JP2824135B2 - 被搬送物管理システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 被搬送物の保管、管理を行う被搬送物管理システムに
関し、 被搬送物を収納する保持具を自動的に供給、回収して
装置の稼働率の向上を図ることを目的とし、 所定の被搬送物を所定の保持具に収納して搬送する場
合の被搬送物管理システムにおいて、所定数の被搬送物
を格納する保管部と、該保管部との間で前記所定の被搬
送物を出入するハンドリング手段と、所定の保持具を格
納し、前記所定の保持具を出入するストッカ部と、該ス
トッカ部により該所定の保持具が供給、回収され、該所
定の保持具に前記ハンドリング手段による該所定の被搬
送物を収納、回収する装着脱手段と、該所定の被搬送物
の所在を管理し、該所在に基づいて前記ハンドリング手
段、ストッカ部及び装着脱手段を制御する制御手段とに
より構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、被搬送物の保管管理を行う被搬送物管理シ
ステムに関する。

近年、例えば、ウエハプロセスにおける露光処理工程
で使用されるレチクルにおいても無塵化が図れ、装置稼
働率の向上から処理ロットの進捗に同期したレチクルの
供給が要求される。そのため、レチクルの所在管理を行
い、自動的に出入させる必要がある。

〔従来の技術〕

従来、例えばレチクルを用いてウエハを露光処理する
場合、格納室にストックされている種類の異なるレチク
ルのうち、所望のレチクルを取出して保持具であるレチ
クルマガジンに収納し、処理室に搬送している。そし
て、搬送されたレチクルマガジンよりレチクルを取出し
てウエハ等の露光処理を行った後、再びレチクルマガジ
ンに収納して格納室に運び込み、レチクルを取出して格
納するものである。

この場合、レチクル自体の移動操作は防塵化のために
自動操作で行っているが、レチクルの処理室への供給
時、又は格納室への格納後の空のレチクルマガジンの供
給、回収は手動により行っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、レチクルを収納するレチクルマガジンが手動
によって供給、回収されることから、滞る場合があり、
レチクルの処理室への供給をレチクルマガジンの供給、
回収との同期化が図れず、装置の稼働率が低下するとい
う問題がある。

そこで本発明は上記課題に鑑みなされたもので、被搬
送物を収納する保持具を自動的に供給、回収して装置の
稼働率の向上を図る被搬送物管理システムを提供するこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

第１図に本発明の原理説明図を示す。第１図において
被搬送物システム１は、保管部2,ハンドリング手段3,ス
トッカ部4,装着脱手段５及び制御手段６により構成され
る。

保管部２は所定数の被搬送物７を格納する。ハンドリ
ング手段３は、保管部２との間で所定の被搬送物７を出
入する。ストッカ部４は所定数の保持具８を格納し、所
定の保持具８を出入する。

装着脱手段５は、ストッカ部４により所定の保持具が
供給、回収され、該所定の保持具８にハンドリング手段
３による該所定の被搬送物７を収納、回収する。

そして、制御手段６は、該所定の被搬送物７の所在を
管理し、該所在に基づいて、ハンドリング手段3,ストッ
カ部４及び装着脱手段５を制御する。

〔作用〕

第１図に示すように、被搬送物７はハンドリング手段
３のみで移送され、被搬送物７を収納する保持具８はス
トッカ部４により装着脱手段５間で移送される。また、
装着脱手段５では、ストッカ部４より供給された保持具
８に、ハンドリング手段３による被搬送物７を収納し、
又は、保持具８に収納された被搬送物７を回収して空の
保持具８をストッカ部４が格納する。

この場合、ハンドリング手段3,ストッカ部４及び装着
脱手段５は、所定の被搬送物７の所在に応じて制御手段
６により制御される。すなわち、保持具８のストッカ部
４からの出入は自動で行われる。

従って、被搬送物７の無塵化を図りつつ、該被搬送物
７の供給に同期して保持具８の供給、回収が可能とな
り、装置の稼働率の向上を図ることが可能となる。

〔実施例〕

第２図に本発明の一実施例の構成図を示す。なお、第
２図では被搬送物を、ウエハプロセスの露光工程で使用
されるレチクルとして説明する。

第２図において、マスタコントローラ10に本発明の被
搬送物装置システム１が所定数接続され、このマスタコ
ントローラ10が全システムのレチクルの所在を管理し、
該レチクルの供給、回収、自動搬送の指示を行う。

システム１は、第１図と同様に、保管部2,ハンドリン
グ手段であるハンドリングロボット3,ストッカ部4,装着
脱装置であるローダ／アンローダ５及び制御部11とコン
トローラ12から成る制御手段６より構成される。

保管部２には所定数のレチクル７が格納されており、
防塵によりクリーン度を維持するためのファン13,フィ
ルタ14が設けられる、ハンドリングロボット３は、保管
部２及びローダ／アンローダ５間でレチクル７の出入を
行う。ストッカ部４はローダ／アンローダ５との間でレ
チクル７を収納する保持具であるマガジン８の出入を行
う。そして、ローダ／アンローダ５においてマガジン８
でレチクル７の収納、回収を行う。

これらハンドリングロボット3,ストッカ部４及びロー
ダ／アンローダ５は、制御手段６の制御部11で制御駆動
される。制御部11は、当該システム１内のレチクル７の
所在を管理する制御手段６のコントローラ12の指令に基
づいて制御を行う。

そして、ローダ／アンローダ５から、自動搬送装置15
により複数の露光処理室（群）16が結ばれている。

次に、上記動作を第３図のフローチャートにより説明
する。第３図（Ａ）はレチクルを露光処理室に供給する
場合のもので、第３図（Ｂ）はレチクルを保管部へ回収
する場合のものである。

第３図（Ａ）のレチクル供給において、まず、マスタ
コントローラ10により、当該システム１の制御手段６の
コントローラ12にレチクル供給指令が出される（ステッ
プ１）。コントローラ12はこれに基づいて、ストッカ部
４にマガジン８の供給を指示する（ステップ２）。この
指令により、ストッカ部４は格納しているマガジン８を
アンローダ５に供給する（ステップ３）。

そして、保管部２に格納されているレチクル７をハン
ドリングロボット３がアンローダ５まで移送し（ステッ
プ４）、アンローダ５においてマガジン８内にレチクル
７が収納される（ステップ５）。これらの動作が、指示
された数量のレチクル７をマガジン８に収納されるまで
繰返えされる（ステップ4,ステップ５）。その後、マス
タコントローラ10の指示により、レチクル７が収納され
たマガジン８が自動搬送装置15で露光処理室（群）16に
搬送され、該レチクル７により露光処理が行われる（ス
テップ６）。

一方、第３図（Ｂ）のレチクル回収において、まず、
マスタコントローラ10の指示により、マガジン８に収納
されたレチクル７が自動搬送装置15で露光処理室（群）
16からローダ５に搬送される（ステップ10）。ローダ５
ではマガジン８がセットされ、マガジン８からレチクル
７が抜出される（ステップ11）。抜出されたレチクル７
はハンドリングロボット３により保管部２に格納され、
該マガジン８に収納されたレチクル７の数だけ繰返され
る（ステップ12）。そして、空のマガジン８はストッカ
部４に自動的に格納されるものである（ステップ13）。

このように、マガジン８の供給、回収、格納を自動的
に行うことにより、防塵を図りつつレチクル供給の同期
化による露光処理における装置の稼働率を向上させるこ
とができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、保持具が格納されるス
トッカ部により自動的に装着脱手段に供給、回収される
ことにより、被搬送物供給と同期化させることができ、
装置の稼働率を向上させ、工場の無人化、無塵化を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図、 第２図は本発明の一実施例の構成図、 第３図は第２図の動作を説明するフローチャートであ
る。 図において、 １は被搬送物管理システム、 ２は保管部、 ３はハンドリング手段、 ４はストッカ部、 ５は装着脱手段、 ６は制御手段、 ７は被搬送物、 ８は保持具 を示す。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の被搬送物（７）を所定の保持具
   （８）に収納して搬送する場合の被搬送物管理システム
   において、 所定数の被搬送物（７）を格納する保管部（２）と、 該保管部（２）との間で前記所定の被搬送物（７）を出
   入するハンドリング手段（３）と、 所定数の保持具（８）を格納し、前記所定の保持具
   （８）を出入するストッカ部（４）と、 該ストッカ部（４）により該所定の保持具（８）が供
   給、回収され、該所定の保持具（８）に前記ハンドリン
   グ手段（３）による該所定の被搬送物（７）を収納、回
   収する装着脱手段（５）と、 該所定の被搬送物（７）の所在を管理し、該所在に基づ
   いて前記ハンドリング手段（３）、ストッカ部（４）及
   び装着脱手段（５）を制御する制御手段（６）と、 を有することを特徴とする被搬送物管理システム。