずれ量を求めることができる。
容易に求めるために、電子ビームを多段階にステップ状
に水平方向に移動させることにより、簡単に水平コンバ
ーゼンスのずれ量を求めることができる。
以下、本発明の実施例を図面によって説明する。
第１図は、本発明による水平コンバーゼンスずれ測定
装置の一実施例の構成を示すブロック図である。
装置の一実施例の構成を示すブロック図である。
第１図において、１は被測定カラーブラウン管、1Fは
そのフェースプレート、２は駆動電源、３は偏向ヨー
ク、４は偏向電源、５は一次元光電変換素子、６は処理
装置、７はカソードソケット、8aは第２制御信号、8bは
第１制御信号である。
そのフェースプレート、２は駆動電源、３は偏向ヨー
ク、４は偏向電源、５は一次元光電変換素子、６は処理
装置、７はカソードソケット、8aは第２制御信号、8bは
第１制御信号である。
第１図に示すように、被測定カラーブラウン管１は、
ファンネル部外周に偏向ヨーク３が装着され、ネック部
端部にカソードソケット７は嵌め込まれる。偏向ヨーク
３は偏向電源４に接続され、カソードソケット７は駆動
電源２に接続される。被測定カラーブラウン管１のフェ
ースプレート1F前面に一次元光電変換素子５が配置さ
れ、一次元光電変換素子５は処理装置６に接続される。
処理装置６は、駆動電源２及び偏向電源４にそれぞれ接
続される。
ファンネル部外周に偏向ヨーク３が装着され、ネック部
端部にカソードソケット７は嵌め込まれる。偏向ヨーク
３は偏向電源４に接続され、カソードソケット７は駆動
電源２に接続される。被測定カラーブラウン管１のフェ
ースプレート1F前面に一次元光電変換素子５が配置さ
れ、一次元光電変換素子５は処理装置６に接続される。
処理装置６は、駆動電源２及び偏向電源４にそれぞれ接
続される。
第２図は、被測定カラーブラウン管１のフェースプレ
ート1Fに形成された螢光面の一部における３色の螢光体
ドットの配列状態及び一次元光電変換素子５の配置状態
を示す説明図である。
ート1Fに形成された螢光面の一部における３色の螢光体
ドットの配列状態及び一次元光電変換素子５の配置状態
を示す説明図である。
第２図において、R1〜R8は赤色螢光体ドット、G1〜G8
は緑色螢光体ドット、B1〜B8は青色蛍光体ドット、5a、
5bは一次元光電変換素子５の受光面である。
は緑色螢光体ドット、B1〜B8は青色蛍光体ドット、5a、
5bは一次元光電変換素子５の受光面である。
第２図に示されるように、赤色螢光体ドットR1〜R8、
緑色螢光体ドットG1〜G8、青色螢光体ドットB1〜B8は、
３色螢光体ドットが１つづつ集まって三角形に規則正し
く配置構成される。一次元光電変換素子５の受光面5a
は、水平方向に配列された３個の螢光体ドット、例え
ば、青色螢光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色螢
光体ドットR2の発光を検出できるように、横幅が水平方
向に配列された同色の螢光体ドットの横ピッチPHにほぼ
等しく、縦幅が垂直方向に配列された同色の螢光体ドッ
トの縦ピッチPVの半分PV/2にほぼ等しくなるように構成
されている。また、一次元光電変換素子５の受光面5b
も、受光面5aとほぼ同様に構成されている。
緑色螢光体ドットG1〜G8、青色螢光体ドットB1〜B8は、
３色螢光体ドットが１つづつ集まって三角形に規則正し
く配置構成される。一次元光電変換素子５の受光面5a
は、水平方向に配列された３個の螢光体ドット、例え
ば、青色螢光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色螢
光体ドットR2の発光を検出できるように、横幅が水平方
向に配列された同色の螢光体ドットの横ピッチPHにほぼ
等しく、縦幅が垂直方向に配列された同色の螢光体ドッ
トの縦ピッチPVの半分PV/2にほぼ等しくなるように構成
されている。また、一次元光電変換素子５の受光面5b
も、受光面5aとほぼ同様に構成されている。
第３図（ａ）、（ｂ）は、被測定カラーブラウン管１
に供給される水平走査信号及び垂直走査信号を示す信号
波形図である。
に供給される水平走査信号及び垂直走査信号を示す信号
波形図である。
第３図（ａ）において、10は水平走査信号であり、縦
軸は水平走査信号の段階電流値IH、横軸は時間ｔであっ
て、第３図（ｂ）において、11は垂直走査信号であり、
縦軸は垂直走査信号の段階電流値… …、（Ｉ−２）、
（Ｉ−１）、Ｉ、（Ｉ＋１）、… …、横軸は時間ｔで
ある。
軸は水平走査信号の段階電流値IH、横軸は時間ｔであっ
て、第３図（ｂ）において、11は垂直走査信号であり、
縦軸は垂直走査信号の段階電流値… …、（Ｉ−２）、
（Ｉ−１）、Ｉ、（Ｉ＋１）、… …、横軸は時間ｔで
ある。
また、第４図は、被測定カラーブラウン管１のフェー
スプレート1Fに形成された螢光面上の各螢光体ドット
（発光点）の配置状態を示す説明図である。
スプレート1Fに形成された螢光面上の各螢光体ドット
（発光点）の配置状態を示す説明図である。
第４図において、９（Ｉ−２）、９（Ｉ−１）、9I、
９（Ｉ＋１）は垂直走査信号の段階電流値（Ｉ−２）、
（Ｉ−１）、Ｉ、（Ｉ＋１）によって得られた水平走査
ライン、Piは各水平走査ライン９（Ｉ−２）、９（Ｉ−
１）、9I、９（Ｉ＋１）上にある螢光体ドットに対応す
る発光点である。
９（Ｉ＋１）は垂直走査信号の段階電流値（Ｉ−２）、
（Ｉ−１）、Ｉ、（Ｉ＋１）によって得られた水平走査
ライン、Piは各水平走査ライン９（Ｉ−２）、９（Ｉ−
１）、9I、９（Ｉ＋１）上にある螢光体ドットに対応す
る発光点である。
さらに、第５図は、一次元光電変換素子５から得られ
た光電変換出力の一例を示す特性図である。
た光電変換出力の一例を示す特性図である。
第５図において、縦軸は一次元光電変換素子５から得
られた光電変換出力（電流値）ISであり、横軸は水平走
査信号10の段階電流値IHである。
られた光電変換出力（電流値）ISであり、横軸は水平走
査信号10の段階電流値IHである。
ここで、第１図乃至び第５図を用いて、本実施例の水
平コンバーゼンスずれ測定装置の動作について説明す
る。
平コンバーゼンスずれ測定装置の動作について説明す
る。
まず、処理装置６から第２制御信号8aを駆動電源２に
供給し、駆動電源２により被測定カラーブラウン管１を
駆動して、赤色用、緑色用、青色用の３本の電子銃の中
の１本の電子銃だけを動作させ、動作させた電子銃から
電子ビームを発生させるようにする。
供給し、駆動電源２により被測定カラーブラウン管１を
駆動して、赤色用、緑色用、青色用の３本の電子銃の中
の１本の電子銃だけを動作させ、動作させた電子銃から
電子ビームを発生させるようにする。
また、処理装置６から第１制御信号8bを偏向電源４に
供給し、偏向電源４により偏向ヨーク３を駆動して、第
３図（ｂ）に示されるように、１水平走査ライン毎に順
次電流値の大きさが段階的に変動する垂直走査信号、及
び、第３図（ａ）に示されるように、各水平走査ライン
毎に数万段階に順次大きさが変動する水平走査信号を発
生させる。被測定カラーブラウン管１は、発生した垂直
走査信号及び水平走査信号に対応して、電子ビームを垂
直方向及び水平方向に順次走査偏向させる。
供給し、偏向電源４により偏向ヨーク３を駆動して、第
３図（ｂ）に示されるように、１水平走査ライン毎に順
次電流値の大きさが段階的に変動する垂直走査信号、及
び、第３図（ａ）に示されるように、各水平走査ライン
毎に数万段階に順次大きさが変動する水平走査信号を発
生させる。被測定カラーブラウン管１は、発生した垂直
走査信号及び水平走査信号に対応して、電子ビームを垂
直方向及び水平方向に順次走査偏向させる。
電子ビームが水平方向に走査されるとき、第４図に示
されるように、それぞれの水平走査ライン９（Ｉ−
２）、９（Ｉ−１）、9I、９（Ｉ＋１）上にある各螢光
体ドットに対応した発光点Piが発光し、発光する発光点
Piが順次水平方向に移動して行く。そして、１本の水平
走査ラインにおける発光する発光点Piの移動が終了した
時点で、発光する発光点Piは１段下の水平走査ラインに
移り、前と同様に発光する発光点Piが順次水平方向に移
動し、以下、同様の動作を繰り返し行い、電子ビームの
走査が行われる。
されるように、それぞれの水平走査ライン９（Ｉ−
２）、９（Ｉ−１）、9I、９（Ｉ＋１）上にある各螢光
体ドットに対応した発光点Piが発光し、発光する発光点
Piが順次水平方向に移動して行く。そして、１本の水平
走査ラインにおける発光する発光点Piの移動が終了した
時点で、発光する発光点Piは１段下の水平走査ラインに
移り、前と同様に発光する発光点Piが順次水平方向に移
動し、以下、同様の動作を繰り返し行い、電子ビームの
走査が行われる。
電子ビームの走査が行われた際に、偏向ヨーク３を流
れる水平偏向電流IHによる光電変換素子５の変換出力電
流ISの変化を、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）青色（Ｂ）の３
色について見た場合、例えば、第５図に示すような分布
になる。この第５図に示す３色の分布は、発光点Piが光
電変換素子５の受光面5aに対向した位置にある３つの螢
光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色螢光体ドット
R2上を通過するときの分布である。
れる水平偏向電流IHによる光電変換素子５の変換出力電
流ISの変化を、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）青色（Ｂ）の３
色について見た場合、例えば、第５図に示すような分布
になる。この第５図に示す３色の分布は、発光点Piが光
電変換素子５の受光面5aに対向した位置にある３つの螢
光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色螢光体ドット
R2上を通過するときの分布である。
ところで、コンバーゼンスは、３原色の電子ビームが
螢光面上一点に集中することであるが、実際には微小な
螢光体ドットのピッチ分だけずれている。即ち、３つの
螢光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色螢光体ドッ
トR2の変換出力電流ISの最大の位置ずれGB、BR、GRが１
ピッチまたは２ピッチであれば、コンバーゼンスずれは
ゼロになる。また、これらの位置ずれが１ピッチ以上ま
たは１ピッチ以下であれば、コンバーゼンスがずれてい
る。このずれ量は水平偏向電流IHの差から高精度で容易
に求められる。
螢光面上一点に集中することであるが、実際には微小な
螢光体ドットのピッチ分だけずれている。即ち、３つの
螢光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色螢光体ドッ
トR2の変換出力電流ISの最大の位置ずれGB、BR、GRが１
ピッチまたは２ピッチであれば、コンバーゼンスずれは
ゼロになる。また、これらの位置ずれが１ピッチ以上ま
たは１ピッチ以下であれば、コンバーゼンスがずれてい
る。このずれ量は水平偏向電流IHの差から高精度で容易
に求められる。
なお、第２図に示される光電変換素子５の受光面5a
は、３つの螢光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色
螢光体ドットR2に対して正しい位置にある場合である
が、受光面5bのような位置にあったとしても、同様な手
法によって測定することができる。
は、３つの螢光体ドットB1、緑色螢光体ドットG1、赤色
螢光体ドットR2に対して正しい位置にある場合である
が、受光面5bのような位置にあったとしても、同様な手
法によって測定することができる。
本発明によれば、簡易な構成であり、かつ、安価な装
置を用いて、水平コンバーゼンスずれを容易に求めるこ
とができ、簡単な構成の装置であるにも係わらず、人間
の目視による測定精度に比べて、20乃至30倍の測定精度
で、水平コンバーゼンスずれを測定できる。
置を用いて、水平コンバーゼンスずれを容易に求めるこ
とができ、簡単な構成の装置であるにも係わらず、人間
の目視による測定精度に比べて、20乃至30倍の測定精度
で、水平コンバーゼンスずれを測定できる。
第１図は本発明による水平コンバーゼンスずれ測定装置
の一実施例の構成を示すブロック図、第２図は被測定カ
ラーブラウン管のフェースプレートに形成された螢光面
の一部における３色の螢光体ドットの配列状態及び一次
元光電変換素子の配置状態を示す説明図、第３図は被測
定カラーブラウン管に供給される水平走査信号及び垂直
走査信号を示す信号波形図、第４図は被測定カラーブラ
ウン管のフェースプレートに形成された螢光面上の各螢
光体ドット（発光点）の配置状態を示す説明図、第５図
は一次元光電変換素子から得られた光電変換出力の一例
を示す特性図である。 １……被測定カラーブラウン管、２……電源装置、３…
…偏向ヨーク、４……偏向電源、５……一次元光電変換
素子、６……処理装置、７……カソードソケット、8a…
…第２制御信号、8b……第１制御信号、９（Ｉ−２）、
９（Ｉ−１）、9I、９（Ｉ＋１）……水平走査ライン、
10……水平走査信号、11……垂直走査信号。
の一実施例の構成を示すブロック図、第２図は被測定カ
ラーブラウン管のフェースプレートに形成された螢光面
の一部における３色の螢光体ドットの配列状態及び一次
元光電変換素子の配置状態を示す説明図、第３図は被測
定カラーブラウン管に供給される水平走査信号及び垂直
走査信号を示す信号波形図、第４図は被測定カラーブラ
ウン管のフェースプレートに形成された螢光面上の各螢
光体ドット（発光点）の配置状態を示す説明図、第５図
は一次元光電変換素子から得られた光電変換出力の一例
を示す特性図である。 １……被測定カラーブラウン管、２……電源装置、３…
…偏向ヨーク、４……偏向電源、５……一次元光電変換
素子、６……処理装置、７……カソードソケット、8a…
…第２制御信号、8b……第１制御信号、９（Ｉ−２）、
９（Ｉ−１）、9I、９（Ｉ＋１）……水平走査ライン、
10……水平走査信号、11……垂直走査信号。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−93037（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−107678（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H04N 17/04
Claims (1)
- 【請求項１】偏向ヨークが装着された被測定カラーブラ
ウン管のフェースプレート前面側に配置され、螢光面の
水平方向に配列された３個の螢光体ドットの発光を検出
して変換出力を発生する光電変換素子と、前記被測定カ
ラーブラウン管の３本の電子ビームを順に１本づつ発生
させる駆動電源と、それぞれの電子ビームを垂直走査す
る段階的に値が変化する垂直偏向電流と水平走査する前
記垂直偏向電流値の各変化段階ごとに数万段階に値が変
化する水平偏向電流とを前記偏向ヨークに供給する偏向
電源と、前記駆動電源及び前記偏向電源を制御し、前記
光電変換素子の変換出力が最大となる前記３本の電子ビ
ーム位置を前記水平偏向電流値としてそれぞれ検出する
処理装置とを備え、前記処理装置は、前記検出した３つ
の水平偏向電流値の差をそれぞれ求め、求めた値と前記
３個の螢光体ドットピッチとを比較することにより、前
記３本の電子ビームの水平コンバーゼンスのずれを測定
することを特徴とする水平コンバーゼンスずれ測定装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063235A JP2839189B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 水平コンバーゼンスずれ測定装置 |
| KR1019890001360A KR920005023B1 (ko) | 1988-02-05 | 1989-02-04 | 컬러브라운관의 콘버젼스 어긋남 측정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63063235A JP2839189B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 水平コンバーゼンスずれ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239734A JPH01239734A (ja) | 1989-09-25 |
| JP2839189B2 true JP2839189B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=13223352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63063235A Expired - Fee Related JP2839189B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-03-18 | 水平コンバーゼンスずれ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2839189B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5093037A (ja) * | 1973-12-17 | 1975-07-24 | ||
| JPS57107678A (en) * | 1980-12-25 | 1982-07-05 | Toshiba Corp | Convergence measuring method |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63063235A patent/JP2839189B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01239734A (ja) | 1989-09-25 |
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