JP2826810B2 - インクジェットアレイとその製造方法 - Google Patents
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Description
それと対向する部材を備えたインクジェットアレイに関
する。このピエゾ電気部材に対向する板部材の表面には
多数の平行な細長いインクダクトが設けられる一方、ピ
エゾ電気部材には多数の細長いほぼ長方形断面の平行な
ピエゾ電気素子が設けられる。各ピエゾ電気素子はイン
クダクトの反対側に位置する。
がプリンター等に使用されている。各ピエゾ電気素子に
供給される電流が当該インクダクトの方向にピエゾ電気
素子の拡大を起こし、当該インクダクトからインク液滴
を放出することができるのであるが、かかる電流を制御
することにより、目的のインクダクトからインクの液滴
を射出することができる。
ゾ電気素子に確実な支持を与えることができる上記の型
のインクジェットアレイを与える。
明によれば、ピエゾ電気部材は、インクダクトを収容す
る板部材のインクダクト面に当接する、かつ、前記板部
材に固定される、基板内の凹所に受容される。
ゾ電気部材は基板内の凹所内に確実に密閉される一方、
基板材料はピエゾ電気部材を構成する材料とは独立に選
択するすることができる。
エゾ電気部材を作製する方法に関し、その場合、インク
ジェットアレイはピエゾ電気部材に加えて、ピエゾ電気
部材の反対側に位置するともにピエゾ電気部材に対向す
る面に、多数の平行な細長いインクダクトを有する。
きは、ピエゾ電気素子を細長いインクダクトに対して正
確に対向させて、かつインクダクトに平行に、配置する
ことが重要である。
ジェットアレイの組立て中、インクダクトの付いた板部
材に基板を固定するのに使用された少なくとも一つの基
準部材が具わった板部材内に本ピエゾ電気部材が固定さ
れ、次にこのピエゾ電気部材内にピエゾ電気素子を形成
すべく平行な切り込みが形成される。この基準部材は切
り込みの位置決めに使用される。
アレイの組み立てに同一の基準部材を使用することによ
り、インクダクトに対してピエゾ電気素子を正確に調節
することが容易に可能となる。
供する板部材の作製方法では、板部材とピエゾ電気部材
とをインクジェットアレイ内に組み立てるのに使用され
る基準面が板部材の表面に設けられ、インクダクトの形
成中、形成すべきインクダクトの位置決めにこの基準部
材が使用される。
ットアレイ実施例を参照して、以下に本発明の詳細を説
明する。
ヘッドは、以下に詳述するピエゾ電気部材に供する基板
1を含む。このピエゾ電気部材は図1を参照するとわか
るように、プラスチックの被覆層2によって基板の頂部
が被覆される。
た、板形状をした部材3であって上記基板に対向する面
に、互に平行に延びる多数のインクダクト4を含む(図
6)。相互につながるように正確に位置された孔5およ
び6が基板1および板状部材3内に設けられている。イ
ンクジェットアレイを組立てるためには、板状部材3は
インクダクト4をもつ面をプラスチック被覆層2上に配
置した状態にし、ブシュ8を正確に孔5および6内に嵌
合挿入させ、基板1および板状部材3を相互に正確に配
置する。ブシュ8には内部がねじ切りされた孔9が設け
てあり、この中にボルト10がねじ込まれ、基板1およ
び板状部材3が相互に固定される。必要な挟み力を生じ
させるため、押圧ばねあるいはクランプばねを幅の広い
インクジェットアレイに使用することができる。このよ
うな造りなので、プリントヘッドは故障しても常に修理
することができる。
細長い凹所12を備えた突起部11が設けられる。パッ
キング13を間挿させて、ボルト15により突起部11
上にブロック14が固定される。ブロック14内にはチ
ャンバ16が形成され、このチャンバの底部には凹所1
2につながる開口があり、作動中はインクジェットアレ
イへインクを供給するためにこのチャンバが使用され
る。
板1で支持した状態のピエゾ電気部材の構成を以下に詳
細に説明する。
1の頂部面には凹所17が設けてある。この凹所17は
断面が長方形で、両端が開口している。この凹所17
は、好ましくはセラミック製の支持層19(又は「板1
9」という)およびその頂部面に密着させたピエゾ電気
材料製の板20で構成されたピエゾ電気部材18を中に
受容するようになっており、かつ受容したときは平らな
面をなすように、設計されている。板20に対向する板
19の面は、薄い金属層21で被覆される。図2からわ
かるように、この構成では板19が一端で板20から突
出する。
は、基板1の凹所17内に、例えば接着剤等で固定され
るが、その際、板19および板20の共有面の端が、隣
接する基板1の頂部面によりも僅かに凹所17内に入る
ようにする(図3)。また、図3からも明らかなよう
に、セラミック製の板19の長さは、凹所17の長さよ
りも少し短く、したがって板19はその全長にわたり凹
所17の底面によって支持される。
凹所内に固定された後、基板1が適当な処理機械中に固
定される。これは、ピエゾ電気部材の長手方向に互に平
行に延び、板20を貫通し、板19内で短距離延びる多
数のスロットを形成するためである。この処理で、板2
0はスロットあるいは切り込み22によって互いに分離
された多数のピエゾ電気素子23に分割される。切り込
みあるいはスロット22が創られるとき、基板1内の少
なくとも一つの孔5がガイドとして使用される。これら
の孔は正確な大きさに、かつ正確な位置に創られ、スロ
ットあるいは間隙22を作製するための基準手段として
働く。以下に詳細に説明するように、これはインクジェ
ットアレイの組立に好ましい効果を有する。というの
は、実際、上記の孔5は基板1に対して板状部材3の位
置決めをする基準手段をなすからである。
クを流し込むなどの方法によりプラスチックの被覆層2
が塗布される。プラスチック層は板19および20の切
り込み22中に浸透し、これらの切り込みはプラスチッ
クストリップ24で充填され、これらのストリップ24
がピエゾ電気素子23を互に分離させる。
24がピエゾ電気素子23に粘着しないようにすること
が有利であることがわかっている。この目的から、被覆
層2および分離用ストリップ24を形成するプラスチッ
クが注入される前に、ピエゾ電気素子23の対向面は、
ストリップ24を形成するプラスチック材料がピエゾ電
気素子23の両側面に粘着することを防止する物質で処
理することができる。この目的のため、例えばピエゾ電
気素子23の頂部自由端を覆う材料層を最初にピエゾ電
気部材に被せ、その後で例えばピエゾ電気素子23の両
側面に薄いテフロン層を残す適当な液体をピエゾ電気素
子23間の間隙に通過させる。
の一方の端面の付近に形成された空間であってその端面
から僅かに後退しているピエゾ電気部材の端にある空間
もまた、プラスチック層2′で充填される。このように
すると、このプラスチックが初め僅かに基板1の当該端
面から確実に突出する。
に仕上げられる。
子23は僅かにプラスチック被覆層2より突出する。プ
ラスチックの被覆層2から突出するピエゾ電気素子23
のこれらの端は、導体25によって相互接続される。導
体25は当該デバイスを使用する際はケーブル26によ
って接地することができる。
9が、その頂部を形成している金属層21の位置で、各
々がピエゾ電気素子23の各々に接続される多数の電極
27に分割されることは明白であろう。電流を供給する
ためのリード線28がこれらの各電極に接続される。
1に示す板状部材3の底面、に多数の平行なインクダク
ト4(図6ないし9)が形成される。これらのインクダ
クトは、長さ全体にわたり一定の深さ(±10ないし1
00μmの深さで、30μmの深さが好ましい)を有
し、かつその長さの主要部にわたり一定の長方形断面を
有する。一方側に深さが減少するような浅いダクトを使
っても同様の効果が得られる。これらの浅いダクトとに
よって、アレイの強度および寿命に顕著な影響を与える
ことなく、集積密度(1mmあたりのダクト数)を増大
することができる。
トがされている板3の面が被覆層2上に置かれる。この
とき、インクダクトを相互に分離するとともに板状部材
3の一部を形成するリブ32に被覆層2が当接してイン
クダクトが形成される。その結果、隣接するインクダク
ト30間に良好なシールが得られる。
るピエゾ電気素子23は、図7ないし9に示すように各
インクダクト4に対向して配置される。ピエゾ電気素子
23(幅が約150μm)とインクダクト30(幅が約
200μm)の正確な整合は簡単かつ効率的に達成され
る。それは、孔5および6は位置決めブシュ8によって
確実に板相互の正確な位置決めを行うことができ、これ
らの孔5および6が切り込み22およびインクダクト4
それぞれの位置決めの基準手段として使用されるからで
ある。
0によって相互に整合された後、ジェット31を放出す
る組立体の端面の仕上げができる。凹所17内に受容さ
れているピエゾ電気部材の被覆縁21から、一切の余剰
のプラスチックを除去される。
によってあるピエゾ電気素子がトリガーされると、図8
に線図で示すように、そのピエゾ電気素子23が拡大す
る。当該ピエゾ電気素子23の上に延びている被覆層2
の一部が関連のインクダクト4中に押入され、図9に線
図で示すように、関連のインクダクトのジェット31を
介してインクが液滴の形で射出される。既に上述したよ
うに、ストリップ24によってピエゾ電気素子23は決
して相互に粘着しないように工夫されているので、ピエ
ゾ電気素子23を被覆している被覆層2の当該部分の意
図された通りの変位が、ストリップ24がピエゾ電気素
子23に固定されている場合よりもはるかに小さなエネ
ルギーで起きることができる。インク液滴を射出すべく
作動されたピエゾ電気素子23に対向するインクダクト
に隣接するインクダクトの体積の制御もまた、ピエゾ電
気素子23と、ピエゾ電気素子23を相互に分離してい
る24との間の接続が剛性である場合よりも、顕著に小
さいと思われる。
で固体であるインクに使用するように意図されている
(ホットメルトインクジェットシステム)。作動中、イ
ンクを液体状態に保持するためには、基板1の下方など
に加熱用素子(図示してなし)を配置すればよい。板2
0(図2)は、セラミック製支持層19上に配置された
多数の完全に分離されたピエゾ電気素子23(図7)に
分割されているので、加熱したときにインクジェットア
レイのピエゾ電気部材の熱膨張係数によって、ピエゾ電
気素子23を板状部材3に対して変位させるようなこと
は起こらず、従って素子23がインクダクト4に近づく
ことはない。これは特に、板状部材3もまたセラミック
材料で作製されるときも言える。支持層19の膨張係数
とあまり変わらない膨張係数を有する金属あるいはプラ
スチックで作製された板状部材3を使うと、高温でも良
好な効果が得られる。そのようなホットメルトインクジ
ェットシステムではインクの融解温度は一般に60゜か
ら120゜までの間にあるので、ストリップ24に使用
するプラスチックもまたそのような温度に耐えることが
できるものとする。
システムに使用するインクジェットアレイに使用される
他のプラスすべてにあてはまる。これらのプラスは熱的
に安定で、使用されるインクに対する耐性があり、可能
な限り膨張せず、流し込みの目的上、十分に低い粘性を
有するものでなければならない。
含むゴムがこれらの必要条件を満たすことが証明されて
れている。充填材を充填してない液体フルオール・シリ
コン・ラバーを架橋材(触媒)とヒドロシリル化反応
(hydrosilylation reaction)によって硬化させたもの
を使っても非常に優れたインクジェットアレイが達成で
きた。また、この材料で作製したインク供給管も上述の
インクジェットアレイとの関連で使用するとき、極めて
優れた品質を示した。
分を分解して示す斜視図である。
れた基板を示す斜視図である。
定し、ピエゾ電気素子23を形成するため、ピエゾ電気
部材内に切り込みが形成されたものの図である。
ック層で被覆され、ピエゾ電気素子23に電流源を接続
するための接続子が設けられたものの図である。
トを付けた板部材の拡大した底面図である。
面図である。
材の一つを示す図である。
部材の一部の斜視図である。
Claims (16)
- 【請求項1】ピエゾ電気部材と、該ピエゾ電気部材に対
向させて設けた板状部材とを具え、前記ピエゾ電気部材
に対向する該板状部材の面に多数の平行な細長いインク
ダクトが設けられ、前記ピエゾ電気部材には断面がほぼ
長方形状の多数の細長い平行なピエゾ電気素子(23)
が設けられ、各ピエゾ電気素子が各インクダクトに対向
して配置されたインクジェットアレイであって、前記ピ
エゾ電気素子が、前記インクダクトを備える前記板状部
材のインクダクト面に当接しかつ該板状部材に固定され
ている基板内の凹所に受容されていることを特徴とする
インクジェットアレイ。 - 【請求項2】請求項1に記載のインクジェットアレイに
おいて、前記ピエゾ電気部材が、多数の平行なピエゾ電
気素子(23)が固定された支持層を備えており、該支
持層の一端が該ピエゾ電気素子(23)から突出し、さ
らに、該支持層の頂部には各ピエゾ電気素子(23)に
接続された電極が与えられていることを特徴とするイン
クジェットアレイ。 - 【請求項3】請求項1に記載のインクジェットアレイに
おいて、前記支持層上に配置された前記ピエゾ電気素子
は相互に接続されており、前記支持層上の各電極は電流
供給ラインに接続されることを特徴とするインクジェッ
トアレイ。 - 【請求項4】請求項2または3に記載のインクジェット
アレイであって、前記支持層がセラミック材料製である
ことを特徴とするインクジェットアレイ。 - 【請求項5】請求項1ないし4のいずれかに記載のイン
クジェットアレイであって、前記ピエゾ電気素子(2
3)間の間隙に、該間隙を満たすと共に該ピエゾ電気素
子(23)から遊離している、分離ストリップが設けら
れていることを特徴とするインクジェットアレイ。 - 【請求項6】請求項1ないし5のいずれかに記載のイン
クジェットアレイであって、前記ピエゾ電気素子(2
3)と該ピエゾ電気素子(23)の両側に位置する支持
板の部分がプラスチックの被覆層で覆われていることを
特徴とするインクジェットアレイ。 - 【請求項7】請求項6に記載のインクジェットアレイで
あって、前記被覆層の一端には突出部が設けられてお
り、該突出部は前記基板の凹所内に受容されか つ前記ピ
エゾ電気部材の一端を被覆していることを特徴とするイ
ンクジェットアレイ。 - 【請求項8】請求項1ないし7のいずれかに記載のイン
クジェットアレイにおいて、前記インクダクトは、その
長さ全体にわたり一定の深さを有するとともにそのほと
んどの長さにわたり一定の長方形形状の断面を有し、さ
らに、該インクダクトの端部に近づくにつれて断面が小
さくなってジェットになることを特徴とするインクジェ
ットアレイ。 - 【請求項9】請求項1ないし8のいずれかに記載のイン
クジェットアレイにおいて、前記基板およびインクダク
トのついた前記板状部材が、該基板および該板状部材内
に形成された中ぐり孔内に延びる位置決めブシュ中にね
じ込まれるボルトによって、相互に固定されることを特
徴とするインクジェットアレイ。 - 【請求項10】請求項1ないし9のいずれかに記載のイ
ンクジェットアレイにおいて、該インクジェットアレイ
に加熱素子が設けられていて、室温にて固体であるイン
クを作動中はインクダクト内で液体状態に変化させるこ
とができることを特徴とするインクジェットアレイ。 - 【請求項11】インクジェットアレイ用ピエゾ電気部材
に加えて、該ピエゾ電気部材と対向するとともに該ピエ
ゾ電気部材に対向する面上に多数の平行な細長いインク
ダクトを有する板状部材が設けられているインクジェッ
トアレイ用のピエゾ電気部材の製造方法であって、イン
クジェットアレイの組立て中に前記インクダクト付き前
記板状部材に基板を固定するために使用される少なくと
も一つの基準手段を具えた該基板内に、前記ピエゾ電気
部材を固定し、次に、該基準手段を使用して位置決めさ
れた平行な切り込みを該ピエゾ電気部材に形成してピエ
ゾ電気素子(23)を形成することを特徴とする方法。 - 【請求項12】請求項11に記載の方法であって、前記
ピエゾ電気部材が、好ましくは金属層で被覆されたセラ
ミック材料からなる支持層から構成され、該金属層上に
ピエゾ電気層が配置され、その結果生ずるピエゾ電気部
材に前記支持層中に至る切り込みが創られることを特徴
とする方法。 - 【請求項13】請求項11または12に記載の方法であ
って、前記ピエゾ電気素子(23)間に絶縁材料を挿入
する前に、前記絶縁材料が前記ピエゾ電気素子(23)
に付着することを阻止する材料で、該ピエゾ電気素子
(23)の対向する境界面が処理されることを特徴とす
る方法。 - 【請求項14】諸求項11ないし13のいずれかに記載
の方法であって、前記切り込みが形成された後、前記ピ
エゾ電気素子(23)にプラスチックの被覆層がかけら
れ、それと同時に該切り込みに該プラスチックが充填さ
れることを特徴とする方法。 - 【請求項15】インクジェットアレイに用いられる板状
部材であって、該板状部材の表面に、該板状部材及びピ
エゾ電気部材をインクジェットアレイに組み入れる際に
用いられる基準手段が設けられているような板状部材の
製造方法であって、インクダクトの形成の際に、形成す
べき該インクダクトの位置決めのために前記基準手段が
使用されることを特徴とする製造方法。 - 【請求項16】請求項11ないし15のいずれかに記載
の方法において、使用される前記基準手段が、インクダ
クトの設けられた前記板状部材に前記ピエゾ電気部材を
固定するためのボルトを受承するように意図されたボル
ト孔であることを特徴とする方法。
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