JP2816956B2 - セラミックスグリーンシート積層体の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックスグリ
ーンシート積層体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミックスグリーンシートを、
印刷および乾燥処理を施した後に積層するにあたって
は、印刷および乾燥処理を施す前に積層用基準孔をセラ
ミックスグリーンシートに穿孔するのが一般的である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
ように、基準孔の穿孔後に印刷および乾燥処理等をセラ
ミックスグリーンシートに施すのでは、印刷および乾燥
処理がセラミックスグリーンシートに及ぼす影響によ
り、セラミックスグリーンシートの印刷部と基準孔との
相対位置が微妙に変化し、充分な積層精度が得られない
ことがある。

【０００４】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、充分な積層精度が得られるようにした、セラ
ミックスグリーンシート積層体の製造方法を提供するこ
とを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、合成樹脂製のキャリアシート上にセラミ
ックスグリーンシートを設けて成るとともに製品たるセ
ラミックスシート積層体の複数個分の大きさを有するシ
ート状体に、セラミックスグリーンシートへの導電金属
による印刷および乾燥処理を施した後に、複数の基準孔
を穿孔する工程と；載置板に設けた複数の基準ピンを各
基準孔に嵌合させつつ、セラミックスグリーンシート同
士を相互に接着する操作ならびに接着後に上方位置に在
るキャリアシートをセラミックスグリーンシートから剥
離する操作を順次繰り返して載置板上で複数枚のセラミ
ックスグリーンシートを仮積層した後、その複数枚のセ
ラミックスグリーンシートを載置板上で積層プレス機に
より積層処理する工程と；載置板を積層プレス機から切
断機側にもたらし、その載置板上で積層状態に在る複数
枚のセラミックスグリーンシートを該切断機により複数
に切断して、セラミックスシート積層体に対応する大き
さのセラミックスグリーンシート積層体を得る工程と；
を有し、前記シート状体に基準孔を穿孔するにあたって
は、水平面内で相互に直交する方向への移動ならびに鉛
直軸線まわりの回動を可能として固定の基台上に配置し
た可動台に複数のイメージセンサを取付けておき、印刷
および乾燥処理を完了した後のセラミックスグリーンシ
ートを前記可動台の上方に水平姿勢でもたらした状態で
前記各イメージセンサによってセラミックスグリーンシ
ートの印刷パターンを撮像するとともにその撮像結果に
基づいて前記印刷パターンに対する可動台の相対位置が
一定となるように該可動台を原位置から作動せしめる工
程と、前記印刷パターンに対する相対位置が一定となっ
た可動台上にセラミックスグリーンシートを載置する工
程と、可動台を原位置に戻す工程と、原位置に在る可動
台上のセラミックスグリーンシートをそのままの姿勢で
パンチングプレス機にもたらして該パンチングプレス機
により複数の基準孔を穿孔する工程とを順に経過せしめ
ることを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付図面に示した本発明の一実施例に基づいて説明する。

【０００７】図１ないし図２０は本発明の一実施例を示
すものであり、図１はセラミックスシート積層体の製造
工程を示す図、図２はセラミックスシート積層体を用い
た積層コンデンサの切欠き縦断側面図、図３は図２の３
−３線拡大断面図、図４はシート状体の切欠き平面図、
図５は図４の５−５線断面図、図６はパンチング装置の
側面図、図７は図６の７−７線断面図、図８はトレーの
積層状態を示す側面図、図９はトレーの平面図、図１０
はパンチングプレス機の構成を示す側面図、図１１はパ
ンチング加工後のシート状体の平面図、図１２は図１１
の１２−１２線断面図、図１３は仮積層装置の側面図、
図１４は図１３の１４−１４線に沿う断面図、図１５は
載置板の平面図、図１６は図１５の１６矢視側面図、図
１７は積層・切断装置の側面図、図１８は図１７の１８
−１８線に沿う断面図、図１９は２組のウォーキングビ
ームの作動を説明するための図、図２０はセラミックス
グリーンシート積層体の切断直後の平面図である。

【０００８】先ず図１において、粉体状であるセラミッ
クスが原材料貯溜場２１で準備され、調液装置２２、ロ
ールコーター２３、シート切断機２４、たとえば一対の
印刷・乾燥装置２５，２５、たとえば一対のパンチング
装置２６，２６、ストックヤード２７、たとえば６台の
仮積層装置２８，２８…、たとえば一対の積層・切断装
置２９，２９、検査場３０および焼成装置３１での加工
および処理を順次経過せしめることにより、図２で示す
ようなセラミックスシート積層体３２が得られる。

【０００９】図２および図３において、セラミックスシ
ート積層体３２は、積層コンデンサとして用いられるも
のであり、電極として機能すべく導電金属から成る印刷
部３３が一面側にそれぞれ形成されている複数枚たとえ
ば２８枚の中間セラミックスシート３４，３４…が、印
刷部を有しない一対のカバーセラミックスシート３５，
３５間に積層されて成る。而してセラミックスシート積
層体３２の両側面には電極部３６…が印刷等によりそれ
ぞれ形成されるものであり、中間セラミックスシート３
４，３４…は、それらの印刷部３３…がセラミックスシ
ート積層体３２の両側面の電極部３６…に交互に連なる
ようにして積層配置され、両電極部３６…に端子３７，
３７がはんだ等によりそれぞれ接続された状態で合成樹
脂による被覆部３８でセラミックスシート積層体３２が
覆われることにより、積層コンデンサが構成される。

【００１０】再び図１において、原材料貯溜場２１から
調液装置２２にもたらされた粉体状のセラミックスは、
調液装置２２において溶剤または水と混練されてスラリ
ー化される。而してスラリー状のセラミックスがロール
コーター２３およびシート切断機２４を経過することに
より、図４および図５で示すようなシート状体４０が得
られる。すなわち、ロールコーター２３では、ポリエチ
レン等の合成樹脂から成る薄いキャリアシート４１上に
スラリー化されたセラミックスがたとえば５〜２５μｍ
の厚みで塗布され、シート切断機２４で所定の大きさの
四角形状に切断されることにより、キャリアシート４１
上にセラミックスグリーンシート４２を設けて成るシー
ト状体４０が得られる。而して該シート状体４０は、製
品たるセラミックスシート積層体３２の複数個分の大き
さを有した四角形状に形成されている。

【００１１】シート切断機２４で得られたシート状体４
０は、たとえば一対の印刷・乾燥装置２５，２５にそれ
ぞれもたらされるものであり、それらの印刷・乾燥装置
２５，２５では、積層コンデンサにおいて電極となる印
刷部３３（図３参照）が導電金属によるパターン印刷に
よりシート状体４０のセラミックスグリーンシート４２
上に形成されるとともに印刷処理後の乾燥処理がそれぞ
れ施される。但しセラミックスシート積層体３２におけ
るカバーセラミックスシート３５を得るためのシート状
体４０については印刷処理が施されない。

【００１２】図６および図７において、パンチング装置
２６は、床面４３に固定配置される基台４４上に、空ト
レー排出手段４５、充トレー供給手段４６、仮位置決め
台４７、位置調整手段４８、パンチングプレス機４９、
充トレー排出手段５０および空トレー供給手段５１が、
一直線状の搬送ラインＬ₁ の一端（図６および図７の右
端）側から他端（図６および図７の左端）側に向けて順
に間隔をあけて設けられて成るものである。

【００１３】空トレー排出手段４５および充トレー供給
手段４６は、それらの内端位置を搬送ラインＬ₁ 上に配
置して搬送ラインＬ₁ と直交する方向に延設される。而
して充トレー供給手段４６は、図８で示すように積み重
ねられた複数個たとえば３０個のトレー５２，５２…
を、充トレー供給手段４６の外端位置から内端位置に搬
送するものであり、各トレー５２，５２…にはシート状
体４０がそれぞれ載せられている。すなわちトレー５２
は、図９で明示するように、四角形状の開口部に網状載
置部５３が設けられた枠状に構成されており、網状載置
部５３にシート状体４０が載せられる。しかもトレー５
２の四つの隅角部には突部５４，５４…が突設されてお
り、各トレー５２，５２…は下方のトレー５２の突部５
４，５４…で支持されるようにして積み重ねられる。

【００１４】ところで、充トレー供給手段４６において
積み重ね状態で最下層となるトレー５２にはシート状体
４０がそのセラミックスグリーンシート４２を上方位置
として載置されるのに対し、その他のトレー５２，５２
…にはセラミックスグリーンシート４２を下方位置とし
てシート状体４０，４０がそれぞれ載せられる。しかも
最下層および最上層のトレー５２，５２には印刷処理が
施されていないシート状体４０，４０がそれぞれ載せら
れるのに対し、中間部の複数のトレー５２…には印刷処
理が施されているシート状体４０…が載せられる。

【００１５】空トレー排出手段４５の内端位置には、充
トレー供給手段４６の内端位置でシート状体４０を仮位
置決め台４７に移載することにより空になったトレー５
２が複数個たとえば３０個積み重ねられるものであり、
積み重ねられた空のトレー５２…が空トレー排出手段４
５によりその内端位置から外端位置へと搬送、排出され
る。

【００１６】仮位置決め台４７はシート状体４０よりも
わずかに小さな四角形状の上面を有するものであり、こ
の仮位置決め台４７の上面には、充トレー供給手段４６
の内端位置に在るトレー５２からシート状体４０が順次
移載される。しかも仮位置決め台４７の上部には、該仮
位置決め台４７の上面に載せられたシート状体４０の相
互に平行な両側縁に当接可能な一対の位置決め板５５
ａ，５５ａが相互を近接させた縮小位置ならびに相互間
の距離を拡大させた拡大位置間での移動を可能として配
設されるとともに、前記両側縁と直交する両側縁に当接
可能な一対の位置決め板５５ｂ，５５ｂが相互を近接さ
せた縮小位置ならびに相互間の距離を拡大させた拡大位
置間での移動を可能として配設されている。したがっ
て、充トレー供給手段４６からシート状体４０が移載さ
れる直前に拡大位置に在った各位置決め板５５ａ，５５
ａ，５５ｂ，５５ｂを、シート状体４０が仮位置決め台
４７の上面に載せられるのに応じて縮小位置に移動させ
ることにより、シート状体４０の全ての側縁に各位置決
め板５５ａ，５５ａ，５５ｂ，５５ｂが当接し、シート
状体４０の仮位置決め台４７上の位置がほぼ一定に定め
られることになる。

【００１７】かかる仮位置決め台４７は、充トレー供給
手段４６に関して空トレー排出手段４５とは反対側で基
台４４の搬送ラインＬ₁ 上に配設される。しかも仮位置
決め台４７の中心および充トレー供給手段４６の内端中
心間の距離は空トレー排出手段４５および充トレー供給
手段４６の内端中心間の距離に等しく設定される。

【００１８】位置調整手段４８は、その中心位置と仮位
置決め台４７の中心位置との間の距離を、仮位置決め台
４７の中心および充トレー供給手段４６の内端中心間の
距離と等しくして、仮位置決め台４７に関して充トレー
供給手段４６とは反対側で基台４４の搬送ラインＬ₁ 上
に配設されるものであり、基台４４上に固定される固定
台５６上に鉛直軸線Ｃまわりの回動（図７においてθで
示す方向の回動）を可能として支承される回動台５７
と、該回動台５７上に搬送ラインＬ₁ にほぼ沿うＸ軸方
向への移動を可能として支承されるＸ軸可動台５８と、
該Ｘ軸可動台５８上に前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向への
移動を可能として支承されるＹ軸可動台５９とを備え
る。

【００１９】仮位置決め台４７からのシート状体４０は
Ｙ軸可動台５９上に載置される。しかもＹ軸可動台５９
には、複数のイメージセンサたとえばＣＣＤイメージセ
ンサ６０，６０…が取付けられており、これらのＣＣＤ
イメージセンサ６０，６０…は、Ｙ軸可動台５９の上方
に水平姿勢でもたらされるシート状体４０の下面を下方
から撮像するものである。この際、セラミックスグリー
ンシート４２に印刷が施されたシート状体４０にあって
は、仮位置決め台４７から仮位置決め台４７に移載され
るときにセラミックスグリーンシート４２を下方位置と
した姿勢となっているので、前記ＣＣＤイメージセンサ
６０，６０…によりセラミックスグリーンシート４２の
印刷パターンが撮像されることになる。而して回動台５
７、Ｘ軸可動台５８およびＹ軸可動台５９は、ＣＣＤイ
メージセンサ６０，６０…で撮像されるセラミックスグ
リーンシート４２の印刷パターンと、Ｙ軸可動台５９と
の相対位置が一定位置となるように駆動され、前記相対
位置が一定となった状態でシート状体４０がＹ軸可動台
５９上に載置され、その後、回動台５７、Ｘ軸可動台５
８およびＹ軸可動台５９が初期位置に戻される。すなわ
ち相対位置を一定としてシート状体４０を載せたＹ軸可
動台５９が、搬送ラインＬ₁ に対する姿勢を一定とした
原位置に戻される。

【００２０】すなわち、位置調整手段４８においては、
セラミックスグリーンシート４２を下方位置したシート
状態４０をＹ軸可動台５９の上方に水平姿勢でもたらし
た状態で前記各イメージセンサ６０，６０…によってセ
ラミックスグリーンシート４２の印刷パターンを撮像す
るとともにその撮像結果に基づいて前記印刷パターンに
対するＹ軸可動台５９の相対位置が一定となるようにＹ
軸可動台５９を原位置から作動せしめる工程と、前記印
刷パターンに対する相対位置が一定となった可動台５９
上にセラミックスグリーンシート４２を下方位置とした
シート状体４０を載置する工程と、Ｙ軸可動台５９を原
位置に戻す工程とが順に行なわれることになる。

【００２１】ところで、充トレー供給手段４６におい
て、最下層および最上層のトレー５２，５２には印刷処
理が施されていないシート状体４０，４０がそれぞれ載
せられており、それらのシート状体４０，４０が位置調
整手段４８にもたられたときにはＣＣＤイメージセンサ
６０，６０…による位置調整が不可能である。しかるに
印刷処理が施されていないセラミックスグリーンシート
４２は、セラミックスシート積層体３２を構成したとき
に両端のカバーセラミックスシート３５，３５（図２お
よび図３参照）となるものであり、中間セラミックスシ
ート３４，３４…に対応する大きさを有していればよ
く、中間セラミックスシート３４，３４…との厳密な相
対位置調整は不要であるので、ＣＣＤイメージセンサ６
０，６０…による位置調整を行わずにＹ軸可動台５９上
に載せられればよい。

【００２２】また基台４４には、空トレー排出手段４
５、充トレー供給手段４６、仮位置決め台４７、位置調
整手段４８、パンチングプレス機４９、充トレー排出手
段５０および空トレー供給手段５１の上方で搬送ライン
Ｌ₁ に沿って延びる案内レール６２をそれぞれ有する一
対の案内架台６１…が設けられており、空トレー排出手
段４５および充トレー供給手段４６にそれぞれ対応する
位置間を往復移動可能な台車６３、充トレー供給手段４
６および仮位置決め台４７にそれぞれ対応する位置間を
往復移動可能な台車６４、ならびに仮位置決め台４７お
よび位置調整手段４８にそれぞれ対応する位置間を往復
移動可能な台車６５が、両案内レール６２…に沿って移
動可能に配設され、それらの台車６３，６４，６５は同
期して移動すべく相互に連結される。

【００２３】台車６３には、トレー５２の保持および保
持解除を切換え可能な保持手段６６が昇降可能に配設さ
れており、空トレー排出手段４５および充トレー供給手
段４６にそれぞれ対応する位置間での台車６３の往復移
動、ならびに保持手段６６の昇降作動により、充トレー
供給手段４６においてシート状体４０の移載により空と
なったトレー５２が空トレー排出手段４５の内端位置に
順次移される。また台車６４には、シート状体４０の保
持および保持解除を切換え可能な保持手段６７が昇降可
能に配設されており、充トレー供給手段４６および仮位
置決め台４７にそれぞれ対応する位置間での台車６４の
往復移動、ならびに保持手段６７の昇降作動により、充
トレー供給手段４６の内端位置において最上方のトレー
５２上に載せられたシート状体４０が仮位置決め台４７
に順次移載される。さらに台車６５には、シート状体４
０の保持および保持解除を切換え可能な保持手段６８が
昇降可能に配設されており、仮位置決め台４７および位
置調整手段４８にそれぞれ対応する位置間での台車６５
の往復移動、ならびに保持手段６８の昇降作動により、
仮位置決め台４７上に在るシート状体４０が位置調整手
段４８に順次もたらされる。しかも台車６５が位置調整
手段４８に対応する位置に在る状態での保持手段６８の
下降動作は、位置調整手段４８におけるＹ軸可動台５９
の位置が定まってから開始されるものである。

【００２４】図１０を併せて参照して、パンチングプレ
ス機４９は、シート状体４０を載せる下金型７１と、下
金型７１と共働してパンチングプレス動作をする上金型
７２とを有する。而して下金型７１には、該下金型７１
上に在るシート状体４０の周縁部に対応した位置で複数
の嵌合孔７３，７３…が上下に延びて設けられており、
上金型７２にはシート状体４０を貫通して各嵌合孔７
３，７３…に嵌合可能な突部７４，７４…が設けられ
る。また下金型７１には、上金型７２に設けられた複数
のガイドピン７６，７６を嵌合せしめる複数のガイド孔
７５，７５が設けられる。

【００２５】ところで、下金型７１は、搬送ラインＬ₁
と直交する方向に延びて基台４４上に設けられている一
対のガイドレール７７，７７に沿って、それらのガイド
レール７７，７７の内端位置および外端位置間を移動可
能なものであり、両ガイドレール７７，７７の外端位置
に対応する部分で基台４４には４本の支柱７８，７８…
が立設されており、それらの支柱７８，７８…の上端部
に固設された支持板７９の下面中央部に鉛直軸線を有す
るシリンダ８０が配設される。シリンダ８０には各支柱
７８，７８…によって昇降動作を案内される昇降板８１
が連結されており、この昇降板８１に上金型７２が固設
される。

【００２６】このようなパンチングプレス機４９によれ
ば、下金型７１が両ガイドレール７７，７７の内端位置
に配置されている状態で下金型７１上にシート状体４０
が位置調整手段４８から移載される。この際、位置調整
手段４８および下金型７１間のシート状体４０の移載
は、前記台車６３〜６５および保持手段６６〜６８と同
様に構成されて案内架台６１に設けられた移載装置（図
示せず）によって行なわれるものであり、位置調整手段
４８では原位置に在るＹ軸可動台５９上に載ったシート
状体４０の搬送ラインＬ₁ に対する姿勢が一定となって
いるので、Ｙ軸可動台５９上での姿勢を保って下金型７
１上にシート状体４０が載せられたときに該シート状体
４０と下金型７１との相対位置は常に一定となる。

【００２７】シート状体４０が載せられた下金型７１
は、両ガイドレール７７，７７によって上金型７２の下
方位置まで搬送され、下金型７１が停止した状態でシリ
ンダ８０が作動せしめられて上金型７２が下降すること
により、突部７４，７４…および嵌合孔７３，７３…に
より、図１１および図１２で示すように、シート状体４
０に複数の基準孔８２，８２…が穿孔されることにな
る。

【００２８】充トレー排出手段５０および空トレー供給
手段５１は、それらの内端位置を搬送ラインＬ₁ 上に配
置して搬送ラインＬ₁ と直交する方向に延設される。而
して充トレー排出手段５０は、パンチングプレス機４８
で穿孔加工されたシート状体４０を載せた複数個たとえ
ば３０個のトレー５２，５２…を、充トレー排出手段５
０の内端位置から外端位置に搬送するものである。また
空トレー供給手段５１は、積み重ねられた空のトレー５
２…をその外端位置から内端位置へと搬送するものであ
り、空トレー供給手段５１の内端位置で積み重ね状態に
在る空のトレー５２，５２…が充トレー排出手段５０の
内端位置に順次もたらされる。

【００２９】パンチングプレス機４８および充トレー排
出手段５０にそれぞれ対応する位置間を往復移動可能な
台車８４と、充トレー排出手段５０および空トレー供給
手段５１にそれぞれ対応する位置間を往復移動可能な台
車８５とが両案内レール６２…に沿って移動可能に配設
されており、それらの台車８４，８５は同期して移動す
べく相互に連結される。また台車８４には、シート状体
４０の保持および保持解除を切換え可能な保持手段８６
が昇降可能に配設されており、パンチングプレス機４８
および充トレー排出手段５０にそれぞれ対応する位置間
での台車８４の往復移動、ならびに保持手段８６の昇降
作動により、パンチングプレス機４８で穿孔加工された
シート状体４０が充トレー排出手段５１の内端位置に順
次移される。また台車８５には、トレー５２の保持およ
び保持解除を切換え可能な保持手段８７が昇降可能に配
設されており、充トレー排出手段５０および空トレー供
給手段５１にそれぞれ対応する位置間での台車８５の往
復移動、ならびに保持手段８７の昇降作動により、空ト
レー供給手段５１の内端位置において積み重ね状態に在
るトレー５２，５２…のうち最上方のトレー５２が充ト
レー排出手段５０の内端位置に順次移載される。

【００３０】このようにして複数の基準孔８２，８２…
を有するシート状体４０をそれぞれ載せたトレー５２，
５２…が充トレー排出手段５０から排出され、図１で示
すストックヤード２７にもたらされるが、このストック
ヤード２７において、積み重ね状態に在るトレー５２，
５２…のうち最上方のトレー５２に載せられているシー
ト状体４０は、充トレー供給手段４６における積み重ね
状態で最下層に在ってセラミックスグリーンシート４２
を上方位置としてトレー５２に載置されていたので、セ
ラミックスグリーンシート４２を上方位置とした姿勢と
なっている。

【００３１】図１３および図１４において、仮積層装置
２８は、床面４３に固定配置される基台９０上に、空ト
レー排出手段９１、充トレー供給手段９２、仮位置決め
台９３、往復搬送手段９４、接着剤塗布手段９５、仮積
層プレス機９６およびキャリアシート剥離機９７が設け
られて成るものである。

【００３２】基台９０上には一直線状の搬送ラインＬ₂
が設定されており、空トレー排出手段９１および充トレ
ー供給手段９２は、それらの内端位置を搬送ラインＬ₂
上に配置して搬送ラインＬ₂ と直交する方向に延設され
る。而して充トレー供給手段９２は、積み重ねられた複
数個たとえば３０個のトレー５２，５２…を、充トレー
供給手段９２の外端位置から内端位置に搬送するもので
あり、各トレー５２，５２…にはシート状体４０がそれ
ぞれ載せられている。また空トレー排出手段９１の内端
位置には、充トレー供給手段９２の内端位置でシート状
体４０を仮位置決め台９３に移載することにより空にな
ったトレー５２が複数個たとえば３０個積み重ねられる
ものであり、積み重ねられた空のトレー５２…が空トレ
ー排出手段９１によりその内端位置から外端位置へと搬
送、排出される。

【００３３】仮位置決め台９３はシート状体４０よりも
わずかに小さな四角形状の上面を有するものであり、こ
の仮位置決め台９３の上面には、充トレー供給手段９２
の内端位置に在るトレー５２からシート状体４０が順次
移載される。しかも仮位置決め台９３の上部には、該仮
位置決め台９３の上面に載せられたシート状体４０の相
互に平行な両側縁に当接可能な一対の位置決め板９８
ａ，９８ａが相互を近接させた縮小位置ならびに相互間
の距離を拡大させた拡大位置間での移動を可能として配
設されるとともに、前記両側縁と直交する両側縁に当接
可能な一対の位置決め板９８ｂ，９８ｂが相互を近接さ
せた縮小位置ならびに相互間の距離を拡大させた拡大位
置間での移動を可能として配設されている。したがっ
て、充トレー供給手段９２からシート状体４０が移載さ
れる直前に拡大位置に在った各位置決め板９８ａ，９８
ａ，９８ｂ，９８ｂを、シート状体４０が仮位置決め台
９３の上面に載せられるのに応じて縮小位置に移動させ
ることにより、シート状体４０の全ての側縁に各位置決
め板９８ａ，９８ａ，９８ｂ，９８ｂが当接し、シート
状体４０の仮位置決め台９３上の位置がほぼ一定に定め
られることになる。

【００３４】かかる仮位置決め台９３は、充トレー供給
手段９２に関して空トレー排出手段９１とは反対側で基
台９０の搬送ラインＬ₂ 上に配設される。しかも仮位置
決め台９３の中心および充トレー供給手段９２の内端中
心間の距離は空トレー排出手段９１および充トレー供給
手段９２の内端中心間の距離に等しく設定される。

【００３５】往復搬送手段９４は、基台９０上に配設さ
れる一対の平行なレール１００，１００と、両レール１
００，１００に沿って往復移動可能な移動台１０１とを
備え、仮位置決め台９３に隣接した位置に一端を配置し
た両レール１００，１００が搬送ラインＬ₂ に沿って延
設される。

【００３６】移動台１０１上には、該移動台１０１が両
レール１００，１００の一端に在るときに、図１５およ
び図１６で示す載置板１０２が作業員による手作業によ
って位置決め、載置される。而してシート状体４０に穿
設されている複数の基準孔８２，８２…に嵌合する複数
の基準ピン１０３，１０３…が載置板１０２の上面に突
設され、また載置板１０２の下面には、基準ピン１０
３，１０３…を下方から嵌合させ得る円筒状の脚部１０
４，１０４…が各基準ピン１０３，１０３…に対応して
突設される。また載置板１０２の側縁には、載置板１０
２を移動台１０１上に載せたときに該移動台１０１に設
けられている位置決めピン（図示せず）を嵌合させて該
移動台１０１上での載置板１０２の位置を固定的に定め
るための複数の切欠き１０５，１０５…が設けられてい
る。

【００３７】基台９０には、空トレー排出手段９１、充
トレー供給手段９２、仮位置決め台９３および往復搬送
手段９４の一端部の上方で搬送ラインＬ₂ に沿って延び
る案内レール１０６をそれぞれ有する一対の案内架台１
０７…が設けられており、空トレー排出手段９１および
充トレー供給手段９２にそれぞれ対応する位置間を往復
移動可能な台車１０８、充トレー供給手段９２および仮
位置決め台９３にそれぞれ対応する位置間を往復移動可
能な台車１０９、ならびに仮位置決め台９３および往復
搬送手段９４の一端部にそれぞれ対応する位置間を往復
移動可能な台車１１０が、両案内レール１０６…に沿っ
て移動可能に配設され、それらの台車１０８，１０９は
同期して移動すべく相互に連結される。

【００３８】台車１０８には、トレー５２の保持および
保持解除を切換え可能な保持手段１１１が昇降可能に配
設されており、空トレー排出手段９１および充トレー供
給手段９２にそれぞれ対応する位置間での台車１０８の
往復移動、ならびに保持手段１１１の昇降作動により、
充トレー供給手段９２においてシート状体４０の移載に
より空となったトレー５２が空トレー排出手段９１の内
端位置に順次移される。また台車１０９には、シート状
体４０の保持および保持解除を切換え可能な保持手段１
１２が昇降可能に配設されており、充トレー供給手段９
２および仮位置決め台９３にそれぞれ対応する位置間で
の台車１０９の往復移動、ならびに保持手段１１２の昇
降作動により、充トレー供給手段９２の内端位置におい
て最上方のトレー５２上に載せられたシート状体４０が
仮位置決め台９３に順次移載される。さらに台車１１０
には、シート状体４０の保持および保持解除を切換え可
能な保持手段１１３が昇降可能に配設されており、仮位
置決め台９３および往復搬送手段９４の一端部にそれぞ
れ対応する位置間での台車１１０の往復移動、ならびに
保持手段１１３の昇降作動により、仮位置決め台９３上
に在るシート状体４０が往復搬送手段９４の一端部に停
止している移動台１０１上の載置板１０２に順次もたら
される。

【００３９】仮積層プレス機９６は、往復搬送手段９４
の中間部に対応して基台９０上に配設されるものであ
り、往復搬送手段９４における両レール１００，１００
の外方で基台９０に立設される４本の支柱１１４，１１
４…の上端部に固設された支持板１１５と、鉛直軸線を
有して支持板１１５の上面に固定的に支持されるシリン
ダ１１６と、各支柱１１４，１１４…で案内されて昇降
することを可能として支持板１１５の下方に配置される
とともに前記シリンダ１１６に連結される押圧部材１１
７とを備えるものであり、往復搬送手段９４における移
動台１０１が仮積層プレス機９６に対応する位置で一旦
停止している状態でシリンダ１１６を伸長作動せしめる
ことにより、移動台１０１上の載置板１０２上に載って
いるシート状体４０に上方から押圧力を作用せしめるこ
とができる。

【００４０】接着剤塗布手段９５は、往復搬送手段９４
の一端部と仮積層プレス機９６との間で案内架台１０７
…の端部に配設されるものであり、昇降可能な接着剤付
きローラ１１８が下方に向けて弾発付勢されて成るもの
である。この接着剤塗布手段９５にあっては、往復搬送
手段９４の移動台１０１が両レール１００，１００の一
端部から仮積層プレス機９６側に向けて移動するときに
は接着剤付きローラ１１８が上昇せしめられ、移動台１
０１が仮積層プレス機９６から両レール１００，１００
の一端部側に向けて移動するときには下降せしめられ
る。

【００４１】キャリアシート剥離機９７は、往復搬送手
段９４における両レール１００，１００の他端部に対応
して基台９０上に配設されるものであり、搬送ラインＬ
₂ に対してたとえば４５度の角度をなして基台９０上に
設けられる架台１１９と、該架台１１０に設けられた一
対のガイドレール１２０，１２０に沿って往復移動可能
な移動台１２１と、上下位置を調整可能として移動台１
２１に支承される剥離部材１２２とを備える。

【００４２】移動台１２１は、往復搬送手段９４によっ
て載置板１０２が搬送されて来るまでは図１３および図
１４で示す原位置に在り、往復搬送手段９４で載置板１
０２がキャリアシート剥離機９７に対応する位置まで搬
送されて来たときに搬送ラインＬ₂ に対して４５度の方
向への移動を開始する。この際、載置板１０２上に載っ
ているシート状体４０の上部にあるキャリアシート４１
に対応するレベルに剥離部材１２２の上下位置が調整さ
れており、移動台１２１および剥離部材１２２がシート
状体４０の対角線に沿う方向に移動することにより、キ
ャリアシート４１がその下方のセラミックスグリーンシ
ート４２から剥離されることになる。

【００４３】このような仮積層装置２８によれば、先ず
最下層となるシート状体４０がキャリアシート４１を下
方位置として積載された載置板１０２が、往復搬送手段
９４により両レール１００，１００の一端部から他端部
に向けて搬送される。このとき、載置板１０２上のシー
ト状体４０がそのセラミックスグリーンシート４２を上
方位置とした姿勢にあるので、仮積層プレス機９６によ
るプレス作動ならびにキャリアシート剥離機９７による
キャリアシート剥離作動は行われず、載置板１０２が両
レール１００，１００の一端部に戻る直前に、接着剤塗
布手段９５の接着剤付きローラ１１８によりセラミック
スグリーンシート４２に接着剤が塗布される。次いで両
レール１００，１００の一端部で次のシート状体４０が
セラミックスグリーンシート４２を下方位置として最下
層のシート状体４０に重ねられた後、載置板１０２が仮
積層プレス機９６に対応する位置まで搬送されて一旦停
止せしめられ、その状態で仮積層プレス機９６による押
圧力が作用することにより上下のセラミックスグリーン
シート４２同士が接着される。さらに載置板１０２は仮
積層プレス機９６からキャリアシート剥離機９７に対応
する位置まで搬送され、最上層に在るシート状体４０の
キャリアシート４１がキャリアシート剥離機９７により
剥離され、その後、載置板１０２が両レール１００，１
００の一端部に戻る過程で最上面のセラミックスグリー
ンシート４２に接着剤が塗布される。このような操作を
順次繰返すことにより、載置板１０２上に載った一枚の
キャリアシート４１上に相互に接着された複数たとえば
３０枚のセラミックスグリーンシート４２…が相互に接
着されて積層されることになり、しかも各セラミックス
グリーンシート４２…の相対位置は、載置板１０２の基
準ピン１０３，１０３…が基準孔８２，８２…に嵌合す
ることにより一定に定まっている。而して、設定枚数の
セラミックスグリーンシート４２…の積層が終了した状
態で載置板１０２がキャリアシート剥離機９７から排出
される。

【００４４】図１７および図１８において、積層・切断
装置２９は、供給コンベア１２６と、積層プレス機１２
７と、切断機１２８とを備え、供給コンベア１２６の機
台１２９、積層プレス機１２７の機台１３０ならびに切
断機１２８の機台１３１が、床面４３上に固定配置され
る基台１２５上に固定的に配設される。

【００４５】供給コンベア１２６の機台１２９は、基台
１２５上に設定される一直線状の搬送ラインＬ₃ に直交
する方向に延設されており、該機台１２９の内端部が搬
送ラインＬ₃ 上に位置するようにして基台１２５上に配
設される。而して供給コンベア１２６は、載置板１０２
上に仮積層状態で載せられている複数のセラミックスグ
リーンシート４２，４２…を、その外端部から内端部に
向けて水平に搬送可能である。

【００４６】供給コンベア１２６の内端部に対応して前
記機台１２９上には保持昇降手段１３２が配設されてお
り、この保持昇降手段１３２は、上下に延びて機台１２
９に設けられたガイド枠１３３と、該ガイド枠１３３に
設けられた一対のガイドレール１３４，１３４に沿って
昇降可能な昇降台１３５と、供給コンベア１２６の内端
部に在る載置板１０２のクランプおよびクランプ解除を
可能として昇降台１３５に設けられるクランプ治具１３
６とを備えるものであり、複数のセラミックスグリーン
シート４２，４２…が仮積層状態で載せられている載置
板１０２を供給コンベア１２６上から上昇せしめること
ができる。

【００４７】積層プレス機１２７は、載置板１０２を載
せ得る固定の受け台１３７と、該受け台１３７の上方で
昇降可能な押圧部材１３８と、該押圧部材１３８を昇降
作動せしめるシリンダ１３９とを備え、積層プレス機１
２７の機台１３０は、搬送ラインＬ₃ に沿って前記供給
コンベア１２６の内端部に隣接する位置で基台１２５上
に固定配置される。

【００４８】受け台１３７は、前記搬送ラインＬ₃ 上に
中心を有するようにして機台１３０上に固定配置され、
受け台１３７の外側方で機台１３０に立設される４本の
支柱１４０，１４０…の上端部に設けられた支持板１４
１に、鉛直軸線を有するシリンダ１３９が固定的に配設
される。また押圧部材１３８は、各支柱１４０，１４０
…で案内されて昇降作動することを可能として支持板１
４１の下方に配置され、シリンダ１３９が該押圧部材１
３８に連結される。

【００４９】かかる積層プレス機１２７では、複数のセ
ラミックスグリーンシート４２，４２…を仮積層状態で
載せている載置板１０２が受け台１３７上に載せられた
状態で、シリンダ１３９を伸長作動せしめることにより
押圧部材１３８による押圧力を各セラミックスグリーン
シート４２，４２…に上方から加えることにより、載置
板１０２上での複数のセラミックスグリーンシート４
２，４２…の積層を完了することができる。

【００５０】ところで、セラミックスグリーンシート４
２，４２…の積層プレスを行なうときには、約８０度〜
９０度Ｃに加熱しておくことが必要であり、受け台１３
７にはヒータ（図示せず）が内蔵されている。

【００５１】昇降保持手段１３２から積層プレス機１２
７への載置板１０２の搬送、ならびに積層プレス機１２
７から切断機１２８側への載置板１０２の搬送は、一対
ずつ２組のウォーキングビーム１４２，１４２；１４
３，１４３によって行なわれるものであり、これらのウ
ォーキングビーム１４２，１４２；１４３，１４３は、
受け台１３７の両側に配置される。

【００５２】而してウォーキングビーム１４２，１４
２；１４３，１４３は、供給コンベア１２６および積層
プレス機１２７の中心間の距離よりも大なる長さを有
し、搬送ラインＬ₃ に沿って平行に延設されるものであ
り、説明を省略する駆動手段により図１９で示すような
動作を行なって載置板１０２を搬送する。

【００５３】図１９（ａ）において、複数のセラミック
スグリーンシート４２，４２…が仮積層状態で載せられ
ている載置板１０２を昇降保持手段１３２から受取る状
態では、両ウォーキングビーム１４２…，１４３…は、
その一端を供給コンベア１２６に対応させるとともに他
端を積層プレス機１２７の受け台１３７に対応させる位
置に在り、この状態で載置板１０２が昇降保持手段１３
２から両ウォーキングビーム１４２…，１４３…の一端
部に載せられる。

【００５４】次いで図１９（ｂ）で示すように、一方の
ウォーキングビーム１４２…が上昇せしめられた後、一
端部を積層プレス機１２７の受け台１３７に対応させる
位置まで水平移動せしめられる。これにより、一方のウ
ォーキングビーム１４２…の一端部に載せられた載置板
１０２が受け台１３７の上方位置まで搬送され、図１９
（ｃ）で示すように、一方のウォーキングビーム１４２
…を受け台１３７の上面よりも下方まで降下せしめるこ
とにより載置板１０２が受け台１３７上に載せられるこ
とになり、この間、他方のウォーキングビーム１４３…
は静止したままである。

【００５５】載置板１０２上の複数のセラミックスグリ
ーンシート４２，４２…の積層プレス機１２７による積
層処理完了後、図１９（ｄ）で示すように、他方のウォ
ーキングビーム１４３…が受け台１３７の上面よりも上
方まで上昇せしめられ、さらに該ウォーキングビーム１
４３…がその一端部を受け台１３７に対応させる位置ま
で水平移動せしめられる。これにより受け台１３７上に
載っていた載置板１０２がウォーキングビーム１４３…
の他端部上に移載され、積層プレス機１２７から切断機
１２８側に移動せしめられることになる。この状態で、
供給コンベア１２６の内端部に在る載置板１０２が昇降
保持手段１３２により供給コンベア１２６から上昇せし
められ、またウォーキングビーム１４３…の他端部上に
在る載置板１０２が後述の移載装置１４８により切断機
１２８に移載される。

【００５６】載置板１０２の切断機１２８側への移載完
了後には、図１９（ｅ）で示すように、他方のウォーキ
ングビーム１４３…が一方のウォーキングビーム１４２
…に水平方向で重なる位置まで降下せしめられ、その
後、両ウォーキングビーム１４２…，１４３…が図１９
（ａ）で示す位置まで水平移動せしめられる。

【００５７】このようなウォーキングビーム１４２…，
１４３…の作動を繰返すことにより、昇降保持手段１３
２から積層プレス機１２７に載置板１０２が搬送される
とともに積層プレス機１２７から切断機１２８側に載置
板１０２が搬送されることになる。

【００５８】切断機１２８は、搬送ラインＬ₃ と直交す
る方向に移動可能な移動台１４５上に鉛直軸線まわりに
９０度回動することを可能として配設される回動テーブ
ル１４６と、該回動テーブル１４６上に載せられている
載置板１０２上の複数のセラミックスグリーンシート４
２，４２…を切断するカッタ１４７とを備え、この切断
機１２８の機台１３１は、積層プレス機１２７に関して
供給コンベア１２６と反対側で機台１２５上に固定配置
される。

【００５９】機台１３１上には、搬送ラインＬ₃ と直交
する方向に延びる一対のレール１４９，１４９が固設さ
れており、移動台１４５はそれらのレール１４９，１４
９に沿って移動可能である。また両レール１４９，１４
９の長手方向中間部における両側で機台１３１上には、
支持枠１５０，１５０が立設されており、カッタ１４７
はそれらの支持枠１５０，１５０により昇降可能に支承
される。また両支持枠１５０，１５０には、カッタ１４
７に連結されるシリンダ１５１，１５１が鉛直軸線を有
して固定的に配設されており、両シリンダ１５１，１５
１を同期作動せしめることによりカッタ１４７が昇降駆
動される。しかも積層プレス機１２７での処理温度と略
同一条件でセラミックスグリーンシート４２，４２…を
切断するためにカッタ４７の両側にはヒータ１５２，１
５２が配設される。

【００６０】ところで、図１９（ｄ）で示したように、
ウォーキングビーム１４３…で積層プレス機１２７から
切断機１２８側にもたらされた載置板１０２を切断機１
２８の回動テーブル１４６上に載置させるための移載装
置１４８が、切断機１２８の機台１３１上に配設され
る。

【００６１】この移載装置１４８は、搬送ラインＬ₃ と
平行に延びるとともに切断機１２８をその上方で跨ぐよ
うにして機台１３１上に固定的に配設される架台１５３
と、搬送ラインＬ₃ と平行にして架台１５３に設けられ
た一対の案内レール１５４，１５４に沿って往復移動可
能な台車１５５と、載置板１０２の保持および保持解除
を切換可能とするとともに昇降可能として台車１５５に
配設される保持手段１５６とを備える。

【００６２】このような移載装置１４８によれば、台車
１５５の案内レール１５４，１５４に沿う移動および保
持手段１５６の昇降作動により、ウォーキングビーム１
４３…で積層プレス機１２７から切断機１２８側にもた
らされた載置板１０２を、移載装置１４８の下方で待機
している移動台１４５上の回動テーブル１４６に移載す
ることが可能となる。

【００６３】また上記切断機１２８においては、積層プ
レス機１２７で積層プレスされて積層状態に在る複数の
セラミックスグリーンシート４２，４２…が、載置板１
０２上に載置されている状態で切断されることになる
が、その際、複数のセラミックスグリーンシート４２，
４２…は一枚のキャリアシート４１上に積層された状態
にあり、カッタ１４７をキャリアシート４１に食い込ま
せるまで作動せしめることにより、積層状態に在る全て
のセラミックスグリーンシート４２，４２…が確実に切
断されることになる。また回動テーブル１４６を９０度
回動せしめることにより、各セラミックスグリーンシー
ト４２，４２…は相互に直交する方向に切断されること
になり、図２０で示すように、各セラミックスグリーン
シート４２，４２…から複数のセラミックスグリーンシ
ート積層体１６０，１６０…が得られることになる。而
して各セラミックスグリーンシート積層体１６０，１６
０…は焼成後に得られるセラミックスシート積層体３２
に対応した大きさをそれぞれ有するものである。

【００６４】再び図１に注目して、各積層・切断装置２
９，２９で得られたセラミックスグリーンシート積層体
１６０は、検査場３０での検査後に焼成装置３１で焼成
され、それにより、図２で示したようなセラミックスシ
ート積層体３２が得られることになる。

【００６５】次にこの実施例の作用について説明する
と、キャリアシート４１上にセラミックスグリーンシー
ト４２を設けて成るシート状体４０には、印刷・乾燥装
置２５において、そのセラミックスグリーンシート４２
の表面への印刷処理および乾燥処理が施され、パンチン
グ装置２６にもたらされる。

【００６６】このパンチング装置２６では、シート状体
４０に複数の基準孔８２，８２…が穿孔されるのである
が、ＣＣＤイメージセンサ６０，６０…によりシート状
体４０におけるセラミックスグリーンシート４２の印刷
パターンを撮像することにより、基準孔８２，８２…と
印刷パターンとの相対位置を常に一定に定めることが可
能である。

【００６７】このように印刷および乾燥処理等が施され
た後のシート状体４０に、積層のための複数の基準孔８
２，８２…を穿孔することにより、基準孔穿孔後に印刷
および乾燥処理等が施すものに比べると、印刷および乾
燥処理等による歪み等の悪影響が及ぶのを極力回避し、
印刷パターンと各基準孔８２，８２…との相対位置精度
を高めることができる。しかもＣＣＤイメージセンサ６
０，６０…による撮像により、印刷および乾燥工程で生
じた不良品の検出が可能であり、不良品を随時分離する
ことができる。

【００６８】基準孔８２，８２…が穿孔された複数のシ
ート状体４０，４０…は仮積層装置２８にそれぞれもた
らされる。而して該仮積層装置２８では、載置板１０２
に設けられている基準ピン１０３，１０３…を各基準孔
８２，８２…に嵌合させつつ、セラミックスグリーンシ
ート４２同士を相互に接着する操作ならびに接着後に上
方位置に在るキャリアシート４１をセラミックスグリー
ンシート４２から剥離する操作を順次繰り返して、複数
枚のセラミックスグリーンシート４２，４２…が載置板
１０２上に仮積層される。

【００６９】この際、下方のセラミックスグリーンシー
ト４２に上方のセラミックスグリーンシート４２が重ね
られるときに、該上方のセラミックスグリーンシート４
２にはキャリアシート４１が付けられたままであり、積
み重ね時にセラミックスグリーンシート４２がキャリア
シート４１で拘束されていることにより、セラミックス
グリーンシート４２の変形を極力防止し、積層精度を向
上することができる。

【００７０】さらに載置板１０２上で積層状態に在る複
数枚のセラミックスグリーンシート４２，４２…は、積
層・切断装置２９において、押圧力を加えることにより
完全な積層状態とされた後に複数に切断され、複数のセ
ラミックスグリーンシート積層体１６０，１６０…が得
られることになる。

【００７１】しかも積層・切断装置２９では、その基台
１２５上に積層プレス機１２７および切断機１２８が配
置され、積層プレス機１２７での積層プレスに続いて切
断機１２８による切断が実行されるので、積層プレス機
１２７および切断機１２８でのセラミックスグリーンシ
ート４２の処理温度をほぼ同一とすることができ、加工
精度を向上することができる。

【００７２】このようにして、μｍオーダーの厚みの極
めて薄いセラミックスグリーンシート４２を積み重ねる
際には、比較的強度の強いキャリアシート４１をセラミ
ックスグリーンシート４２に付けたままでの処理が行な
われ、また切断時には積層状態にあるセラミックスグリ
ーンシート４２，４２…を載置板１０２上に載せたまま
で切断処理が行なわれるので、積層、切断時にはセラミ
ックスグリーンシート４２が自由状態にはなく拘束状態
にあり、温度や湿度に影響されることなく、セラミック
スグリーンシート４２の変形を極力回避して、充分な精
度のセラミックスシート積層体１６０を得ることが可能
となる。

【００７３】以上、本発明の実施例を詳述したが、本発
明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の
範囲に記載された本発明を逸脱することなく種々の設計
変更を行なうことが可能である。

【００７４】

【００７５】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、極めて薄
いセラミックスグリーンシートを載置板上で積み重ねる
際には、比較的強度の強いキャリアシートをセラミック
スグリーンシートに付けたままでの処理が行われ、しか
も積層プレス機による積層処理時や切断機による切断時
には、積層状態にあるセラミックスグリーンシートを載
置板に載せたまま処理が行われるので、積層、切断時に
はセラミックスグリーンシートが自由状態にはなく拘束
状態にあり、セラミックスグリーンシートの変形を極力
回避して充分な精度のセラミックスシート積層体を得る
ことが可能となる。 また水平面内で相互に直交する方向
への移動ならびに鉛直軸線まわりの回動を可能として固
定の基台上に配置した可動台に複数のイメージセンサを
取付けておき、印刷および乾燥処理を完了した後のセラ
ミックスグリーンシートを前記可動台の上方に水平姿勢
でもたらした状態で前記各イメージセンサによってセラ
ミックスグリーンシートの印刷パターンを撮像するとと
もにその撮像結果に基づいて前記印刷パターンに対する
可動台の相対位置が一定となるように該可動台を原位置
から作動せしめる工程と、前記印刷パターンに対する相
対位置が一定となった可動台上にセラミックスグリーン
シートを載置する工程と、可動台を原位置に戻す工程
と、原位置に在る可動台上のセラミックスグリーンシー
トをそのままの姿勢でパンチングプレス機にもたらして
該パンチングプレス機により複数の基準孔を穿孔する工
程とを順に経過せしめるので、基準孔穿孔後に印刷およ
び乾燥処理等が施すものに比べると、印刷および乾燥処
理等による歪み等の悪影響が及ぶのを極力回避し、印刷
パターンと各基準孔との相対位置精度を高めることがで
き、イメージセンサによる撮像により、印刷および乾燥
工程で生じた不良品の検出を可能として不良品を分離す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】セラミックスシート積層体の製造工程を示す図
である。

【図２】セラミックスシート積層体を用いた積層コンデ
ンサの切欠き縦断側面図である。

【図３】図２の３−３線拡大断面図である。

【図４】シート状体の切欠き平面図である。

【図５】図４の５−５線断面図である。

【図６】パンチング装置の側面図である。

【図７】図６の７−７線断面図である。

【図８】トレーの積層状態を示す側面図である。

【図９】トレーの平面図である。

【図１０】パンチングプレス機の構成を示す側面図であ
る。

【図１１】パンチング加工後のシート状体の平面図であ
る。

【図１２】図１１の１２−１２線断面図である。

【図１３】仮積層装置の側面図である。

【図１４】図１３の１４−１４線に沿う断面図である。

【図１５】載置板の平面図である。

【図１６】図１５の１６矢視側面図である。

【図１７】積層・切断装置の側面図である。

【図１８】図１７の１８−１８線に沿う断面図である。

【図１９】２組のウォーキングビームの作動を説明する
ための図である。

【図２０】セラミックスグリーンシート積層体の切断直
後の平面図である。

【符号の説明】

４２・・・セラミックスグリーンシート ４４・・・基台 ５９・・・可動台 ６０・・・イメージセンサとしてのＣＣＤイメージセン
サ ８２・・・基準孔 ４９・・・パンチングプレス機

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 合成樹脂製のキャリアシート（４１）上
   にセラミックスグリーンシート（４２）を設けて成ると
   ともに製品たるセラミックスシート積層体（３２）の複
   数個分の大きさを有するシート状体（４０）に、セラミ
   ックスグリーンシート（４２）への導電金属による印刷
   および乾燥処理を施した後に、複数の基準孔（８２）を
   穿孔する工程と； 載置板（１０２）に設けた複数の基準ピン（１０３）を
   各基準孔（８２）に嵌合させつつ、セラミックスグリー
   ンシート（４２）同士を相互に接着する操作ならびに接
   着後に上方位置に在るキャリアシート（４１）をセラミ
   ックスグリーンシート（４２）から剥離する操作を順次
   繰り返して載置板（１０２）上で複数枚のセラミックス
   グリーンシート（４２）を仮積層した後、その複数枚の
   セラミックスグリーンシート（４２）を載置板（１０
   ２）上で積層プレス機（１２７）により積層処理する工
   程と； 載置板（１０２）を積層プレス機（１２７）から切断機
   （１２８）側にもたらし、その載置板（１０２）上で積
   層状態に在る複数枚のセラミックスグリーンシート（４
   ２）を該切断機（１２８）により複数に切断して、セラ
   ミックスシート積層体（３２）に対応する大きさのセラ
   ミックスグリーンシート積層体（１６０）を得る工程
   と；を有しており、 前記シート状体（４０）に 基準孔（８２）を穿孔するに
   あたっては、水平面内で相互に直交する方向への移動な
   らびに鉛直軸線まわりの回動を可能として固定の基台
   （４４）上に配置した可動台（５９）に複数のイメージ
   センサ（６０）を取付けておき、印刷および乾燥処理を
   完了した後のセラミックスグリーンシート（４２）を前
   記可動台（５９）の上方に水平姿勢でもたらした状態で
   前記各イメージセンサ（６０）によってセラミックスグ
   リーンシート（４２）の印刷パターンを撮像するととも
   にその撮像結果に基づいて前記印刷パターンに対する可
   動台（５９）の相対位置が一定となるように該可動台
   （５９）を原位置から作動せしめる工程と、前記印刷パ
   ターンに対する相対位置が一定となった可動台（５９）
   上にセラミックスグリーンシート（４２）を載置する工
   程と、可動台（５９）を原位置に戻す工程と、原位置に
   在る可動台（５９）上のセラミックスグリーンシート
   （４２）をそのままの姿勢でパンチングプレス機（４
   ９）にもたらして該パンチングプレス機（４９）により
   複数の基準孔（８２）を穿孔する工程とを順に経過せし
   めることを特徴とする、セラミックスグリーンシート積
   層体の製造方法。