JP2819735B2 - 電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ - Google Patents
電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータInfo
- Publication number
- JP2819735B2 JP2819735B2 JP2042199A JP4219990A JP2819735B2 JP 2819735 B2 JP2819735 B2 JP 2819735B2 JP 2042199 A JP2042199 A JP 2042199A JP 4219990 A JP4219990 A JP 4219990A JP 2819735 B2 JP2819735 B2 JP 2819735B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brake
- drive motor
- direct drive
- electromagnetic brake
- electromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Braking Arrangements (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えばハイブリッドスキャン方式のイオ
ン注入装置等に用いられる電磁ブレーキ付ダイレクトド
ライブモータに関する。
ン注入装置等に用いられる電磁ブレーキ付ダイレクトド
ライブモータに関する。
ハイブリッドスキャン方式のイオン注入装置の先行例
を第３図に示す。
を第３図に示す。
このイオン注入装置は、イオンビーム２をＸ方向（例
えば水平方向）に電気的に走査して平行ビーム化して注
入室４内に導くと共に、ウェーハ６を注入室４内でＸ方
向に直交するＹ方向（例えば垂直方向）に機械的に走査
する構造のものであり、注入室４内にあってウェーハ６
を保持するホルダ８と、このホルダ８を注入室４内でＹ
方向に走査するホルダ駆動装置10とを備えている。4aは
真空容器である。
えば水平方向）に電気的に走査して平行ビーム化して注
入室４内に導くと共に、ウェーハ６を注入室４内でＸ方
向に直交するＹ方向（例えば垂直方向）に機械的に走査
する構造のものであり、注入室４内にあってウェーハ６
を保持するホルダ８と、このホルダ８を注入室４内でＹ
方向に走査するホルダ駆動装置10とを備えている。4aは
真空容器である。
ホルダ駆動装置10は、注入室４の側面部に設けられた
真空シール軸受12と、この軸受12を前記Ｘ方向に貫通す
る主軸14と、この主軸14の注入室外側端部に出力軸18が
結合された可逆転式のダイレクトドライブモータ16と、
前記主軸14の注入室内側端部にほぼ直交するように取り
付けられた可逆転式のダイレクトドライブモータ20と、
このダイレクトドライブモータ20の出力軸にほぼ直交す
るように取り付けられたアーム22と、このアーム22にほ
ぼ直交するように取り付けられた可逆転式のダイレクト
ドライブモータ24とを備えており、このダイレクトドラ
イブモータ24の出力軸にほぼ直交するように前述したホ
ルダ８が取り付けられている。
真空シール軸受12と、この軸受12を前記Ｘ方向に貫通す
る主軸14と、この主軸14の注入室外側端部に出力軸18が
結合された可逆転式のダイレクトドライブモータ16と、
前記主軸14の注入室内側端部にほぼ直交するように取り
付けられた可逆転式のダイレクトドライブモータ20と、
このダイレクトドライブモータ20の出力軸にほぼ直交す
るように取り付けられたアーム22と、このアーム22にほ
ぼ直交するように取り付けられた可逆転式のダイレクト
ドライブモータ24とを備えており、このダイレクトドラ
イブモータ24の出力軸にほぼ直交するように前述したホ
ルダ８が取り付けられている。
イオン注入に際しては、第３図に示すような状態で、
モータ20によってアーム22を矢印Ａのように、水平位置
を振り分けに所定の角度内で往復旋回させる。それによ
って、ホルダ８に保持されたウェーハ６は、イオンビー
ム２に向いた状態で、円弧を描くような形でＹ方向に機
械的に走査される。
モータ20によってアーム22を矢印Ａのように、水平位置
を振り分けに所定の角度内で往復旋回させる。それによ
って、ホルダ８に保持されたウェーハ６は、イオンビー
ム２に向いた状態で、円弧を描くような形でＹ方向に機
械的に走査される。
なお、モータ24は、アーム22を上記のように旋回させ
るときに、ホルダ８およびウェーハ６の姿勢を一定に保
つのに用いられる。モータ16は、主軸14を矢印Ｂのよう
に回転させて、ウェーハ６に対する注入角を変えたり、
ホルダ８を上記注入状態とウェーハ６のハンドリングの
ための水平状態とに駆動するのに用いられる。
るときに、ホルダ８およびウェーハ６の姿勢を一定に保
つのに用いられる。モータ16は、主軸14を矢印Ｂのよう
に回転させて、ウェーハ６に対する注入角を変えたり、
ホルダ８を上記注入状態とウェーハ６のハンドリングの
ための水平状態とに駆動するのに用いられる。
上記ホルダ駆動装置10は、一種の多関節ロボット構造
をしており、停電時の安全対策を施しておく方が好まし
い。より具体的には、ダイレクトドライブモータ16を電
磁ブレーキ付のものにするのが好ましい。
をしており、停電時の安全対策を施しておく方が好まし
い。より具体的には、ダイレクトドライブモータ16を電
磁ブレーキ付のものにするのが好ましい。
ところが、このような所に使用することができる従来
の電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータは、例えば
第４図に示すように、ダイレクトドライブモータ32の出
力軸34とは反対側の面に、即ちそれを真空容器4a等の対
象物に取り付ける面側に、電磁ブレーキ36が付けられて
いるため、これに前述した主軸14を通して上記ダイレク
トドライブモータ16として用いようとしとも、電磁ブレ
ーキ36が邪魔になって真空シール軸受12が取り付けられ
なくなり、構造的に用いることができない。
の電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータは、例えば
第４図に示すように、ダイレクトドライブモータ32の出
力軸34とは反対側の面に、即ちそれを真空容器4a等の対
象物に取り付ける面側に、電磁ブレーキ36が付けられて
いるため、これに前述した主軸14を通して上記ダイレク
トドライブモータ16として用いようとしとも、電磁ブレ
ーキ36が邪魔になって真空シール軸受12が取り付けられ
なくなり、構造的に用いることができない。
また、このような電磁ブレーキ付ダイレクトドライブ
モータは、電磁ブレーキ36を設けたぶん、全体が大形化
するという問題もある。
モータは、電磁ブレーキ36を設けたぶん、全体が大形化
するという問題もある。
そこでこの発明は、対象物に取り付ける面側に電磁ブ
レーキが出ておらず、しかも全体の小型化を図った電磁
ブレーキ付ダイレクトドライブモータを提供することを
主たる目的とする。
レーキが出ておらず、しかも全体の小型化を図った電磁
ブレーキ付ダイレクトドライブモータを提供することを
主たる目的とする。
上記目的を達成するため、この発明の電磁ブレーキ付
ダイレクトドライブモータは、ダイレクトドライブモー
タの出力軸の周りの部分に、永久磁石、電磁コイルおよ
び摩擦板を有する複数のブレーキユニットを前後動可能
に、しかもばねによってモータ側に押し付けて取り付
け、かつ前記出力軸に、磁性体から成るブレーキディス
クを各ブレーキユニットに近接させて取り付け、各ブレ
ーキユニットの電磁コイルに対する通電を切ったときに
各ブレーキユニットがブレーキディスクに吸着してブレ
ーキがかかるようにしたことを特徴とする。
ダイレクトドライブモータは、ダイレクトドライブモー
タの出力軸の周りの部分に、永久磁石、電磁コイルおよ
び摩擦板を有する複数のブレーキユニットを前後動可能
に、しかもばねによってモータ側に押し付けて取り付
け、かつ前記出力軸に、磁性体から成るブレーキディス
クを各ブレーキユニットに近接させて取り付け、各ブレ
ーキユニットの電磁コイルに対する通電を切ったときに
各ブレーキユニットがブレーキディスクに吸着してブレ
ーキがかかるようにしたことを特徴とする。
上記構成によれば、各ブレーキユニットの電磁コイル
に通電した状態では、その磁束が永久磁石の磁束を打ち
消し、ばねの力で各ブレーキユニットはモータ側に押し
付けられており、それらとブレーキディスクとの間には
ギャップが生じている。
に通電した状態では、その磁束が永久磁石の磁束を打ち
消し、ばねの力で各ブレーキユニットはモータ側に押し
付けられており、それらとブレーキディスクとの間には
ギャップが生じている。
上記電磁コイルに対する通電を切ると、それによる磁
束の打ち消しは無くなり、永久磁石の力がばねの力に打
ち勝って各ブレーキユニットがブレーキディスクに吸着
してブレーキがかかる。
束の打ち消しは無くなり、永久磁石の力がばねの力に打
ち勝って各ブレーキユニットがブレーキディスクに吸着
してブレーキがかかる。
しかも上記構造では、ダイレクトドライブモータの出
力軸の周りの部分に複数のブレーキユニットを配置して
いるので、当該モータを対象物に取り付ける面側には電
磁ブレーキが出ておらず、しかも空間の有効利用により
全体がコンパクトになり小型化される。
力軸の周りの部分に複数のブレーキユニットを配置して
いるので、当該モータを対象物に取り付ける面側には電
磁ブレーキが出ておらず、しかも空間の有効利用により
全体がコンパクトになり小型化される。
第１図は、この発明の一実施例に係る電磁ブレーキ付
ダイレクトドライブモータを部分的に切り欠いて示す側
面図である。
ダイレクトドライブモータを部分的に切り欠いて示す側
面図である。
この電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ40は、
例えば前述した真空容器4aのような対象物に取り付ける
フランジ43とは反対側の面に出力軸44が出されたダイレ
クトドライブモータ42を有しており、この出力軸44に、
金具50および接続板52を介して、相手側の軸、例えば前
述したような主軸14が接続される。
例えば前述した真空容器4aのような対象物に取り付ける
フランジ43とは反対側の面に出力軸44が出されたダイレ
クトドライブモータ42を有しており、この出力軸44に、
金具50および接続板52を介して、相手側の軸、例えば前
述したような主軸14が接続される。
このダイレクトドライブモータ42には、この例ではカ
バー56が被せられており、その後面側であって出力軸44
の周りの部分に、複数のブレーキユニット60が取り付け
られている。その数は、必要とするブレーキトルクによ
る。
バー56が被せられており、その後面側であって出力軸44
の周りの部分に、複数のブレーキユニット60が取り付け
られている。その数は、必要とするブレーキトルクによ
る。
各ブレーキユニット60は、永久磁石62、その磁束を打
ち消すための電磁コイル64、後述するブレーキディスク
54と接触する摩擦板66、更にこの例では全体を支えるホ
ルダ68を有している。
ち消すための電磁コイル64、後述するブレーキディスク
54と接触する摩擦板66、更にこの例では全体を支えるホ
ルダ68を有している。
そしてこのようなブレーキユニット60を、カバー56の
後面側に突設した軸70に矢印Ｃのように前後動可能に嵌
めると共に、ばね72によって常にモータ42側に押し付け
るようにしている。
後面側に突設した軸70に矢印Ｃのように前後動可能に嵌
めると共に、ばね72によって常にモータ42側に押し付け
るようにしている。
また、カバー56の後面側にスプリングピン74を突設
し、これをホルダ68に設けた穴69に入れ、ブレーキユニ
ット60が前後動はするが回転はしないようにしている。
し、これをホルダ68に設けた穴69に入れ、ブレーキユニ
ット60が前後動はするが回転はしないようにしている。
また、前述した出力軸44に、より具体的にはそれに取
り付けられた金具50に、磁性体から成るブレーキディス
ク54を、各ブレーキユニット60の後方側に近接させて取
り付けている。
り付けられた金具50に、磁性体から成るブレーキディス
ク54を、各ブレーキユニット60の後方側に近接させて取
り付けている。
上記構成によれば、各ブレーキユニット60の電磁コイ
ル64に所定の電流を流した状態では、その磁束が永久磁
石62の磁束を打ち消し、ばね72の力で各ブレーキユニッ
ト60はモータ42側に押し付けられており、それらとブレ
ーキディスク54の間には所定のギャップＧが生じてい
る。即ちブレーキはかからない。
ル64に所定の電流を流した状態では、その磁束が永久磁
石62の磁束を打ち消し、ばね72の力で各ブレーキユニッ
ト60はモータ42側に押し付けられており、それらとブレ
ーキディスク54の間には所定のギャップＧが生じてい
る。即ちブレーキはかからない。
上記電磁コイル64に対する通電を切ると、それによる
磁束の打ち消しは無くなり、永久磁石62の力がばね72の
力に打ち勝って各ブレーキユニット60がブレーキディス
ク54側にスライドしてそれに吸着し、ブレーキディスク
54と摩擦板66との摩擦によりブレーキがかかる。
磁束の打ち消しは無くなり、永久磁石62の力がばね72の
力に打ち勝って各ブレーキユニット60がブレーキディス
ク54側にスライドしてそれに吸着し、ブレーキディスク
54と摩擦板66との摩擦によりブレーキがかかる。
従って例えば、ダイレクトドライブモータ42と各ブレ
ーキユニット60との電源を同一にしておくと、停電時に
ダイレクトドライブモータ42の保持力がなくなっても即
時にブレーキがかかるので安全である。
ーキユニット60との電源を同一にしておくと、停電時に
ダイレクトドライブモータ42の保持力がなくなっても即
時にブレーキがかかるので安全である。
しかも上記構造では、ダイレクトドライブモータ42の
出力軸44の周りの部分に複数のブレーキユニットを配置
しているので、当該電磁ブレーキ付ダイレクトドライブ
モータ40を対象物に取り付けるフランジ43側には電磁ブ
レーキが出ておらず、従って他の機器との接続等におい
て電磁ブレーキが邪魔にならなくなり、適用範囲が広が
る。例えば、この電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモ
ータ40を前述したようなイオン注入装置のダイレクトド
ライブモータ16の代わりに用いる場合、第２図に示すよ
うに、真空シール軸受12との構造な干渉を起こすことな
く用いることができる。
出力軸44の周りの部分に複数のブレーキユニットを配置
しているので、当該電磁ブレーキ付ダイレクトドライブ
モータ40を対象物に取り付けるフランジ43側には電磁ブ
レーキが出ておらず、従って他の機器との接続等におい
て電磁ブレーキが邪魔にならなくなり、適用範囲が広が
る。例えば、この電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモ
ータ40を前述したようなイオン注入装置のダイレクトド
ライブモータ16の代わりに用いる場合、第２図に示すよ
うに、真空シール軸受12との構造な干渉を起こすことな
く用いることができる。
また、ダイレクトドライブモータ42の後面側には、通
常は図示例のように、その出力軸44と相手側の軸（例え
ば主軸14）との接続のために段が付いていて出力軸44の
周りに遊んでいる空間があり、この電磁ブレーキ付ダイ
レクトドライブモータ40はここに複数のブレーキユニッ
ト60を配置したので、空間の有効利用により全体がコン
パクトになり小型化される。即ち、電磁ブレーキを付け
ない場合と同程度の大きさにすることができる。
常は図示例のように、その出力軸44と相手側の軸（例え
ば主軸14）との接続のために段が付いていて出力軸44の
周りに遊んでいる空間があり、この電磁ブレーキ付ダイ
レクトドライブモータ40はここに複数のブレーキユニッ
ト60を配置したので、空間の有効利用により全体がコン
パクトになり小型化される。即ち、電磁ブレーキを付け
ない場合と同程度の大きさにすることができる。
なお、このような電磁ブレーキ付ダイレクトドライブ
モータ40は、典型的には第２図に示したようなイオン注
入装置に用いるのが好適でありが、勿論それ以外の装置
にも用いることができる。
モータ40は、典型的には第２図に示したようなイオン注
入装置に用いるのが好適でありが、勿論それ以外の装置
にも用いることができる。
以上のようにこの発明の電磁ブレーキ付ダイレクトド
ライブモータによれば、それを対象物に取り付ける面側
に電磁ブレーキが出ていないので、他の機器との接続等
において電磁ブレーキが邪魔にならなくなり、適用範囲
が広がる。
ライブモータによれば、それを対象物に取り付ける面側
に電磁ブレーキが出ていないので、他の機器との接続等
において電磁ブレーキが邪魔にならなくなり、適用範囲
が広がる。
また、出力軸の周りを空間を有効に利用しているの
で、全体がコンパクトになり小型化される。
で、全体がコンパクトになり小型化される。
第１図は、この発明の一実施例に係る電磁ブレーキ付ダ
イレクトドライブモータを部分的に切り欠いて示す側面
図である。第２図は、第１図の電磁ブレーキ付ダイレク
トドライブモータを用いたイオン注入装置の一例を部分
的に示す図である。第３図は、この発明の背景となるイ
オン注入装置の一例を部分的に示す図である。第４図
は、従来の電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータの
一例を示す側面図である。 40……電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ、42…
…ダイレクトドライブモータ、44……出力軸、54……ブ
レーキディスク、60……ブレーキユニット、62……永久
磁石、64……電磁コイル、66……摩擦板、72……ばね。
イレクトドライブモータを部分的に切り欠いて示す側面
図である。第２図は、第１図の電磁ブレーキ付ダイレク
トドライブモータを用いたイオン注入装置の一例を部分
的に示す図である。第３図は、この発明の背景となるイ
オン注入装置の一例を部分的に示す図である。第４図
は、従来の電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータの
一例を示す側面図である。 40……電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ、42…
…ダイレクトドライブモータ、44……出力軸、54……ブ
レーキディスク、60……ブレーキユニット、62……永久
磁石、64……電磁コイル、66……摩擦板、72……ばね。
Claims (1)
- 【請求項１】ダイレクトドライブモータの出力軸の周り
の部分に、永久磁石、電磁コイルおよび摩擦板を有する
複数のブレーキユニットを前後動可能に、しかもばねに
よってモータ側に押し付けて取り付け、かつ前記出力軸
に、磁性体から成るブレーキディスクを各ブレーキユニ
ットに近接させて取り付け、各ブレーキユニットの電磁
コイルに対する通電を切ったときに各ブレーキユニット
がブレーキディスクに吸着してブレーキがかかるように
したことを特徴とする電磁ブレーキ付ダイレクトドライ
ブモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2042199A JP2819735B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | 電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2042199A JP2819735B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | 電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03245750A JPH03245750A (ja) | 1991-11-01 |
| JP2819735B2 true JP2819735B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=12629342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2042199A Expired - Fee Related JP2819735B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | 電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2819735B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101749344A (zh) * | 2010-01-14 | 2010-06-23 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 一种制动器 |
| JP2022150379A (ja) * | 2021-03-26 | 2022-10-07 | 三陽工業株式会社 | 制動装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE502007003786D1 (de) * | 2007-11-19 | 2010-06-24 | Siemens Ag | Elektrische Maschine mit Magnetbremse direkt am Rotor |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP2042199A patent/JP2819735B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101749344A (zh) * | 2010-01-14 | 2010-06-23 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 一种制动器 |
| JP2022150379A (ja) * | 2021-03-26 | 2022-10-07 | 三陽工業株式会社 | 制動装置 |
| JP7160392B2 (ja) | 2021-03-26 | 2022-10-25 | 三陽工業株式会社 | 制動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03245750A (ja) | 1991-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000357486A (ja) | イオン注入装置 | |
| JP2819735B2 (ja) | 電磁ブレーキ付ダイレクトドライブモータ | |
| JP2001126651A5 (ja) | ||
| JPH07192419A (ja) | ディスク駆動装置の回転アクチュエータをラッチする回転慣性ラッチ | |
| JPH01256083A (ja) | ロック機構 | |
| JP2619559B2 (ja) | 部分真空電子ビーム溶接装置 | |
| US20230026476A1 (en) | Optical scanning device | |
| JP3463336B2 (ja) | 電磁ブレーキ付モータ | |
| EP0977066A1 (en) | Radiation-beam manipulator having a pretensioned thrust bearing | |
| JPH05151737A (ja) | アクチユエータロツク機構 | |
| US6473052B1 (en) | Device for the accurate positioning of an antenna | |
| JPS61269275A (ja) | 磁気デイスク装置 | |
| KR100249955B1 (ko) | 회전 정보 캐리어 기입 및 판독용 장치 | |
| JP3554098B2 (ja) | 磁石駆動装置、電磁シャッタ及びカメラ | |
| JP2544063B2 (ja) | 磁気ディスク装置のキャリッジ・ロック方法及び磁気ディスク装置 | |
| JPH07182805A (ja) | ラッチアクチュエータ | |
| JP2003259621A (ja) | 移動体システム | |
| JP2003224962A (ja) | 移動体システム | |
| JPS6333463B2 (ja) | ||
| JPS6320781A (ja) | 磁気デイスク装置 | |
| JPH0581776U (ja) | スクリーンモニタ | |
| JP3078898B2 (ja) | コンプライアンス機構を用いたワークの挿入方法 | |
| JPH04186565A (ja) | 磁気ディスク装置のキャリッジロック機構 | |
| JPH087808Y2 (ja) | ブレーキ付モータの防音装置 | |
| JPH11103555A (ja) | 動圧軸受形モータ、そのモータの輸送方法及び輸送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |